JPH06150812A - プラズマディスプレイ基板のパターン形成方法 - Google Patents
プラズマディスプレイ基板のパターン形成方法Info
- Publication number
- JPH06150812A JPH06150812A JP32378192A JP32378192A JPH06150812A JP H06150812 A JPH06150812 A JP H06150812A JP 32378192 A JP32378192 A JP 32378192A JP 32378192 A JP32378192 A JP 32378192A JP H06150812 A JPH06150812 A JP H06150812A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- paste
- underlayer
- glass substrate
- pattern
- plasma display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 スクリーン印刷によりガラス基板上に電極や
障壁をパターン形成する方法において、線幅が良好であ
るとともに、透過率の低下や剥離などの問題を発生する
ことないようにする。 【構成】 ガラス基板１上の有機高分子化合物からなる
下地層３を形成し、その上から電極又は障壁となるペー
スト４をスクリーン印刷によりパターン状に印刷した
後、続く焼成工程において下地層３を焼失させる。下地
層３がペースト４の線幅が拡大するのを防止する。ま
た、下地層３は最終的に焼失するのでガラス基板１の透
過率が維持され、かつペースト４で形成されたパターン
５がガラス基板１との間で剥離しない。
障壁をパターン形成する方法において、線幅が良好であ
るとともに、透過率の低下や剥離などの問題を発生する
ことないようにする。 【構成】 ガラス基板１上の有機高分子化合物からなる
下地層３を形成し、その上から電極又は障壁となるペー
スト４をスクリーン印刷によりパターン状に印刷した
後、続く焼成工程において下地層３を焼失させる。下地
層３がペースト４の線幅が拡大するのを防止する。ま
た、下地層３は最終的に焼失するのでガラス基板１の透
過率が維持され、かつペースト４で形成されたパターン
５がガラス基板１との間で剥離しない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スクリーン印刷による
パターン形成方法に係るものであり、特にプラズマディ
スプレイパネルの前面板や背面板となるガラス基板の上
に電極や障壁などを形成するためのプラズマディスプレ
イ基板のパターン形成方法に関するものである。
パターン形成方法に係るものであり、特にプラズマディ
スプレイパネルの前面板や背面板となるガラス基板の上
に電極や障壁などを形成するためのプラズマディスプレ
イ基板のパターン形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より基板上に厚膜のパターンを形成
する方法としてスクリーン印刷法が利用されている。例
えば、プラズマディスプレイパネルにおいては、前面板
や背面板となるガラス基板上に電極や障壁などのパター
ンを形成するのにこのスクリーン印刷法が利用されてい
る。そして、ガラス基板上にスクリーン印刷にてパター
ンを形成する場合、ガラス面に対して直接ペーストを印
刷する方法が最も一般的であるが、線幅の拡大を抑える
ためにガラスペーストによる下地層を設けその上に印刷
する方法も採られている。また、その他にも印刷時の形
状維持などのために、印刷するペースト自体にチクソト
ロピック性などの特性を付与したペーストを使用する方
法も採られている。
する方法としてスクリーン印刷法が利用されている。例
えば、プラズマディスプレイパネルにおいては、前面板
や背面板となるガラス基板上に電極や障壁などのパター
ンを形成するのにこのスクリーン印刷法が利用されてい
る。そして、ガラス基板上にスクリーン印刷にてパター
ンを形成する場合、ガラス面に対して直接ペーストを印
刷する方法が最も一般的であるが、線幅の拡大を抑える
ためにガラスペーストによる下地層を設けその上に印刷
する方法も採られている。また、その他にも印刷時の形
状維持などのために、印刷するペースト自体にチクソト
ロピック性などの特性を付与したペーストを使用する方
法も採られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の方法のうちガラス面に対して直接ペーストを印
刷する方法においては、線幅の拡大やパターンのニジミ
などの問題点がある。一方、ガラスペーストによる下地
層を設ける方法では、下地層により透過率が低下するた
め、後工程或いは製品となった時に悪影響を及ぼすこと
があり、使用できる範囲が限定されるという問題点があ
り、また電極材料などをその上から印刷する場合にあっ
ては、膨張係数の差による剥離や抵抗値の低下を招くと
いった問題点がある。また、印刷するペースト自体にチ
クソクロピック性などを付与する方法においても、印刷
適性の低下や抵抗値、透過度といった他の特性との関係
により、作製できるペーストの種類が限られたり或いは
効果が少ないといった問題点がある。
た従来の方法のうちガラス面に対して直接ペーストを印
刷する方法においては、線幅の拡大やパターンのニジミ
などの問題点がある。一方、ガラスペーストによる下地
層を設ける方法では、下地層により透過率が低下するた
め、後工程或いは製品となった時に悪影響を及ぼすこと
があり、使用できる範囲が限定されるという問題点があ
り、また電極材料などをその上から印刷する場合にあっ
ては、膨張係数の差による剥離や抵抗値の低下を招くと
いった問題点がある。また、印刷するペースト自体にチ
クソクロピック性などを付与する方法においても、印刷
適性の低下や抵抗値、透過度といった他の特性との関係
により、作製できるペーストの種類が限られたり或いは
効果が少ないといった問題点がある。
【０００４】本発明は、上記の如き問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、線幅精度が
良好で、透過率の低下や剥離などの問題を発生すること
のないプラズマディスプレイ基板のパターン形成方法を
提供することにある。
れたものであり、その目的とするところは、線幅精度が
良好で、透過率の低下や剥離などの問題を発生すること
のないプラズマディスプレイ基板のパターン形成方法を
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のプラズマディスプレイ基板のパターン形成
方法は、プラズマディスプレイパネルの前面板又は背面
板となるガラス基板の上に有機高分子化合物からなる下
地層を形成し、この下地層の上から電極又は障壁となる
ペーストをスクリーン印刷によりパターン状に印刷した
後、続く焼成工程において前記下地層を焼失させること
を特徴とするものである。
に、本発明のプラズマディスプレイ基板のパターン形成
方法は、プラズマディスプレイパネルの前面板又は背面
板となるガラス基板の上に有機高分子化合物からなる下
地層を形成し、この下地層の上から電極又は障壁となる
ペーストをスクリーン印刷によりパターン状に印刷した
後、続く焼成工程において前記下地層を焼失させること
を特徴とするものである。
【０００６】
【作用】上述の構成からなるパターン形成方法において
は、ガラス基板上に予め設けた有機高分子化合物からな
る下地層が、その上から印刷するペーストの線幅が拡大
するのを防止する役目を果たす。そして、その後の焼成
工程で下地層が焼失除去されることにより、ガラス基板
の透過率が維持され、かつペーストで形成されたパター
ンがガラス基板との間で剥離を起こすことがない。
は、ガラス基板上に予め設けた有機高分子化合物からな
る下地層が、その上から印刷するペーストの線幅が拡大
するのを防止する役目を果たす。そして、その後の焼成
工程で下地層が焼失除去されることにより、ガラス基板
の透過率が維持され、かつペーストで形成されたパター
ンがガラス基板との間で剥離を起こすことがない。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。
説明する。
【０００８】図１は本発明の一実施例を示す工程図であ
り、プラズマディスプレイパネルを構成する前面板の上
に電極を形成する工程を示したものである。
り、プラズマディスプレイパネルを構成する前面板の上
に電極を形成する工程を示したものである。
【０００９】まず、（ａ）に示すように、前面板となる
ガラス基板１上にエチルセルロース溶液からなる下地剤
２をスクリーン印刷により全面に印刷する。ここで使用
するエチルセルロース溶液は、エチルセルロース（ハー
キュレス社製、Ｎ−２００）の固形分が５ｗｔ％となる
ようにテルピネオールにて溶解したものであるが、テル
ピネオールの他にもブチルカルビトールアセテートを用
いてもよい。
ガラス基板１上にエチルセルロース溶液からなる下地剤
２をスクリーン印刷により全面に印刷する。ここで使用
するエチルセルロース溶液は、エチルセルロース（ハー
キュレス社製、Ｎ−２００）の固形分が５ｗｔ％となる
ようにテルピネオールにて溶解したものであるが、テル
ピネオールの他にもブチルカルビトールアセテートを用
いてもよい。
【００１０】その後、オーブンにて１７０℃で１５分間
の乾燥を行う。これにより印刷直後約１５μｍ程度の膜
厚が５０００〜８０００Å程度に減少し、（ｂ）に示す
ように基板１の上に下地層３が形成された。
の乾燥を行う。これにより印刷直後約１５μｍ程度の膜
厚が５０００〜８０００Å程度に減少し、（ｂ）に示す
ように基板１の上に下地層３が形成された。
【００１１】次いで、（ｃ）に示すように、下地層３の
上に電極となるペースト４により複数のストライプ状パ
ターンを、幅１００μｍ、膜厚１５μｍ、ピッチ０．５
ｍｍにて平行に形成する。本実施例では、コスト及び安
定性、抵抗値の面からニッケルペースト（Ｄｕｐｏｎｔ
製、品番９５３６Ｄ）を使用した。
上に電極となるペースト４により複数のストライプ状パ
ターンを、幅１００μｍ、膜厚１５μｍ、ピッチ０．５
ｍｍにて平行に形成する。本実施例では、コスト及び安
定性、抵抗値の面からニッケルペースト（Ｄｕｐｏｎｔ
製、品番９５３６Ｄ）を使用した。
【００１２】続いて、オーブンにて１７０℃で１５分間
乾燥させた後、焼成炉にてピーク温度５８０℃で３０分
間の焼成を行い、ペースト４中に含まれる有機分及び下
地層３であるエチルセルロースを焼失させて基板１上に
電極５を形成した。
乾燥させた後、焼成炉にてピーク温度５８０℃で３０分
間の焼成を行い、ペースト４中に含まれる有機分及び下
地層３であるエチルセルロースを焼失させて基板１上に
電極５を形成した。
【００１３】以上のようにして形成された電極５の線幅
を測定したところ、その平均線幅は１０５μｍであっ
た。一方、ガラス基板１に直接ペースト４を印刷した場
合では平均線幅が１８０μｍであった。
を測定したところ、その平均線幅は１０５μｍであっ
た。一方、ガラス基板１に直接ペースト４を印刷した場
合では平均線幅が１８０μｍであった。
【００１４】このように電極５を形成した後の線幅の拡
大はごく僅かであり、しかも透過率の低下及び剥離も見
られず良好なパターンが形成できた。
大はごく僅かであり、しかも透過率の低下及び剥離も見
られず良好なパターンが形成できた。
【００１５】なお、上記実施例では下地層の形成手段に
スクリーン印刷を用いたが、他にローラーコーター等の
手段を用いることも可能であることは言うまでもない。
スクリーン印刷を用いたが、他にローラーコーター等の
手段を用いることも可能であることは言うまでもない。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のプラズマ
ディスプレイ基板のパターン形成方法は、電極や障壁を
形成するガラス表面上に予め有機高分子化合物からなる
下地層を設け、その上にスクリーン印刷によりパターン
を形成し、続く焼成工程で下地層を焼失させるようにし
たので、線幅の拡大や透過率の低下及び剥離といった問
題を発生させることなく良好なパターン形成が可能とな
る。
ディスプレイ基板のパターン形成方法は、電極や障壁を
形成するガラス表面上に予め有機高分子化合物からなる
下地層を設け、その上にスクリーン印刷によりパターン
を形成し、続く焼成工程で下地層を焼失させるようにし
たので、線幅の拡大や透過率の低下及び剥離といった問
題を発生させることなく良好なパターン形成が可能とな
る。
【図１】本発明に係る厚膜パターン形成方法の一実施例
を示す工程図である。
を示す工程図である。
１ ガラス基板 ２ 下地剤 ３ 下地層 ４ ペースト ５ 電極
Claims (1)
- 【請求項１】 プラズマディスプレイパネルの前面板又
は背面板となるガラス基板の上に有機高分子化合物から
なる下地層を形成し、この下地層の上から電極又は障壁
となるペーストをスクリーン印刷によりパターン状に印
刷した後、続く焼成工程において前記下地層を焼失させ
ることを特徴とするプラズマディスプレイ基板のパター
ン形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32378192A JPH06150812A (ja) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | プラズマディスプレイ基板のパターン形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32378192A JPH06150812A (ja) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | プラズマディスプレイ基板のパターン形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06150812A true JPH06150812A (ja) | 1994-05-31 |
Family
ID=18158552
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32378192A Pending JPH06150812A (ja) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | プラズマディスプレイ基板のパターン形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06150812A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4880092A (en) * | 1988-01-14 | 1989-11-14 | Kabushiki Kaisha Tokai-Rika-Denki-Seisakusho | Transmission operating apparatus for automatic transmission |
| DE4430061B4 (de) * | 1994-08-22 | 2008-07-24 | Noritake Co., Ltd., Nagoya | Fluoreszenz-Anzeigeröhre und Verfahren zu deren Herstellung |
| CN103314452A (zh) * | 2011-02-04 | 2013-09-18 | 三菱电机株式会社 | 图案形成方法以及太阳能电池的制造方法 |
| JP2015111606A (ja) * | 2013-11-28 | 2015-06-18 | 株式会社ムラカミ | 太陽電池の製造方法 |
-
1992
- 1992-11-10 JP JP32378192A patent/JPH06150812A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4880092A (en) * | 1988-01-14 | 1989-11-14 | Kabushiki Kaisha Tokai-Rika-Denki-Seisakusho | Transmission operating apparatus for automatic transmission |
| DE4430061B4 (de) * | 1994-08-22 | 2008-07-24 | Noritake Co., Ltd., Nagoya | Fluoreszenz-Anzeigeröhre und Verfahren zu deren Herstellung |
| CN103314452A (zh) * | 2011-02-04 | 2013-09-18 | 三菱电机株式会社 | 图案形成方法以及太阳能电池的制造方法 |
| JP2015111606A (ja) * | 2013-11-28 | 2015-06-18 | 株式会社ムラカミ | 太陽電池の製造方法 |
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