JPH0670558A - 超音波モータの駆動制御装置 - Google Patents

超音波モータの駆動制御装置

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JPH0670558A
JPH0670558A JP4217992A JP21799292A JPH0670558A JP H0670558 A JPH0670558 A JP H0670558A JP 4217992 A JP4217992 A JP 4217992A JP 21799292 A JP21799292 A JP 21799292A JP H0670558 A JPH0670558 A JP H0670558A
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JP
Japan
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drive
ultrasonic motor
frequency
resonance frequency
circuit
Prior art date
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Pending
Application number
JP4217992A
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English (en)
Inventor
Daisuke Satani
大助 佐谷
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 超音波モータに温度検出器を設けずに温度変
化による回転数の変動を抑制する。 【構成】 超音波モータ1の共振周波数を検出する検出
手段3と、この検出手段3で検出された共振周波数に基
づいて駆動信号の周波数および電圧を設定する制御手段
4と、設定された周波数および電圧の駆動信号を超音波
モータ1に印加する駆動手段2とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は超音波モータの駆動制御
装置に関する。
【0002】
【従来技術とその問題点】温度変化による回転数の変動
を抑制するために、超音波モータの動作温度を検出して
駆動電圧の周波数を変化させる超音波モータの駆動制御
装置が知られている(例えば、実開平2−88482号
公報参照)。この駆動制御装置では、超音波モータの振
動子に温度検出器を設け、検出温度に基づいて駆動周波
数を制御している。
【0003】しかしながら、このような従来の駆動制御
装置では、超音波モータに温度検出器を設置しているの
で弾性体に不正振動などが発生して超音波モータの回転
数が変動するという問題がある。
【0004】本発明の目的は、超音波モータに温度検出
器を設けずに温度変化による回転数の変動を抑制するこ
とにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】一実施例の構成を示す図
1に対応づけて請求項1の発明を説明すると、請求項1
の発明は、超音波モータ1に駆動信号を印加して駆動す
る駆動手段2を備えた超音波モータ1の駆動制御装置に
適用され、超音波モータ1の共振周波数を検出する検出
手段3と、この検出手段3で検出された共振周波数に基
づいて駆動信号の周波数および電圧を設定する制御手段
4とを備え、これにより、上記目的を達成する。また、
一実施例の構成を示す図5に対応づけて請求項2の発明
を説明すると、超音波モータの駆動制御装置の制御回路
4は、種々の共振周波数における駆動信号の周波数およ
び電圧に対する回転数および駆動電流のデータを記憶す
る記憶手段4aを含み、検出手段3で検出された共振周
波数とデータとに基づいて所望の回転数または駆動電流
が得られる駆動信号の周波数および電圧を設定するよう
にしたものである。
【0006】
【作用】予め超音波モータ1の温度を変化させて試験を
行い、種々の共振周波数における駆動信号の周波数およ
び電圧に対する回転数および駆動電流のデータを採取し
ておき、運転時に検出された共振周波数とデータとに基
づいて所望の回転数または駆動電流が得られる駆動信号
の周波数および電圧を設定し、その駆動信号を超音波モ
ータ1に印加して駆動する。これによって、超音波モー
タに温度検出器を設けずに温度変化による回転数変動を
抑制することができる。
【0007】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段および作用の項では、本発明を分り
やすくするために実施例の図を用いたが、これにより本
発明が実施例に限定されるものではない。
【0008】
【実施例】図1は一実施例の構成を示す。この実施例で
は、回転型超音波モータを例に上げて説明する。回転型
超音波モータ1は、圧電体1aおよびこの圧電体1aの
励振によって進行性振動波を発生する不図示の弾性体か
ら成るステータと、このステータに加圧接触され、進行
性振動波によって回転駆動される不図示のロータとから
構成される。また、超音波モータ1の駆動制御装置は、
駆動信号を発生して圧電体1aに設けられた入力電極1
b,1cに印加する駆動回路2と、超音波モータ1の共
振周波数を検出する共振周波数計測回路3と、検出され
た共振周波数に基づいて超音波モータ1に印加する駆動
信号の電圧および周波数を設定し、駆動回路2へ制御信
号を出力する制御回路4とを備える。
【0009】駆動回路2は、図2に示すように、制御回
路4の制御信号に従って周波信号を発生する発振器2a
と、その周波信号の位相を変える移相器2bと、発振器
2aからの周波信号と移相器2bを介して得られた異な
る位相の周波信号とをそれぞれ増幅して駆動信号を出力
する増幅器2c,2dとから構成され、駆動信号を超音
波モータ1の入力電極1b,1cに印加する。
【0010】図3は共振周波数計測回路の構成を示す。
この共振周波数計測回路3は、圧電セラミック振動子の
振動状態を試験する定電圧測定回路として用いられる回
路であり、発振器3aとピークホールド回路3bとから
構成される。発振器3aの発振周波数をスキャンしなが
ら超音波モータ1のいずれかの電極に印加し、他の電極
の出力電圧をピークホールド回路3bへ取り込んでその
最大値を検出し、最大の出力電圧が得られる周波数を共
振周波数として制御回路4へ出力する。
【0011】図4は共振周波数計測回路の他の実施例を
示す。この共振周波数計測回路3Aは、圧電セラミック
振動子の振動状態を試験する定電流測定回路として用い
られる回路であり、発振器3cとピークホールド回路3
dとから構成される。発振器3cの周波数をスキャンし
ながら超音波モータ1のいずれかの電極に印加し、超音
波モータ1に流れる駆動電流をピークホールド回路3d
へ取り込んでその最大値を検出し、最大の電流が流れる
周波数を共振周波数として制御回路4へ出力する。
【0012】なお、図3,4に示す共振周波数計測回路
3,3Aの発振器3a,3cは駆動回路2の発振器2a
と共通にしてもよい。また、駆動回路2の発振器2aに
よりいずれか一方の入力電極に周波信号を印加し、他の
入力電極の出力電圧をピークホールド回路3b,3dへ
取り込んで共振周波数を検出するようにしてもよい。
【0013】図5は制御回路4の構成を示す。制御回路
4は、図6に示す駆動周波数fvおよび駆動電圧Vに対
する回転数Nおよび駆動電流Iとの関係を記憶する記憶
回路4aと、この記憶回路4aの記憶内容を参照して共
振周波数計測回路3で検出された共振周波数に対応する
駆動周波数fvおよび駆動電圧Vを演算する演算回路4
bとを備え、駆動回路2へ駆動周波数fvと駆動電圧V
の制御信号を出力する。
【0014】ここで、共振周波数fmと駆動周波数f
v、駆動電圧V、回転数Nおよび駆動電流Iとの関係に
ついて説明する。図7は温度を変化させたときの超音波
モータの弾性体の振動特性を示し、図8は超音波モータ
の駆動周波数fvに対する回転数Nの出力特性を示し、
図9は超音波モータの駆動電圧Vに対する回転数Nの出
力特性を示す。超音波モータはその温度が変化すると、
図7に示すように共振状態が変化し、共振周波数fmが
変化する。今、温度がT1からT2、T3の順に高くな
ると、共振周波数もfm(T1)、fm(T2)、fm
(T3)の順に高くなる。この結果、超音波モータの回
転数Nが変動するので、設定回転数N1を維持するため
には温度変化T1〜T3に応じて図8に示すように駆動
周波数fvをf1からf3に変化させるとともに、図9
に示すように駆動電圧VをV1からV3に変化させなけ
ればならない。
【0015】そこで、予め超音波モータの温度を変化さ
せて試験を行い、図6に示すように、共振周波数fm
と、駆動周波数fvおよび駆動電圧Vに対する回転数N
=F1(f1,V)および駆動電流I=F2(fv,
V)のデータを求めておき、共振周波数計測回路3で計
測された共振周波数fmに対応する特性曲線を参照して
最適な駆動周波数fv(N1)および駆動電圧Vを決定
するようにすれば、温度変化による回転数変動を補償す
ることができ、予め設定した設定回転数N1で超音波モ
ータを安定に駆動することができる。
【0016】次に全体の動作を説明する。制御回路4に
駆動命令信号および回転数N1の回転数信号が供給され
ると、制御回路4は共振周波数計測回路3に超音波モー
タ1の共振周波数fmを計測させる。制御回路4の演算
回路4bは、計測された共振周波数fmと記憶回路4a
に記憶されている図6に示す特性曲線とに基づいて、超
音波モータ1の駆動周波数fv(N1)および駆動電圧
Vを求め、それらの制御信号を駆動回路2へ出力する。
駆動回路2はその制御信号に基づいて駆動信号を生成
し、超音波モータ1の入力電極1b,1cに印加して駆
動する。
【0017】このように、予め超音波モータの温度を変
化させて試験を行い、種々の共振周波数における駆動周
波数および駆動電圧に対する回転数および駆動電流のデ
ータを採取しておき、計測して得られた共振周波数とデ
ータとに基づいて所望の回転数または駆動電流が得られ
る駆動周波数および駆動電圧を設定するようにしたの
で、超音波モータに温度検出器を設けずに温度変化によ
る回転数変動を抑制することができ、予め設定した回転
数で超音波モータを安定に駆動することができる。
【0018】なお、上記実施例では超音波モータの回転
数を制御量としたが、出力トルク、あるいは駆動信号と
検出電極の出力電圧との位相差を制御量としてもよい。
【0019】また、上記実施例では計測した超音波モー
タの共振周波数に基づいて駆動周波数および駆動電圧を
設定したが、駆動電圧を一定にして検出共振周波数に基
づいて駆動周波数だけを設定するようにしてもよい。
【0020】以上の実施例の構成において、駆動回路2
が駆動手段を、共振周波数計測回路3,3Aが検出手段
を、制御回路4が制御手段を、記憶回路4aが記憶手段
をそれぞれ構成する。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、超
音波モータの共振周波数を検出し、検出された共振周波
数に基づいて超音波モータに印加する駆動信号の周波数
および駆動電圧を設定するようにしたので、超音波モー
タに温度検出器を設けずに温度変化による回転数変動を
抑制することができ、予め設定した設定回転数で超音波
モータを安定に駆動することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一実施例の構成を示すブロック図。
【図2】駆動回路の構成を示すブロック図。
【図3】共振周波数計測回路の構成を示すブロック図。
【図4】他の共振周波数計測回路の構成を示すブロック
図。
【図5】制御回路の構成を示すブロック図。
【図6】超音波モータの駆動周波数に対する回転数およ
び駆動電流の関係を示す図。
【図7】温度を変化させたときの超音波モータの弾性体
の振動特性を示す図。
【図8】超音波モータの駆動周波数に対する回転数を示
す図。
【図9】超音波モータの駆動電圧に対する回転数を示す
図。
【符号の説明】
1 超音波モータ 1a 圧電体 1b,1c 入力電極 1d 検出電極 2 駆動回路 2a,3a,3c 発振器 2b 移相器 2c,2d 増幅器 3,3A 共振周波数計測回路 3b,3d ピークホールド回路 4 制御回路 4a 記憶回路 4b 演算回路

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超音波モータに駆動信号を印加して駆動
    する駆動手段を備えた超音波モータの駆動制御装置にお
    いて、 前記超音波モータの共振周波数を検出する検出手段と、 この検出手段で検出された共振周波数に基づいて前記駆
    動信号の周波数および電圧を設定する制御手段とを備え
    ることを特徴とする超音波モータの駆動制御装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の超音波モータの駆動制
    御装置において、 前記制御手段は、種々の共振周波数における駆動信号の
    周波数および電圧に対する回転数および駆動電流のデー
    タを記憶する記憶手段を含み、前記検出手段で検出され
    た共振周波数と前記データとに基づいて所望の回転数ま
    たは駆動電流が得られる前記駆動信号の周波数および電
    圧を設定することを特徴とする超音波モータの駆動制御
    装置。
JP4217992A 1992-08-17 1992-08-17 超音波モータの駆動制御装置 Pending JPH0670558A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010183819A (ja) * 2009-02-09 2010-08-19 Panasonic Corp 駆動装置
CN115885467A (zh) * 2020-08-21 2023-03-31 株式会社村田制作所 驱动控制装置及超声波马达系统

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