JPH0630181B2 - 光学的記録媒体の基板の製造方法 - Google Patents
光学的記録媒体の基板の製造方法Info
- Publication number
- JPH0630181B2 JPH0630181B2 JP6320585A JP6320585A JPH0630181B2 JP H0630181 B2 JPH0630181 B2 JP H0630181B2 JP 6320585 A JP6320585 A JP 6320585A JP 6320585 A JP6320585 A JP 6320585A JP H0630181 B2 JPH0630181 B2 JP H0630181B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- resin
- light
- mask
- guide groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D17/00—Producing carriers of records containing fine grooves or impressions, e.g. disc records for needle playback, cylinder records; Producing record discs from master stencils
- B29D17/005—Producing optically read record carriers, e.g. optical discs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C37/00—Component parts, details, accessories or auxiliary operations, not covered by group B29C33/00 or B29C35/00
- B29C37/02—Deburring or deflashing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/021—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles characterised by the shape of the surface
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C35/00—Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
- B29C35/02—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould
- B29C35/08—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光ビームにより記録、再生を行うことが可能な
光学的記録媒体用の案内溝付き基板の製造方法に関す
る。
光学的記録媒体用の案内溝付き基板の製造方法に関す
る。
光学的記録媒体の基板は高密度記録をするために基板上
に光学的案内溝を形成しておく必要があり、その形成方
法として従来からいくつかの方法が知られている。その
１つの方法として、案内溝の形状に対応する凹凸が設け
られたスタンパーと呼ばれる型の上に硬化型の樹脂を塗
布した後、この上の基板を載置し、次いで、光照射等に
より樹脂を硬化させることにより、案内溝を形成すると
共にこの案内溝を基板に固着させる方法がある。
に光学的案内溝を形成しておく必要があり、その形成方
法として従来からいくつかの方法が知られている。その
１つの方法として、案内溝の形状に対応する凹凸が設け
られたスタンパーと呼ばれる型の上に硬化型の樹脂を塗
布した後、この上の基板を載置し、次いで、光照射等に
より樹脂を硬化させることにより、案内溝を形成すると
共にこの案内溝を基板に固着させる方法がある。
この方法で作られた基板は、案内溝形状の転写性に優
れ、他の案内溝形成法に比較すると、案内溝付き基板の
光学的ひずみを少なくすることが可能であるという利点
を有する。しかし、量産性の点で他の方法に比べ劣って
いることに加え、次に示すような問題点も未解決であっ
た。
れ、他の案内溝形成法に比較すると、案内溝付き基板の
光学的ひずみを少なくすることが可能であるという利点
を有する。しかし、量産性の点で他の方法に比べ劣って
いることに加え、次に示すような問題点も未解決であっ
た。
第５図は上記従来法により案内溝を形成する場合の樹脂
硬化後の状態を示した図である。この従来法では、硬化
前の樹脂３は流動性がある為に基板２の最も端の部分か
らはみ出してしまうことがあり、このはみ出し部分が光
照射等によりそのまま硬化してしまい基板２の外側に図
に示すような尖頭状の端部を有するバリが生じることが
少なくなかった。
硬化後の状態を示した図である。この従来法では、硬化
前の樹脂３は流動性がある為に基板２の最も端の部分か
らはみ出してしまうことがあり、このはみ出し部分が光
照射等によりそのまま硬化してしまい基板２の外側に図
に示すような尖頭状の端部を有するバリが生じることが
少なくなかった。
また、スタンパー４の中心に配設された中心軸１と基板
２との嵌合部には微小な間隙が存在するので、この部分
でも樹脂がはみ出て硬化し、小さなバリが発生したり、
案内溝の固着した基板２とスタンパー４との離型を困難
にしていた。
２との嵌合部には微小な間隙が存在するので、この部分
でも樹脂がはみ出て硬化し、小さなバリが発生したり、
案内溝の固着した基板２とスタンパー４との離型を困難
にしていた。
バリの発生した案内溝付き基板２とスタンパー４との離
型を行う際に、尖頭状の端部を有するバリは欠けやす
く、欠けたバリはゴミとして剥離帯電で静電気が発生し
ている基板表面に付着してしまうことが多かった。ま
た、バリを除去する際にも除去されたバリがゴミとなり
基板表面に付着してしまう場合があった。このようにし
てゴミが付着された案内溝上に記録層を積層すると、ゴ
ミの部分は段差があるため積層した膜によって完全にカ
バーできずにピンホールとなってしまう。そのピンホー
ルから水分や酸素が侵入して記録層が腐食することによ
ってその記録特性を劣化させてしまうという問題があっ
た。
型を行う際に、尖頭状の端部を有するバリは欠けやす
く、欠けたバリはゴミとして剥離帯電で静電気が発生し
ている基板表面に付着してしまうことが多かった。ま
た、バリを除去する際にも除去されたバリがゴミとなり
基板表面に付着してしまう場合があった。このようにし
てゴミが付着された案内溝上に記録層を積層すると、ゴ
ミの部分は段差があるため積層した膜によって完全にカ
バーできずにピンホールとなってしまう。そのピンホー
ルから水分や酸素が侵入して記録層が腐食することによ
ってその記録特性を劣化させてしまうという問題があっ
た。
本発明は以上の問題に鑑み成されたものであり、その目
的は、スタンパーを用いて案内溝付きの基板を製造する
際のバリの発生を抑制することによって、基板表面への
ゴミの付着を防止することのできる光学的記録媒体用の
基板の製造方法を提供することにある。
的は、スタンパーを用いて案内溝付きの基板を製造する
際のバリの発生を抑制することによって、基板表面への
ゴミの付着を防止することのできる光学的記録媒体用の
基板の製造方法を提供することにある。
本発明の光学的記録媒体用の基板の製造方法は、案内溝
の形状に対応した凹凸を有する型の上に硬化性の樹脂と
基板とを順次積層し、該樹脂を固化させて案内溝付きの
光学的記録媒体用の基板を製造する方法に於いて、 内周が基板の中心孔よりも大きく、且つ外周が基板の
外周よりも小さいドーナツ状の遮光部を有するマスクを
前記基板上に載置し、次いで該マスク上方から前記基板
を透過可能な光を照射しつつ前記基板を押し下げること
により、予め前記遮光部の下方であって、且つ前記型と
前記基板との間に塗布された前記光の照射により硬化可
能な樹脂を押し広げ、光が照射される位置まで押し広げ
られた該樹脂を硬化させる工程と、 前記マスクを取り除き、前記樹脂全体に対して前記光
を照射して、該樹脂全体を硬化させる工程を有すること
を特徴とする。
の形状に対応した凹凸を有する型の上に硬化性の樹脂と
基板とを順次積層し、該樹脂を固化させて案内溝付きの
光学的記録媒体用の基板を製造する方法に於いて、 内周が基板の中心孔よりも大きく、且つ外周が基板の
外周よりも小さいドーナツ状の遮光部を有するマスクを
前記基板上に載置し、次いで該マスク上方から前記基板
を透過可能な光を照射しつつ前記基板を押し下げること
により、予め前記遮光部の下方であって、且つ前記型と
前記基板との間に塗布された前記光の照射により硬化可
能な樹脂を押し広げ、光が照射される位置まで押し広げ
られた該樹脂を硬化させる工程と、 前記マスクを取り除き、前記樹脂全体に対して前記光
を照射して、該樹脂全体を硬化させる工程を有すること
を特徴とする。
第１図は、本発明の方法に用いるマスク５の一例を示す
平面図である。このマスク５には光を遮ぎるドーナツ形
状をした遮光部７の内側及び外側に光を透過する透光部
６が存在する。
平面図である。このマスク５には光を遮ぎるドーナツ形
状をした遮光部７の内側及び外側に光を透過する透光部
６が存在する。
遮光部７の内周７ａは、本発明の方法を実施する際に用
いる第２図に示す基板２の中心孔（スタンパーの中心軸
１との嵌合部）よりも大きく、一方遮光部７の外周７ｂ
は、基板２の外周よりも小さくなっている。即ち、この
マスク５を基板２上に載置したときに遮光部７が基板の
内側端部（本発明にいう端部とは、最も端の部分からあ
る幅をもった部分をいう。）と外側端部とは覆わず、こ
れら両端部に間の中間部分のみを覆うことができるよう
になっている。
いる第２図に示す基板２の中心孔（スタンパーの中心軸
１との嵌合部）よりも大きく、一方遮光部７の外周７ｂ
は、基板２の外周よりも小さくなっている。即ち、この
マスク５を基板２上に載置したときに遮光部７が基板の
内側端部（本発明にいう端部とは、最も端の部分からあ
る幅をもった部分をいう。）と外側端部とは覆わず、こ
れら両端部に間の中間部分のみを覆うことができるよう
になっている。
本発明の方法によれば、遮光部７と同形状でほぼ同じ大
きさに案内溝を構成する樹脂層を基板に固着することが
できるので、遮光部７は上記の大きさを満たす範囲内で
形成しようとする樹脂層の形状、大きさに合わせて、マ
スク５に設けられる。
きさに案内溝を構成する樹脂層を基板に固着することが
できるので、遮光部７は上記の大きさを満たす範囲内で
形成しようとする樹脂層の形状、大きさに合わせて、マ
スク５に設けられる。
本例に於けるマスク５の遮光部７の内周及び外周は円形
であるが、それらの形状は円形に限らず多角形等でもよ
い。これら形状の遮光部を本発明に於いてはすべてドー
ナツ状の遮光部という。
であるが、それらの形状は円形に限らず多角形等でもよ
い。これら形状の遮光部を本発明に於いてはすべてドー
ナツ状の遮光部という。
本発明の方法に用いるスタンパーは第５図に示した従来
のものと同様のものを用いることができるが、マスクの
中心には、スタンパーの中心軸を挿入するための孔８が
配設されている。この中心孔８は、マスク５をスタンパ
ー上へ容易に位置決めするためにスタンパーの中心軸と
ほぼ同じ大きさで、それに嵌合できるようになっている
ものが好ましい。なお、遮光部７の外側の透光部６は単
にマスク製造上の理由から設けられたものであり、必ず
しも必要でない。
のものと同様のものを用いることができるが、マスクの
中心には、スタンパーの中心軸を挿入するための孔８が
配設されている。この中心孔８は、マスク５をスタンパ
ー上へ容易に位置決めするためにスタンパーの中心軸と
ほぼ同じ大きさで、それに嵌合できるようになっている
ものが好ましい。なお、遮光部７の外側の透光部６は単
にマスク製造上の理由から設けられたものであり、必ず
しも必要でない。
上記のマスクを使用する場合を例にとって、本発明の方
法を以下詳細に説明する。第２図及び第３図は、本発明
の実施例を示す図である。
法を以下詳細に説明する。第２図及び第３図は、本発明
の実施例を示す図である。
この実施例に於いては、まず、スタンパー４上に紫外線
硬化型の樹脂３を塗布する。樹脂の塗布は、次段階でこ
の樹脂３の上方にマスク５をセットした時点では、樹脂
３がそのドーナツ状の遮光部の下方に存在し、透光部の
下方にははみ出てないように実施することが必要であ
る。
硬化型の樹脂３を塗布する。樹脂の塗布は、次段階でこ
の樹脂３の上方にマスク５をセットした時点では、樹脂
３がそのドーナツ状の遮光部の下方に存在し、透光部の
下方にははみ出てないように実施することが必要であ
る。
なお、樹脂は紫外線硬化型のものばかりでなく、別の種
類の光によって硬化する他の種類の樹脂を使用してもよ
く、この場合には使用する光はこの樹脂に応じたものを
用いればよい。
類の光によって硬化する他の種類の樹脂を使用してもよ
く、この場合には使用する光はこの樹脂に応じたものを
用いればよい。
次に、使用光、即ち紫外線を透過可能な基板２をスタン
パー４の中心に配設されている中心軸１に嵌入し、更に
この中心軸１にマスク５を嵌入して樹脂３上方に基板２
とマスク５とをセットする。
パー４の中心に配設されている中心軸１に嵌入し、更に
この中心軸１にマスク５を嵌入して樹脂３上方に基板２
とマスク５とをセットする。
次に基板２とこの上に載置されたマスク５とをゆっくり
と降下させ、基板２が樹脂３にふれた時点で反射板９に
覆われた紫外線ランプ10を点灯し基板２とマスク５をさ
らにゆっくりと降していく（第２図）。紫外線11はマス
クの遮光部下方には到達しないので、予め遮光部の下方
に塗布された樹脂は紫外線ランプ10の点灯にかかわらず
硬化さずに徐々に押し広げられるが、マスクの透光部に
到達した樹脂は光が当たって硬化する。樹脂３の広がり
方に各所で多少ムラがあってもこの樹脂３は硬化によっ
てマスクの遮光部の内周及び外周にそって拡がりを停止
する。その後、マスクを取り去って紫外線11を基板２上
へ全面照射することによって樹脂３を完全硬化させて、
硬化樹脂製の案内溝を形成すると共に基板に固着させる
（第３図）。
と降下させ、基板２が樹脂３にふれた時点で反射板９に
覆われた紫外線ランプ10を点灯し基板２とマスク５をさ
らにゆっくりと降していく（第２図）。紫外線11はマス
クの遮光部下方には到達しないので、予め遮光部の下方
に塗布された樹脂は紫外線ランプ10の点灯にかかわらず
硬化さずに徐々に押し広げられるが、マスクの透光部に
到達した樹脂は光が当たって硬化する。樹脂３の広がり
方に各所で多少ムラがあってもこの樹脂３は硬化によっ
てマスクの遮光部の内周及び外周にそって拡がりを停止
する。その後、マスクを取り去って紫外線11を基板２上
へ全面照射することによって樹脂３を完全硬化させて、
硬化樹脂製の案内溝を形成すると共に基板に固着させる
（第３図）。
上記の方法によって、硬化樹脂製の案内溝にバリが発生
するのを防止することができる。
するのを防止することができる。
第１図に示したマスクを用いた上記実施例では、マスク
の透光部が広いためこの部分を透過した紫外線が回折に
よりまわり込み、マスクの遮光部の最も端の部分まで樹
脂３が到達する前に硬化し、樹脂３の停止位置の精度が
やや悪くなることがある。この精度を向上させたい場合
には、第４図に示すようなマスクを用いればよい。この
マスクは透光部６がドーナツ状で狭小な幅のスリットと
なっているためにここを透過する紫外線が少なくまわり
込みが実質的に生じない。このために、樹脂が透光部６
に到達する前に硬化するようなことがなく、この透光部
６の位置にほとんど誤差なく樹脂３を停止させることが
でき、樹脂３の停止位置の精度を高くできる。
の透光部が広いためこの部分を透過した紫外線が回折に
よりまわり込み、マスクの遮光部の最も端の部分まで樹
脂３が到達する前に硬化し、樹脂３の停止位置の精度が
やや悪くなることがある。この精度を向上させたい場合
には、第４図に示すようなマスクを用いればよい。この
マスクは透光部６がドーナツ状で狭小な幅のスリットと
なっているためにここを透過する紫外線が少なくまわり
込みが実質的に生じない。このために、樹脂が透光部６
に到達する前に硬化するようなことがなく、この透光部
６の位置にほとんど誤差なく樹脂３を停止させることが
でき、樹脂３の停止位置の精度を高くできる。
次に、実際に本発明の方法を実施した例を示す。
外径 200mm、内径30mm、厚さ 1.1mmの青板ガラス製の基
板、ガラス製の円板上にクロム被覆により内径65mm、外
径 195mmのドーナツ状の遮光部が設けられた第１図に示
したようなマスク、ペンタエリスリトールテトラメルカ
プトアセテートとジアリリデンペンタエリスリトールの
混合物［商品名：スピラックＴ-502（昭和高分子）］と
２−ヒドロキシプロピル−１，３−ジメタクリレート
［商品名： 701Ａ（新中村化学）］を１：２で混合し光
重合開始剤としてベンゾインイソプロピルエーテルを２
％加えた、紫外線硬化型の樹脂を使用して、本発明の方
法により案内溝付き基板を製造した。この基板の案内溝
を形作る樹脂層は内径70mm（± 1.5mm）、外径 190mm
（± 1.5mm）のドーナツ状のものであった。
板、ガラス製の円板上にクロム被覆により内径65mm、外
径 195mmのドーナツ状の遮光部が設けられた第１図に示
したようなマスク、ペンタエリスリトールテトラメルカ
プトアセテートとジアリリデンペンタエリスリトールの
混合物［商品名：スピラックＴ-502（昭和高分子）］と
２−ヒドロキシプロピル−１，３−ジメタクリレート
［商品名： 701Ａ（新中村化学）］を１：２で混合し光
重合開始剤としてベンゾインイソプロピルエーテルを２
％加えた、紫外線硬化型の樹脂を使用して、本発明の方
法により案内溝付き基板を製造した。この基板の案内溝
を形作る樹脂層は内径70mm（± 1.5mm）、外径 190mm
（± 1.5mm）のドーナツ状のものであった。
上記マスクと同条件の遮光部に加え、更に中心から内径
60mmまでの部分と外径 200mmより外側の部分に遮光部を
設けたマスク、即ち、５mmの幅のスリット状透光部を有
する第４図に示したようなマスクを用いた以外は上記と
同条件で本発明の方法により案内溝付き基板を製造し
た。この基板の樹脂層は内径65mm（±１mm）、外径 195
mm（±１mm）のドーナツ状のものであり、遮光部とほぼ
同形状、同じ大きさのものが形成できた。
60mmまでの部分と外径 200mmより外側の部分に遮光部を
設けたマスク、即ち、５mmの幅のスリット状透光部を有
する第４図に示したようなマスクを用いた以外は上記と
同条件で本発明の方法により案内溝付き基板を製造し
た。この基板の樹脂層は内径65mm（±１mm）、外径 195
mm（±１mm）のドーナツ状のものであり、遮光部とほぼ
同形状、同じ大きさのものが形成できた。
以上説明したように、本発明の方法によって樹脂が基板
の内側及び外側の最端部に到達する以前にそれを所望の
位置で硬化させることでき基板の内外周付近に案内溝と
なる樹脂層を固着させないことが可能になった。従っ
て、基板の下方から樹脂がはみ出すことによって形成さ
れ、ゴミの主な発生源となるバリが生じなくなったため
に案内溝付き基板へのゴミの付着が大幅に減少し、信頼
性を高い記録媒体用として使用するには好適な基板が製
造できるようになった。
の内側及び外側の最端部に到達する以前にそれを所望の
位置で硬化させることでき基板の内外周付近に案内溝と
なる樹脂層を固着させないことが可能になった。従っ
て、基板の下方から樹脂がはみ出すことによって形成さ
れ、ゴミの主な発生源となるバリが生じなくなったため
に案内溝付き基板へのゴミの付着が大幅に減少し、信頼
性を高い記録媒体用として使用するには好適な基板が製
造できるようになった。
また、スタンパーの中心軸に樹脂が付着しないので、ス
タンパーと案内溝付き基板との離型が容易となると共に
バリを除去する工程も不用となったために、製造効率が
上がった。
タンパーと案内溝付き基板との離型が容易となると共に
バリを除去する工程も不用となったために、製造効率が
上がった。
更に、本発明の方法により製造された案内溝付き基板を
使用して記録媒体を作製する場合に、案内溝を形作る樹
脂層の上部だけに記録層を積層し、次に保護層を基板全
面上に設ければ保護層は記録層だけでなく樹脂層最端部
の側面をも覆うために従来方式で作られた基板の様に樹
脂層最端部の側面から水分が侵入してくることがなくな
り記録層の耐久性を向上させる効果も期待できる。
使用して記録媒体を作製する場合に、案内溝を形作る樹
脂層の上部だけに記録層を積層し、次に保護層を基板全
面上に設ければ保護層は記録層だけでなく樹脂層最端部
の側面をも覆うために従来方式で作られた基板の様に樹
脂層最端部の側面から水分が侵入してくることがなくな
り記録層の耐久性を向上させる効果も期待できる。
第１図は本発明の方法に使用するマスクの一例を示す平
面図、第２図、第３図は本発明の方法の一実施例を示す
図、第４図は本発明の方法に使用するマスクの別の例を
示す平面図である。 第５図はスタンパーを用いて従来法により案内溝を形成
する場合の樹脂硬化後の状態を示す図である。 １：中心軸、２：基板 ３：樹脂、４：スタンパー ５：マスク、６：透光部 ７：遮光部、７ａ：内周 ７ｂ：外周、８：中心孔 ９：反射板、10：紫外線ランプ 11：紫外線
面図、第２図、第３図は本発明の方法の一実施例を示す
図、第４図は本発明の方法に使用するマスクの別の例を
示す平面図である。 第５図はスタンパーを用いて従来法により案内溝を形成
する場合の樹脂硬化後の状態を示す図である。 １：中心軸、２：基板 ３：樹脂、４：スタンパー ５：マスク、６：透光部 ７：遮光部、７ａ：内周 ７ｂ：外周、８：中心孔 ９：反射板、10：紫外線ランプ 11：紫外線
Claims (1)
- 【請求項１】案内溝の形状に対応した凹凸を有する型の
上に、光硬化性の樹脂と基板とを順次積層し、該樹脂を
硬化させて案内溝付きの光学的記録媒体の基板を製造す
る方法に於いて、 まず、前記基板の周辺部に対応した位置にある樹脂にの
み光を照射して、この部分の樹脂を硬化させ、その後に
硬化された樹脂に囲まれた残りの樹脂に光を照射して、
残りの樹脂を硬化させることを特徴とする光学的記録媒
体の基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6320585A JPH0630181B2 (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 光学的記録媒体の基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6320585A JPH0630181B2 (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 光学的記録媒体の基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61222727A JPS61222727A (ja) | 1986-10-03 |
| JPH0630181B2 true JPH0630181B2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=13222469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6320585A Expired - Lifetime JPH0630181B2 (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 光学的記録媒体の基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0630181B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19545943C1 (de) * | 1995-12-08 | 1997-05-07 | Steag Hamatech Gmbh Machines | Vorrichtung zum Beschichten von scheibenförmigen Informations-Speichermedien |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP6320585A patent/JPH0630181B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61222727A (ja) | 1986-10-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100248442B1 (ko) | 광디스크의 제조방법 | |
| JPH075693A (ja) | 平坦な基板表面に硬化フォトレジストのパターン化レリーフを設ける方法および装置 | |
| JPH01196749A (ja) | 光情報記録媒体用基板の製造方法 | |
| JPH1173691A5 (ja) | ||
| JPH0630181B2 (ja) | 光学的記録媒体の基板の製造方法 | |
| JPS59114031A (ja) | 光デイスク用スタンパの作製方法 | |
| WO1998041984A1 (fr) | Procede de production d'un support de memorisation d'informations | |
| JPH03173954A (ja) | 光ディスクの製造方法 | |
| JPS63281243A (ja) | 光学的記録媒体用基板の製造方法 | |
| JP2715863B2 (ja) | 光ディスク製造用スタンパの製造方法 | |
| JPH01277346A (ja) | 光ディスクの製造方法 | |
| JPH0561097B2 (ja) | ||
| JPH08180473A (ja) | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 | |
| JPH01300441A (ja) | 光学的記録媒体用基板の製造方法 | |
| JPS61276140A (ja) | 光デイスク | |
| JPS60256946A (ja) | 円盤保護硬化被膜の形成方法 | |
| JPS6334750A (ja) | 複製光デイスクの製造方法 | |
| JPS591222A (ja) | 情報記録担体の製造方法 | |
| JPH07107745B2 (ja) | 光デイスク | |
| JPH04341944A (ja) | 光ディスクの製造方法 | |
| JP2006139119A (ja) | 光導波路の製造方法 | |
| JPH04339335A (ja) | 光ディスク基板の製造方法及び光ディスク基板 | |
| JPS61220150A (ja) | 光記憶デイスクの案内溝成形方法 | |
| JPS61113142A (ja) | 光デイスク用スタンパの作製方法 | |
| JPH01118232A (ja) | 貼り合わせ型ディスク及びその整造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |