JPH06819Y2 - 石英ボートの操作部構造 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、半導体基板が搭載された石英ボートと、これ
を拡散炉に出し入れ操作する操作棒とを備えてなる石英
ボートの操作部構造に関する。

〈従来の技術〉 従来から、半導体基板の拡散処理は、石英ボート上に処
理すべき多数の半導体基板を搭載したうえ、この石英ボ
ートを拡散炉に挿入して加熱することによって行われて
いる。そして、この石英ボートは、石英製の操作棒によ
って拡散炉の内部へ出し入れ操作されるようになってお
り、この石英ボートの操作部構造は、石英ボートの後端
部に操作棒の先端部が連結して固定されたものとなって
いる。

したがって、この操作棒は拡散炉に挿入された石英ボー
トに取りつけられたまま、その外端部のみが拡散炉の外
部に露出させられた状態に配置されることになり、この
状態のままで半導体基板の拡散処理が行われるのが一般
的であった。

〈考案が解決しようとする課題〉 ところで、前記石英ボートの操作部構造においては、石
英ボートに取りつけられた操作棒の先端部が、例えば、
1500℃というような高温となる拡散炉内に配置されたま
ま、長時間にわたって加熱されるので、この操作棒が熱
変形を起こしてしまい、その使用可能期間、すなわち、
寿命が短くなってしまうというような問題があった。

本考案はかかる現状に鑑みて創案されたものであって、
半導体基板の拡散処理にあたって操作棒の全体を拡散炉
の外部に引き出しておくことが可能で、その熱変形を未
然に防止することができる石英ボートの操作部構造を提
供することを目的としている。

〈課題を解決するための手段〉 本考案は、半導体基板が搭載された石英ボートと、該石
英ボートを拡散炉に出し入れ操作する操作棒とを備えて
なる石英ボートの操作部構造において、前記操作棒の先
端部に、前記石英ボートの後端部を押圧しうる係合部を
設ける一方、前記石英ボートの後端部に、該石英ボート
の引き出し操作時には前記操作棒の係合部と係合して連
動しうる係合受部材を配設するとともに、前記石英ボー
トの押し入れ操作時には前記係合受部材を退避させて該
係合受部材と前記係合部との係合を阻止し、かつ、前記
操作棒の引き出し操作によって前記係合受部材を進出さ
せる係合阻止部材を設けた構成に特徴を有するものであ
る。

〈作用〉 上記構成によれば、拡散炉への石英ボートの押し入れ操
作は石英ボートの後端部を操作棒の係合部で押圧するこ
とによって行われ、この押し入れ操作が終了すれば、操
作棒は拡散炉の外部にまで引き出される。そして、この
操作棒の引き出し操作によって係合阻止部材による係合
受部材の退避状態が解除され、この係合受部材が退出す
る。

また、石英ボートの引き出し操作にあたっては、操作棒
を拡散炉に挿入することによって、この操作棒の係合部
が進出している係合受部材と係合して連結されることに
なり、石英ボートは操作棒の引き出し操作に連動して拡
散炉の外部にまで引き出される。

〈実施例〉 以下、本考案を図面に示す実施例に基づき詳細に説明す
る。

第１図は本考案に係る石英ボートの操作部構造を示す一
部省略斜視図であり、第２図(a)〜(d)は石英ボートの出
し入れ操作時の状態を示す説明図である。これらの図に
おける符号１は多数の半導体基板Ｗ，…が立姿勢で並列
に搭載される石英ボート、２は石英ボート１が挿入され
る拡散炉、３は石英ボート１を拡散炉２に出し入れ操作
する操作棒であって、この操作棒３の先端部にはその軸
芯方向に対して略「Ｔ」字状に張り出された丸棒状の係
合部４が形成されている。

一方、石英ボート１の後端部上面の所定位置には、操作
棒３の係合部４が当接して押圧される突出部５が形成さ
れている。また、その後端部両側面には支持ピン６，６
を介して揺動自在に支持された係合受部材としての一対
の揺動レバー７，７が配設されており、各揺動レバー７
の後端側には上方に向かって突出する略三角形状の係合
受片８が形成され、かつ、その前端側には後端側部分よ
りも重量の重い重り部９が形成されている。したがっ
て、この揺動レバー７は、その係合受片８が上側からの
負荷によって押さえられない限り、支持ピン６を中心と
して重り部９が下側に配置された状態で安定することに
なるので、その係合受片８は前記突出部５よりも後端側
で、かつ、石英ボート１の上面よりも上側に進出するこ
とになる。

さらに、この石英ボート１の前記揺動レバー７，７より
も後端側位置には、略「Ｌ」字状に形成された係合阻止
部材としての一対の押さえレバー１０，１０がそれぞれ
支持ピン１１，１１を介して揺動自在に配設されてい
る。そして、各押さえレバー１０を揺動操作することに
より、その押さえ片１２が前記係合受片８を上側から押
さえるようにセットすると、揺動レバー７が支持ピン６
を中心として揺動させられ、その重り部９が上側に持ち
上げ配置された状態となる。なお、この際には、押さえ
片１２と直交して形成された押さえレバー１０の引掛け
片１３は、石英ボート１の上面から突出して配置される
ことになる。

つぎに、上記構成を有する石英ボート１の操作部構造の
動作について、第２図(a)〜(d)に基づいて説明する。

まず、石英ボート１の押し入れ操作にあたっては、第２
図(a)に示すように、押さえレバー１０を揺動操作する
ことによって揺動レバー７の係合受片８を石英ボート１
の上面から下側に退避させておき、石英ボート１の後端
部に形成された突出部５を操作棒３の係合部４で押圧す
ることによって石英ボート１を拡散炉２の内部に挿入す
る。ついで、この押し入れ操作が終了すれば、第２図
(b)に示すように、操作棒３だけを拡散炉２の外部にま
で引き出すが、このとき、操作棒３の引き出し操作によ
って押さえレバー１０の引掛片１３が揺動させられ、そ
の押さえ片１２による揺動レバー７の係合受片８の退避
状態が解除されることになるので、この係合受片８が石
英ボート１の上面よりも上側まで進出することになる。
そして、このような状態において、石英ボート１に搭載
された半導体基板Ｗ，…の拡散処理が行われる。

つぎに、上記拡散処理が終了すれば、石英ボート１が拡
散炉２の外部に引き出されるが、この引き出し操作にあ
たっては、まず、操作棒３を拡散炉２に再挿入する。そ
して、この操作棒３を押し込んでいくと、その係合部４
は、第２図(c)に示すように、石英ボート１の上面から
進出している揺動レバー７の係合受片８に当接し、これ
を押し下げもしくは乗り越えたのち、突出部５に当接し
て停止させられる。このとき、操作棒３を少しだけ引き
出すことによって突出部５と係合受片８との間に配置さ
れた係合部４は揺動レバー７，７それぞれの接合受片８
と係合して連結される。そののち、第２図(d)に示すよ
うに、石英ボート１の揺動レバー７，７に係合された操
作棒３を引き出し操作することにより、石英ボート１が
操作棒３に連動して拡散炉２の外部へ引き出される。

〈考案の効果〉 以上説明したように、本考案によれば、操作棒の先端部
に石英ボートの後端部を押圧しうる係合部を設ける一
方、石英ボートの後端部に操作棒の係合部と係合して連
動しうる係合受部材と、この係合受部材を進退させる係
合阻止部材とを配設している。したがって、拡散炉に挿
入された石英ボートから操作棒だけを取り外して拡散炉
の外部にまで引き出すとともに、この操作棒を拡散炉に
再挿入して石英ボートの係合受部材と係合することによ
って石英ボートを拡散炉の外部にまで引き出すことが可
能となる。

そのため、半導体基板の拡散処理にあたって操作棒の全
体を拡散炉の外部に引き出しておくことが可能となり、
その熱変形を未然に防止するとともに、その長寿命化を
図ることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る石英ボートの操作部構造を示す一
部省略斜視図であり、第２図(a)〜(d)はその動作状態を
示す説明図である。 図において、符号１は石英ボート、２は拡散炉、３は操
作棒、４は操作棒の係合部、７は揺動レバー（係合受部
材）、10は押さえレバー（係合阻止部材）、Ｗは半導体
基板である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体基板が搭載された石英ボートと、該
   石英ボートを拡散炉に出し入れ操作する操作棒とを備え
   てなる石英ボートの操作部構造において、 前記操作棒の先端部に、前記石英ボートの後端部を押圧
   しうる係合部を設ける一方、 前記石英ボートの後端部に、該石英ボートの引き出し操
   作時には前記操作棒の係合部と係合して連動しうる係合
   受部材を配設するとともに、 前記石英ボートの押し入れ操作時には前記係合受部材を
   退避させて該係合受部材と前記係合部との係合を阻止
   し、かつ、前記操作棒の引き出し操作によって前記係合
   受部材を進出させる係合阻止部材を設けたことを特徴と
   する石英ボートの操作部構造。