JPH0640944Y2 - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPH0640944Y2 JPH0640944Y2 JP4223688U JP4223688U JPH0640944Y2 JP H0640944 Y2 JPH0640944 Y2 JP H0640944Y2 JP 4223688 U JP4223688 U JP 4223688U JP 4223688 U JP4223688 U JP 4223688U JP H0640944 Y2 JPH0640944 Y2 JP H0640944Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refrigerator
- flange body
- floor
- bellows
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔考案の目的〕 （産業上の利用分野） 本考案はクライオポンプに関する。
（従来の技術） 実公昭61-45419号公報に開示されたクライオポンプにお
いては、冷凍機の振動が真空装置に伝わらないように、
ベローズが採用されている。即ち、真空装置方向に突出
する冷凍機の冷却部がベローズで包囲されており、ベロ
ーズの上端部および下端部が夫々真空装置および冷凍機
に固定されている。
いては、冷凍機の振動が真空装置に伝わらないように、
ベローズが採用されている。即ち、真空装置方向に突出
する冷凍機の冷却部がベローズで包囲されており、ベロ
ーズの上端部および下端部が夫々真空装置および冷凍機
に固定されている。
（考案が解決しようとする課題） ところが、冷凍機がギホードマクマホンサイクル方式の
ものであると、冷凍機の内部にて、作動ガスが通過する
作動回路の入力側および出力側に夫々弁が配置されてお
り、２つの弁は交互に開閉する。この２つの弁の開閉の
タイミングにより、作動ガスの流れが定常流とならず、
冷凍機は冷却部の軸芯回りに断続的な回動が生じる。そ
の結果、ベローズに捩じり応力が発生し、ベローズが破
損するおそれがあつた。
ものであると、冷凍機の内部にて、作動ガスが通過する
作動回路の入力側および出力側に夫々弁が配置されてお
り、２つの弁は交互に開閉する。この２つの弁の開閉の
タイミングにより、作動ガスの流れが定常流とならず、
冷凍機は冷却部の軸芯回りに断続的な回動が生じる。そ
の結果、ベローズに捩じり応力が発生し、ベローズが破
損するおそれがあつた。
それ故に、本考案は、ベローズに捩じり応力が発生しな
いようにすることを、その技術的課題とする。
いようにすることを、その技術的課題とする。
（課題を解決するための手段） 上記した技術的課題を解決するために本考案において講
じた技術的手段は、 「床下に配置され且つ床から上方に突出する冷却部を備
えた冷凍機、冷却部の上側に固定されたフイン、フイン
を包囲するケーシング、冷却部の下側の周縁部に一体的
に固定されたフランジ体、床上に固定されてフランジ体
を回転可能に支持するベース、ベースと共同してフラン
ジ体の外周部の上方向への移動を規制するストツパなら
びに冷却部を包囲し且つ上端部および下端部が夫々ケー
シングおよびフランジ体に弾接されたベローズを有する
クライオポンプ。」 を構成したことである。
じた技術的手段は、 「床下に配置され且つ床から上方に突出する冷却部を備
えた冷凍機、冷却部の上側に固定されたフイン、フイン
を包囲するケーシング、冷却部の下側の周縁部に一体的
に固定されたフランジ体、床上に固定されてフランジ体
を回転可能に支持するベース、ベースと共同してフラン
ジ体の外周部の上方向への移動を規制するストツパなら
びに冷却部を包囲し且つ上端部および下端部が夫々ケー
シングおよびフランジ体に弾接されたベローズを有する
クライオポンプ。」 を構成したことである。
（作用） この構成においては、冷凍機は、冷却部においてベロー
ズに対して回動可能となるので、ベローズに捩じり応力
が殆ど作用しない。
ズに対して回動可能となるので、ベローズに捩じり応力
が殆ど作用しない。
（実施例） 床10の下に配置された冷凍機１の冷却部1aは床10を貫通
して床10上に延在する。冷凍機１の冷却部1aにはフイン
７が固定されており、フイン７の上部開口にはバツフル
８が装架されている。
して床10上に延在する。冷凍機１の冷却部1aにはフイン
７が固定されており、フイン７の上部開口にはバツフル
８が装架されている。
フイン７はケーシング６により包囲されており、ケーシ
ング６の上部の周縁部は真空装置（図示略）に固定され
ており、バツフル８を介して、フイン７は真空装置の内
部と対峙する。冷凍機１の冷却部1aが極低温に冷却され
るとフィン７はガス分子を凝縮させ、それにより真空装
置内は真空に保たれる。
ング６の上部の周縁部は真空装置（図示略）に固定され
ており、バツフル８を介して、フイン７は真空装置の内
部と対峙する。冷凍機１の冷却部1aが極低温に冷却され
るとフィン７はガス分子を凝縮させ、それにより真空装
置内は真空に保たれる。
床10の上にはベース２が固定されており、ベース２の内
縁部には、フランジ体３の外縁部が回転可能に支持され
ている。しかして、フランジ体３は、冷凍機１の冷却部
1aの下側の周縁部に固定されている。また、フランジ体
３の外縁部は、ベース２とストツパ４との間に挟持され
ており、フランジ体３の外縁部の上方向への移動が規制
されている。
縁部には、フランジ体３の外縁部が回転可能に支持され
ている。しかして、フランジ体３は、冷凍機１の冷却部
1aの下側の周縁部に固定されている。また、フランジ体
３の外縁部は、ベース２とストツパ４との間に挟持され
ており、フランジ体３の外縁部の上方向への移動が規制
されている。
冷凍機１の冷却部1aは、ベローズ５により包囲されてお
り、ベローズ５の上端部・下端部は、ケーシング６の下
部・フランジ体３の上面に固定されている。
り、ベローズ５の上端部・下端部は、ケーシング６の下
部・フランジ体３の上面に固定されている。
冷凍機１の入口1b・出口1cは、圧縮機（図示略）の吐出
口・吸入口と連通しており、冷凍機１の内部作動ガスが
通過する作動回路の入力側および出力側に夫々弁が配置
されており、２つの弁は交互に開閉するようになつてい
る。この２つの弁の開閉のタイミングにより、作動ガス
の流れが定常流とならず、冷凍機１は冷却部1aの軸芯回
りに断続的な回動が生じるが、ベローズ５の下端部は冷
凍機１は冷却部1aに対して相対回転可能なので、ベロー
ズ５には捩じり応力が作用することはない。
口・吸入口と連通しており、冷凍機１の内部作動ガスが
通過する作動回路の入力側および出力側に夫々弁が配置
されており、２つの弁は交互に開閉するようになつてい
る。この２つの弁の開閉のタイミングにより、作動ガス
の流れが定常流とならず、冷凍機１は冷却部1aの軸芯回
りに断続的な回動が生じるが、ベローズ５の下端部は冷
凍機１は冷却部1aに対して相対回転可能なので、ベロー
ズ５には捩じり応力が作用することはない。
以上述べたように、本考案においては、冷凍機は、冷却
部にてベローズに対して回動可能となるので、冷凍機の
冷却部が、その軸芯回りに回動しても、ベローズに捩じ
り応力が殆ど作用しない。従つて、ベローズの耐久性が
損なわれることはない。
部にてベローズに対して回動可能となるので、冷凍機の
冷却部が、その軸芯回りに回動しても、ベローズに捩じ
り応力が殆ど作用しない。従つて、ベローズの耐久性が
損なわれることはない。
単一図面は本考案に係るクライオポンプの断面図であ
る。 1:冷凍機、1a:冷凍機の冷却部、2:ベース、3:フランジ
体、4:ストツパ、5:ベローズ、6:ケーシング、10:床。
る。 1:冷凍機、1a:冷凍機の冷却部、2:ベース、3:フランジ
体、4:ストツパ、5:ベローズ、6:ケーシング、10:床。
Claims (1)
- 【請求項１】床下に配置され且つ床から上方に突出する
冷却部を備えた冷凍機、冷却部の上側に固定されたフイ
ン、フインを包囲するケーシング、冷却部の下側の周縁
部に一体的に固定されたフランジ体、床上に固定されて
フランジ体を回転可能に支持するベース、ベースと共同
してフランジ体の外周部の上方向への移動を規制するス
トツパならびに冷却部を包囲し且つ上端部および下端部
が夫々ケーシングおよびフランジ体に弾接されたベロー
ズを有するクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4223688U JPH0640944Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4223688U JPH0640944Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | クライオポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01145990U JPH01145990U (ja) | 1989-10-06 |
| JPH0640944Y2 true JPH0640944Y2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=31268654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4223688U Expired - Lifetime JPH0640944Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0640944Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP4223688U patent/JPH0640944Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01145990U (ja) | 1989-10-06 |
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