JPH06150224A - 磁気ヘッドとその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 コアブロックの接着強度が強く、かつ、イン
ダクタンスを低くすることができる磁気ヘッド及びその
製造方法を提供する。 【構成】 非磁性体からなる角棒状子基板(31)と、一側
端面に子基板の収納溝(33)を定ピッチに形成した非磁性
体からなる角棒状母基板(32)とを複数本ずつ用い、上記
母基板(32)の側面に磁性膜(22')及びガラス膜(35)を順
次被着形成して積層すると共に、母基板(32)の収納溝(3
3)に子基板(31)を嵌め込んで、子基板(31)と母基板(32)
を格子状に組合わせてたのち、子基板(31)を母基板(32)
にガラス溶着して、母基板(32)同士を子基板(31)により
連結して接合一体化する。しかる後、母基板(32)を長手
方向に所定ピッチにスライスして、母基板(32)の長手方
向スライス面の片側角部にスライスされた子基板(31)が
部分的に嵌合したコアブロック(41)(41')を形成するよ
うにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＶＴＲ装置等に使用さ
れる磁気ヘッドとその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＶＴＲ装置等に使用される磁気ヘ
ッドを構成するコアチップ（１）は、図６に示すよう
に、磁性材料からなるメタル層（２）を非磁性基板
（３）（３）で挟み込んでなる一対のコア（４）
（４’）を、上記メタル層（２）を対向させて接合一体
化し、その媒体摺接面（５）に磁気ギャップを形成した
もので、図７乃至図９に示す要領で製造される。

【０００３】すなわち、図７に示すように、一側面に磁
性膜（２’）とガラス膜（１１）をスパッタにより順次
被着形成したセラミック等の非磁性体からなる複数個の
角棒状の基板（１２）を、例えば、治具（１３）上に整
列保持して、押圧部材（１４）により整列方向に加圧
し、かつ、適宜の加熱手段により加熱溶融したガラス膜
（１１）によって、隣接する基板（１２）を接合し、図
８に示すように、各基板（１２）間にメタル層（２）を
形成する。次に、図８中の一点鎖線で示す位置で、接合
した各基板（１２）を長手方向に定ピッチにスライスし
てコアブロック（１５）を切出す。そして、図９に示す
ように、この切出された一対のコアブロック（１５）
（１５）の面（１６）（１６）をギャップスペーサとな
るＳｉＯ２等の非磁性体薄膜（図示せず）を介して突き
合せて接合一体化する。

【０００４】次に、巻線窓（Ａ）係止溝の形成後、この
一体化された一対のコアブロック（１５）（１５）を、
図９中の２点鎖線で示すようにその短手方向に沿って定
ピッチで、かつ、メタル層（２）と平行な方向でスライ
スして、メタル層（２）の部分を所定の厚さで含むよう
に、コアチップ（１）を切出す。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術によれば、
非磁性体である基板（１２）は角棒状であるため変形し
難い。このため基板（１２）に反り等があると、複数の
基板（１２）を整列させた際、基板（１２）間に隙間が
発生すると共に、上記治具（１３）により複数の基板
（１２）を整列方向に加圧しても、この基板（１２）間
の隙間を閉塞することができない。したがって、基板
（１２）を均一に接着することができず、接着強度が弱
く、メタル層（２）を介して接着した基板（１２）が剥
がれてしまうという問題があった。また、上記基板（１
２）は変形しにくいため、治具（１３）の加圧力が及ぶ
基板（１２）の個数に限界があり、このため一度の処理
で製造することができるコアチップ数が少なくなって、
コアチップの生産性が悪いという問題があった。

【０００６】さらに、上記構成のコアチップ（１）は、
メタル層（２）が媒体摺接面（５）の幅方向全域に渡っ
て形成されているため、コアチップ（１）により磁気ヘ
ッドを製造すると、媒体摺接面（５）のメタル層（２）
の幅寸法Ｌが大きくなり、このため磁気ヘッドのインダ
クタンスが高くなるという問題があった。

【０００７】本発明は、上記問題点に鑑み提案されたも
ので、一対のコアブロックの接着強度が強く、かつ、イ
ンダクタンスを低くすることができる磁気ヘッド及びそ
の製造方法を提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、請求項１の発明は、磁性材料からなるメタ
ル層を非磁性基板で挟み込んでなる一対のコアを、上記
メタル層を対向させて接合一体化し、その媒体摺接面に
磁気ギャップを形成したものにおいて、上記一対のコア
の媒体摺接面側の両側角部に切欠部を夫々形成し、この
切欠部に非磁性ブロックを嵌合固定したものである。

【０００９】また、請求項２の発明は、非磁性体からな
る複数の角棒状母基板の各長手側の一側端面に、角棒状
非磁性子基板を収納可能な複数の収納溝を櫛歯状に定ピ
ッチに形成すると共に、母基板の片側面に磁性膜及び溶
着用ガラス膜を積層被着する工程と、上記母基板を重ね
合わせ、その各収納溝に上記子基板を嵌合収納して、母
基板と子基板とを格子状に組合わせる工程と、上記子基
板上に溶着用ガラスを載置して母基板を加圧加熱して、
上記ガラス膜及びガラスを溶融させ、母基板同士を子基
板により連結して接合一体化する工程と、上記ガラスを
研磨除去したのち、母基板を長手方向に所定ピッチでス
ライスして、母基板の長手方向スライス面の片側角部に
スライスされた子基板が部分的に嵌合したコアブロック
を形成する工程とからなるものである。

【００１０】

【作用】請求項１の発明によれば、磁気ヘッドの媒体摺
接面に形成されるメタル層の幅寸法が狭くなり、インダ
クタンスが低くなる。

【００１１】また、請求項２の発明によれば、母基板に
収納溝を形成して櫛歯状にしたので、母基板は整列方向
に変形しやすくなり、しかも母基板は、母基板の収納溝
に格子状に組合せて嵌合された子基板で連結固定される
ので、各母基板の接着強度が強く、母基板は均一に接着
されて剥がれることがない。

【００１２】

【実施例】以下本発明の実施例を図１乃至図５を参照し
ながら説明すると次の通りである。

【００１３】図１において、（２１）は磁気ヘッドを構
成するコアチップで、このコアチップ（２１）は、磁性
材料からなるメタル層（２２）を非磁性基板（２３）
（２３）で挟み込んでなる一対のコア（２４）（２
４）、上記メタル層（２２）を対向させて接合一体化
し、その媒体摺接面（２５）に磁気ギャップを形成する
と共に、一対のコア（２４）（２４）の媒体摺接面（２
５）側の両側角部を切欠き、この切欠部（２６）（２
６’）に非磁性体からなる角棒状の連結ブロック（２
７）（２７’）をガラスを介して嵌合接着したもので、
一対のコア（２４）（２４）の各非磁性基板（２３）
（２３）は、メタル層（２２）と連結ブロック（２７）
（２７’）を介して接着固定される。

【００１４】上記コアチップ（２１）は、図２乃至図５
に示す要領で製造される。図２乃至図５において、（３
１）はセラミック等の非磁性体からなる複数本の角棒状
の子基板、（３２）はセラミック等の非磁性体からなる
複数本の角棒状の母基板で、各母基板（３２）の一側端
面に、子基板（３１）の収納用の複数の収納溝（３３）
を定ピッチに櫛歯状に形成して、収納溝（３３）間に凸
部（３４）を設けてある。

【００１５】そして、図２及び図３に示すように、一側
面に磁性膜（２２’）とガラス膜（３５）をスパッタに
より順次被着形成した母基板（３２）を整列保持すると
共に、各母基板（３２）の収納溝（３３）に子基板（３
１）を嵌入させることにより、複数の母基板（３２）と
複数の子基板（３１）を格子状に組み合わせる。

【００１６】このように組み合わせた状態の子基板（３
１）と母基板（３２）を、図３に示すように、治具（３
６）上に整列保持し、かつ、子基板（３１）上にガラス
（図示省略）を載置する。しかる後、上記子基板（３
１）及び母基板（３２）を加熱しながら、押圧部材（３
７）により母基板（３２）を整列方向に加圧する。する
と隣接する母基板（３２）が溶融したガラス膜（３５）
により溶着され、図４に示すように、母基板（３２）間
にメタル層（２２）が形成され、又子基板（３１）上に
載置したガラスが溶融して、母基板（３２）と子基板
（３１）との隙間にガラスが流し込まれ、子基板（３
１）は母基板（３２）に溶着固定されてウェーハ（３
８）が形成される。

【００１７】上記母基板（３２）の整列方向への加圧
時、母基板（３２）は、一面に定ピッチに収納溝（３
３）を形成してあるため、凸部（３４）が自由端とな
り、母基板（３２）の整列方向に変形しやすく、したが
って、隣接する母基板（３２）間に隙間があっても、治
具（３６）の加圧力によって母基板（３２）間の隙間は
閉塞され、隣接する母基板（３２）は確実、かつ、均一
に接着され、しかも、隣接する母基板（３２）は夫々子
基板（３１）によって接着されて連結固定されるので、
接着強度がきわめて強い。

【００１８】こうして母基板（３２）と子基板（３１）
を格子状の接着固定すると、図４の一点鎖線で示す位置
で、各子基板（３１）及び母基板（３２）の凸部（３
４）が左右に２分割されるように、母基板（３２）を長
手方向に定ピッチにスライスしてコアブロック（４１）
（４１’）を切出す。そして、図５に示すように、この
切出された一対のコアブロック（４１）（４１’）の面
（４２）（４２’）をギャップスペーサとなるＳｉＯ２
等の非磁性体薄膜（図示せず）を介して突き合せて接合
一体化する。

【００１９】次に、巻線窓（Ａ）の形成後、この一体化
された一対のコアブロック（４１）（４１’）を、図５
中の２点鎖線で示すようにその長手方向に定ピッチで、
かつ、メタル層（２２）と平行な方向でスライスして、
メタル層（２）の部分を所定の厚さで含むように、コア
チップ（２１）を切出す。

【００２０】このようにして切出されたコアチップ（２
１）は、媒体摺接面（２５）の両側がスライスされた子
基板により形成された連結ブロック（２７）（２７’）
で連結固定されており、メタル層（２２）は媒体摺接面
（２５）の略中央部にのみ露出して、その幅寸法Ｍが小
さくなるので、このコアチップ（２１）により磁気ヘッ
ドを製造すると、インダクタンスが低くなる。

【００２１】

【発明の効果】本発明によれば、母基板は整列方向に変
形しやすく、しかも子基板で連結固定された状態で接合
されるので、隣接する母基板を隙間なく接着することが
でき、母基板の接着強度が大幅に強くなる。したがっ
て、母基板同士が剥がれたりすることがないと共に、製
造時には、従来に比べて治具により多くの母基板を接着
することが可能となり、一度の処理で製造することがで
きるコアチップ数が多くなり、生産性が向上する。

【００２２】しかもコアチップの媒体摺接面のメタル層
の幅寸法が小さくなって、インダクタンスが低くなり、
コアチップの高性能化を達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ヘッドのコアチップの実施例を示
す斜視図。

【図２】本発明に係る製造方法の実施例を示す斜視説明
図。

【図３】母基板の加圧要領を示す側面図。

【図４】図２に示す子基板と母基板とを格子状に組合せ
て接着固定した状態を示す斜視図。

【図５】図４に示す子基板と母基板から切り出して接合
した一対のコアブロックを示す斜視図。

【図６】従来の磁気ヘッドのコアチップの斜視図。

【図７】基板の加圧要領を示す側面図。

【図８】従来の製造方法を示す斜視図。

【図９】図７に示す基板を切り出して接合した一対のコ
アブロックを示す斜視図。

【符号の説明】

２１ コアチップ ２２ メタル層 ２２’ 磁性膜 ２５ 媒体摺接面 ２６、２６’ 切欠部 ２７、２７’ 連結ブロック ３１ 子基板 ３２ 母基板 ３３ 収納溝 ３５ ガラス膜 ４１、４１’ コアブロック

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁性材料からなるメタル層を非磁性基板
   で挟み込んでなる一対のコアを、上記メタル層を対向さ
   せて接合一体化し、その媒体摺接面に磁気ギャップを形
   成したものにおいて、上記一対のコアの媒体摺接面側の
   両側角部に切欠部を夫々形成し、この切欠部に非磁性ブ
   ロックを嵌合固定したことを特徴とする磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 非磁性体からなる複数の角棒状母基板の
   各長手側の一側端面に、角棒状非磁性子基板を収納可能
   な複数の収納溝を櫛歯状に定ピッチに形成すると共に、
   母基板の片側面に磁性膜及び溶着用ガラス膜を積層被着
   する工程と、上記母基板を重ね合わせ、その各収納溝に
   上記子基板を嵌合収納して、母基板と子基板とを格子状
   に組合わせる工程と、上記子基板上に溶着用ガラスを載
   置して母基板を加圧加熱して、上記ガラス膜及びガラス
   を溶融させ、母基板同士を子基板により連結して接合一
   体化する工程と、上記ガラスを研磨除去したのち、母基
   板を長手方向に所定ピッチでスライスして、母基板の長
   手方向スライス面の片側角部にスライスされた子基板が
   部分的に嵌合したコアブロックを形成する工程とからな
   る磁気ヘッドの製造方法。