JPS60245143A - ウエ−ハカセツト搬送機構 - Google Patents
ウエ−ハカセツト搬送機構Info
- Publication number
- JPS60245143A JPS60245143A JP10024984A JP10024984A JPS60245143A JP S60245143 A JPS60245143 A JP S60245143A JP 10024984 A JP10024984 A JP 10024984A JP 10024984 A JP10024984 A JP 10024984A JP S60245143 A JPS60245143 A JP S60245143A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- wafer cassette
- holding
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はウェーハカセット搬送機構に係ｖ１特にウェー
ハがカセット内で振動することによって生ずるウェーハ
のエツジの欠けなどを防止する機構を有するウェーハカ
セット搬送ａ＃４に関する。
ハがカセット内で振動することによって生ずるウェーハ
のエツジの欠けなどを防止する機構を有するウェーハカ
セット搬送ａ＃４に関する。
半導体ウェーハは、一般にウェーハカセットト呼ばれる
収納具に複数枚数が収納されており、各工程内及び工程
間の搬送はこの収納具に入うた状態で行なわれる。この
搬送を人手によりて行なう場合には搬送時の振動が問題
となることは、少ないのであるが、近年の自動搬送のよ
うに機械的に搬送を行なう４場合にはその振動によって
ウェーハ表面に形成したフォトレジスト膜、ｃｖｎｉｒ
ｚどのウェーハエツジ部分での損傷やそれらによるゴミ
の発生などの問題があることがわかった。
収納具に複数枚数が収納されており、各工程内及び工程
間の搬送はこの収納具に入うた状態で行なわれる。この
搬送を人手によりて行なう場合には搬送時の振動が問題
となることは、少ないのであるが、近年の自動搬送のよ
うに機械的に搬送を行なう４場合にはその振動によって
ウェーハ表面に形成したフォトレジスト膜、ｃｖｎｉｒ
ｚどのウェーハエツジ部分での損傷やそれらによるゴミ
の発生などの問題があることがわかった。
本発明は、かかる問題を解決するためになされたもので
ありて、ウェーハカセット内でウェーハがほとんど振動
しないウェーハカセット搬送機構を提供することをその
目的とする。
ありて、ウェーハカセット内でウェーハがほとんど振動
しないウェーハカセット搬送機構を提供することをその
目的とする。
本発明の特徴は、半導体ウェーハを収納したウェーバカ
セクトを搬送するウェーハカセット搬送機構において、
この半導体ウェーハが重力方向に対しである傾きを有す
るようにウェーハカセットが保持される機構を有する・
ウェーハカセット搬送ａ＃＃にある。カセットの傾きは
ウェーハの傾さが５°〜４５°になるように規定される
ことが望−ましい。特にウェーハが１０°〜２５°位ま
での範囲にあると、カセットに加えられる加速Ｋｒｊど
との関係で最も好ましい特性が侮られる。
セクトを搬送するウェーハカセット搬送機構において、
この半導体ウェーハが重力方向に対しである傾きを有す
るようにウェーハカセットが保持される機構を有する・
ウェーハカセット搬送ａ＃＃にある。カセットの傾きは
ウェーハの傾さが５°〜４５°になるように規定される
ことが望−ましい。特にウェーハが１０°〜２５°位ま
での範囲にあると、カセットに加えられる加速Ｋｒｊど
との関係で最も好ましい特性が侮られる。
以下本発明の一実施例を図面と共に説明する。
第１図、第２図は各々ウェーハカセット搬送機構の外観
図であって、第１図の例ではガイドレールｌにがん合し
たキャリア２にウェーハカセット保２ｓｆ川ラッチ３．
４が設けられており、複数の半害体ウェーハ６が収納さ
れたウェーバカセント５がこれらのラッチによって保持
されて運搬される。
図であって、第１図の例ではガイドレールｌにがん合し
たキャリア２にウェーハカセット保２ｓｆ川ラッチ３．
４が設けられており、複数の半害体ウェーハ６が収納さ
れたウェーバカセント５がこれらのラッチによって保持
されて運搬される。
第２図の例では自走式のキャリア７上にウェーハカセッ
ト５が載置された状態で運搬される。ウェーハカセット
はその内部に６１のガイドみぞが設けられており、この
みぞにウェーハをがん合させて立てて保持するのである
が、このみそはウェーハの出し入れや各種の厚さのウェ
ーハに対して同一のカセットを使用するためなどの理由
によりウェーハの厚さに対して十分に幅広になっている
。
ト５が載置された状態で運搬される。ウェーハカセット
はその内部に６１のガイドみぞが設けられており、この
みぞにウェーハをがん合させて立てて保持するのである
が、このみそはウェーハの出し入れや各種の厚さのウェ
ーハに対して同一のカセットを使用するためなどの理由
によりウェーハの厚さに対して十分に幅広になっている
。
したがって、ウェーハカセット運搬時にウェーハが振動
する。第１図、第２図のような自動搬送系ではどうして
も加減速時中動作詩にある程度の振動を発生するが、そ
れによってウェーハのみぞとかん合しているウェーハの
エツジの部分がみぞとぶつかり合ってその部分からゴミ
が発生する。ゴミはウェーハ上に設けた各種の膜の成分
や、ウェーハ自体の欠けなどによるものがあるが、これ
らのゴミはウェーハの素子領域に付層すると素子不良を
引き起こす原因となる。
する。第１図、第２図のような自動搬送系ではどうして
も加減速時中動作詩にある程度の振動を発生するが、そ
れによってウェーハのみぞとかん合しているウェーハの
エツジの部分がみぞとぶつかり合ってその部分からゴミ
が発生する。ゴミはウェーハ上に設けた各種の膜の成分
や、ウェーハ自体の欠けなどによるものがあるが、これ
らのゴミはウェーハの素子領域に付層すると素子不良を
引き起こす原因となる。
第３図、第４図は各々本発明の一実施例の外殻図である
。
。
第３図は第１図に示した搬送機構に本発明を適用した例
で、キャリアがガイドレール１にがん合している台車部
分８と、カセットを保持するラッチ３．４のペースとな
る基台９とから成り、基台９は台＄８に対する角度が可
変可能となっている。
で、キャリアがガイドレール１にがん合している台車部
分８と、カセットを保持するラッチ３．４のペースとな
る基台９とから成り、基台９は台＄８に対する角度が可
変可能となっている。
この角度はウェーハカセット５を保持用ラッチ４．５に
よって着脱する時は０″に設定され、カセットを保持抜
本実施例ではｌＯｏの傾きにセットされる。これによっ
てウェーハは電力方向に対して約１０″の傾きを持つた
めカセットのミソの一つの面と＠看し、したがってキャ
リアの動作、停止時にもみそ内で振動することがなくな
る。
よって着脱する時は０″に設定され、カセットを保持抜
本実施例ではｌＯｏの傾きにセットされる。これによっ
てウェーハは電力方向に対して約１０″の傾きを持つた
めカセットのミソの一つの面と＠看し、したがってキャ
リアの動作、停止時にもみそ内で振動することがなくな
る。
第４図は第２図の搬送＋ＩＮ構に本発明を適用した例で
あって、自走式のキャリア１０の上面にはその動作状態
に応じて角度が変化するカセット載置部１１．１２が設
けられている。このような構成によって、動作時にはカ
セット５が佃いてウェーッＳ６はみその一向に密着する
ので、撮動によってウェーハがみそとぶつかり合ってゴ
ミを発生するといつ九障害は防ぐことが出来る。
あって、自走式のキャリア１０の上面にはその動作状態
に応じて角度が変化するカセット載置部１１．１２が設
けられている。このような構成によって、動作時にはカ
セット５が佃いてウェーッＳ６はみその一向に密着する
ので、撮動によってウェーハがみそとぶつかり合ってゴ
ミを発生するといつ九障害は防ぐことが出来る。
以上のとおり、本発明によれば従来のウェーッーカセッ
トを用いて機械搬送を行なってもゴミの発生のない良好
な搬送を行なうことができる。
トを用いて機械搬送を行なってもゴミの発生のない良好
な搬送を行なうことができる。
第１図、第２図は各々ウェー／”ｔカセット搬送機構の
外観図、第３図、第４図は各々第１図、第２図のウェー
ハカセット搬送機構に本発明を適用した実施例である。 。 なお図において、１・・・ガイドレール、２・・・キャ
リア、３，４・・・ウェーッ１カセット保持用ラッチ、
５・・・ウェーハカセット、６・・・ウェーハ、７・・
・自走式のキャリア、８・・・台車部分、９・・・基台
、ＩＯ・・・自走式のキャリア、１１．１２・・・カセ
ツ１［置部、である。 ５− 電 １ 〒 蜜２図
外観図、第３図、第４図は各々第１図、第２図のウェー
ハカセット搬送機構に本発明を適用した実施例である。 。 なお図において、１・・・ガイドレール、２・・・キャ
リア、３，４・・・ウェーッ１カセット保持用ラッチ、
５・・・ウェーハカセット、６・・・ウェーハ、７・・
・自走式のキャリア、８・・・台車部分、９・・・基台
、ＩＯ・・・自走式のキャリア、１１．１２・・・カセ
ツ１［置部、である。 ５− 電 １ 〒 蜜２図
Claims (1)
- 半導体ウェーハを収納したウェーハカセットを搬送する
ウェーハカセット搬送機構において、前記半導体ウェー
ハが重力方向に対して５＠乃至４５゜の傾きを持つよう
に酌記つエーノ為カセットを保持する手段が設けられて
いることを特徴とするウェーハカセット搬送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59100249A JPH0671040B2 (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | ウェーハカセット搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59100249A JPH0671040B2 (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | ウェーハカセット搬送機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60245143A true JPS60245143A (ja) | 1985-12-04 |
| JPH0671040B2 JPH0671040B2 (ja) | 1994-09-07 |
Family
ID=14268952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59100249A Expired - Lifetime JPH0671040B2 (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | ウェーハカセット搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0671040B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012036206A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 富士電機株式会社 | ウェハ収納具、及びウェハカセットの収納ケース |
| JP2015032763A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | 株式会社Sumco | ウェーハ運搬台車及びウェーハ運搬方法 |
| CN111834264A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-10-27 | 芯米(厦门)半导体设备有限公司 | 一种支撑烘烤晶舟 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56120124A (en) * | 1980-02-26 | 1981-09-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Wafer replacement device |
| JPS5758764U (ja) * | 1980-09-24 | 1982-04-07 | ||
| JPS58120643U (ja) * | 1982-02-09 | 1983-08-17 | 三菱電機株式会社 | ウエハ処理用バスケツト |
| JPS5961942A (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-09 | Hitachi Ltd | 薄板キヤリア治具 |
-
1984
- 1984-05-18 JP JP59100249A patent/JPH0671040B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56120124A (en) * | 1980-02-26 | 1981-09-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Wafer replacement device |
| JPS5758764U (ja) * | 1980-09-24 | 1982-04-07 | ||
| JPS58120643U (ja) * | 1982-02-09 | 1983-08-17 | 三菱電機株式会社 | ウエハ処理用バスケツト |
| JPS5961942A (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-09 | Hitachi Ltd | 薄板キヤリア治具 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012036206A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 富士電機株式会社 | ウェハ収納具、及びウェハカセットの収納ケース |
| JP2015032763A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | 株式会社Sumco | ウェーハ運搬台車及びウェーハ運搬方法 |
| CN111834264A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-10-27 | 芯米(厦门)半导体设备有限公司 | 一种支撑烘烤晶舟 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0671040B2 (ja) | 1994-09-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |