JPH0798863A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPH0798863A JPH0798863A JP24466993A JP24466993A JPH0798863A JP H0798863 A JPH0798863 A JP H0798863A JP 24466993 A JP24466993 A JP 24466993A JP 24466993 A JP24466993 A JP 24466993A JP H0798863 A JPH0798863 A JP H0798863A
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- shielding plate
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- shielding
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 遮蔽板への蒸着粒子の堆積を阻止することが
できる遮蔽手段を有する磁気記録媒体の製造装置を提供
すること。 【構成】 本発明装置は、真空容器と、走行装置と、ル
ツボと、電子ビーム発生装置と、遮蔽手段とを含む磁気
記録媒体の製造装置において、前記遮蔽手段は、遮蔽板
を複数接続してなる遮蔽板ユニットを複数個上下に可動
なベルト手段に並列に設置してなり、遮蔽板ユニットに
おける各遮蔽板は、長手方向側部において隣接する遮蔽
板に接続されると共に、同側部において折畳み可能にさ
れ、各遮蔽板ユニットは、磁性材料蒸気の被蒸着材に対
する蒸着領域を規制するべく、展開可能であることを特
徴とする。
できる遮蔽手段を有する磁気記録媒体の製造装置を提供
すること。 【構成】 本発明装置は、真空容器と、走行装置と、ル
ツボと、電子ビーム発生装置と、遮蔽手段とを含む磁気
記録媒体の製造装置において、前記遮蔽手段は、遮蔽板
を複数接続してなる遮蔽板ユニットを複数個上下に可動
なベルト手段に並列に設置してなり、遮蔽板ユニットに
おける各遮蔽板は、長手方向側部において隣接する遮蔽
板に接続されると共に、同側部において折畳み可能にさ
れ、各遮蔽板ユニットは、磁性材料蒸気の被蒸着材に対
する蒸着領域を規制するべく、展開可能であることを特
徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁性材料の蒸気を蒸着
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にその遮蔽板の構造に関するものであ
る。
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にその遮蔽板の構造に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の蒸着型磁気記録媒体の製造装置と
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料の融解槽を有するルツボと、このルツボの
磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生
装置と、磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領域を規
制する遮蔽手段とを含むものがある。遮蔽手段は、一般
に、単一の遮蔽板からなり、真空容器内に固定して配設
されていた。そして、ルツボの融解槽内の磁性材料に電
子ビームを照射しこれにより磁性材料は電子ビームの照
射を受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気を被蒸着材に
蒸着していた。
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料の融解槽を有するルツボと、このルツボの
磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生
装置と、磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領域を規
制する遮蔽手段とを含むものがある。遮蔽手段は、一般
に、単一の遮蔽板からなり、真空容器内に固定して配設
されていた。そして、ルツボの融解槽内の磁性材料に電
子ビームを照射しこれにより磁性材料は電子ビームの照
射を受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気を被蒸着材に
蒸着していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】蒸着領域を規制する遮
蔽板には、磁性材料の蒸気が蒸着し、蒸着を長時間続け
た場合、遮蔽板に多量の蒸着粒子が堆積されることにな
る。堆積が進みある量に達するとその重さに耐えられな
くなり、堆積物が落下する。そのとき、落下の衝撃によ
り蒸着粒子の粉が真空容器内に舞い上がり、その結果、
真空容器内が汚染されてしまう。また、落下した堆積物
がルツボの融解槽内に入ると、融解した磁性材料の液滴
が跳ね、それが被蒸着材に付着したり、またルツボ内の
温度や蒸発状態などの条件を変えてしまうなどの不具合
が生じる。被蒸着材に付着した液滴は、突起異物とな
り、この突起異物があると、記録・再生時に磁気ヘッド
がこれに乗り上げて磁気ヘッドと被蒸着材の間が広くな
りすぎ正常な記録・再生ができなくなってしまう。
蔽板には、磁性材料の蒸気が蒸着し、蒸着を長時間続け
た場合、遮蔽板に多量の蒸着粒子が堆積されることにな
る。堆積が進みある量に達するとその重さに耐えられな
くなり、堆積物が落下する。そのとき、落下の衝撃によ
り蒸着粒子の粉が真空容器内に舞い上がり、その結果、
真空容器内が汚染されてしまう。また、落下した堆積物
がルツボの融解槽内に入ると、融解した磁性材料の液滴
が跳ね、それが被蒸着材に付着したり、またルツボ内の
温度や蒸発状態などの条件を変えてしまうなどの不具合
が生じる。被蒸着材に付着した液滴は、突起異物とな
り、この突起異物があると、記録・再生時に磁気ヘッド
がこれに乗り上げて磁気ヘッドと被蒸着材の間が広くな
りすぎ正常な記録・再生ができなくなってしまう。
【０００４】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、遮蔽板に蒸
着粒子が堆積されるのを防止して被蒸着材上に適正な蒸
着膜を形成するようにした新規な磁気記録媒体の製造装
置を提供しようとするものである。
れたものであり、その目的とするところは、遮蔽板に蒸
着粒子が堆積されるのを防止して被蒸着材上に適正な蒸
着膜を形成するようにした新規な磁気記録媒体の製造装
置を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置と、前記磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領
域を規制する遮蔽手段とを含む磁気記録媒体の製造装置
において、前記遮蔽手段は、長方形状の遮蔽板を複数接
続してなる遮蔽板ユニットを複数個上下に可動なベルト
手段に並列に設置してなり、遮蔽板ユニットにおける各
遮蔽板は、長手方向側部において隣接する遮蔽板に接続
されると共に、同側部において折畳み可能にされ、各遮
蔽板ユニットは、磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着
領域を規制するべく、展開可能であることを特徴とす
る。
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置と、前記磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領
域を規制する遮蔽手段とを含む磁気記録媒体の製造装置
において、前記遮蔽手段は、長方形状の遮蔽板を複数接
続してなる遮蔽板ユニットを複数個上下に可動なベルト
手段に並列に設置してなり、遮蔽板ユニットにおける各
遮蔽板は、長手方向側部において隣接する遮蔽板に接続
されると共に、同側部において折畳み可能にされ、各遮
蔽板ユニットは、磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着
領域を規制するべく、展開可能であることを特徴とす
る。
【０００６】本発明においては、遮蔽手段が複数個の遮
蔽板ユニットを具備してなり、各遮蔽板ユニットは、長
方形状の遮蔽板を複数接続してなるものである。そし
て、遮蔽板ユニットにおける各遮蔽板は、長手方向側部
において隣接する遮蔽板に接続されると共に、同側部に
おいて折畳み可能にされている。また、複数個の遮蔽板
ユニットは、上下に可動なベルト手段により並列に支持
されており、各遮蔽板ユニットは、磁性材料蒸気の被蒸
着材に対する蒸着領域を規制するべく、展開可能であ
る。
蔽板ユニットを具備してなり、各遮蔽板ユニットは、長
方形状の遮蔽板を複数接続してなるものである。そし
て、遮蔽板ユニットにおける各遮蔽板は、長手方向側部
において隣接する遮蔽板に接続されると共に、同側部に
おいて折畳み可能にされている。また、複数個の遮蔽板
ユニットは、上下に可動なベルト手段により並列に支持
されており、各遮蔽板ユニットは、磁性材料蒸気の被蒸
着材に対する蒸着領域を規制するべく、展開可能であ
る。
【０００７】本遮蔽手段は、上記のように構成されてい
るので、遮蔽板に蒸着粒子が堆積される前に、新しい遮
蔽板と交換することができる。この交換は、以下のよう
にして行なうことができる。
るので、遮蔽板に蒸着粒子が堆積される前に、新しい遮
蔽板と交換することができる。この交換は、以下のよう
にして行なうことができる。
【０００８】本遮蔽手段においては、遮蔽板ユニットを
上から下へ順次使用していくことが好ましい。先ず、次
に使用しようとする新しい遮蔽板ユニットを展開乃至は
伸長する。それから、使用済の遮蔽板ユニットを折畳
む。こうすることにより、遮蔽が中断されることがな
く、また使用済の遮蔽板ユニットを畳んだときに、それ
に付着した蒸着粒子が下に落ちることも阻止される。最
後に、伸長した遮蔽板ユニットをベルト手段により上方
に移動して所定位置に停止させる。このようにして、真
空容器内で次々に新しい遮蔽板ユニットに交換すること
ができる。また、各遮蔽板ユニットは折畳み式であり、
かつ複数の遮蔽板ユニットは、上下に重ねられているの
で、場所をとることもない。
上から下へ順次使用していくことが好ましい。先ず、次
に使用しようとする新しい遮蔽板ユニットを展開乃至は
伸長する。それから、使用済の遮蔽板ユニットを折畳
む。こうすることにより、遮蔽が中断されることがな
く、また使用済の遮蔽板ユニットを畳んだときに、それ
に付着した蒸着粒子が下に落ちることも阻止される。最
後に、伸長した遮蔽板ユニットをベルト手段により上方
に移動して所定位置に停止させる。このようにして、真
空容器内で次々に新しい遮蔽板ユニットに交換すること
ができる。また、各遮蔽板ユニットは折畳み式であり、
かつ複数の遮蔽板ユニットは、上下に重ねられているの
で、場所をとることもない。
【０００９】交換操作は、手動操作又は自動操作が可能
である。手動操作の場合、例えばマジックハンドのよう
なもので、各遮蔽板ユニットの伸縮・移動を行なうこと
ができる。
である。手動操作の場合、例えばマジックハンドのよう
なもので、各遮蔽板ユニットの伸縮・移動を行なうこと
ができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。
する。
【００１１】図１は、本発明による磁気記録媒体の製造
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、電子ビーム発生装置４と、そして
遮蔽手段１１とを含んでいる。真空容器１は、その排出
口１９が図示しない真空ポンプに接続され、この真空容
器内に一連の被蒸着材、すなわち合成樹脂製テープ５を
走行させる走行装置２が配設されている。走行装置２
は、送りロール６と、巻取りロール７と、そして冷却キ
ャン８からなっている。ルツボ３は、冷却キャン８下方
の所定位置に配設されている。このルツボ３は、ＭｇＯ
より構成され、１４００℃〜１５００℃の高温に耐えら
れるようになっている。またこのルツボ３は、融解槽９
を備え、この融解槽９内に磁性金属１０を収容してい
る。電子ビーム発生装置４は電子銃１２を備え、この電
子銃１２から電子ビームを発射し、この電子ビームを融
解槽９内の磁性金属１０に照射するようになっている。
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、電子ビーム発生装置４と、そして
遮蔽手段１１とを含んでいる。真空容器１は、その排出
口１９が図示しない真空ポンプに接続され、この真空容
器内に一連の被蒸着材、すなわち合成樹脂製テープ５を
走行させる走行装置２が配設されている。走行装置２
は、送りロール６と、巻取りロール７と、そして冷却キ
ャン８からなっている。ルツボ３は、冷却キャン８下方
の所定位置に配設されている。このルツボ３は、ＭｇＯ
より構成され、１４００℃〜１５００℃の高温に耐えら
れるようになっている。またこのルツボ３は、融解槽９
を備え、この融解槽９内に磁性金属１０を収容してい
る。電子ビーム発生装置４は電子銃１２を備え、この電
子銃１２から電子ビームを発射し、この電子ビームを融
解槽９内の磁性金属１０に照射するようになっている。
【００１２】遮蔽手段１１は、図２に示すように、複数
の遮蔽板ユニット１３〜１６を具備してなっている。各
遮蔽板ユニット１３〜１６は、長方形状の遮蔽板１７を
複数枚接続してなっている。図３に、その接続の一例を
示す。この場合、折り曲げ可能な薄い金属テープ１８が
遮蔽板１７の長手方向側面１９に固着されている。図５
は、連接状態の遮蔽板１７を示す。図面上側の金属テー
プ１８においては、遮蔽板１７の重量を支えることがで
きないので、図３に示すような工夫がされている。すな
わち、一方の遮蔽板に適当な数の突起２１を設け、また
他方の遮蔽板にこの突起２１が係合する溝２２を設けて
ある。そして、突起２１と溝２２の当接面が摩擦係合す
ることにより、遮蔽板１７の重量を支えるようになって
いる。このようにして各遮蔽板は、長手方向側部におい
て隣接する遮蔽板に接続されると共に、同側部において
折畳み可能にされている。
の遮蔽板ユニット１３〜１６を具備してなっている。各
遮蔽板ユニット１３〜１６は、長方形状の遮蔽板１７を
複数枚接続してなっている。図３に、その接続の一例を
示す。この場合、折り曲げ可能な薄い金属テープ１８が
遮蔽板１７の長手方向側面１９に固着されている。図５
は、連接状態の遮蔽板１７を示す。図面上側の金属テー
プ１８においては、遮蔽板１７の重量を支えることがで
きないので、図３に示すような工夫がされている。すな
わち、一方の遮蔽板に適当な数の突起２１を設け、また
他方の遮蔽板にこの突起２１が係合する溝２２を設けて
ある。そして、突起２１と溝２２の当接面が摩擦係合す
ることにより、遮蔽板１７の重量を支えるようになって
いる。このようにして各遮蔽板は、長手方向側部におい
て隣接する遮蔽板に接続されると共に、同側部において
折畳み可能にされている。
【００１３】各遮蔽板ユニット１３〜１６は、上下に可
動なベルト手段２０により並列に支持されている。各遮
蔽板ユニットは、図４〜６に示すように、伸長が可能で
ある。図４は、縮小状態の遮蔽板ユニットを示す。各遮
蔽板は、折畳まれて重ねられている。図５は、伸長途中
の遮蔽板ユニットの様子を示す。各遮蔽板を接続する金
属テープ１８は折り曲げられ各遮蔽板の伸長を可能にし
ている。伸長につれて、一方の遮蔽板の突起２１は、他
方の遮蔽板の溝２２内に嵌入する。図６は、完全に伸長
した遮蔽板ユニットを示す。このとき、金属テープ１８
は折り曲げられて重なり、また突起２１は、溝２２内に
嵌入して摩擦係合している。各遮蔽板ユニットは、連接
する遮蔽板の各平面によりその遮蔽面を形成し、また先
端に位置する遮蔽板は、蒸着領域を規定するべく、所定
の位置にくるように設計され配置されている。
動なベルト手段２０により並列に支持されている。各遮
蔽板ユニットは、図４〜６に示すように、伸長が可能で
ある。図４は、縮小状態の遮蔽板ユニットを示す。各遮
蔽板は、折畳まれて重ねられている。図５は、伸長途中
の遮蔽板ユニットの様子を示す。各遮蔽板を接続する金
属テープ１８は折り曲げられ各遮蔽板の伸長を可能にし
ている。伸長につれて、一方の遮蔽板の突起２１は、他
方の遮蔽板の溝２２内に嵌入する。図６は、完全に伸長
した遮蔽板ユニットを示す。このとき、金属テープ１８
は折り曲げられて重なり、また突起２１は、溝２２内に
嵌入して摩擦係合している。各遮蔽板ユニットは、連接
する遮蔽板の各平面によりその遮蔽面を形成し、また先
端に位置する遮蔽板は、蒸着領域を規定するべく、所定
の位置にくるように設計され配置されている。
【００１４】このように構成された本発明装置におい
て、電子銃１２により電子ビームを磁性金属１０に向け
照射した場合、磁性金属１０は電子ビームの照射を受け
て溶融し、蒸発を続ける。送りロール６より送り出され
てこの蒸発領域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の
蒸着を受けながら冷却キャン上を円周方向に回転し、そ
の間に磁性膜がテープ上に形成され、巻取りロール７に
より巻取られる。
て、電子銃１２により電子ビームを磁性金属１０に向け
照射した場合、磁性金属１０は電子ビームの照射を受け
て溶融し、蒸発を続ける。送りロール６より送り出され
てこの蒸発領域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の
蒸着を受けながら冷却キャン上を円周方向に回転し、そ
の間に磁性膜がテープ上に形成され、巻取りロール７に
より巻取られる。
【００１５】所定時間経過の後、遮蔽板上に磁性金属の
蒸着粒子の堆積がみられるようになったとき、手動又は
自動により遮蔽板ユニットの交換操作が行なわれる。こ
のとき、次に使用する遮蔽板ユニット１４を伸長してか
ら、使用済みの遮蔽板ユニット１３を折畳み、次にベル
ト手段２０を作動して遮蔽板ユニット１４を所定の位置
まで上方に移動させる。このようにして、遮蔽板ユニッ
ト１３〜１６が順次交換される。
蒸着粒子の堆積がみられるようになったとき、手動又は
自動により遮蔽板ユニットの交換操作が行なわれる。こ
のとき、次に使用する遮蔽板ユニット１４を伸長してか
ら、使用済みの遮蔽板ユニット１３を折畳み、次にベル
ト手段２０を作動して遮蔽板ユニット１４を所定の位置
まで上方に移動させる。このようにして、遮蔽板ユニッ
ト１３〜１６が順次交換される。
【００１６】
【発明の効果】本発明装置は、遮蔽板上の蒸着粒子の堆
積を阻止し、これによって蒸着粒子の堆積物が落下して
真空容器内を汚染したりルツボ内に入ったりすることが
回避されるから、被蒸着材上に適正な蒸着膜を形成する
ことができ、従って常に良質の磁気記録媒体が得られる
ものである。
積を阻止し、これによって蒸着粒子の堆積物が落下して
真空容器内を汚染したりルツボ内に入ったりすることが
回避されるから、被蒸着材上に適正な蒸着膜を形成する
ことができ、従って常に良質の磁気記録媒体が得られる
ものである。
【図１】本発明による磁気記録媒体の製造装置の構成
図。
図。
【図２】本装置に備る遮蔽手段の斜視図。
【図３】同遮蔽手段を構成する遮蔽板ユニットの部分拡
大図。
大図。
【図４】同遮蔽板ユニットの縮小状態の図。
【図５】同遮蔽板ユニットの伸長途中の図。
【図６】同遮蔽板ユニットの伸長状態の図。
１ 真空容器 ２ 走行装置 ３ ルツボ ４ 電子ビーム発生装置 ５ テープ（被蒸着材） ８ 冷却キャン ９ 融解槽 １０ 磁性金属 １１ 遮蔽手段 １３〜１６ 遮蔽板ユニット １７ 遮蔽板 ２０ ベルト手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置と、前記磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領
域を規制する遮蔽手段とを含む磁気記録媒体の製造装置
において、 前記遮蔽手段は、長方形状の遮蔽板を複数接続してなる
遮蔽板ユニットを複数個上下に可動なベルト手段に並列
に設置してなり、遮蔽板ユニットにおける各遮蔽板は、
長手方向側部において隣接する遮蔽板に接続されると共
に、同側部において折畳み可能にされ、各遮蔽板ユニッ
トは、磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領域を規制
するべく、展開可能であることを特徴とする磁気記録媒
体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24466993A JPH0798863A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24466993A JPH0798863A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0798863A true JPH0798863A (ja) | 1995-04-11 |
Family
ID=17122193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24466993A Pending JPH0798863A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0798863A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008202072A (ja) * | 2007-02-19 | 2008-09-04 | Fujitsu Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
| JP2019189901A (ja) * | 2018-04-23 | 2019-10-31 | 株式会社アルバック | 真空蒸着装置 |
| CN111139447A (zh) * | 2020-02-25 | 2020-05-12 | 费勉仪器科技（上海）有限公司 | 一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置 |
| JP2022087014A (ja) * | 2020-11-30 | 2022-06-09 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置及び足場ユニット |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP24466993A patent/JPH0798863A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008202072A (ja) * | 2007-02-19 | 2008-09-04 | Fujitsu Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
| JP2019189901A (ja) * | 2018-04-23 | 2019-10-31 | 株式会社アルバック | 真空蒸着装置 |
| CN111139447A (zh) * | 2020-02-25 | 2020-05-12 | 费勉仪器科技（上海）有限公司 | 一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置 |
| CN111139447B (zh) * | 2020-02-25 | 2023-11-03 | 费勉仪器科技（上海）有限公司 | 一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置 |
| JP2022087014A (ja) * | 2020-11-30 | 2022-06-09 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置及び足場ユニット |
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