JPH065615Y2 - スタンパ保持装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 この考案は、コンパクトディスク等の光ディスク製造工
程で製作されたスタンパの保持装置に係り、特に、スタ
ンパの検査機器等の回転テーブル上においてスタンパを
精度よく固定するためのスタンパ保持装置に関する。

（ロ）従来技術 スタンパとは、コンパクトディスク等の光ディスク製造
工程で製作される極めて薄い円盤である。例えば、コン
パクトディスク製造工程で製作されるスタンパの厚さ
は、0.3mm程度である。

コンパクトディスク等の光ディスク製造工程では、ディ
スクの原盤としてよく研摩を施したガラス円盤が使用さ
れる。このガラス円盤の表面に感光物質のフォトレジス
トをコーティングし、これに記録信号に基づき光変調さ
れたレーザ光を、例えば、1.6μｍピッチのスパイラル
状に照射して感光し、信号を記録する。その後、現像処
理を行い、メッキを施すことにより、ディスク原盤（デ
ィスクマスタ）が製作される。

これにより、１枚のメタルマスタが製作され、さらに複
数枚のマザーが製作され、そして、スタンパが複数枚製
作される。

最終的には、このスタンパからピットが刻まれた透明な
樹脂ディスクが作られる。この後樹脂ディスクに金属膜
を蒸着させ、保護層を形成し、外形処理を行うことによ
り、コンパクトディスク等の光ディスクが完成する。

（ハ）考案が解決しようとする問題点 しかし、上記の製造工程で製作されるスタンパは、極め
て薄い円盤であるから、検査機器の回転テーブル上に平
面度よく、かつ回転テーブル本体のスピンドルへ中心精
度よく載置し、固定する必要がある。

この考案の目的は、上記のような光ディスク製造工程で
製作されたスタンパの検査機器等において、回転テーブ
ル上に、載置されたスタンパを精度よく確実に固定でき
るようにしたスタンパ保持装置を提供することにある。

（ニ）問題を解決するための手段 本考案のスタンパ保持装置は、スタンパを載置する回転
テーブル本体内に設けられた減圧室と、該減圧室から複
数個の穴が設けられているスタンパの載置面と、該減圧
室内の空気を出し入れするための通気穴を上部に設けた
スピンドルとからなり、該減圧室の底板は弾性材料で形
成されていることを特徴としたものである。

（ホ）作用 回転テーブル本体上にスタンパを載置した後、減圧室内
の空気をスピンドルの上部から抜き減圧を行う。この減
圧によって、回転テーブル本体上に載置されたスタンパ
は、減圧室と載置面との間に設けられた穴によって回転
テーブル本体の載置面に吸着される。

減圧室の内部圧保持は、上記減圧動作後に、スピンドル
の上部に設けられたバルブを閉じることによって行われ
る。

また、減圧室を構成する底板を弾性材としたから、上記
減圧時において、減圧室の気圧の変化に伴い、減圧室方
向（内側）へ撓む。この底板の撓みによって、減圧室の
気圧が何らかの原因により外部気圧方向へ変動した場合
でも、底板の旧位置方向への復元により、減圧室内部の
気圧を、前の状態に近く、保持させることができる。

バルブを開くと、減圧室の気圧は外気圧と同じになり、
回転テーブル本体上に吸着、固定されていたスタンパを
容易に取り外すことができる。

（ヘ）実施例 この考案の実施例を図に基づいて説明する。

図はスタンパの検査機器等における回転テーブルを示す
要部断面図である。

図において、１はスタンパで、厚みが0.3mm程度の極め
て薄いドーナッツ型の円盤である。２は回転テーブル本
体で、底板21との組み合わせにより、内部に空洞の減圧
室22（エアータンク）を形成している。

この減圧室22を構成する底板21に、弾性材料を用いるこ
とにより、この弾性材料のバネ効果によって、減圧室22
の内部圧を保持するような構造としている。

23は回転テーブル本体２のスタンパ載置面と減圧室22と
の間に設けた複数個の穴で、減圧室22の気圧が下がる
と、空気を吸い込み、吸引力として作用するためのもの
である。

３はスピンドルで、その上部31と減圧室22との間を繋ぐ
通気穴32が設けられている。また、このスピンドル３の
上部31には、バルブ４が取り付けられている。したがっ
て、このバルブ４を開き、減圧室22内の空気を通気穴32
を通じて抜いた後、バルブ４を閉じることによって、減
圧室22内の気圧保持を行うように構成している。

５はアルミナ等のセラミック材料を、多孔質に成形した
ドーナツ型の多孔質シートで、回転テーブル本体２上に
載置されている。この多孔質シート５の外周壁面51は、
シーリング材でコーティングが施され、空気のモレを塞
いでいる。スタンパ１はこの多孔質シート５の上面に載
置される。

６はセンターガイドで、スピンドル３に上下移動自在に
取り付けられ、スタンパ１の中心穴に対する取付精度を
出すために、外周にテーパー面61が形成されている。７
はスプリングで、センターガイド６を常時押し上げるよ
うな力を加えるためのものである。

この実施例においては、回転テーブル本体２の上面に
は、多孔質シート５が載置され、複数個の穴23を覆う構
造となっている。

しかし、多孔質シート５は、アルミナ等のセラミックを
成形し、微小な気泡（穴）が無数に形成されているシー
トを用いるため、スタンパ１のような極めて薄い円盤を
吸着する際に、スタンパ１の載置面全体をほぼ均一の吸
引力で吸着することができ、平面度よく保持することが
できる。すなわち、回転テーブル本体２に設けた複数個
の穴23の上に直接スタンパ１を載置して吸引し、回転テ
ーブル本体２上に吸着させることも可能である。しか
し、吸着する部分が大きな穴の場合、スタンパ１の吸着
する部分にだけ大きな力がかかり、スタンパ面に吸着の
影響によるわずかな凹凸を生じる虞れがある。この問題
を解消するために、この実施例においては、上述したよ
うな多孔質シート５を、回転テーブル本体２に載置し、
その上に、スタンパ１を載置することにより、スタンパ
面全体を吸着して平面度よく保持できるように構成して
いる。

上記のように構成することによって、回転テーブル本体
２上にスタンパ１を載置した後、減圧室22内の空気をス
ピンドル３の上部31から抜き減圧を行う。この減圧によ
って、回転テーブル本体２上の多孔質シート５に載置さ
れたスタンパ１は、減圧室22と載置面との間に設けられ
た穴23および多孔質シート５の気泡（穴）を通じて、そ
の載置面全体がほぼ均一の吸引力で吸着される。

減圧室22の内部圧保持は、上記減圧動作後に、スピンド
ル３の上部31に設けられたバルブ４を閉じることによっ
て行われる。

また、減圧室22を構成する底板21を弾性材としたから、
上記減圧時において、減圧室22の気圧の変化に伴い、減
圧室22方向（内側）へ撓む。この底板21の撓みによっ
て、減圧室22の気圧が何らかの原因により外部気圧方向
へ変動した場合でも、底板21の旧位置方向への復元によ
り、減圧室22内部の気圧を、前の状態に近く、保持させ
ることができる。

また、バルブ４を開くと、減圧室22の気圧は外気圧と同
じになり、回転テーブル本体２上の多孔質シート５に吸
着、固定されていたスタンパ１を容易に取り外すことが
できる。

（ト）考案の効果 この考案に係るスタンパ保持装置によれば、厚さが極め
て薄いスタンパを、検査機器等の回転テーブル本体上に
平面度よく載置、固定することができる。回転テーブル
内に重量物を設置しないため、重量バランスがよく、精
度よく回転可能である。

また、減圧室を構成する底板を弾性材で形成したから、
そのバネ効果により減圧室の内部圧を保持することがで
きる。

しかも、構造は簡単であって、また安価に構成すること
ができるから、実施が容易である等の優れた特長があ
る。

【図面の簡単な説明】

図は、この考案に係るスタンパ保持装置の実施例を示す
要部断面図である。 主要部分の符号の説明 １：スタンパ ２：回転テーブル本体 21：底板 22：減圧室 23：穴 ３：スピンドル 32：通気穴 ４：バルブ ５：多孔質シート

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】スタンパを載置する回転テーブル本体内に
   設けられた減圧室と、該減圧室から複数個の穴が設けら
   れているスタンパの載置面と、該減圧室内の空気を出し
   入れするための通気穴を上部に設けたスピンドルとから
   なり、 該減圧室の底板は弾性材で形成されていることを特徴と
   するスタンパ保持装置。