JPH06182181A

JPH06182181A - 真空容器

Info

Publication number: JPH06182181A
Application number: JP35567992A
Authority: JP
Inventors: Noriyuki Takeuchi; 則行竹内; Takeshi Yoshioka; 毅吉岡
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 1992-12-18
Filing date: 1992-12-18
Publication date: 1994-07-05

Abstract

(57)【要約】【目的】真空容器の外側面に発熱層を形成することに
より、真空容器を加熱するための準備作業が不要とな
り、又、特別な加熱装置を必要としない真空容器を提供
する。【構成】真空容器本体１の外表面に薄膜状の発熱体２
を一体的に形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は真空容器に係り、半導体
製造プロセス、その他に使用される真空容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体を製造する過程でウエハは半導体
プロセス装置に搬入される前や、工程の途中で次の工程
を待つ間、ウエハ表面の酸化等を防止するために真空中
で保管されることが提案されている。このような保管手
段として、例えば真空状態に保たれた真空容器が使用さ
れる。これら真空容器は、高真空度を達成するためにベ
ーキングすることもあるが、この真空容器をベーキング
する場合、通常電熱方式で加熱する。この場合、例え
ば、発熱体を内蔵した可塑性シートを容器に巻付け、
更に場合によってはその外側より断熱材を巻付け、過熱
しないよう温度管理しながら行うか、真空容器全体を
第２の容器で覆い、この第２の容器内に発熱体を設け、
熱放射により加熱したり、又は、ファンを設けて対流に
より加熱する、といった方法が考えられる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
の方法では、容器を加熱する際の準備に手間が掛り過
ぎるという問題点があった。また前述のの方法では、
特別な加熱装置を製作したり、その設置場所が場合によ
っては限定されたり、大型容器の場合には装置そのもの
が大がかりになり過ぎ実用的ではないという問題点があ
る。

【０００４】本発明は上述の事情に鑑みなされたもの
で、真空容器の外側面に発熱体を形成することにより、
真空容器を加熱するための準備作業が不要となり、又、
特別な加熱装置を必要としない真空容器を提供すること
を目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため、本発明の真空容器は、基本構成として、真空容器
本体の外表面に薄膜状の発熱体を一体的に形成したこと
を特徴とする。そして発熱体としては、少なくとも電気
絶縁層と、電気絶縁層上に形成された通電によって発熱
する発熱層とを備えていることを特徴とし、この発熱体
を電極接触面とした。

【０００６】

【作用】前述した構成からなる本発明によれば、電極接
触面を介して発熱層に通電することにより、発熱層を発
熱させることができるため、真空容器を直接加熱するこ
とができ、真空容器のベーキングが可能となる。

【０００７】

【実施例】以下、本発明による真空容器の実施例を説明
する。（実施例１）真空容器は例えば、図１に示されるような
円形断面を有する真空容器本体１と、この真空容器本体
１の外周面に一体的に形成された発熱体２とから構成さ
れている。ただし、真空容器はこの例に限定されること
なく、例えば図４に示されるような四角（後述する）、
あるいはいかなる形状でもよい。次に発熱体２は、図２
（ａ）に示されるように、電気絶縁層４と、この電気絶
縁層上に形成された通電によって発熱する発熱層５とを
備えている。ただし、この例の場合には、この発熱層５
はその表面上のどこでも電極接触面１０となりうるが、
実際は図１に示されるように、一対の電極１１、１１を
電極接触面１０、１０に接触させて発熱層５に通電し、
発熱層５を発熱させて、真空容器本体１を加熱する。な
お、図２（ａ）では真空容器本体１の外周面と電気絶縁
層４との間に、金属層３を示している。この金属層３は
電気絶縁層４の剥離を防止する効果があるが、以下の実
施例では図示を省略した。

【０００８】（実施例２）また、発熱体２の構成として
は、図２（ｂ）に示されるように、電気絶縁層４と、電
気絶縁層上に形成された通電によって発熱する発熱層５
と、さらにこの発熱層上の一部分に形成された導電層６
とを備えている。この導電層６は電極の接触抵抗を減ら
す効果がある。ただし、これらの発熱層５および導電層
６はその表面上のどこでも電極接触面となりうるが、実
際は一対の導電層６を形成し、これを電極接触面１０、
１０となし、ここに図１に示されるように一対の電極１
１、１１を接触させて発熱層５に通電し、発熱層５を発
熱させて、真空容器本体１を加熱する。

【０００９】（実施例３）また発熱体２の構成として
は、図２（ｃ）に示されるように、電気絶縁層４と、こ
の電気絶縁層上に形成された通電によって発熱する発熱
層５と、この発熱層上に形成された断熱層７と、この断
熱層の一部分にこの断熱層を貫通して前記発熱層まで延
びる一対の導電層６とを備えている。この断熱層７は、
空気中への熱の放散を減らす効果がある。なおこの場
合、電極接触面１０は、導電層６の表面上となる。

【００１０】（実施例４）また発熱体２の構成として
は、図２（ｄ）に示されるように、電気絶縁層４と、こ
の電気絶縁層上に形成された通電によって発熱する発熱
層５と、さらにこの発熱層上に保護層８とを備えてい
る。この保護層８は発熱層自体の損傷や剥離を防ぐとと
もに、空気中の水分の発熱層への進入を減らし、電気抵
抗値を可能な限り一定値に保とうとする効果がある。な
おこの保護層８の一部分から一対の発熱層を露出させ、
これを電極接触面１０、１０としている。同様に図２
（ｅ）あるいは図２（ｆ）に示されるように、発熱層５
の上の保護層８、あるいは発熱層５の上の断熱層７と保
護層８とを貫通して前記発熱層まで延びる一対の導電層
６を備えて構成しても良い。

【００１１】（実施例５）つぎに電極の接続方法につい
ては、まず図３（ａ）に示されるように、電極接触面１
０とした発熱層または導電層に電極１１を固定し、この
固定電極に電線２０をつないで構成している。この場
合、電線２０は手でつないでも良いし、図３（ｂ）に示
されるように、この固定電極１１に電線２０をつないだ
平プラグ２１を手動または自動で押し当てても良い。な
お固定電極１１及びプラグ２１の形状については、図３
（ｃ）に示されるように凸プラグ２１としても良く、あ
るいは図３（ｄ）に示されるように凹プラグ２１として
も良く、さらには相互に確実に接触できる形状ならば、
その形状はなんでも良い。

【００１２】（実施例６）電極の接続方法については、
図３（ｅ）に示されるように、電線２０を接続した可動
電極１１を直接電極接触面１０に手動または自動で押し
当てても良い。

【００１３】（実施例７）実施例５および６の変形例と
して、図３（ｆ）に示されるように、電極１１となる部
分を差別化した形状となし、この形状部分も含めて電気
絶縁層、発熱層、導電層を形成し、ここに直接電線２０
を接続しても良い。この例では凸型状としたが、凹でも
良く穴でも良く、さらには電線を確実に接続できる形状
ならば、その形状は何でも良い。

【００１４】（実施例８）さらに実施例５および６の変
形例として、図３（ｇ）に示されるように、下地となる
真空容器自体の電極となる部分を差別化した形状とな
し、この形状部分も含めて電気絶縁層、発熱層、導電層
を形成し、ここに導電体からなる凹状の固定電極１１を
とりつけ、電線２０を接続した着脱自在な凸プラグ２１
を手動または自動で押し当てても良い。なお、固定電極
１１の形状については、図３（ｈ）に示されるように凸
形状としても良く、さらには相互に確実に接触できる形
状ならば、その形状は何でも良い。

【００１５】次に、本発明に係る真空容器の他の実施例
を図４に示し説明する。図４は本発明を多角形容器に適
用した例を示す図である。即ち、多角形の真空容器本体
１上に発熱体２が設置されている。発熱体２の構造は図
２及び図３に示したものと全く同様であるため、その説
明は省略する。本実施例においては、電極１１，１１を
接触させるための電極接触面１０，１０が容器本体１の
一側面に形成されている。その他の構成は図１乃至図３
に示した実施例と同様であるため、その説明は省略す
る。

【００１６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
真空容器に発熱体を一体形成し、この発熱体に電極接触
面を介して通電を行うようにしたため、真空容器を加熱
するための準備作業が不要となり、また、特別な加熱装
置を必要としない。しかも、電源さえあれば、任意の時
及び場所で真空容器を加熱することができる。

【００１７】また、本発明によれば、真空容器に薄膜の
発熱層を形成しこの発熱層をサンドイッチするように薄
膜の絶縁層及び導電層を形成しただけであるため、持ち
運びを前提とした小型真空容器の場合、重量の点で重く
ならないし形状の点でも大きくならない。また、真空容
器をそのまま洗浄することもできる。

【００１８】さらに、本発明によれば、真空容器に直接
に発熱層が形成されているため、目標温度までの加熱立
ち上がり時間の短縮を図ることができ、また、発熱体が
容器に組み込まれた形であるため、供給エネルギーの９
０％以上を容器の加熱に変換することができ、熱効率が
非常によい。また寿命も他の電熱方式に比べてきわめて
長い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る真空容器の一実施例を示す断面図
である。

【図２】本発明に係る真空容器の要部拡大断面図であ
る。

【図３】本発明に係る真空容器の要部拡大断面図であ
る。

【図４】本発明に係る真空容器の他の実施例を示す断面
図である。

【符号の説明】

１真空容器本体２発熱体３金属層４絶縁層５発熱層６導電層７断熱層８保護層１０電極接触面１１電極２０電線

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空容器本体の外表面に薄膜状の発熱体
を一体的に形成したことを特徴とする真空容器。
【請求項２】少なくとも電気絶縁層と、電気絶縁層上
に形成された通電によって発熱する発熱層とを備えた発
熱体を、真空容器本体の外表面に一体的に形成し、前記
発熱体を電極接触面としたことを特徴とする請求項１記
載の真空容器。