JPH0682268A - 磁気式位置検出装置 - Google Patents
磁気式位置検出装置Info
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- JPH0682268A JPH0682268A JP5571491A JP5571491A JPH0682268A JP H0682268 A JPH0682268 A JP H0682268A JP 5571491 A JP5571491 A JP 5571491A JP 5571491 A JP5571491 A JP 5571491A JP H0682268 A JPH0682268 A JP H0682268A
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- magnetic field
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 工作機やロボット装置等の制御端における位
置検出に使用される磁気式位置検出装置であって,歪み
の少ない正弦波出力を得るようにしたもの。 【構成】 所定のピッチで複数の磁極が着磁された磁気
媒体と,この磁気媒体と対向する表面に設けられた磁気
抵抗効果素子(以下MR素子という)からなる磁気セン
サを備えた位置検出装置において,1組の3端子を構成
する2個のMR素子の配設ピッチが,繰り返し磁気信号
のピッチをλとしたとき,λに比例する特定条件の間隔
とし,且つ第1及び第2組の3端子間のピッチもλに比
例する特定条件の間隔となるようにした。
置検出に使用される磁気式位置検出装置であって,歪み
の少ない正弦波出力を得るようにしたもの。 【構成】 所定のピッチで複数の磁極が着磁された磁気
媒体と,この磁気媒体と対向する表面に設けられた磁気
抵抗効果素子(以下MR素子という)からなる磁気セン
サを備えた位置検出装置において,1組の3端子を構成
する2個のMR素子の配設ピッチが,繰り返し磁気信号
のピッチをλとしたとき,λに比例する特定条件の間隔
とし,且つ第1及び第2組の3端子間のピッチもλに比
例する特定条件の間隔となるようにした。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は工作機やロボット装置等
の制御端における位置検出に使用される磁気式位置検出
装置の改良に関する。
の制御端における位置検出に使用される磁気式位置検出
装置の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の磁気式位置検出器(磁気エンコ−
ダ)は図6に示すように構成されていた。同図におい
て,1は回転軸,2はこの回転軸1に固着された磁気ド
ラムで,この磁気ドラム2の外周に設けられた磁気記録
と空隙を介して磁気センサ3が対向設置される。図7は
磁気ドラム2の磁気記録と磁気センサ3に設けられた複
数個の磁気抵抗効果素子(以下MR素子という)の夫々
の配設ピッチの関係を示す展開図,また,図8は磁気セ
ンサ3と4個のMR素子R1〜R4をブリッジに組み磁気
ドラム2の回転を検出する電気回路を示す。上記のよう
に構成される従来の磁気エンコ−ダの動作特性は,図9
に示すようになる。同図において,(イ)のMRはMR
素子の入力磁界Hと抵抗Rとの関係を示す特性曲線,
(ロ)のMHは磁気ドラム2の磁界Hの変化を示す特性
曲線である。MHがsinθに比例するものとすれば,
MHの変化によってMRの抵抗変化は(ハ)のR1,R2
に示すようになる。また,図8の電気回路において出力
端子aの電圧は図9の(ニ)に示す曲線で表され,磁気
ドラムが回転するとその回転位置に応じて出力電圧Ea
が変化し,磁気ドラムの磁気信号1サイクルに対し2サ
イクルの出力が得られる。
ダ)は図6に示すように構成されていた。同図におい
て,1は回転軸,2はこの回転軸1に固着された磁気ド
ラムで,この磁気ドラム2の外周に設けられた磁気記録
と空隙を介して磁気センサ3が対向設置される。図7は
磁気ドラム2の磁気記録と磁気センサ3に設けられた複
数個の磁気抵抗効果素子(以下MR素子という)の夫々
の配設ピッチの関係を示す展開図,また,図8は磁気セ
ンサ3と4個のMR素子R1〜R4をブリッジに組み磁気
ドラム2の回転を検出する電気回路を示す。上記のよう
に構成される従来の磁気エンコ−ダの動作特性は,図9
に示すようになる。同図において,(イ)のMRはMR
素子の入力磁界Hと抵抗Rとの関係を示す特性曲線,
(ロ)のMHは磁気ドラム2の磁界Hの変化を示す特性
曲線である。MHがsinθに比例するものとすれば,
MHの変化によってMRの抵抗変化は(ハ)のR1,R2
に示すようになる。また,図8の電気回路において出力
端子aの電圧は図9の(ニ)に示す曲線で表され,磁気
ドラムが回転するとその回転位置に応じて出力電圧Ea
が変化し,磁気ドラムの磁気信号1サイクルに対し2サ
イクルの出力が得られる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで,従来技術の
ものでは,磁気エンコ−ダの出力電圧は基本的にはMR
素子に作用する磁界に強さに比例して変化するものであ
るが,磁界の強さに対し抵抗変化が飽和特性をもってい
ること,磁界の極性に対し対称でないこと,外部から移
動磁性体の磁気記録とは別の一定方向の磁界により磁界
の強さが非対称形となること,また,MR素子に作用す
る磁気記録の磁界の強さがsinθとならない等の原因
によって出力電圧は多くの高調波を含んだ歪み波形とな
っており,これが誤差の原因となるという問題点があっ
た。図10は磁気記録の磁界が第3高調波を含んだ波形
である場合を示すもので,基本波V1 に対し第3高調波
V3 を重畳させるとV0 で示すような歪み波形となって
しまう。また,図11は外部磁界の影響で磁気センサに
作用する磁界の強さが非対称となった場合の出力電圧の
波形を示すもので,磁気記録の2倍の周期の出力電圧の
振幅が1サイクルおきに大,小となるなるように変化
し,この振幅の変化は1サイクルの基本波に対し1/2
周期となることを示している。このように出力電圧の波
形が歪みが大きいということは,正弦波出力を高分解化
する上で,大きな妨げとなるものである。本発明は従来
のものの上記課題(問題点)を解決し,歪みの少ない正
弦波出力を得るようにした磁気式位置検出装置を提供す
ることを目的とする。
ものでは,磁気エンコ−ダの出力電圧は基本的にはMR
素子に作用する磁界に強さに比例して変化するものであ
るが,磁界の強さに対し抵抗変化が飽和特性をもってい
ること,磁界の極性に対し対称でないこと,外部から移
動磁性体の磁気記録とは別の一定方向の磁界により磁界
の強さが非対称形となること,また,MR素子に作用す
る磁気記録の磁界の強さがsinθとならない等の原因
によって出力電圧は多くの高調波を含んだ歪み波形とな
っており,これが誤差の原因となるという問題点があっ
た。図10は磁気記録の磁界が第3高調波を含んだ波形
である場合を示すもので,基本波V1 に対し第3高調波
V3 を重畳させるとV0 で示すような歪み波形となって
しまう。また,図11は外部磁界の影響で磁気センサに
作用する磁界の強さが非対称となった場合の出力電圧の
波形を示すもので,磁気記録の2倍の周期の出力電圧の
振幅が1サイクルおきに大,小となるなるように変化
し,この振幅の変化は1サイクルの基本波に対し1/2
周期となることを示している。このように出力電圧の波
形が歪みが大きいということは,正弦波出力を高分解化
する上で,大きな妨げとなるものである。本発明は従来
のものの上記課題(問題点)を解決し,歪みの少ない正
弦波出力を得るようにした磁気式位置検出装置を提供す
ることを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は繰り返し磁気信
号のピッチλに対して1組の3端子を構成する2個のM
R素子を
号のピッチλに対して1組の3端子を構成する2個のM
R素子を
【数3】 のピッチで配設することにより高調波成分のうち第3高
調波成分を除去し,且つ,第1及び第2組の3端子間を
調波成分を除去し,且つ,第1及び第2組の3端子間を
【数4】 のピッチで配設するように構成することで,上記課題を
達成するようにしている。
達成するようにしている。
【0005】
【作用】本発明は繰り返し磁気信号のピッチに対して,
ある特定のピッチで2個のMR素子を3端子結合するこ
とによって,まず,奇数高調波の内で一番大きな割合を
有する第3高調波を除去し,次いで,第1組及び第2組
の3端子間で偶数高調波を除去し,歪みの少ない正弦波
出力電圧を得るようにしている。
ある特定のピッチで2個のMR素子を3端子結合するこ
とによって,まず,奇数高調波の内で一番大きな割合を
有する第3高調波を除去し,次いで,第1組及び第2組
の3端子間で偶数高調波を除去し,歪みの少ない正弦波
出力電圧を得るようにしている。
【0006】
【実施例】以下図1〜図5に示す各実施例により本発明
を具体的に説明する。先ず,本発明の第1の実施例を図
1〜図4により説明する。本発明の全体構成は図6と同
等であるのでその図示は省略し,その同図の符号を用い
て以下の説明を行うことにする。図1は回転ドラム1と
磁気センサ2の関係をMR素子の配設ピッチも分かるよ
うに示した展開接続図である。即ち,磁気センサ2は4
個のMR素子R11,R12,R21,R22によって構成さ
れ,図示のように,MR素子R11とR12,R21とR22は
(2λ)/3の間隔(配設ピッチ)で,MR素子R11とR
21はλ/2の間隔を隔てて配置されている。なお,e1
及びe2は出力端子の出力である。図2ではMR素子R
11〜R22をブリッジ接続し,電源5より電圧を供給する
ように構成した磁気ドラムのように回転を検出する電気
回路である。この場合,3端子出力e1,e2は差動増幅
器4に入力され,最終出力e0を出すようになってい
る。図3はまだ第3高調波を含んでいる状態の波形図
で,同図中(イ)はMR素子R11の出力波形,(ロ)は
MR素子R12の出力波形,(ハ)は出力電圧e1即ちea
とebの和の波形である。同図に示すように,磁界の小
さな部分では磁界に比例して抵抗が変化するが,大きな
磁界が加わると,抵抗変化が飽和して歪みの大きい波形
となっている。即ち,図3に示すように基本波Va1,
Vb1とこれらの基本波の3倍の周波数,換言すれば第
3高調波Va3,Vb3に分けられる。ここで,図1に示
すように基本波Va1,Vb1の位相差が(2λ)/3(こ
れは4π/3に等しい値である)になるように配設され
ているので第3高調波Va3とVb3の位相差は4πとな
る。したがって,MR素子R11,R12を3端子結合する
ことにより,両波を差動的に加えるのと等価のため第3
高調波Va3,Vb3成分は互いに相殺されて”0”にな
り,基本波成分Va1,Vb1のみが加え合わされる。図
4は3端子接続により第3高調波が除去された後,まだ
第2高調波が残っている出力波形e1,e2を示す。この
波形は同図に示すように,第3高調波は除去できたが,
基本波Vc1,Vd1と基本波の2倍の周波数つまり第2
高調波Vc2,Vd2に分けられる。ここで,図1に示し
たように基本波Vc1,Vd1の位相差がλ/2(これは
πに等しい値である)となるように配設されているので
第2高調波Vc2,Vd2の位相差は2πとなる。したが
って,センサ出力e1,e2を図2に示すように差動増幅
器4に抵抗Riを介して入力することにより第2高調波
Vc2,Vd2は相殺されて”0”となり基本波Vc1,
Vd1のみが加え合わされる。その結果,得られた最終
出力e0は図4の(ハ)に示すように偶数調波及び第3
高調波が除去された歪みの少ない正弦波出力となる。
を具体的に説明する。先ず,本発明の第1の実施例を図
1〜図4により説明する。本発明の全体構成は図6と同
等であるのでその図示は省略し,その同図の符号を用い
て以下の説明を行うことにする。図1は回転ドラム1と
磁気センサ2の関係をMR素子の配設ピッチも分かるよ
うに示した展開接続図である。即ち,磁気センサ2は4
個のMR素子R11,R12,R21,R22によって構成さ
れ,図示のように,MR素子R11とR12,R21とR22は
(2λ)/3の間隔(配設ピッチ)で,MR素子R11とR
21はλ/2の間隔を隔てて配置されている。なお,e1
及びe2は出力端子の出力である。図2ではMR素子R
11〜R22をブリッジ接続し,電源5より電圧を供給する
ように構成した磁気ドラムのように回転を検出する電気
回路である。この場合,3端子出力e1,e2は差動増幅
器4に入力され,最終出力e0を出すようになってい
る。図3はまだ第3高調波を含んでいる状態の波形図
で,同図中(イ)はMR素子R11の出力波形,(ロ)は
MR素子R12の出力波形,(ハ)は出力電圧e1即ちea
とebの和の波形である。同図に示すように,磁界の小
さな部分では磁界に比例して抵抗が変化するが,大きな
磁界が加わると,抵抗変化が飽和して歪みの大きい波形
となっている。即ち,図3に示すように基本波Va1,
Vb1とこれらの基本波の3倍の周波数,換言すれば第
3高調波Va3,Vb3に分けられる。ここで,図1に示
すように基本波Va1,Vb1の位相差が(2λ)/3(こ
れは4π/3に等しい値である)になるように配設され
ているので第3高調波Va3とVb3の位相差は4πとな
る。したがって,MR素子R11,R12を3端子結合する
ことにより,両波を差動的に加えるのと等価のため第3
高調波Va3,Vb3成分は互いに相殺されて”0”にな
り,基本波成分Va1,Vb1のみが加え合わされる。図
4は3端子接続により第3高調波が除去された後,まだ
第2高調波が残っている出力波形e1,e2を示す。この
波形は同図に示すように,第3高調波は除去できたが,
基本波Vc1,Vd1と基本波の2倍の周波数つまり第2
高調波Vc2,Vd2に分けられる。ここで,図1に示し
たように基本波Vc1,Vd1の位相差がλ/2(これは
πに等しい値である)となるように配設されているので
第2高調波Vc2,Vd2の位相差は2πとなる。したが
って,センサ出力e1,e2を図2に示すように差動増幅
器4に抵抗Riを介して入力することにより第2高調波
Vc2,Vd2は相殺されて”0”となり基本波Vc1,
Vd1のみが加え合わされる。その結果,得られた最終
出力e0は図4の(ハ)に示すように偶数調波及び第3
高調波が除去された歪みの少ない正弦波出力となる。
【0007】図5は本発明の第2の実施例を示す。MR
素子R11,R12及びR21,R22の各ピッチはλ/3,M
R素子R11とR21のピッチは(1+1/2)λの間隔を
離して配置してある。このようにすると第3高調波はλ
/3(これは2π/3に等しい値である)の位相差とな
り上述したように相殺され”0”となる。又e1,e2の
位相差は(3λ/2)=3πなので,第2高調波成分は
3λ=6πとなり,同様に相殺されて”0”となる。上
記各実施例では回転体について述べたが,直線運動を行
なうものの位置検出に使用しても同様の作用効果が得ら
れることは勿論である。
素子R11,R12及びR21,R22の各ピッチはλ/3,M
R素子R11とR21のピッチは(1+1/2)λの間隔を
離して配置してある。このようにすると第3高調波はλ
/3(これは2π/3に等しい値である)の位相差とな
り上述したように相殺され”0”となる。又e1,e2の
位相差は(3λ/2)=3πなので,第2高調波成分は
3λ=6πとなり,同様に相殺されて”0”となる。上
記各実施例では回転体について述べたが,直線運動を行
なうものの位置検出に使用しても同様の作用効果が得ら
れることは勿論である。
【0008】
【発明の効果】本発明によれば,磁気抵抗素子の飽和に
よる出力波形の歪みを除去でき,歪みの少ない正弦波出
力を得ることができるので,高精度の位置検出又は高分
解能化が可能となるという優れた効果を有する。
よる出力波形の歪みを除去でき,歪みの少ない正弦波出
力を得ることができるので,高精度の位置検出又は高分
解能化が可能となるという優れた効果を有する。
【図1】本発明の第1の実施例を示す展開接続図であ
る。
る。
【図2】本発明の磁気ドラムの回転検出を行う電気回路
を示す接続図である。
を示す接続図である。
【図3】本発明における第3高調波が含まれている状態
の出力電圧の波形図である。
の出力電圧の波形図である。
【図4】本発明により第3高調波が除かれた後,まだ第
2高調波が残っている状態の出力電圧の波形図である。
2高調波が残っている状態の出力電圧の波形図である。
【図5】本発明の第2の実施例を示す展開接続図であ
る。
る。
【図6】従来例の全体構成を示す斜視図である。
【図7】従来例のMR素子の配設ピッチを示す展開接続
図である。
図である。
【図8】従来例の磁気ドラムの回転検出を行う電気回路
を示す接続図である。
を示す接続図である。
【図9】従来例の動作特性図である。
【図10】従来例の磁界の強さが第3高調波を含んだ場
合の波形図である。
合の波形図である。
【図11】従来例の磁界が非対称となった場合の出力電
圧の波形図である。
圧の波形図である。
1:回転ドラム 2:磁気センサ R11〜R22:磁気抵抗効果素子(MR素子)λ:ピッチ
【手続補正書】
【提出日】平成3年4月26日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の詳細な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで,従来技術の
ものでは,磁気エンコ−ダの出力電圧は基本的にはMR
素子に作用する磁界の強さに比例して変化するものであ
るが,磁界の強さに対し抵抗変化が飽和特性をもってい
ること,磁界の極性に対し対称でないこと,外部から移
動磁性体の磁気記録とは別の一定方向の磁界により磁界
の強さが非対称形となること,また,MR素子に作用す
る磁気記録の磁界の強さがsinθとならない等の原因
によって出力電圧は多くの高調波を含んだ歪み波形とな
っており,これが誤差の原因となるという問題点があっ
た。図10は磁気記録の磁界が第3高調波を含んだ波形
である場合を示すもので,基本波V1 に対し第3高調波
V3 を重畳させるとV0 で示すような歪み波形となって
しまう。また,図11は外部磁界の影響で磁気センサに
作用する磁界の強さが非対称となった場合の出力電圧の
波形を示すもので,磁気記録の2倍の周期の出力電圧の
振幅が1サイクルおきに大,小となるなるように変化
し,この振幅の変化は1サイクルの基本波に対し1/2
周期となることを示している。このように出力電圧の波
形が歪みが大きいということは,正弦波出力を高分解化
する上で,大きな妨げとなるものである。本発明は従来
のものの上記課題(問題点)を解決し,歪みの少ない正
弦波出力を得るようにした磁気式位置検出装置を提供す
ることを目的とする。
ものでは,磁気エンコ−ダの出力電圧は基本的にはMR
素子に作用する磁界の強さに比例して変化するものであ
るが,磁界の強さに対し抵抗変化が飽和特性をもってい
ること,磁界の極性に対し対称でないこと,外部から移
動磁性体の磁気記録とは別の一定方向の磁界により磁界
の強さが非対称形となること,また,MR素子に作用す
る磁気記録の磁界の強さがsinθとならない等の原因
によって出力電圧は多くの高調波を含んだ歪み波形とな
っており,これが誤差の原因となるという問題点があっ
た。図10は磁気記録の磁界が第3高調波を含んだ波形
である場合を示すもので,基本波V1 に対し第3高調波
V3 を重畳させるとV0 で示すような歪み波形となって
しまう。また,図11は外部磁界の影響で磁気センサに
作用する磁界の強さが非対称となった場合の出力電圧の
波形を示すもので,磁気記録の2倍の周期の出力電圧の
振幅が1サイクルおきに大,小となるなるように変化
し,この振幅の変化は1サイクルの基本波に対し1/2
周期となることを示している。このように出力電圧の波
形が歪みが大きいということは,正弦波出力を高分解化
する上で,大きな妨げとなるものである。本発明は従来
のものの上記課題(問題点)を解決し,歪みの少ない正
弦波出力を得るようにした磁気式位置検出装置を提供す
ることを目的とする。
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図2
【補正方法】変更
【補正内容】
【図2】 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年10月8日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0003
【補正方法】変更
【補正内容】
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで,従来技術の
ものでは,磁気エンコーダの出力電圧は基本的にはMR
素子に作用する磁界の強さに比例して変化するものであ
るが,磁界の強さに対し抵抗変化が飽和特性をもってい
ること,磁界の極性に対し対称でないこと,外部から移
動磁性体の磁気記録とは別の一定方向の磁界により磁界
の強さが非対称形となること,また,MR素子に作用す
る磁気記録の磁界の強さがsinθとならない等の原因
によって出力電圧は多くの高調波を含んだ歪み波形とな
っており,これが誤差の原因となるという問題点があっ
た。図10は磁気記録の磁界が第3高調波を含んだ波形
である場合を示すもので,基本波V1に対し第3高調波
V3を重畳させるとV0で示すような歪み波形となって
しまう。また,図11は外部磁界の影響で磁気センサに
作用する磁界の強さが非対称となった場合の出力電圧の
波形を示すもので,磁気記録の2倍の周期の出力電圧の
振幅が1サイクルおきに大,小となるように変化し,こ
の振幅の変化は1サイクルの基本波に対し1/2周期と
なることを示している。このように出力電圧の波形が歪
みが大きいということは,正弦波出力を高分解化する上
で,大きな妨げとなるものである。本発明は従来のもの
の上記課題(問題点)を解決し,歪みの少ない正弦波出
力を得るようにした磁気式位置検出装置を提供すること
を目的とする。
ものでは,磁気エンコーダの出力電圧は基本的にはMR
素子に作用する磁界の強さに比例して変化するものであ
るが,磁界の強さに対し抵抗変化が飽和特性をもってい
ること,磁界の極性に対し対称でないこと,外部から移
動磁性体の磁気記録とは別の一定方向の磁界により磁界
の強さが非対称形となること,また,MR素子に作用す
る磁気記録の磁界の強さがsinθとならない等の原因
によって出力電圧は多くの高調波を含んだ歪み波形とな
っており,これが誤差の原因となるという問題点があっ
た。図10は磁気記録の磁界が第3高調波を含んだ波形
である場合を示すもので,基本波V1に対し第3高調波
V3を重畳させるとV0で示すような歪み波形となって
しまう。また,図11は外部磁界の影響で磁気センサに
作用する磁界の強さが非対称となった場合の出力電圧の
波形を示すもので,磁気記録の2倍の周期の出力電圧の
振幅が1サイクルおきに大,小となるように変化し,こ
の振幅の変化は1サイクルの基本波に対し1/2周期と
なることを示している。このように出力電圧の波形が歪
みが大きいということは,正弦波出力を高分解化する上
で,大きな妨げとなるものである。本発明は従来のもの
の上記課題(問題点)を解決し,歪みの少ない正弦波出
力を得るようにした磁気式位置検出装置を提供すること
を目的とする。
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図2
【補正方法】変更
【補正内容】
【図2】
Claims (1)
- 【請求項1】 所定のピッチで複数の磁極が着磁された
磁気媒体と,この磁気媒体と対向する表面に設けられた
磁気抵抗効果素子(以下MR素子という)からなる磁気
センサを備えた磁気式位置検出装置において,1組の3
端子を構成する2個のMR素子の配設ピッチが,繰り返
し磁気信号のピッチをλとしたとき, 【数1】 の間隔とし,且つ第1及び第2組の3端子間のピッチが 【数2】 の間隔となるようにしたことを特徴とする磁気式位置検
出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5571491A JPH0682268A (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 磁気式位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5571491A JPH0682268A (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 磁気式位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0682268A true JPH0682268A (ja) | 1994-03-22 |
Family
ID=13006549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5571491A Pending JPH0682268A (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 磁気式位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682268A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10122808A (ja) * | 1996-10-22 | 1998-05-15 | Hitachi Metals Ltd | 磁気センサ |
| JP2005214920A (ja) * | 2004-02-02 | 2005-08-11 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 磁気センサ |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61173113A (ja) * | 1985-01-28 | 1986-08-04 | Akai Electric Co Ltd | 磁気回転センサ |
| JPS63225124A (ja) * | 1987-03-14 | 1988-09-20 | Hitachi Ltd | 磁気的位置検出装置 |
| JPS63311117A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-19 | Hitachi Ltd | 位置検出用磁気センサ |
| JPH02304988A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-18 | Japan Servo Co Ltd | 磁気センサ |
-
1991
- 1991-02-28 JP JP5571491A patent/JPH0682268A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61173113A (ja) * | 1985-01-28 | 1986-08-04 | Akai Electric Co Ltd | 磁気回転センサ |
| JPS63225124A (ja) * | 1987-03-14 | 1988-09-20 | Hitachi Ltd | 磁気的位置検出装置 |
| JPS63311117A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-19 | Hitachi Ltd | 位置検出用磁気センサ |
| JPH02304988A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-18 | Japan Servo Co Ltd | 磁気センサ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10122808A (ja) * | 1996-10-22 | 1998-05-15 | Hitachi Metals Ltd | 磁気センサ |
| JP2005214920A (ja) * | 2004-02-02 | 2005-08-11 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 磁気センサ |
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