JPH0620126B2 - ゲ−トタ−ンオフサイリスタの制御回路 - Google Patents
ゲ−トタ−ンオフサイリスタの制御回路Info
- Publication number
- JPH0620126B2 JPH0620126B2 JP59068656A JP6865684A JPH0620126B2 JP H0620126 B2 JPH0620126 B2 JP H0620126B2 JP 59068656 A JP59068656 A JP 59068656A JP 6865684 A JP6865684 A JP 6865684A JP H0620126 B2 JPH0620126 B2 JP H0620126B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gto
- auxiliary
- gate
- main
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D18/00—Thyristors
Landscapes
- Thyristors (AREA)
- Thyristor Switches And Gates (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明はゲートターンオフサイリスタの制御回路に関す
る。
る。
(従来技術と問題点) ゲートターンオフサイリスタ(以下GTOと称す)は一
般に点弧電流が大きいのでゲート回路が大型になる欠点
がある。例えば耐圧2500(V)。遮断電流1000(A)
のGTOをオフさせる(負荷電流1000A流れている
とする)には約300(A)のオフゲート電流を流す必要
があるが、GTOのターンオフ時間が約10(μsec)
と短いので問題はない。しかし前記GTOをオンさせる
には、約30〜50(A)のオンゲート電流をGTOの接
合面全域がオン状態になるまでの長い時間流し続ける必
要がある。この為オンゲート回路が非常に大型になる等
の問題があつた。このような問題を解決する為に従来
は、例えば第1図に示すような制御回路が用いられてい
た。第1図において、主GTO1をオフするには、ゲー
ト制御用電源回路12のスイツチ6をオフ、スイツチ8を
オンさせて、オフゲート用直流電源7から主GTO1の
カソード、ゲート→ダイオード4→スイツチ8→直流電
源7のループを通してオフゲート電流を供給すれば良
い。主GTO1をオンするには、ゲート制御用電源回路
12のスイツチ8をオフ、スイツチ6をオンさせてオンゲ
ート用直流電源5からスイツチ6を介して補助GTO2
のゲートにオンゲート電流を供給し、まず補助GTO2
をターンオンさせる。この時補助GTO2に流れる主電
流が増幅ゲート電流として抵抗3を介して主GTO1の
ゲートに供給されることによつて主GTO1はターンオ
ンする。このように構成された制御回路は、補助GTO
に流れる主電流を増幅ゲート電流として主GTO1に供
給するので、補助GTO2のオンゲート電流はわずか約
1(A)程度で済む。この為制御用電源回路12の構成を小
形化、簡略化できる。しかしながら第1図の回路におい
てPWM制御の如くオン,オフ制御を頻繁に行なうと、
次のような問題が生じる。すなわち、補助GTO2にオ
ンゲート電流を供給した直後(例えば10〜15μsec
後)に主GTO1にオフゲート電流を供給すると、オフ
ゲート用直流電源7の電圧が主GTO1のカソード接合
によつて阻止されるので、補助GTO2のカード接合を
逆バイアスすることができない。この為補助GTO2は
ターンオフできないので、該GTO2に大電流が流れ続
け、この結果補助GTO2は破壊されてしまう。ここで
補助GTO2を確実に逆バイアスさせるには、抵抗3の
値を大きくしておき、補助GTO2の主電流が補助GT
O2のアノード、カソード、抵抗33ダイオード4およ
び直流電源7を通して流れることによって前記抵抗3に
生ずる電圧降下を利用する方法がある。しかしこの方法
のように抵抗3の値を大きくすると、主GTO1のオン
ゲード電流を必要なだけ充分供給することができなくな
る等の問題があつた。
般に点弧電流が大きいのでゲート回路が大型になる欠点
がある。例えば耐圧2500(V)。遮断電流1000(A)
のGTOをオフさせる(負荷電流1000A流れている
とする)には約300(A)のオフゲート電流を流す必要
があるが、GTOのターンオフ時間が約10(μsec)
と短いので問題はない。しかし前記GTOをオンさせる
には、約30〜50(A)のオンゲート電流をGTOの接
合面全域がオン状態になるまでの長い時間流し続ける必
要がある。この為オンゲート回路が非常に大型になる等
の問題があつた。このような問題を解決する為に従来
は、例えば第1図に示すような制御回路が用いられてい
た。第1図において、主GTO1をオフするには、ゲー
ト制御用電源回路12のスイツチ6をオフ、スイツチ8を
オンさせて、オフゲート用直流電源7から主GTO1の
カソード、ゲート→ダイオード4→スイツチ8→直流電
源7のループを通してオフゲート電流を供給すれば良
い。主GTO1をオンするには、ゲート制御用電源回路
12のスイツチ8をオフ、スイツチ6をオンさせてオンゲ
ート用直流電源5からスイツチ6を介して補助GTO2
のゲートにオンゲート電流を供給し、まず補助GTO2
をターンオンさせる。この時補助GTO2に流れる主電
流が増幅ゲート電流として抵抗3を介して主GTO1の
ゲートに供給されることによつて主GTO1はターンオ
ンする。このように構成された制御回路は、補助GTO
に流れる主電流を増幅ゲート電流として主GTO1に供
給するので、補助GTO2のオンゲート電流はわずか約
1(A)程度で済む。この為制御用電源回路12の構成を小
形化、簡略化できる。しかしながら第1図の回路におい
てPWM制御の如くオン,オフ制御を頻繁に行なうと、
次のような問題が生じる。すなわち、補助GTO2にオ
ンゲート電流を供給した直後(例えば10〜15μsec
後)に主GTO1にオフゲート電流を供給すると、オフ
ゲート用直流電源7の電圧が主GTO1のカソード接合
によつて阻止されるので、補助GTO2のカード接合を
逆バイアスすることができない。この為補助GTO2は
ターンオフできないので、該GTO2に大電流が流れ続
け、この結果補助GTO2は破壊されてしまう。ここで
補助GTO2を確実に逆バイアスさせるには、抵抗3の
値を大きくしておき、補助GTO2の主電流が補助GT
O2のアノード、カソード、抵抗33ダイオード4およ
び直流電源7を通して流れることによって前記抵抗3に
生ずる電圧降下を利用する方法がある。しかしこの方法
のように抵抗3の値を大きくすると、主GTO1のオン
ゲード電流を必要なだけ充分供給することができなくな
る等の問題があつた。
上述のような問題を解消する為に第2図および第3図に
示すような制御回路を提案されている。第2図は特開昭
58−118147号公報に記載されている回路であ
り、主GTO1のオフゲート電流供給用の直流電源7,
補助GTO2のオンゲート電流供給用の直流電源5の他
に補助GTO2のオフゲート電流供給用の直流電源9を
別個に設けている。この為装置全体の価格が高騰してし
まう欠点があつた。また、第3図は特開昭58−101
461号公報に記載されている回路であり、前記第1図
に示す回路の補助GTO2をトランジスタ11に置き換え
ている。この為トランジスタ11の耐圧を高くする必要が
あり、コスト高となつてしまう。
示すような制御回路を提案されている。第2図は特開昭
58−118147号公報に記載されている回路であ
り、主GTO1のオフゲート電流供給用の直流電源7,
補助GTO2のオンゲート電流供給用の直流電源5の他
に補助GTO2のオフゲート電流供給用の直流電源9を
別個に設けている。この為装置全体の価格が高騰してし
まう欠点があつた。また、第3図は特開昭58−101
461号公報に記載されている回路であり、前記第1図
に示す回路の補助GTO2をトランジスタ11に置き換え
ている。この為トランジスタ11の耐圧を高くする必要が
あり、コスト高となつてしまう。
(発明の目的) 本発明は上記の点に鑑みなされたもので、主GTOおよ
び補助GTOのオン、オフ制御を確実に行なうことがで
きるとともに、PWM制御の如くオン、オフ制御を頻繁
に行なつてもターンオフ失敗によつて補助GTOが破壊
されないゲートターンオフサイリスタの制御回路を提供
することを目的としている。
び補助GTOのオン、オフ制御を確実に行なうことがで
きるとともに、PWM制御の如くオン、オフ制御を頻繁
に行なつてもターンオフ失敗によつて補助GTOが破壊
されないゲートターンオフサイリスタの制御回路を提供
することを目的としている。
(発明の概要) 本発明は主GTOのゲートと補助GTOのカソードとの
間にスイツチング制御素子を介挿し、該スイツチング制
御素子の制御端子を補助GTOのゲートに共通接続した
ことを特徴としている。
間にスイツチング制御素子を介挿し、該スイツチング制
御素子の制御端子を補助GTOのゲートに共通接続した
ことを特徴としている。
(実施例) 以下、図面を参照しながら本発明の一実施例を説明す
る。第4図において、21は主GTOである。主GTO21
のカソード−ゲード間には図示極性の過電圧保護用ツエ
ナーダイオード22およびダイオード23が直列に接続され
ている。24はアノードが主GTO21のアノードに接続さ
れた補助GTOである。この補助GTO24のカソードは
スイツチング制御素子、例えば電界効果トランジスタ25
のドレインに接続されている。この電界効果トランジス
タ25は電力消費の少ない例えばMOSFETを用い、そのソー
スは主GTO21のゲートに接続されている。電界効果ト
ランジスタ25のドレイン−ソース間には該トランジスタ
25を保護する為の図示極性のツエナーダイオード26が接
続されている。主GTO21のゲートにはダイオード27の
アノードが接続されている。このダイオード27のカソー
ド、前記電界効果トランジスタ25のゲートおよび補助G
TO24のゲートは一括してゲート端子Gに接続されてい
る。前記主GTO21のカソードとツエナーダイオード22
の共通接続点28は補助ゲート端子GKに接続されてい
る。この補助ゲート端子GKと前記ゲート端子Gの間に
は、図示極性の直流電源7およびスイッチ8から成る直
列回路と図示極性の直流電源5およびスイツチ6から成
る直列回路とを並列接続して成るゲート制御用電源回路
12が接続されている。尚、図中Kは外部カソード端子、
Aは外部アノード端子を各々示す。上記の回路を補助G
TO24と同一ウエハ上に設けると第5図に示す如く構成
される。第5図において第4図と同一部分は同一符号を
持って示し、その説明は省略する。補助GTO24はP1 N
1 P2 N3層から成り、このP2層の中央部の表面には補
助GTOのゲート電極31が設けられている。このゲート
電極31の同心円上のN3層表面には補助GTOのカソー
ド電極32が設けられている。主GTO21は前記補助GT
O24と同一ウエハ上に設けられたP1 N1 P2 N2層から成
る。前記補助GTO24のゲート電極31に対して同心円上
のP2層表面には主GTOのゲート電極33a,33bが図示
の如く設けられている。前記補助GTO24のゲート電極
31に対して同心円上のN2層表面には主GTOのカソー
ド電極34が設けられている。前記N2層およびN3層は
幅狭の短冊形状に形成されるものとする。尚第4図に示
すツエナーダイオード22,26およびダイオード23は第5
図では図示省略している。また、ゲート端子Gと補助ゲ
ート端子GKの間にはゲート制御用電極回路12が接続さ
れる(図示省略)ものとする。
る。第4図において、21は主GTOである。主GTO21
のカソード−ゲード間には図示極性の過電圧保護用ツエ
ナーダイオード22およびダイオード23が直列に接続され
ている。24はアノードが主GTO21のアノードに接続さ
れた補助GTOである。この補助GTO24のカソードは
スイツチング制御素子、例えば電界効果トランジスタ25
のドレインに接続されている。この電界効果トランジス
タ25は電力消費の少ない例えばMOSFETを用い、そのソー
スは主GTO21のゲートに接続されている。電界効果ト
ランジスタ25のドレイン−ソース間には該トランジスタ
25を保護する為の図示極性のツエナーダイオード26が接
続されている。主GTO21のゲートにはダイオード27の
アノードが接続されている。このダイオード27のカソー
ド、前記電界効果トランジスタ25のゲートおよび補助G
TO24のゲートは一括してゲート端子Gに接続されてい
る。前記主GTO21のカソードとツエナーダイオード22
の共通接続点28は補助ゲート端子GKに接続されてい
る。この補助ゲート端子GKと前記ゲート端子Gの間に
は、図示極性の直流電源7およびスイッチ8から成る直
列回路と図示極性の直流電源5およびスイツチ6から成
る直列回路とを並列接続して成るゲート制御用電源回路
12が接続されている。尚、図中Kは外部カソード端子、
Aは外部アノード端子を各々示す。上記の回路を補助G
TO24と同一ウエハ上に設けると第5図に示す如く構成
される。第5図において第4図と同一部分は同一符号を
持って示し、その説明は省略する。補助GTO24はP1 N
1 P2 N3層から成り、このP2層の中央部の表面には補
助GTOのゲート電極31が設けられている。このゲート
電極31の同心円上のN3層表面には補助GTOのカソー
ド電極32が設けられている。主GTO21は前記補助GT
O24と同一ウエハ上に設けられたP1 N1 P2 N2層から成
る。前記補助GTO24のゲート電極31に対して同心円上
のP2層表面には主GTOのゲート電極33a,33bが図示
の如く設けられている。前記補助GTO24のゲート電極
31に対して同心円上のN2層表面には主GTOのカソー
ド電極34が設けられている。前記N2層およびN3層は
幅狭の短冊形状に形成されるものとする。尚第4図に示
すツエナーダイオード22,26およびダイオード23は第5
図では図示省略している。また、ゲート端子Gと補助ゲ
ート端子GKの間にはゲート制御用電極回路12が接続さ
れる(図示省略)ものとする。
次に上記のように構成された回路の動作を述べる。主G
TO21のアノード側が正電位であるとき、この主GT21
をターンオンさせるには、まずゲート制御用電源回路12
のスイツチ8をオフ、スイツチ6をオンさせる。すると
直流電源5からスイツチ6を介して電界効果トランジス
タ25にオンゲート電圧が印加されるとともに補助GTO
24にオンゲート電流が流れるので、前記電界効果トラン
ジスタ25および補助GTO24はターンオンする。これに
よつて保護GTO24を通して流れる主電流が電界効果ト
ランジスタ25のドレイン、ソースを介して主GTO21の
ゲートに供給される。このとき電界効果トランジスタ25
で発生する電圧降下分が主GTO21に印加され、ゲート
電流は増幅されて主GTO21のゲートに流れる。これに
よつて主GTO21がターンオンする。このように主GT
O21がターンオンすると前記電界効果トランジスタ25お
よび補助GTO24にオンゲート電流が流れていても主電
流は補助GTO24および電界効果トランジスタ25には流
れず主GTO21に流れる(主GTO21のアノード、カソ
ード間電圧が低いため)。この為補助GTO24および電
界効果トランジスタ25の電流容量は小さくて済む。ま
た、電界効果トランジスタ25の耐圧は10〜50V程度
の低いもので良い。
TO21のアノード側が正電位であるとき、この主GT21
をターンオンさせるには、まずゲート制御用電源回路12
のスイツチ8をオフ、スイツチ6をオンさせる。すると
直流電源5からスイツチ6を介して電界効果トランジス
タ25にオンゲート電圧が印加されるとともに補助GTO
24にオンゲート電流が流れるので、前記電界効果トラン
ジスタ25および補助GTO24はターンオンする。これに
よつて保護GTO24を通して流れる主電流が電界効果ト
ランジスタ25のドレイン、ソースを介して主GTO21の
ゲートに供給される。このとき電界効果トランジスタ25
で発生する電圧降下分が主GTO21に印加され、ゲート
電流は増幅されて主GTO21のゲートに流れる。これに
よつて主GTO21がターンオンする。このように主GT
O21がターンオンすると前記電界効果トランジスタ25お
よび補助GTO24にオンゲート電流が流れていても主電
流は補助GTO24および電界効果トランジスタ25には流
れず主GTO21に流れる(主GTO21のアノード、カソ
ード間電圧が低いため)。この為補助GTO24および電
界効果トランジスタ25の電流容量は小さくて済む。ま
た、電界効果トランジスタ25の耐圧は10〜50V程度
の低いもので良い。
次に主GTO21をターンオフさせるには、まずスイツチ
6をオフして補助GTO24および電界効果トランジスタ
25へのオンゲート電流供給を停止させる。この時主電流
は主GTO21のアノード、カソード間に流れているの
で、補助GTO24はターンオフする。次にスチツチ8を
オンして直流電源7の出力電圧を主GTO21のカソード
に逆バイアス電圧として印加すれば、主GTO21はター
ンオフする。このとき直流電源7の出力電圧はツエナー
ダイオード26のアノード、カソードを介して低い値では
あるが補助GTO24のカソードに逆バイアス電圧として
印加される。この為補助GTO24のターンオフをより確
実にするものである。
6をオフして補助GTO24および電界効果トランジスタ
25へのオンゲート電流供給を停止させる。この時主電流
は主GTO21のアノード、カソード間に流れているの
で、補助GTO24はターンオフする。次にスチツチ8を
オンして直流電源7の出力電圧を主GTO21のカソード
に逆バイアス電圧として印加すれば、主GTO21はター
ンオフする。このとき直流電源7の出力電圧はツエナー
ダイオード26のアノード、カソードを介して低い値では
あるが補助GTO24のカソードに逆バイアス電圧として
印加される。この為補助GTO24のターンオフをより確
実にするものである。
次にPWM制御の如くオン、オフ制御を頻繁に高速度で
行なう場合、例えば補助GTO24および電界効果トラン
ジスタ25のオンゲート電流を供給した直後(主GTO21
が未だターンオンしていない時)にオフゲート電流を供
給する場合について説明する。いまスイツチ6をオフ、
スイツチ8をオンしたときの過渡期において、電界効果
トランジスタ25はオフ、補助GTO24はオンしている。
この為補助GTO24の電流は補助GTO24のゲート→ゲ
ート端子G→スイツチ8→直流電源7→外部カソード端
子Kへと流れる。これによつて補助GTO24のカソード
接合が逆バイアスされるので、補助GTO24はターンオ
フへ移行する。この時主GTO21のカソードにも直流電
源7の出力電圧が逆バイアス電圧として印加されるの
で、主GTO21もターンオフする。
行なう場合、例えば補助GTO24および電界効果トラン
ジスタ25のオンゲート電流を供給した直後(主GTO21
が未だターンオンしていない時)にオフゲート電流を供
給する場合について説明する。いまスイツチ6をオフ、
スイツチ8をオンしたときの過渡期において、電界効果
トランジスタ25はオフ、補助GTO24はオンしている。
この為補助GTO24の電流は補助GTO24のゲート→ゲ
ート端子G→スイツチ8→直流電源7→外部カソード端
子Kへと流れる。これによつて補助GTO24のカソード
接合が逆バイアスされるので、補助GTO24はターンオ
フへ移行する。この時主GTO21のカソードにも直流電
源7の出力電圧が逆バイアス電圧として印加されるの
で、主GTO21もターンオフする。
尚、前記スイツチング制御素子は電界効果トランジスタ
に限らず自己消弧形の他のスイツチング素子を用いても
良い。
に限らず自己消弧形の他のスイツチング素子を用いても
良い。
(発明の効果) 以上のように本発明によれば、主GTOのゲートと補助
GTOのカソードとの間にスイツチング制御素子を介挿
し、該スイツチング制御素子の制御端子を補助GTOの
ゲートに共通接続したので、主GTOおよび補助GTO
を確実にオン、オフ制御できる。また、PWM制御の如
くオン、オフ制御を頻繁に行なつても補助GTOを確実
に逆バイアスできるのでターンオフ失敗は発生しない。
この為補助GOTおよびスイツチング制御素子の容量を
小さくすることができ回路全体の価格を低廉価できる。
さらに制御電源の電圧がスイツチング制御素子に印加さ
れる時間は短かいので、スイツチング制御素子の耐圧を
低くすることができ、これによつてコストを低くするこ
とができる等の効果が得られる。
GTOのカソードとの間にスイツチング制御素子を介挿
し、該スイツチング制御素子の制御端子を補助GTOの
ゲートに共通接続したので、主GTOおよび補助GTO
を確実にオン、オフ制御できる。また、PWM制御の如
くオン、オフ制御を頻繁に行なつても補助GTOを確実
に逆バイアスできるのでターンオフ失敗は発生しない。
この為補助GOTおよびスイツチング制御素子の容量を
小さくすることができ回路全体の価格を低廉価できる。
さらに制御電源の電圧がスイツチング制御素子に印加さ
れる時間は短かいので、スイツチング制御素子の耐圧を
低くすることができ、これによつてコストを低くするこ
とができる等の効果が得られる。
第1図〜第3図は各々従来の制御装置を示す回路図、第
4図および第5図は本発明の一実施例を示し、第4図は
回路図、第5図は主GTOと補助GTOを同一ウエハ上
に形成した場合の一部断面図である。 5,7……直流電源、6,8……スイツチ、12……ゲー
ト制御用電源回路、21……主GTO、22,26……ツエナ
ー ダイオード、23,27……ダイオード、24……補助G
TO、25……電界効果トランジスタ、31……補助GTO
のゲート電極、32……補助GTOのカソード電極33a,
33b……主GTOのゲート電極、34……主GTOのカソ
ード電極。
4図および第5図は本発明の一実施例を示し、第4図は
回路図、第5図は主GTOと補助GTOを同一ウエハ上
に形成した場合の一部断面図である。 5,7……直流電源、6,8……スイツチ、12……ゲー
ト制御用電源回路、21……主GTO、22,26……ツエナ
ー ダイオード、23,27……ダイオード、24……補助G
TO、25……電界効果トランジスタ、31……補助GTO
のゲート電極、32……補助GTOのカソード電極33a,
33b……主GTOのゲート電極、34……主GTOのカソ
ード電極。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H03K 17/725 D 9383−5J 17/73 17/732 9383−5J H03K 17/73 E
Claims (1)
- 【請求項1】P1N1P2N3層から成る補助GTO
と、この補助GTOと同一ウエハ上に設けられ且つP1
N1P2N2層から成る主GTOと、前記ウエハの中央
部の前記P2層表面に設けられ且つ制御電源からのオン
ゲート電流が供給される補助GTOのゲート電極と、こ
の電極に対して同心円上であるとともに前記N3層表面
に設けられた補助GTOのカソード電極と、前記補助G
TOのゲート電極に対して同心円上であるとともに前記
N3層から所定距離隔てた外周の前記P2層表面に設け
られた主GTOのゲート電極と、前記補助GTOのゲー
ト電極に対して同心円上であるとともに、前記N2層表
面に設けられ且つ制御電源からのオフゲート電流が供給
される主GTOのカソード電極と、アノードを前記主G
TOのゲート電極に接続するとともにカソードを前記補
助GTOのゲート電極に接続したダイオードとを備えた
増幅ゲート構造のGTOにおいて、前記補助GTOのカ
ソード電極と前記主GTOのゲート電極との間に、制御
端子が前記補助GTOのゲート電極に共通接続されるス
イツチング制御素子を介挿したことを特徴とするゲート
ターンオフサイリスタの制御回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59068656A JPH0620126B2 (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | ゲ−トタ−ンオフサイリスタの制御回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59068656A JPH0620126B2 (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | ゲ−トタ−ンオフサイリスタの制御回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60211981A JPS60211981A (ja) | 1985-10-24 |
| JPH0620126B2 true JPH0620126B2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=13379959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59068656A Expired - Lifetime JPH0620126B2 (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | ゲ−トタ−ンオフサイリスタの制御回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0620126B2 (ja) |
-
1984
- 1984-04-06 JP JP59068656A patent/JPH0620126B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60211981A (ja) | 1985-10-24 |
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