JPH0677018U - ディスク吸着盤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構成で、確実にディスクを吸着できる
ディスク吸着盤の提供を目的としている。 【構成】 ディスク吸着盤は吸盤１と吸着台１１とから
構成され、吸盤１は円板状の弾性部材からなり、中心部
に穴１ａを有し、その外側に大小のリング状凸部１ｄ，
１ｅを有するとともに、これら２本のリング状の凸部の
間に円板の表裏を貫通する複数個の吸着孔１ｆを備えて
いる。吸着台１１は、吸盤１を位置決め嵌合する凹部１
１ｋを有し、かつ該凹部１１ｋの中心部に前記吸盤の中
心の穴１ａに嵌合して突出する凸部１１ａを有するとも
に、該凹部１１ｋの前記吸盤１の吸着孔１ｆと整合する
位置に貫通孔１１ｆを備えている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ディスクの製造過程において、ディスクの表面処理するときに、デ ィスクを吸着して支持しておくディスク吸着盤に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来から、ＣＤ等のディスクの製造過程において、ディスクの表面にプラスチ ックを塗布して保護膜を形成するとき、ディスクの他の面を吸着してディスクを 支持し回転させるために真空チャック式のディスク吸着盤が用いられている。 図３は、一例として、従来のディスク吸着盤１１によってＣＤが吸着されてい る状態を示す断面図である。 ディスク吸着盤（通称、中子という。）１１は金属材からなり、図に示すよう に、その形状は厚みの有る略円板状で上面中央にはＣＤの中央孔に嵌合するため の円柱状の凸部１１ａが突出しており、上部の周辺部１１ｂは鍔状に張り出して いる。該周辺部１１ｂの下面には１条のリング状の溝１１ｃが設けられており、 該溝１１ｃにはＯ−リング２１が嵌め込まれている。

【０００３】 また、ディスク吸着盤１１の上面には大小２条のリング状の溝１１ｄ，１１ｅ が設けられており、これらの溝１１ｄ，１１ｅにもそれぞれＯ−リング２２，２ ３が嵌め込まれている。また、溝１１ｄと溝１１ｅとの間には、ディスク吸着盤 １１の上面と下面とを貫通する複数個の貫通孔１１ｆが設けられている。更に、 ディスク吸着盤１１の下面中央部には円柱状の凹部１１ｇが穿孔されているとと もに、下面周辺部近傍にはリング状の溝１１ｈが設けられていて、該溝１１ｈに もＯ−リング２４が嵌め込まれている。

【０００４】 また、ディスク吸着盤１１の下面には、スピンドル３０が密着している。該ス ピンドル３０は、上部が円板状の台３０ａとなっており、該台３０ａの上面中央 部にはディスク吸着盤１１の下面の凹部１１ｇに嵌合する円柱状の凸部３０ｂを 有している。また、該台３０ａの下面中央部には軸３０ｃが設けられており、該 軸３０ｃの中心部には空洞３０ｄが設けられていて、該空洞３０ｄの一端は上部 の台３０ａの表面まで貫通しているとともに、他端は図示せぬ真空ポンプに連通 している。

【０００５】 ディスク吸着盤１１は、通常の状態では、その鍔状の周辺部１１ｂがディスク の表面に保護膜を塗布する装置の枠４０の上にＯ−リング２１が接触する状態で 載っている。ＣＤがディスク吸着盤１１の上に載置されると、スピンドル３０が 下側から上昇して、スピンドル３０の上部の台３０ａに設けられている凸部３０ ｂがディスク吸着盤１１の下面の凹部１１ｇに嵌合して、ディスク吸着盤１１の 下面に嵌め込まれているＯ−リング２４がスピンドル３０の台３０ａの表面に接 触して、周辺部１１ｂが枠４０から浮き上がる。

【０００６】 スピンドル３０の上昇と同時に真空ポンプを作動させるため、その上昇途中で ディスク吸着盤１１の貫通孔１１ｆとスピンドル３０の空洞３０ｄは矢印のよう に空気が引かれ減圧し、ＣＤはディスク吸着盤１１のＯ−リング２２，２３に吸 着され、スピンドル３０の上昇完了時には、ＣＤ、ディスク吸着盤１１、スピン ドル３０は真空の保持力により一体化している。次に、ＣＤの表面に液状のプラ スチックが塗布され、スピンドル３０が約２０００rpm で回転し、ディスク吸着 盤１１とＣＤも一体に回転して、ＣＤのアルミ等の膜の表面に均一な厚さの保護 膜が形成される。

【０００７】 また、これ以外の他の吸着方法としては、複数個の小さな吸盤を用いる方法等 がある。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上述したＯ−リング２２，２３を使用したものは、Ｏ−リング ２２，２３がディスク吸着盤１１の溝１１ｄ，１１ｅから浮き上がったり、ディ スク吸着盤１１や製品のバラツキ等によりＣＤの吸着力の低下という問題が発生 することが有り、接着剤を使用していた。そのため、Ｏ−リング２２，２３の交 換は面倒で工数もかかっていた。また、ＭＤ（ミニディスク）等の場合には、Ｃ Ｄに比べてディスクの吸着面が限定されるため、このまま使用することが困難で あるという点もある。 また、複数個の小さな吸盤を用いる方法では、吸盤の吸着面積が小さいため吸 着保持力も小さく、高速でのスピンドルの回転は困難である。また、ディスク吸 着盤の構造も複雑化し吸盤の交換調整が面倒であるという問題がある。

【０００９】 本考案は、簡単な構成で、確実にディスクを吸着できるディスク吸着盤の提供 を目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本考案に係るディスク吸着盤は、円板状で、中心部に穴を有し、その外側に大 小のリング状凸部を有するとともに、これら２本のリング状の凸部の間に円板の 表裏を貫通する複数個の吸着孔を備えた弾性部材からなる吸盤と、前記吸盤を位 置決め嵌合する凹部を有し、かつ該凹部の中心部に前記吸盤の中心の穴に嵌合し て突出する凸部を有するともに、該凹部の前記吸盤の吸着孔と整合する位置に貫 通孔を備えた吸盤台とから構成されていることを特徴している。

【００１１】

【作用】

上述のように構成されているので、吸盤台の凹部に吸盤を嵌合するとき、吸盤 の穴を吸盤台の凸部に合わせて位置決めして嵌合すると、吸盤に設けられている 吸着孔と吸盤台の貫通孔との位置が簡単に一致するように作用する。このため、 吸盤を交換する場合に、その手間が極めて簡単になる。 この状態で、このディスク吸着盤を保護膜塗布用の装置の枠台にの載せ、上に ディスクを載せて、下からスピンドルを密着させて真空ポンプにより連通する吸 着孔と貫通孔との空気を吸引すると、ディスクは吸引されて吸盤の大小のリング 状凸部に吸着される。 ディスクの形状が変わった場合でも、吸盤の大小のリング状凸部の位置を変え ることで対処が可能になる。

【００１２】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づき説明する。なお、従来の技術の項で説明 したものと同一または相当する部分には同一符号を付す。 図１には、吸盤と吸盤台とで構成される本考案に係るディスク吸着盤の一例が 示されており、図１（ｂ）に示す吸盤台（通称、中子という。）１１はステンレ ス等の金属材からなり、その形状は厚みの有る略円板状で、上面中央にはＣＤの 中央孔に嵌合するための円柱状の凸部１１ａが突出しており、上面の周辺部１１ ｂは鍔状に張り出している。該周辺部１１ｂの下面には１条のリング状の溝１１ ｃが設けられており、該溝１ｃにはＯ−リング２１が嵌め込まれている。

【００１３】 また、吸盤台１１の上面の前記凸部１１ａの周囲には平面視円形の凹部１１ｋ が設けられており、該凹部１１ｋには吸盤台１１の上面と下面とを貫通する複数 個の貫通孔１１ｆが設けられている。また、この凹部１１ｋの周辺部の一端には 外方に向かって小さな凹み１１ｍが設けられている。

【００１４】 一方、図１（ａ）には、前記吸盤台１１の凹部１１ｋに嵌合する吸盤１の平面 図と側断面図が示されている。吸盤１はゴム等の弾性部材からなり、円板状で、 中心部に前記吸盤台１１の円柱状の凸部１１ａを通す穴１ａが設けられており、 その穴１ａの外側には大小のリング状凸部１ｄ，１ｅを有し、これら大小のリン グ状凸部１ｄ，１ｅの間には円板の表裏を貫通する複数個の吸着孔１ｆが開けら れているとともに、円板の外周部には突起１ｍが設けられている。

【００１５】 該突起１ｍは前記吸盤台１１の凹部１１ｋの凹み１１ｍに対向するもので、こ の吸盤１を吸盤台１１の凹部１１ｋに嵌合する際に、吸盤１の穴１ａを吸盤台１ １の凸部１１ａに合わせ、かつ吸盤１の外周部の突起１ｍを吸盤台１１の凹部１ １ｋの凹み１１ｍに合わせると、吸盤１の吸着孔１ｆと吸盤台１１の貫通孔１１ ｆとの位置が一致するように構成されている。また、該突起１ｍは吸盤１を吸盤 台１１に嵌合した後の吸盤１の回り止めともなっている。

【００１６】 吸盤１を吸盤台１１に嵌合した後、このディスク吸着盤を保護膜塗布用の装置 の枠台に載せ、その上にＭＤ等のディスクを載せて、下から従来例で示したスピ ンドルを密着させ真空ポンプにより連通する吸着孔１ｆと貫通孔１１ｆとの空気 を吸引すると、ディスクは吸引されて吸盤１の大小のリング状凸部１ｄ，１ｅに 吸着される。この状態は、図２に示されている。

【００１７】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によると、吸盤台に吸盤を嵌め込むだけで、高さ 調整も要らず、浮き上がることもないため接着剤の使用も必要とせず、瞬時に交 換可能であり作業工程が簡単になる。また、ＭＤ（ミニディスク）等のように吸 着面が限定される場合でも、吸盤のリング状凸部の位置を変えるだけで対応する ことができるとともに保持力も確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す図であり、（ａ）は吸盤
の平面図と側断面図で、（ｂ）は吸盤台の断面図であ
る。

【図２】本考案実施例に係るディスク吸着盤にディスク
を吸着させた状態を示す断面図である。

【図３】従来のディスク吸着盤にディスクを吸着させた
状態を示す断面図である。

【符号の説明】

１ 吸盤 １ａ 穴 １ｄ リング状凸部 １ｅ リング状凸部 １ｆ 吸着孔 １ｍ 突起 １１ 吸盤台 １１ａ 凸部 １１ｄ 凹部 １１ｆ 貫通孔 １１ｍ 凹み ３０ スピンドル

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 円板状で、中心部に穴を有し、その外側
   に大小のリング状凸部を有するとともに、これら２本の
   リング状の凸部の間に円板の表裏を貫通する複数個の吸
   着孔を備えた弾性部材からなる吸盤と、 前記吸盤を位置決め嵌合する凹部を有し、かつ該凹部の
   中心部に前記吸盤の中心の穴に嵌合して突出する凸部を
   有するともに、該凹部の前記吸盤の吸着孔と整合する位
   置に貫通孔を備えた吸盤台とからなるディスク吸着盤。