JPH06122964A

JPH06122964A - 蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉ系めっき材の製造方法

Info

Publication number: JPH06122964A
Application number: JP27294392A
Authority: JP
Inventors: Masatoshi Iwai; 正敏岩井; Jiyunji Kawafuku; 純司川福; Koji Irie; 広司入江; Touta Ayabe; 東太綾部; Atsushi Kato; 淳加藤; Shoji Miyake; 昭二三宅
Original assignee: Kobe Steel Ltd
Current assignee: Kobe Steel Ltd
Priority date: 1992-10-12
Filing date: 1992-10-12
Publication date: 1994-05-06

Abstract

(57)【要約】【構成】電子ビームによってＡｌ，ＣｒおよびＴｉを
加熱蒸発させ、走行する被処理材に該金属蒸気を蒸着さ
せてＡｌ−Ｃｒ−Ｔｉ系めっきを連続的に形成する方法
において、ＣｒとＴｉをＣｒ−Ｔｉ合金浴から一斉に加
熱蒸発させるとともに、該Ｃｒ−Ｔｉ合金浴にＣｒとＴ
ｉの各蒸発量に応じた量のＣｒとＴｉを連続的もしくは
間欠的に供給しつつ、該Ｃｒ−Ｔｉ合金浴中のＣｒ含有
量を２〜８５％に制御するか或は、ＡｌとＣｒをＡｌ−
Ｃｒ合金浴から一斉に加熱蒸発させるとともに、該Ａｌ
−Ｃｒ合金浴にＡｌとＣｒの各蒸発量に応じた量のＡｌ
とＣｒを連続的もしくは間欠的に供給しつつ、該Ａｌ−
Ｃｒ合金浴中のＣｒ含有量を５〜７０％に制御する蒸着
Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉ系めっき材の製造方法。【効果】蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉ系めっき材を安定して
連続もしくは半連続的に製造することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、建築材料、家電製品、
電子機器材料、自動車部材等の広範囲な分野において利
用することのできる蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉ系めっき材を
安定して連続もしくは半連続的に製造する方法に関する
ものである。

【０００２】尚本発明の製造方法は、加熱源として電子
ビームを利用する全ての蒸着めっき方法に適用し得るも
のであって、該蒸着めっき方法としては真空蒸着めっき
法の他各種のイオンプレーティング法、イオンアシスト
蒸着法等も包合される。また本発明が適用される被処理
材の種類にも制限はなく、その用途に応じて金属、ガラ
ス、セラミックス、紙等に適用することができるが、以
下帯状鋼板を代表的に例示して本発明を説明する。

【０００３】

【従来の技術】蒸着めっき法は、真空中又は希薄ガス雰
囲気下にて、原料を高温に加熱して蒸発させ、蒸気とし
て被処理材表面に付着させる成膜方法であり、古くから
汎用されている電気めっき法や溶融めっき法に比べて加
工性、耐食性等が良好な皮膜を得ることができ、更に成
膜可能な蒸発原料の種類が広く、高融点金属や合金、一
部セラミックス等にも適用可能であるため近年注目を集
めている。

【０００４】蒸発原料を高温に加熱する手段としては、
抵抗加熱、高周波誘導加熱、レーザー加熱、電子ビーム
加熱等を用いることが可能であるが、エネルギー密度が
高く蒸発原料の蒸発速度を大きくすることのできる電子
ビーム加熱が主流となっている。電子ビーム加熱方式で
蒸着めっきを行うに当たっては、加熱効率が高く、結果
として生産性が高いことから蒸発槽内に配した蒸発原料
の表面に電子ビームを直接照射することにより加熱蒸発
させる方法が広く採用されている。また、例えば帯状の
鋼板に連続して蒸着めっきを施す場合には、複数の蒸発
槽を帯状鋼板走行方向に並列に配置し、各々に蒸発原料
を装入して各蒸発槽内の蒸発原料を電子ビームで照射す
る。その際、磁場によって電子ビーム照射領域を制御
し、また照射する時間配分を制御することによって各蒸
発槽に投入されるパワーを調整して各蒸発原料の蒸発量
を制御する方法が採られている。

【０００５】一方Ａｌ系めっき材は、耐食性、耐熱性、
熱反射性等の点で優れた特性を有しているので、建材、
家電製品、自動車マフラー等に汎用されている。その製
造方法としては溶融めっき法と蒸着めっき法が実用化さ
れており、また電気めっき法も開発されつつある。

【０００６】しかしながら溶融Ａｌめっき鋼板は700 ℃
前後に加熱された溶融Ａｌめっき浴中に被処理材である
鋼材を浸漬して製造するために、素地鋼板とＡｌめっき
層との接合界面でＡｌとＦｅが反応して脆弱なＡｌ−Ｆ
ｅ金属間化合物層が生成し、曲げ加工等の成形加工を施
すとめっき層の剥離が起こりやすい。このＡｌ−Ｆｅ金
属間化合物の生成を抑制するために、通常溶融めっき浴
中に１０％程度のＳｉを添加する方法が採用されている
が、Ａｌめっき層中へのＳｉの添加によって耐食性が低
下するという問題が生じている。また耐食性の向上を図
るためにＡｌ系合金めっきを施す場合にも、製法上溶融
浴材料として比較的低融点の材料しかＡｌ浴中へ添加す
ることができないため、Ａｌ系合金めっきの種類が制御
されるという問題がある。

【０００７】一方蒸着めっき法によれば、上記のような
Ａｌ−Ｆｅ金属間化合物の生成が起こらない比較的低温
で製造でき、かつ非常に多種類の蒸発原料を用いること
ができるために各種Ａｌ系合金めっき材を比較的容易に
製造できる。

【０００８】こうした中で、本発明者らが提案したＡｌ
−Ｃｒ−Ｔｉ系めっき材（特開昭64−21063 号公報）
は、優れた耐食性を発揮するとともに、Ａｌ系めっき材
本来の耐熱性、加工性等を兼備しており、前述のような
用途に対する応用が実現しつつある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところが、蒸着Ａｌ−
Ｃｒ−Ｔｉ系めっき材を連続もしくは半連続的に製造す
るにあたっては下記のような問題点がある。電子ビーム加熱方式蒸着めっき法は、磁場によって電
子ビーム照射領域を制御するもので、例えば電子銃１基
で複数の蒸発槽を用いて蒸着を行う場合、１本の電子ビ
ームが各蒸発槽間をジャンピングしながら短いサイクル
で順に各蒸発槽内の蒸発原料を加熱する。ところが各蒸
発槽は最低限の容積と構造上の強度を必要とするため
に、蒸発室内に並列に配置する蒸発槽の数が増加するに
従って電子ビームを走査しなければならない領域が拡大
し、その制御精度も高いレベル要求されるようになる。

【００１０】また各蒸発槽内の蒸発原料を電子ビームに
より加熱するサイクルは、電子ビームの磁場に対する追
従性に限界があるため一定の値以下に短くすることは困
難である。従ってある一つの蒸発槽内の蒸発原料を加熱
している間、他の蒸発槽内の蒸発原料は冷却される状態
にあり、蒸発量は急激に減少することは避けられない。
更にこの冷却を防止するために単位時間当たりのジャン
ピング回数を増加させると各蒸発槽間を加熱するという
ロスが増加する。

【００１１】これらの設備上の問題点を解決するため
に、複数の電子銃を導入し個別に蒸発原料を加熱する方
法もあるが、電子銃等の設備費の増加と複数の電子ビー
ムを同時に制御する磁場制御方式の問題等があるので、
工業上複数の電子銃を使用するのは困難である。

【００１２】蒸着法は幅広い分野で応用されている技
術であり、純Ａｌ、純Ｚｎめっき等の一部の分野では既
に連続生産が実用化されている。言うまでもなくこのよ
うな連続生産においては、長期にわたって安定した蒸発
量を確保するために蒸発によって減少する蒸発原料を蒸
発槽内に供給する必要がある。

【００１３】ところがＣｒは昇華性を示し、一定の原料
供給を行った場合でもその蒸発量が安定しない。即ち、
蒸発量は実際に蒸発が行なわれている蒸発原料表面積と
蒸発原料表面温度により決まるが、昇華性材料であるＣ
ｒは固体状態を維持するために蒸発によってその表面形
状が経時的に変形して蒸発原料表面積を一定に維持する
ことができない。また加熱源である電子ビームの入射角
度が蒸発原料形状の変化ととも変動するために電子ビー
ムの原料表面への吸収効率が変化して蒸発原料表面積温
度も変動するという問題がある。このように昇華性を示
すＣｒの蒸発速度は経時的に変動しやすく、結果として
得られる蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉ系めっき材付着量とＣｒ
含有量とが安定しにくいという問題点が残されている。

【００１４】本発明は以上の様な従来技術の問題点に着
目してなされたものであって、その目的は蒸着Ａｌ−Ｃ
ｒ−Ｔｉめっき材のトータルを安定して連続的に製造す
ることのできる方法を提供しようとするものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するこ
とのできた本発明の製造方法は、電子ビームによってＡ
ｌ，ＣｒおよびＴｉを加熱蒸発させ、走行する被処理材
に該金属蒸気を蒸着させてＡｌ−Ｃｒ−Ｔｉ系めっきを
連続的に形成する方法において、ＣｒとＴｉをＣｒ−Ｔ
ｉ合金浴から一斉に加熱蒸発させるとともに、該Ｃｒ−
Ｔｉ合金浴にＣｒとＴｉの各蒸発量に応じた量のＣｒと
Ｔｉを連続的もしくは間欠的に供給しつつ、該Ｃｒ−Ｔ
ｉ合金浴中のＣｒ含有量を２〜８５％（重量％、以下同
じ）に制御することに第１の要旨を有し、またＡｌとＣ
ｒをＡｌ−Ｃｒ合金浴から一斉に加熱蒸発させるととも
に、該Ａｌ−Ｃｒ合金浴にＡｌとＣｒの各蒸発量に応じ
た量のＡｌとＣｒを連続的もしくは間欠的に供給しつ
つ、該Ａｌ−Ｃｒ合金浴中のＣｒ含有量を５〜７０％に
制御することに第２の要旨を有する。

【００１６】

【作用】図２に３つの蒸発槽からＡｌ，Ｃｒ，Ｔｉを夫
々別々に蒸発させる従来の製造方法を模式的に示す。本
発明者らはこの従来の方法を採用することによって生じ
る製造上および品質上の問題点を解決すべく種々検討し
た結果、図１に模式的に示すようにＣｒ−Ｔｉ合金浴か
らＣｒとＴｉを、もしくはＡｌ−Ｃｒ合金浴からＡｌと
Ｃｒを夫々混合蒸気の状態で蒸発させることによってそ
れらの問題点を解決できることを見出したものである。

【００１７】図１に示すＣｒを含む合金浴を用いる蒸発
方式を採用すれば、蒸発槽の数はＡｌ，Ｃｒ，Ｔｉの３
つの蒸発槽からＡｌ浴用蒸発槽とＣｒ−Ｔｉ合金浴用蒸
発槽の２つ、もしくはＡｌ−Ｃｒ合金浴用蒸発槽とＴｉ
浴用蒸発槽の２つにそれぞれ削減され、３つの蒸発槽間
の電子ビーム制御から、２つの蒸発槽間の電子ビーム制
御へと電子ビームジャンピング制御や各原料への照射時
間配分制御をより簡略化し、製造上の問題を解決するこ
とができる。また、Ｃｒの昇華性による蒸発速度の変動
の問題についても、Ｃｒをめっき構成元素であるＡｌ若
しくはＴｉと合金化させることによって夫々Ａｌ−Ｃｒ
合金浴若しくはＣｒ−Ｔｉ合金浴を形成させ、電子ビー
ムによって加熱される各合金溶融浴の蒸発面を常にほぼ
一定の水平状態に維持することによって解決可能であ
る。従って、Ａｌ浴とＣｒ−Ｔｉ合金浴の組み合わせ
か、Ａｌ−Ｃｒ合金浴とＴｉ浴の組み合わせを採用する
ことによって、電子ビーム制御技術とＣｒの蒸発量の安
定性の問題を同時に解決することができる。

【００１８】しかしながら、所望の付着量、Ｃｒ組成、
Ｔｉ組成を有する蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉめっきを得るた
めには、当然のことながら、蒸発槽を３つから２つに削
減してもＡｌ，Ｃｒ，Ｔｉの各蒸発量を制御することが
必要であることに変わりはない。例えばＡｌ−Ｃｒ合金
浴とＴｉ浴の組み合わせを用いた場合には、Ａｌ−Ｃｒ
合金浴からのＡｌ，Ｃｒの各蒸発量とＴｉ浴からのＴｉ
蒸発量を制御する必要がある。１基の電子銃により２つ
の蒸発槽を加熱する電子ビーム合金蒸着では、電子ビー
ムパワーと各蒸発槽内蒸発原料に電子ビームが滞在する
時間の比率、即ち電子ビームパワーの２つの蒸発槽内蒸
発原料への配分比（以下、配分比という）によって２つ
の蒸発槽からの蒸発量を制御する。ここでＴｉ浴からの
Ｔｉ蒸発量は、電子銃の電子ピームパワーと配分比だけ
で容易に制御することができる。ところがＡｌ−Ｃｒ合
金浴からのＡｌとＣｒの各蒸発量は、電子銃の電子ビー
ムパワーと配分比だけでは制御できない。

【００１９】即ち、ある表面温度Ｔを有する複数の金属
元素からなる合金浴から複数の金属を同時蒸発させる場
合、各金属元素の蒸発量は各金属元素の温度Ｔにおける
飽和蒸気圧及び合金浴最表面の各金属元素の蒸発面積比
によってほぼ決まる。言い替えれば、合金浴構成金属元
素の温度Ｔにおける単位蒸発面積あたりの蒸発量と蒸発
面積比によってほぼ決まる。Ａｌ−Ｃｒ合金浴を用いた
場合についてより具体的に述べると、単位面積当たりの
ＡｌとＣｒの各蒸発量と蒸発面積比は次のようにして制
御する。まずＡｌ−Ｃｒ合金浴からの単位面積当たりの
ＡｌとＣｒの各蒸発量は、Ａｌ−Ｃｒ合金浴の最表面温
度の関数であるので、電子銃の電子ビームパワーと配分
比によって決められるＡｌ−Ｃｒ合金浴に投入する電子
ビームのパワーによって制御する。一方Ａｌ−Ｃｒ合金
浴表面のＣｒ蒸発面積比は合金浴中のＣｒ含有量によっ
て制御する。

【００２０】尚Ａｌ−Ｃｒ合金浴中のＣｒ含有量の制御
はＡｌ−Ｃｒ合金浴へのＡｌ、Ｃｒの供給速度を制御す
ることによって達成され、Ａｌ−Ｃｒ合金浴から蒸発す
るＡｌ、Ｃｒに相当する量だけのＡｌ、Ｃｒを連続的ま
たは間欠的に供給することによってＡｌ−Ｃｒ合金浴中
のＣｒ含有量を経時的に変化することなく安定させるこ
とができる。

【００２１】従って所望の付着量、Ｃｒ組成、Ｔｉ組成
を有する蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉめっきを得るためには、
Ａｌ−Ｃｒ合金浴用蒸発槽とＴｉ浴用蒸発槽に各々投入
する電子ビームパワーおよびＡｌ−Ｃｒ合金浴へのＡｌ
供給量とＣｒ供給量を制御すれば良い。

【００２２】Ｃｒ−Ｔｉ合金浴とＡｌ浴の組み合わせを
用いた場合にも同様であり、所望の付着量、Ｃｒ組成、
Ｔｉ組成を有する蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉめっきを得るた
めには、Ｃｒ−Ｔｉ合金浴用蒸発槽とＡｌ浴用蒸発槽に
各々投入する電子ビームパワーおよびＣｒ−Ｔｉ合金浴
へのＴｉ供給量とＣｒ供給量を制御すれば良い。

【００２３】ところでＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉの実用的な蒸発
量が得られる温度範囲における飽和蒸気圧はＡｌ、Ｃ
ｒ、Ｔｉの順に小さくなり、ＣｒはＡｌの約１／１０、
ＴｉはＡｌの約１／１０００である。従って蒸着Ａｌ−
Ｃｒ−Ｔｉめっき材が期待される性能を発揮するために
必要なＣｒ組成およびＴｉ組成を得るためには、Ａｌ−
Ｃｒ合金浴中もしくはＣｒ−Ｔｉ合金浴中のＣｒ含有量
をある範囲内に制御しなくてはならない。更には、Ｃｒ
を含む合金浴の融点や流動性等の製造上の問題からも合
金浴組成の範囲を管理しなければならない。本発明者ら
はこの両者の点を考慮して実験により以下のような合金
浴組成範囲を規定した。

【００２４】即ち、めっき製品の性能と、めっき組成の
関係の調査結果から蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉめっき層中に
はＣｒ及びＴｉは共に０．５％以上含有されることが必
要であるので、Ａｌ−Ｃｒ合金浴中のＣｒ含有量は５〜
７０％、より好ましくは５〜６０％にすることが必要で
ある。Ａｌ−Ｃｒ合金浴中のＣｒ含有量が５％を下回る
と蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉめっき層中に０．５％上のＣｒ
を含有させることが困難になる。逆に、６０％を超える
と浴の融点が上昇して浴全体の流動性が次第に低下し、
７０％を超えるＣｒ含有量では、Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉめっ
き層中のＣｒ含有率が４９．５％を超えてしまうので好
ましくない。またＣｒ−Ｔｉ浴中のＣｒ含有量は２％〜
８５％、より好ましくは２％〜７５％にすることが必要
である。Ｃｒ−Ｔｉ合金浴中のＣｒ含有量が２％を下回
ると蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉめっき層中に０．５％以上の
Ｃｒを含有させることが困難になる。逆に、７５％を超
えると浴全体の流動性が次第に低下し、８５％を超える
Ｃｒ含有量では逆にＡｌ−Ｃｒ−Ｔｉめっき層中に０．
５％以上のＴｉを含有させることが困難になる。

【００２５】なお、Ａｌ、Ｃｒ、Ｔｉ原料の浴中への供
給方法は様々な方法がある。例えばＡｌおよびＴｉは塑
性加工が容易な金属であるためワイヤー状の供給し易い
形状に加工可能であり、公知のワイヤーフィーダー等の
供給装置を使用して連続的に浴中に供給できる。またＣ
ｒは塑性加工が困難であるためにワイヤー状等の供給が
容易な形状に加工することができないが、粒状、粉状、
塊状等の形状で合金浴の上方よりバイブレーター等を用
いて投入する方式を採用することができる。また目標と
するＣｒ組成およびＴｉ組成が一定であれば、Ａｌ−Ｃ
ｒ合金浴の場合では、Ａｌワイヤー中に所定量のＣｒを
分散させたＣｒ分散Ａｌワイヤーの供給、また、Ｃｒ−
Ｔｉ合金浴の場合であれば、所定量のＣｒ組成Ｃｒ−Ｔ
ｉ合金を粒状、粉状、塊状等の形状でバイブレーター等
を用いて上方より投入するなどの方式を採ることもでき
る。従って供給方式としては本発明に一切の制限を設け
るものではない。

【００２６】また蒸発槽についてはＡｌ浴もしくはＡｌ
−Ｃｒ合金浴では、特にるつぼ材質中に不純物が多量に
含有されていない限り通常のアルミナるつぼ等を用いる
ことができる。またＴｉ浴もしくはＣｒ−Ｔｉ合金浴で
は、水冷銅るつぼまたはグラファイトるつぼ等を用いる
ことができる。

【００２７】以下実施例を挙げて本発明を更に詳細に説
明するが、下記実施例は本発明を制限するものではな
く、前・後記の趣旨を逸脱しない範囲で変更実施するこ
とは全て本発明の技術的範囲に包合される。

【００２８】

【実施例】図１に示す方法により、下記の条件で帯状鋼
板の連続蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉ系めっき処理を行った。実施例１＜Ａｌ−Ｃｒ合金浴の場合＞Ａｌ−Ｃｒ合金浴中Ｃｒ含有量：５０％Ａｌ−Ｃｒ合金蒸発槽：高純度電融アルミナるつぼ（アルミナ純度９８％以上）Ｔｉ蒸発槽：グラファイトるつぼＡｌ供給方法：ワイヤー状Ａｌをワイヤーフィ
ーダーにより供給Ｃｒ供給方法：ブリケット状Ｃｒをバイブレー
ターにて上方より投入Ｔｉ供給方法：ワイヤー状Ｔｉをワイヤーフィ
ーダーにより供給電子銃：出力３００ｋｗのピアス型電子
銃を使用Ａｌ−Ｃｒ合金浴、Ｔｉ浴に投入するパワーは各々の浴
に電子ビームを照射する時間配分により制御上記の方法により、付着量１０ｇ／m²、Ｃｒ組成２０
％、Ｔｉ組成５％の蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉ合金めっきを
連続して安定的に製造することができ、付着量、Ｃｒ組
成、Ｔｉ組成も極めて安定していた。

【００２９】実施例２＜Ｃｒ−Ｔｉ合金浴の場合＞Ｃｒ−Ｔｉ合金浴中Ｃｒ含有量：１０％Ａｌ蒸発槽：高純度電融アルミナるつぼ（アルミナ純度９８％以上）Ｃｒ−Ｔｉ合金蒸発槽：グラファイトるつぼＡｌ供給方法：ワイヤー状Ａｌをワイヤーフィ
ーダーにより供給Ｃｒ供給方法：ブリケット状Ｃｒをバイブレー
ターにて上方より投入Ｔｉ供給方法：ワイヤー状Ｔｉをワイヤーフィ
ーダーにより供給電子銃：出力３００ｋｗのピアス型電子
銃を使用Ａｌ浴、Ｃｒ−Ｔｉ合金浴に投入するパワーは各々の浴
に電子ビームを照射する時間配分により制御上記の方法により、付着量２０ｇ／m²、Ｃｒ組成１５
％、Ｔｉ組成３％の蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉ合金めっきを
連続して安定的に製造することができ、付着量、Ｃｒ組
成、Ｔｉ組成も極めて安定していた。

【００３０】

【発明の効果】本発明は以上のように構成されており、
連続蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉめっきにおけるめっき組成お
よび付着量の安定性などの問題点を、２つの蒸発槽から
３元蒸着を可能にすることによって電子ビーム制御技術
を簡略化し、かつ、Ｃｒの昇華性による蒸発量変動の問
題を他のめっき成分であるＡｌもしくはＴｉと合金溶融
化させて、Ｃｒを含む合金浴の状態からＣｒ蒸発を図る
ことにより解決したものである。本発明により、蒸着Ａ
ｌ−Ｃｒ−Ｔｉ系めっき材を安定して連続もしくは半連
続的に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法を模式的に示す概略図であ
る。

【図２】従来の製造方法を模式的に示す概略図である。

【符号の説明】

１被処理材２Ａｌ蒸発槽２ａＡｌ−Ｃｒ蒸発槽３Ｃｒ蒸発槽３ａＣｒ−Ｔｉ蒸発槽４Ｔｉ蒸発槽５Ａｌ原料５ａＡｌ−Ｃｒ原料６Ｃｒ原料６ａＣｒ−Ｔｉ原料７Ｔｉ原料８電子銃９電子ビーム

フロントページの続き (72)発明者綾部東太兵庫県加古川市金沢町１番地株式会社神戸製鋼所加古川製鉄所内 (72)発明者加藤淳兵庫県加古川市金沢町１番地株式会社神戸製鋼所加古川製鉄所内 (72)発明者三宅昭二兵庫県加古川市金沢町１番地株式会社神戸製鋼所加古川製鉄所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電子ビームによってＡｌ，ＣｒおよびＴ
ｉを加熱蒸発させ、走行する被処理材に該金属蒸気を蒸
着させてＡｌ−Ｃｒ−Ｔｉ系めっきを連続的に形成する
方法において、ＣｒとＴｉをＣｒ−Ｔｉ合金浴から一斉
に加熱蒸発させるとともに、該Ｃｒ−Ｔｉ合金浴にＣｒ
とＴｉの各蒸発量に応じた量のＣｒとＴｉを連続的もし
くは間欠的に供給しつつ、該Ｃｒ−Ｔｉ合金浴中のＣｒ
含有量を２〜８５％（重量％、以下同じ）に制御するこ
とを特徴とする蒸着Ａｌ−Ｃｒ−Ｔｉ系めっき材の製造
方法。
【請求項２】電子ビームによってＡｌ、ＣｒおよびＴ
ｉを加熱蒸発させ、走行する被処理材に該金属蒸気を蒸
着させてＡｌ−Ｃｒ−Ｔｉ系めっきを連続的に形成する
方法において、ＡｌとＣｒをＡｌ−Ｃｒ合金浴から一斉
に加熱蒸発させるとともに、該Ａｌ−Ｃｒ合金浴にＡｌ
とＣｒの各蒸発量に応じた量のＡｌとＣｒを連続的もし
くは間欠的に供給しつつ、該Ａｌ−Ｃｒ合金浴中のＣｒ
含有量を５〜７０％に制御することを特徴とする蒸着Ａ
ｌ−Ｃｒ−Ｔｉ系めっき材の製造方法。