JPH0621164A - Ic用ワイヤボンダ - Google Patents
Ic用ワイヤボンダInfo
- Publication number
- JPH0621164A JPH0621164A JP4175139A JP17513992A JPH0621164A JP H0621164 A JPH0621164 A JP H0621164A JP 4175139 A JP4175139 A JP 4175139A JP 17513992 A JP17513992 A JP 17513992A JP H0621164 A JPH0621164 A JP H0621164A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- clamper
- bonding
- case
- bonder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/60—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
- H10W70/67—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers characterised by their insulating layers or insulating parts
- H10W70/68—Shapes or dispositions thereof
- H10W70/682—Shapes or dispositions thereof comprising holes having chips therein
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07168—Means for storing or moving the material for the connector
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07502—Connecting or disconnecting of bond wires using an auxiliary member
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/5363—Shapes of wire connectors the connected ends being wedge-shaped
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/551—Materials of bond wires
- H10W72/552—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver
- H10W72/5524—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver comprising aluminium [Al]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/754—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ワイヤボンディングの際、ワイヤクランパとP
GA型ICケース外部リードとの接触を防ぐ。 【構成】IC素子9とICケース内部リード10とをボ
ンディング用ワイヤ3で結線するIC用ワイヤボンダに
おいて、ワイヤクランパ4又はワイヤクランパ先端部
が、垂直に位置するボンディングツール6及びICケー
ス外部リード7に対し平行に設けられている。
GA型ICケース外部リードとの接触を防ぐ。 【構成】IC素子9とICケース内部リード10とをボ
ンディング用ワイヤ3で結線するIC用ワイヤボンダに
おいて、ワイヤクランパ4又はワイヤクランパ先端部
が、垂直に位置するボンディングツール6及びICケー
ス外部リード7に対し平行に設けられている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はIC用ワイヤボンダに関
し、特にAlワイヤを用いてボンディングする超音波ワ
イヤボンダに関する。
し、特にAlワイヤを用いてボンディングする超音波ワ
イヤボンダに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のIC用ワイヤボンダは、
図4の右側面図に示すように、ワイヤクランパ4及びク
ランパ支持部2がボンディングツール6の右側(正面か
ら見た場合は後方)に位置し、かつクランパ4は、垂直
に位置するボンディングツール6及びICケース外部リ
ード7に対し傾斜している。ワイヤクランパ4は、IC
素子9とICケース内部リード10をボンディング用ワ
イヤ3にて結線した後、上方のボンディング用ワイヤ3
をクランプして下方に引張り切断する。その後、次のボ
ンディングの為にクランパ支持部2はリニアウェイベア
リングに沿って前方へ動き、ボンディングツール6の先
端へボンディング用ワイヤ3を送り出す機構を有してい
る。
図4の右側面図に示すように、ワイヤクランパ4及びク
ランパ支持部2がボンディングツール6の右側(正面か
ら見た場合は後方)に位置し、かつクランパ4は、垂直
に位置するボンディングツール6及びICケース外部リ
ード7に対し傾斜している。ワイヤクランパ4は、IC
素子9とICケース内部リード10をボンディング用ワ
イヤ3にて結線した後、上方のボンディング用ワイヤ3
をクランプして下方に引張り切断する。その後、次のボ
ンディングの為にクランパ支持部2はリニアウェイベア
リングに沿って前方へ動き、ボンディングツール6の先
端へボンディング用ワイヤ3を送り出す機構を有してい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この従来のICワイヤ
ボンダは、ワイヤクランパ及びクランパ支持部がボンデ
ィングツールの後方に位置し、かつワイヤクランパは垂
直に位置するボンディングツールに対して傾いている
為、PGA(PIN GRID ARRAY)FACE
DOWN パッケージのワイヤボンディングでは、ワ
イヤクランパが垂直に突出するICケース外部リードと
接触(図4のA部)してワイヤボンディングできないと
いう問題点があった。
ボンダは、ワイヤクランパ及びクランパ支持部がボンデ
ィングツールの後方に位置し、かつワイヤクランパは垂
直に位置するボンディングツールに対して傾いている
為、PGA(PIN GRID ARRAY)FACE
DOWN パッケージのワイヤボンディングでは、ワ
イヤクランパが垂直に突出するICケース外部リードと
接触(図4のA部)してワイヤボンディングできないと
いう問題点があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明のIC用ワイヤボ
ンダは、ワイヤクランパ又はワイヤクランパ先端部が、
垂直に位置するボンディングツール及びICケース外部
リードに対し平行に設けられている為、ワイヤクランパ
とICケース外部リードとは接触しなくなる。
ンダは、ワイヤクランパ又はワイヤクランパ先端部が、
垂直に位置するボンディングツール及びICケース外部
リードに対し平行に設けられている為、ワイヤクランパ
とICケース外部リードとは接触しなくなる。
【0005】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図1は本発明の第一実施例のICワイヤボンダの正
面図、図2はその右側面図である。本実施例はリニアウ
ェイベアリング1,クランパ支持部2,ワイヤクランパ
4,超音波振動子5,ボンディングツール6,ボンディ
ング用ワイヤ3より構成される。従来と異なる点は、リ
ニアウェイベアリング1,クランパ支持部2,ワイヤク
ランパ4がボンディングツール6の真上に位置し、かつ
ワイヤクランパ4の先端部に曲りがなく(ストレー
ト)、垂直に位置するボンディングツール6及びICケ
ース外部リード7に対し平行に取付けられている点であ
る。
る。図1は本発明の第一実施例のICワイヤボンダの正
面図、図2はその右側面図である。本実施例はリニアウ
ェイベアリング1,クランパ支持部2,ワイヤクランパ
4,超音波振動子5,ボンディングツール6,ボンディ
ング用ワイヤ3より構成される。従来と異なる点は、リ
ニアウェイベアリング1,クランパ支持部2,ワイヤク
ランパ4がボンディングツール6の真上に位置し、かつ
ワイヤクランパ4の先端部に曲りがなく(ストレー
ト)、垂直に位置するボンディングツール6及びICケ
ース外部リード7に対し平行に取付けられている点であ
る。
【0006】次に図3は本発明の第2実施例のICワイ
ヤボンダの右側面図である。第一実施例との相違点は、
ワイヤクランパ4の本体は傾斜しているが先端部のみが
垂直でボンディングツール6及びICケース外部リード
7に対し平行である点である。
ヤボンダの右側面図である。第一実施例との相違点は、
ワイヤクランパ4の本体は傾斜しているが先端部のみが
垂直でボンディングツール6及びICケース外部リード
7に対し平行である点である。
【0007】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ワイヤク
ランパ又はワイヤクランパ先端部が垂直でボンディング
ツールと平行に取付けられている為、ワイヤクランパと
PGA型ICケース外部リードとは接触しないという効
果を有する。
ランパ又はワイヤクランパ先端部が垂直でボンディング
ツールと平行に取付けられている為、ワイヤクランパと
PGA型ICケース外部リードとは接触しないという効
果を有する。
【図1】本発明の第一実施例の正面図である。
【図2】図1の右側面図である。
【図3】本発明の第二実施例の右側面図である。
【図4】従来のIC用ワイヤボンダの右側面図である。
1 リニアウェイベアリング 2 クランパ支持部 3 ボンディング用ワイヤ 4 ワイヤクランパ 5 超音波振動子 6 ボンディングツール 7 ICケース外部リード 8 ICケース 9 IC素子 10 ICケース内部リード A部 接触部
Claims (1)
- 【請求項1】 IC素子とICケース内部リードとをボ
ンディング用ワイヤで結線するIC用ワイヤボンダにお
いて、ワイヤクランパ又はワイヤクランパ先端部が、垂
直に位置するボンディングツール及びICケース外部リ
ードに対し平行に設けられていることを特徴とするIC
用ワイヤボンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4175139A JPH0621164A (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | Ic用ワイヤボンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4175139A JPH0621164A (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | Ic用ワイヤボンダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0621164A true JPH0621164A (ja) | 1994-01-28 |
Family
ID=15990974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4175139A Pending JPH0621164A (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | Ic用ワイヤボンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0621164A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5791533A (en) * | 1980-11-29 | 1982-06-07 | Shinkawa Ltd | Wire bonding method and apparatus therefor |
| JPS63127543A (ja) * | 1986-11-18 | 1988-05-31 | Toshiba Corp | ワイヤボンデイング装置 |
-
1992
- 1992-07-02 JP JP4175139A patent/JPH0621164A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5791533A (en) * | 1980-11-29 | 1982-06-07 | Shinkawa Ltd | Wire bonding method and apparatus therefor |
| JPS63127543A (ja) * | 1986-11-18 | 1988-05-31 | Toshiba Corp | ワイヤボンデイング装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6495773B1 (en) | Wire bonded device with ball-shaped bonds | |
| EP0126664A2 (en) | Wire bonding method for producing a semiconductor device and semiconductor device produced by this method | |
| JPH0621164A (ja) | Ic用ワイヤボンダ | |
| JP2823000B2 (ja) | ワイヤボンディング方法 | |
| JPH08153748A (ja) | シングルポイントボンディング方法 | |
| JP2001185671A (ja) | 半導体装置の製造方法及び該半導体装置の製造に用いられるリードフレームの製造方法 | |
| JPH05267385A (ja) | ワイヤーボンディング装置 | |
| JP2703999B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| JP3293757B2 (ja) | 半導体装置製造用リードフレーム組立体の製造方法 | |
| JP2914337B2 (ja) | ワイヤボンディング装置 | |
| JPH09321210A (ja) | 半導体装置用リードフレーム | |
| JP2954109B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
| JPS6173343A (ja) | ワイヤボンダ | |
| JPH01186662A (ja) | 半導体装置用リードフレーム | |
| JP2003133505A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH09148517A (ja) | 薄型半導体装置 | |
| JP2504538Y2 (ja) | Ledアレイ装置 | |
| JPH11186316A (ja) | ワイヤーボンディング装置および方法ならびにリードフレーム | |
| JPH05326609A (ja) | 半導体装置のワイヤボンディング装置およびワイヤボンディング方法 | |
| JPH03191561A (ja) | リードフレーム | |
| JPS61148849A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH10199913A (ja) | ワイヤボンディング方法 | |
| JPH06151525A (ja) | ワイヤボンディング装置 | |
| JPH0621413A (ja) | 固体撮像装置及びそのワイヤボンディング方法 | |
| JPH10178147A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980324 |