JPS60211981A - ゲ−トタ−ンオフサイリスタの制御回路 - Google Patents
ゲ−トタ−ンオフサイリスタの制御回路Info
- Publication number
- JPS60211981A JPS60211981A JP59068656A JP6865684A JPS60211981A JP S60211981 A JPS60211981 A JP S60211981A JP 59068656 A JP59068656 A JP 59068656A JP 6865684 A JP6865684 A JP 6865684A JP S60211981 A JPS60211981 A JP S60211981A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gto
- auxiliary
- gate
- main
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D18/00—Thyristors
Landscapes
- Thyristors (AREA)
- Thyristor Switches And Gates (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(技術分野)
本発明はゲートターンオフサイリスタの制御回路に関す
る。
る。
(従来技術と問題点)
ゲートターンオフサイリスタ(以下GTOと称す)は一
般に点弧電流が大きい“のでゲート回路が大型になる欠
点がある。例えば耐圧2500(v)。
般に点弧電流が大きい“のでゲート回路が大型になる欠
点がある。例えば耐圧2500(v)。
遮断電流1000 (A)のGTO’iオフさせる(負
荷電流1000A流れているとする)には約800(4
)のオフゲート電流を流す必要があるが、GTOのター
ンオフ時間が約10(μ就)と短いので問題はない。し
かし前記GTOをオンさせるには、約80〜50(A)
のオンゲート電流i、GToの接合面全域がオン状態に
なるまでの長い時間流し続ける必要がある。この為オン
ゲート回路が非常に大型になる等の問題があった。この
ような問題を解決する為に従来は、例えば第1図に示す
ような制御回路が用いられてい念。第1図において、主
GTo/’iオフするには、ゲート制御用電源回路lコ
のスイッチ6をオフ、スイッチざをオンさせて、オフゲ
ート用直流電源7から主GTO/のカソード、ゲート−
+ダイオード弘→スイッチ♂→直流電源7のループを通
してオフゲート電流を供給すれば良い。主GTO/’i
オンするKは、ゲート制御を介して補助GTO2のゲー
トにオンゲート電流を供給し、まず補助GTO2fター
ンオンさせる。
荷電流1000A流れているとする)には約800(4
)のオフゲート電流を流す必要があるが、GTOのター
ンオフ時間が約10(μ就)と短いので問題はない。し
かし前記GTOをオンさせるには、約80〜50(A)
のオンゲート電流i、GToの接合面全域がオン状態に
なるまでの長い時間流し続ける必要がある。この為オン
ゲート回路が非常に大型になる等の問題があった。この
ような問題を解決する為に従来は、例えば第1図に示す
ような制御回路が用いられてい念。第1図において、主
GTo/’iオフするには、ゲート制御用電源回路lコ
のスイッチ6をオフ、スイッチざをオンさせて、オフゲ
ート用直流電源7から主GTO/のカソード、ゲート−
+ダイオード弘→スイッチ♂→直流電源7のループを通
してオフゲート電流を供給すれば良い。主GTO/’i
オンするKは、ゲート制御を介して補助GTO2のゲー
トにオンゲート電流を供給し、まず補助GTO2fター
ンオンさせる。
この時補助GT0.2に流れる主電流が増幅ゲート電流
として抵抗3を介して主GTO/のゲートに供給される
ことによって主G T O/ !dターンオンする。こ
のように構成された制御回路+d、補助GTOに流れる
主電流全増幅ゲート電流として主GTo/に供給するの
で、補助0TO2のオンゲート電流はわずか約1(A)
程度で済む。この為制御用電源回路12の構成を小形化
、簡略化できる。しかしながら第1図の回路においてミ
PWM制御の如くオン、オフ制御を頻繁に行なうと、次
のような開端が生じる。すなわち、補助GT0.2にオ
ンゲート電流を供給しt直後(例えば10〜15μ冠後
)に主GTO/にオフゲート’を流分供給すると、オフ
ゲート用直流電源7の電圧が主GTO/のカソード接合
によって阻止されるので、補助GTOコのカード接合を
逆バイアスすることができない。
として抵抗3を介して主GTO/のゲートに供給される
ことによって主G T O/ !dターンオンする。こ
のように構成された制御回路+d、補助GTOに流れる
主電流全増幅ゲート電流として主GTo/に供給するの
で、補助0TO2のオンゲート電流はわずか約1(A)
程度で済む。この為制御用電源回路12の構成を小形化
、簡略化できる。しかしながら第1図の回路においてミ
PWM制御の如くオン、オフ制御を頻繁に行なうと、次
のような開端が生じる。すなわち、補助GT0.2にオ
ンゲート電流を供給しt直後(例えば10〜15μ冠後
)に主GTO/にオフゲート’を流分供給すると、オフ
ゲート用直流電源7の電圧が主GTO/のカソード接合
によって阻止されるので、補助GTOコのカード接合を
逆バイアスすることができない。
この為補助GTOλはターンオフできないので、該GT
0.2に大電流が流れ続け、この結果補助GTOJは破
壊されてしまう。ここで補助GTOJ全確実に逆バイア
スさせるには、抵抗3の値全大きくしておき、補助GT
02の主電流が補助GT02のアノード、カソード、抵
抗3、ダイオードlおよび直流電源7全通して流れるこ
とによって前記抵抗3に生ずる電圧降下全利用する方法
がある。しかしこの方法のように抵抗3の値を大きくす
ると、主GTO/のオンゲート電流を必要なだけ充分供
給することができなくなる等の問題があった。
0.2に大電流が流れ続け、この結果補助GTOJは破
壊されてしまう。ここで補助GTOJ全確実に逆バイア
スさせるには、抵抗3の値全大きくしておき、補助GT
02の主電流が補助GT02のアノード、カソード、抵
抗3、ダイオードlおよび直流電源7全通して流れるこ
とによって前記抵抗3に生ずる電圧降下全利用する方法
がある。しかしこの方法のように抵抗3の値を大きくす
ると、主GTO/のオンゲート電流を必要なだけ充分供
給することができなくなる等の問題があった。
上述のような問題を解消する為に第2図および第3図に
示すような制御回路が提−案されている。
示すような制御回路が提−案されている。
第2図は特開昭58−118147号公報に記載されて
いる回路であり、主GTO/のオフゲート電流供給用の
直流電源7.補助GTO2のオンゲート電流供給用の直
流電源!の他に補助GT0.2のオフゲート電流供給用
の直流電源りを別個に設けている。この為装置全体の価
格が高騰してしまう欠点があつtoま念、第3図は特開
昭58−101461号公報に記載されている回路であ
シ、前記第1図に示す回路の補助GTOJを)ランジス
タ//に看き換えている。この為トランジスタl/の耐
圧を高くする必要があり、コスト高となってしまう。
いる回路であり、主GTO/のオフゲート電流供給用の
直流電源7.補助GTO2のオンゲート電流供給用の直
流電源!の他に補助GT0.2のオフゲート電流供給用
の直流電源りを別個に設けている。この為装置全体の価
格が高騰してしまう欠点があつtoま念、第3図は特開
昭58−101461号公報に記載されている回路であ
シ、前記第1図に示す回路の補助GTOJを)ランジス
タ//に看き換えている。この為トランジスタl/の耐
圧を高くする必要があり、コスト高となってしまう。
(発明の目的)
本発明は上記の点に鑑ミなされたもので、主GToおよ
び補助GTOのオン、オフ制御を確実に行なうことがで
きるとともに、アWM制御の如くオン、オフ制御を頻繁
に行なってもターンオフ失敗によって補助GTOが破壊
されないゲートターンオフサイリスタの制御回路を提供
することを目的としている。
び補助GTOのオン、オフ制御を確実に行なうことがで
きるとともに、アWM制御の如くオン、オフ制御を頻繁
に行なってもターンオフ失敗によって補助GTOが破壊
されないゲートターンオフサイリスタの制御回路を提供
することを目的としている。
(発明の概要)
本発明は主GTOのゲートと補助GTOのカソードとの
間にスイッチング制御素子を介挿し、該スイッチング制
御素子の制御端子を補助GTOのゲートに共通接続した
ことを特徴としている0(実施例) 以下、図面を参照しながら本発明の一実施例を説明する
。第4図においi、、2/は主GTOである。
間にスイッチング制御素子を介挿し、該スイッチング制
御素子の制御端子を補助GTOのゲートに共通接続した
ことを特徴としている0(実施例) 以下、図面を参照しながら本発明の一実施例を説明する
。第4図においi、、2/は主GTOである。
主G T 0.7./のカソード−ゲート間には図示極
性の過電圧保護用ツェナーダイオードnおよびダイオー
ド、?、Iが直列に接続されている。21Iはアノード
が主G T 0.2/のアノードに接続された補助GT
Oである。この補助GT0.24’のカソードはスイッ
チング制御素子、例えば電界効果トランジスタjのドレ
インに接続されている。この電界効果トランジスタjは
電力消費の少ない例えばMO19FEITを用い、その
ソースは主GT0.2/のゲートに接続されている。電
界効果トランジスタ2夕のドレイン−ソース間には該ト
ランジスタ2夕を保護する為の図示極性のツェナーダイ
オード易が接続されている。主GT02/のゲートには
ダイオード27のアノードが接続されている。このダイ
オード27のカソード、前記電界効果トランジスタ2S
のゲートおよび補助GT0.24’のゲートIは一括し
てゲート端子GK接続されている。前記主GT 0.2
/のカソードとツエナーダイオード二の共通接続点2g
は補助ゲート端子Gkに接続されている。この補助ゲー
ト端子Gkと前記ゲート端子Gの間には、図示極性の直
流電源7およびスイッチtから成る直列回路と図示極性
の直流電源!およびスイッチ6から成る直列回路と全並
列接続して成るゲート制御用電源回路12が接続されて
いる。尚、図中には外部カソード端子、Aは外部アノー
ド端子を各々示す。上記の回路を補助G T O2II
と同一ウエノ\上に設けると第5図に示す如く構成され
る。第5図において第4喝と同一部分は同一符号を持っ
て示し、その説明は省略する。補助GT0.2亭はPI
NI Pt Ns層から成シ、この22層の中央部の
表面には補助GTOのゲート電極4?/が設けられてい
る。このゲート電極、1/の同心円上のN3層表面には
補助GTOのカソード電極32が設けられている。主G
TO2/は前記補助GT0.24iと同一ウニノル上に
設けられたP、υ1PtN2層から成る。前記補助GT
0.21のゲート電極、7/に対して同心円上のP!層
表面に1d主GTOのゲート電極3Ja、3Jbが図示
の如く設けられている。
性の過電圧保護用ツェナーダイオードnおよびダイオー
ド、?、Iが直列に接続されている。21Iはアノード
が主G T 0.2/のアノードに接続された補助GT
Oである。この補助GT0.24’のカソードはスイッ
チング制御素子、例えば電界効果トランジスタjのドレ
インに接続されている。この電界効果トランジスタjは
電力消費の少ない例えばMO19FEITを用い、その
ソースは主GT0.2/のゲートに接続されている。電
界効果トランジスタ2夕のドレイン−ソース間には該ト
ランジスタ2夕を保護する為の図示極性のツェナーダイ
オード易が接続されている。主GT02/のゲートには
ダイオード27のアノードが接続されている。このダイ
オード27のカソード、前記電界効果トランジスタ2S
のゲートおよび補助GT0.24’のゲートIは一括し
てゲート端子GK接続されている。前記主GT 0.2
/のカソードとツエナーダイオード二の共通接続点2g
は補助ゲート端子Gkに接続されている。この補助ゲー
ト端子Gkと前記ゲート端子Gの間には、図示極性の直
流電源7およびスイッチtから成る直列回路と図示極性
の直流電源!およびスイッチ6から成る直列回路と全並
列接続して成るゲート制御用電源回路12が接続されて
いる。尚、図中には外部カソード端子、Aは外部アノー
ド端子を各々示す。上記の回路を補助G T O2II
と同一ウエノ\上に設けると第5図に示す如く構成され
る。第5図において第4喝と同一部分は同一符号を持っ
て示し、その説明は省略する。補助GT0.2亭はPI
NI Pt Ns層から成シ、この22層の中央部の
表面には補助GTOのゲート電極4?/が設けられてい
る。このゲート電極、1/の同心円上のN3層表面には
補助GTOのカソード電極32が設けられている。主G
TO2/は前記補助GT0.24iと同一ウニノル上に
設けられたP、υ1PtN2層から成る。前記補助GT
0.21のゲート電極、7/に対して同心円上のP!層
表面に1d主GTOのゲート電極3Ja、3Jbが図示
の如く設けられている。
前記補助G T O2tIのゲート電極、?/に対して
同心円上のN、層表面には主GTOのカソード電極、?
りが設けられている。前記N2層“およびN3層Iは幅
狭の短冊形状に形成されるものとする。尚第4図に示す
ツェナーダイオードu、nお工びダイオードのは第5図
で1は図示省略している。ま念、ゲート端子Gと補助ゲ
ート端子Gkの間にはゲート制御用電源回路12が接続
される(図示省略)ものとする0 次に上記のように構成された回路の動作を述べる。主G
T O2/のアノード側が正電位であるとき、この主
GTOj/’iターンオンさせるには、まずゲート制御
用電源回路/2のスイッチrをオフ、スイッチ6をオン
させる。すると直流電源jからスイッチ6を介して電界
効果トランジスタjにオンゲート電圧が印加されるとと
もに補助G T O、y、4cにオンゲート電流が流れ
るので、前記電界効果トランジスタJおよび補助GT0
.211.’jターンオンする。
同心円上のN、層表面には主GTOのカソード電極、?
りが設けられている。前記N2層“およびN3層Iは幅
狭の短冊形状に形成されるものとする。尚第4図に示す
ツェナーダイオードu、nお工びダイオードのは第5図
で1は図示省略している。ま念、ゲート端子Gと補助ゲ
ート端子Gkの間にはゲート制御用電源回路12が接続
される(図示省略)ものとする0 次に上記のように構成された回路の動作を述べる。主G
T O2/のアノード側が正電位であるとき、この主
GTOj/’iターンオンさせるには、まずゲート制御
用電源回路/2のスイッチrをオフ、スイッチ6をオン
させる。すると直流電源jからスイッチ6を介して電界
効果トランジスタjにオンゲート電圧が印加されるとと
もに補助G T O、y、4cにオンゲート電流が流れ
るので、前記電界効果トランジスタJおよび補助GT0
.211.’jターンオンする。
これによって補助G T 0.24を通して流れる主電
流が電界効果トランジスタJのドレイン、ンースを介し
て主G T’ 02/のゲートに供給される。このとき
電界効果トランジスタjで発生する電圧降下分が主G
T 0.2/に印加され、ゲート電流は増幅されて主G
T O2/のゲートに流れる。これによって主G T
0.2/がターンオンする。このように主GTO2/
がターンオンすると前記電界効果トランジスタjおよび
補助GTO;算にオンゲート電流が流れていても主電流
は補助G T 0.2Qおよび電界効果トランジスタj
には流れず主GTOコ/に流れる(主GT0.27のア
ノード、カソード間電圧が低いため)。
流が電界効果トランジスタJのドレイン、ンースを介し
て主G T’ 02/のゲートに供給される。このとき
電界効果トランジスタjで発生する電圧降下分が主G
T 0.2/に印加され、ゲート電流は増幅されて主G
T O2/のゲートに流れる。これによって主G T
0.2/がターンオンする。このように主GTO2/
がターンオンすると前記電界効果トランジスタjおよび
補助GTO;算にオンゲート電流が流れていても主電流
は補助G T 0.2Qおよび電界効果トランジスタj
には流れず主GTOコ/に流れる(主GT0.27のア
ノード、カソード間電圧が低いため)。
この為補助G T Oj、41および電界効果トランジ
スターSの電離容量は小さくて済む。まt、電界効果ト
ランジスタ23の耐圧?は10〜50Viliの低+4
もので良い。
スターSの電離容量は小さくて済む。まt、電界効果ト
ランジスタ23の耐圧?は10〜50Viliの低+4
もので良い。
次に主G T 04/をターンオフさせるに社、まずス
イッチ6をオフして補助G T 0.241および’F
lf 、W効果トランジスタ2夕へのオンゲート電流供
給を停止させる。この時主電流は主G T 0.2/の
アノード、カソード間に流れているので、補助GTO2
1fiはターンオフする。次にスイッチr−fオンして
直流電源7の出力電圧を主G T 0.7!/のカソー
ドに逆バイアス電圧として印加すれば、主GTo2/!
tターンオフする。このとき直流電源7の出力電圧はツ
ェナーダイオードUのアノード、カソードを介して低い
値ではあるが補助G T 0.7.4’のカソードに逆
バイアス電圧として印加される。この為補助GTO2ダ
のターンオフをより確実−にするものである。
イッチ6をオフして補助G T 0.241および’F
lf 、W効果トランジスタ2夕へのオンゲート電流供
給を停止させる。この時主電流は主G T 0.2/の
アノード、カソード間に流れているので、補助GTO2
1fiはターンオフする。次にスイッチr−fオンして
直流電源7の出力電圧を主G T 0.7!/のカソー
ドに逆バイアス電圧として印加すれば、主GTo2/!
tターンオフする。このとき直流電源7の出力電圧はツ
ェナーダイオードUのアノード、カソードを介して低い
値ではあるが補助G T 0.7.4’のカソードに逆
バイアス電圧として印加される。この為補助GTO2ダ
のターンオフをより確実−にするものである。
次にPWM制御の如くオン、オフ制御を頻繁に高速度で
行なう場合、例えば補助Ck T 0.211および電
界効果トランジスターjにオンゲート電流i流を供給し
た直後(主GT0.27が未だターンオンしていない時
)にオフゲート電流を供給する場合について説明する。
行なう場合、例えば補助Ck T 0.211および電
界効果トランジスターjにオンゲート電流i流を供給し
た直後(主GT0.27が未だターンオンしていない時
)にオフゲート電流を供給する場合について説明する。
いまスイッチ、6をオフ、スイッチIr全オンしtとき
の過渡期において、電界効果トランジスタjldオフ、
補助GT0.21dオンしている。
の過渡期において、電界効果トランジスタjldオフ、
補助GT0.21dオンしている。
この為補助G T 0.21Iの電流は補助G T O
!4’のゲート→ゲート端子G→スイッチJ’ −+
画法電源7→外部カソード端子にへと漆れる。これによ
って補助G T 0.7.IIのカソード接合が逆バイ
アスされるので、補助G T O:ZQはターンオフへ
移行する。この時主G T 0.2/のカソードにも直
流電源7の出力電圧が逆バイアス電圧として印加される
ので、主GTO2/もターンオフする。
!4’のゲート→ゲート端子G→スイッチJ’ −+
画法電源7→外部カソード端子にへと漆れる。これによ
って補助G T 0.7.IIのカソード接合が逆バイ
アスされるので、補助G T O:ZQはターンオフへ
移行する。この時主G T 0.2/のカソードにも直
流電源7の出力電圧が逆バイアス電圧として印加される
ので、主GTO2/もターンオフする。
尚、前記スイッチング制御素子は電界効果トランジスタ
に限らず自己消弧形の他のスイッチング素子を用いても
良い。
に限らず自己消弧形の他のスイッチング素子を用いても
良い。
(発明の効果)
以上のように本発明によれば、主GTOのゲートと補助
GTOのカソードとの間にスイッチング制御素子を介挿
し、該スイッチング制御素子の制御端子を補助GTOの
ゲートに共通接続し念ので、主GTOおよび補助GTO
i確実にオン、オフ制御できる。また、PWM制御の如
くオン、オフ制御を頻繁に行なっても補助GTOを確実
に逆バイアスできるのでターンオフ失敗は発生しない。
GTOのカソードとの間にスイッチング制御素子を介挿
し、該スイッチング制御素子の制御端子を補助GTOの
ゲートに共通接続し念ので、主GTOおよび補助GTO
i確実にオン、オフ制御できる。また、PWM制御の如
くオン、オフ制御を頻繁に行なっても補助GTOを確実
に逆バイアスできるのでターンオフ失敗は発生しない。
この為補助GTOおよびスイッチング制御素子の容量を
小さくすることができ回路全体の価格を低廉化できる。
小さくすることができ回路全体の価格を低廉化できる。
さらに制御電源の電圧がスイッチング制御素子に印加さ
れる時間は短かいので、スイッチング制御素子の耐圧を
低くすることができ、これによってコストを低くするこ
とができる等の効果か得られる。
れる時間は短かいので、スイッチング制御素子の耐圧を
低くすることができ、これによってコストを低くするこ
とができる等の効果か得られる。
第1図〜第3図は各々従来の制御装置を示す回路図、第
4図および@6図は本発明の一実施例を示し、第4図は
回路図、第5図は主GTOと補助GTO’4同一ウエバ
上に形成した鶏舎の一部断面図である。 t、7・・・直流電源、4.r・・・スイッチ、/2・
・・ゲート制御用電源回路、りか・・主GTO%u、、
2ト・・ツェナー ダイオード、2J、27・・・ダイ
オード1.評・・・補助GTO,Jj・・・電界効果ト
ランジスタ1、?/・・・補助GTOのゲート電極1,
72・・・補助GTOのカソード電極1.13a、j3
b・・・主GTOのゲート電極、捧・・・主GTOのカ
ソード電極。
4図および@6図は本発明の一実施例を示し、第4図は
回路図、第5図は主GTOと補助GTO’4同一ウエバ
上に形成した鶏舎の一部断面図である。 t、7・・・直流電源、4.r・・・スイッチ、/2・
・・ゲート制御用電源回路、りか・・主GTO%u、、
2ト・・ツェナー ダイオード、2J、27・・・ダイ
オード1.評・・・補助GTO,Jj・・・電界効果ト
ランジスタ1、?/・・・補助GTOのゲート電極1,
72・・・補助GTOのカソード電極1.13a、j3
b・・・主GTOのゲート電極、捧・・・主GTOのカ
ソード電極。
Claims (1)
- PI NI P、 N3層から成る補助GTOと、この
補助GTOと同一ウェハ上に設けられ巨つpt Nl
p’aN、層から成る主GTOと、前記ウェハの中央部
の前記P2層表面に設けられ且つ制御電源からのオンゲ
ート電流が供給される補助GTOのゲート電極と、この
電極に対して同心円上であるとともに前記N3層表面に
設けられた補助GTOのカソード電極と、前記補助GT
Oのゲート電極に対して同心円上であるとともに前記N
3層から所定彫喘隔て念外周の前記P2層表面に設けら
れt主GToのゲート′f11極と、前記補助GTQの
ゲート電極に対して同心円上であるとともに、前記N2
層表面に設けられ且つ制御電源からのオフゲート電流が
供給される主GTOのカソード電極と、アノードを前記
上GTOのゲート′を極に接続するとともにカソードを
前記補助GTOのゲート電極に接続しtダイオードとを
備えた増幅ゲート構造のGToにおいて、前記補助GT
Oのカソード電極と前記上GTOのゲート電極との間に
、制御端子が前記補助GTOのゲート電極に共通接続さ
れるスイッチング制御素子を介挿し念ことを特徴とする
ゲートターンオフサイリスタの制御回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59068656A JPH0620126B2 (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | ゲ−トタ−ンオフサイリスタの制御回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59068656A JPH0620126B2 (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | ゲ−トタ−ンオフサイリスタの制御回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60211981A true JPS60211981A (ja) | 1985-10-24 |
| JPH0620126B2 JPH0620126B2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=13379959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59068656A Expired - Lifetime JPH0620126B2 (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | ゲ−トタ−ンオフサイリスタの制御回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0620126B2 (ja) |
-
1984
- 1984-04-06 JP JP59068656A patent/JPH0620126B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0620126B2 (ja) | 1994-03-16 |
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