JPH01312846A - 半導体装置のマーク検査装置 - Google Patents
半導体装置のマーク検査装置Info
- Publication number
- JPH01312846A JPH01312846A JP14433188A JP14433188A JPH01312846A JP H01312846 A JPH01312846 A JP H01312846A JP 14433188 A JP14433188 A JP 14433188A JP 14433188 A JP14433188 A JP 14433188A JP H01312846 A JPH01312846 A JP H01312846A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- area
- count
- mark
- inspection
- threshold value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置上に印刷されたマークを検査する検
査装置に関し、特にこの検査の質の向上に関するもので
ある。
査装置に関し、特にこの検査の質の向上に関するもので
ある。
第５図は従来のこの種のマーク検査装置を表すブロック
図であり、この検査装置を用いて第６図に示される文字
（Ｐ）１３を検査する従来の検査について以下に説明す
る。
図であり、この検査装置を用いて第６図に示される文字
（Ｐ）１３を検査する従来の検査について以下に説明す
る。
同図において、半導体装置上に印刷されたマークは光電
変換装置３により撮像され、この画像はマーク位置決定
部５によりマーク部の位置決めが行われる。この位置決
めは検査したいマークの上下端および左右端の座標を求
めることにより行われる。続いて、入力された画像デー
タは、明度比較部７において、端子６から入力されるし
きい値によって半導体装置のマーク面の文字と地肌とが
区別され、２値化画像に変換される。そして、この２値
化画像は検査エリア決定部８により、第６図に示すよう
に、予め設定されている文字欠は検査用枠１４．目詰ま
り検査用枠１５に区分され、面積カウント部９によって
各枠１４．１５内の文字面積がカウントされる。このカ
ウント結果は、カウント比較部１１において端子ｌＯに
入力されるカウントしきい値と比較され、予め基準文字
を使って登録されたカウント値の比率が一定の判定基（
１１８内に入っているかどうかめ９周べられる。
変換装置３により撮像され、この画像はマーク位置決定
部５によりマーク部の位置決めが行われる。この位置決
めは検査したいマークの上下端および左右端の座標を求
めることにより行われる。続いて、入力された画像デー
タは、明度比較部７において、端子６から入力されるし
きい値によって半導体装置のマーク面の文字と地肌とが
区別され、２値化画像に変換される。そして、この２値
化画像は検査エリア決定部８により、第６図に示すよう
に、予め設定されている文字欠は検査用枠１４．目詰ま
り検査用枠１５に区分され、面積カウント部９によって
各枠１４．１５内の文字面積がカウントされる。このカ
ウント結果は、カウント比較部１１において端子ｌＯに
入力されるカウントしきい値と比較され、予め基準文字
を使って登録されたカウント値の比率が一定の判定基（
１１８内に入っているかどうかめ９周べられる。
以北の処理は設定された各枠１４，１５の全てについて
行われるが、カウント結果が判定？！内に入っていない
ものが検出された場合には、検査はその時点で終了する
。
行われるが、カウント結果が判定？！内に入っていない
ものが検出された場合には、検査はその時点で終了する
。
（発明が解決しよ−）とする課題］
しかしながら、従来のマーク検査装置は上記のように構
成されているため、文字の各エリア毎に使用している判
定基準〈検査するマークのカラントイ直と予めティーチ
ングされた基準マークのカラン１〜値との比率）は、全
てのエリアに対して一定の値となる。このため、この判
定基準を厳しくすると全エリアに対して厳しく検査され
るため、人間が十分に読める程度のマークを不良にする
ことがあり、また、この判定基準を緩めると全エリアに
対して緩く検査されるため、異種文字との判別が不可能
となるという課題を有していた。
成されているため、文字の各エリア毎に使用している判
定基準〈検査するマークのカラントイ直と予めティーチ
ングされた基準マークのカラン１〜値との比率）は、全
てのエリアに対して一定の値となる。このため、この判
定基準を厳しくすると全エリアに対して厳しく検査され
るため、人間が十分に読める程度のマークを不良にする
ことがあり、また、この判定基準を緩めると全エリアに
対して緩く検査されるため、異種文字との判別が不可能
となるという課題を有していた。
本発明はこのような課題を解消するためになされたもの
で、人間の柔軟性を持ったマークの良否判別に近いマー
ク検査を行える装置を得ることを目的とする。
で、人間の柔軟性を持ったマークの良否判別に近いマー
ク検査を行える装置を得ることを目的とする。
本発明は、２値化画像の各エリアに対する設定種類に応
じてカウントのしきい値を選択し、このしきい値と面積
カウント手段によるカウント結果値とを比較するカウン
ト比較手段とを備えたものである。
じてカウントのしきい値を選択し、このしきい値と面積
カウント手段によるカウント結果値とを比較するカウン
ト比較手段とを備えたものである。
マークの品質を調べる検査データについての判定基準は
緩めに設定され、異種文字の判別をする検査データにつ
いての判定基準は厳しく設定される。
緩めに設定され、異種文字の判別をする検査データにつ
いての判定基準は厳しく設定される。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の回路構成を表すブロック図
、第２図はこの実施例による検査装置全体の構成を示す
斜視図である。
、第２図はこの実施例による検査装置全体の構成を示す
斜視図である。
第２図において、２は半導体装置、２ａはこの半導体装
置２上に印刷されたマーク、１はこのマーク２ａに光を
投射する照明装置、３はこの照明装置１により得られる
マーク２ａの光情報を人力し、て電気信号に変換する光
電変換装置、４はマーク２ａを検査するマーク検査装置
である。
置２上に印刷されたマーク、１はこのマーク２ａに光を
投射する照明装置、３はこの照明装置１により得られる
マーク２ａの光情報を人力し、て電気信号に変換する光
電変換装置、４はマーク２ａを検査するマーク検査装置
である。
第１図において、３は上記の光電変換装置であり、５は
この光電変換装置３からの電気信号によりマーク２ａの
位置を検出するマーク位置決定部、７はマーク２ａの画
情報を２値化する明度比較部であり、この明度比較部７
は、マーク位置決定部５からの出力信号を端子６から入
力される明度の判別基準値となるしきい値と比較するこ
とにより行われる。
この光電変換装置３からの電気信号によりマーク２ａの
位置を検出するマーク位置決定部、７はマーク２ａの画
情報を２値化する明度比較部であり、この明度比較部７
は、マーク位置決定部５からの出力信号を端子６から入
力される明度の判別基準値となるしきい値と比較するこ
とにより行われる。
また、８は明度比較部７から出力されたマーク２ａの２
値化画像を複数のエリアに分割して部分検査するための
検査エリア決定部であり、このエリアは、マーク２ａの
画素数の下限をチエツクするための文字欠は検出エリア
とこの画素数の上限をチエツクするための目詰まり検出
エリアとに設定されて区分される。９は検査エリア決定
部８により区分された各エリア内の文字面積を把握する
ためにこの文字に相当する部分の画素数をカウントする
面積カウント部、１１は各エリア毎に応じて面積カウン
ト部９によるカウント数のしきい値を選択するカウント
しきい値選択部、１２は面積カウント部９のカウント結
果とカウントしきい値選択部１１のしきい値とを人力し
てこれらを比較するカウント比較部である。
値化画像を複数のエリアに分割して部分検査するための
検査エリア決定部であり、このエリアは、マーク２ａの
画素数の下限をチエツクするための文字欠は検出エリア
とこの画素数の上限をチエツクするための目詰まり検出
エリアとに設定されて区分される。９は検査エリア決定
部８により区分された各エリア内の文字面積を把握する
ためにこの文字に相当する部分の画素数をカウントする
面積カウント部、１１は各エリア毎に応じて面積カウン
ト部９によるカウント数のしきい値を選択するカウント
しきい値選択部、１２は面積カウント部９のカウント結
果とカウントしきい値選択部１１のしきい値とを人力し
てこれらを比較するカウント比較部である。
なお、マーク位置決宇部５．明度比較部７．検査エリア
決定部８１面積カウント部９．カウントしきい値選択部
１１およびカウント比較部１２はマーク検査装置４を構
成する。
決定部８１面積カウント部９．カウントしきい値選択部
１１およびカウント比較部１２はマーク検査装置４を構
成する。
このような構成において、マーク２ａを第３図に示され
る文字（Ｐ）１３とし、本実施例の動作を第３図のフロ
ーチャートを参照して以下に説明する。
る文字（Ｐ）１３とし、本実施例の動作を第３図のフロ
ーチャートを参照して以下に説明する。
まず、検査対象物である半導体装置２を光学系の光電変
換装置３の下にセントする（ステ・７プ３０１）。次に
、光電変換装置３によりマーク２ａの光情報を取り込ん
で電気信号に変換してマーク位置決定部５に出力する（
ステップ３０２）。マーク位置決定部５はマーク２ａの
位置決めを行い、マーク２ａの電気信号は明度比較部７
において端子６から入力されるしきい値と比較されて２
値化画像に変換される（ステップ３０３）。この２値化
画像は検査エリア決定部８において、第３図に示される
ように、文字検査用エリア１４． 目詰まり検査用エリ
ア１５および異種文字検査用エリア１６に区別される。
換装置３の下にセントする（ステ・７プ３０１）。次に
、光電変換装置３によりマーク２ａの光情報を取り込ん
で電気信号に変換してマーク位置決定部５に出力する（
ステップ３０２）。マーク位置決定部５はマーク２ａの
位置決めを行い、マーク２ａの電気信号は明度比較部７
において端子６から入力されるしきい値と比較されて２
値化画像に変換される（ステップ３０３）。この２値化
画像は検査エリア決定部８において、第３図に示される
ように、文字検査用エリア１４． 目詰まり検査用エリ
ア１５および異種文字検査用エリア１６に区別される。
（ステップ３０４）。
次にカウントしきい個選択部１１によりマーク２ａの各
エリアに対応してカウントしきい値を設定する（ステ・
ノブ３０５）。このしきい値の設定は、文字の品質検査
となる文字欠は検査用エリア１４および目詰まり検査用
エリア１５に対しては緩い判定基準値が設定されるが、
異種文字検査用エリア１６については厳しい判定基準が
設定される。
エリアに対応してカウントしきい値を設定する（ステ・
ノブ３０５）。このしきい値の設定は、文字の品質検査
となる文字欠は検査用エリア１４および目詰まり検査用
エリア１５に対しては緩い判定基準値が設定されるが、
異種文字検査用エリア１６については厳しい判定基準が
設定される。
そして、各エリア内の文字面積が文字面積カウント部９
によりカウントされ（ステップ３０６）、このカウント
結果値とカウントしきい個選択部１１で設定されたカウ
ントしきい値とがカウント比較部１２にて比較される（
ステップ３０７）。この比較結果が設定しきい値の範囲
内か否かが判断され（ステップ３０８）、範囲外であれ
ば不良とｖ１定されて（ステップ３０９）処理を終了す
る。
によりカウントされ（ステップ３０６）、このカウント
結果値とカウントしきい個選択部１１で設定されたカウ
ントしきい値とがカウント比較部１２にて比較される（
ステップ３０７）。この比較結果が設定しきい値の範囲
内か否かが判断され（ステップ３０８）、範囲外であれ
ば不良とｖ１定されて（ステップ３０９）処理を終了す
る。
また範囲内であれば、さらに、ステップ３０４で設定さ
れた全てのエリアについて以上の処理が終了したか否が
判断され（ステップ３１０）、終了していなげればステ
ップ３０４に戻って同様な処理が繰り返され、全てのエ
リアについて終了すると良品と判定して検査を終える（
ステップ３１１）。
れた全てのエリアについて以上の処理が終了したか否が
判断され（ステップ３１０）、終了していなげればステ
ップ３０４に戻って同様な処理が繰り返され、全てのエ
リアについて終了すると良品と判定して検査を終える（
ステップ３１１）。
以上のように本実施例は、カウントしきい個選択部１２
を設けて、文字欠は検査用および目詰まり検査用の判定
基準は緩く、異種文字検査用の判定基準は厳しく設定す
ることを可能としたことにより、人間による柔軟性を有
する目視検査に極めて近い検査を行えるようになった。
を設けて、文字欠は検査用および目詰まり検査用の判定
基準は緩く、異種文字検査用の判定基準は厳しく設定す
ることを可能としたことにより、人間による柔軟性を有
する目視検査に極めて近い検査を行えるようになった。
以上説明したように本発明は、２値化画像の各エリアに
対する設定種類に応じてカウントのしきい値を選択し、
このしきい値と面積カウント手段によるカウント結果値
とを比較するカウント比較手段とを備えたことにより、
マークの品質を調べる検査データについての判定基準は
緩めに設定され、異種文字の判別をする検査データにつ
いての判定基準は厳しく設定される。このため、人間に
よる目視検査と同様に各マークに対応して柔軟性を持っ
て検査を行える検査装置が得られるという効果を有する
。
対する設定種類に応じてカウントのしきい値を選択し、
このしきい値と面積カウント手段によるカウント結果値
とを比較するカウント比較手段とを備えたことにより、
マークの品質を調べる検査データについての判定基準は
緩めに設定され、異種文字の判別をする検査データにつ
いての判定基準は厳しく設定される。このため、人間に
よる目視検査と同様に各マークに対応して柔軟性を持っ
て検査を行える検査装置が得られるという効果を有する
。
第１図は本発明の一実施例の回路構成を表すブロック図
、第２図はこの実施例の装置全体の斜視図、第３図はこ
の実施例において検査対象となる文字の一例を示す図、
第４図はこの実施例の動作を説明するためのフローチャ
ート、第５図は従来の装置の回路構成を表すブロック図
、第６図はこの従来の検査において検査対象となる文字
を示す図である。 ３・・・光電変換装置、５・・・マーク位置決定部、７
・・・明度比較部、８・・・検査エリア決定部、９・・
・面積カウント部、１１・・・力うントしきい個選択部
、１２・・・カウント比較部。 代 理 人 大岩増雄 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図
、第２図はこの実施例の装置全体の斜視図、第３図はこ
の実施例において検査対象となる文字の一例を示す図、
第４図はこの実施例の動作を説明するためのフローチャ
ート、第５図は従来の装置の回路構成を表すブロック図
、第６図はこの従来の検査において検査対象となる文字
を示す図である。 ３・・・光電変換装置、５・・・マーク位置決定部、７
・・・明度比較部、８・・・検査エリア決定部、９・・
・面積カウント部、１１・・・力うントしきい個選択部
、１２・・・カウント比較部。 代 理 人 大岩増雄 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図
Claims (1)
- 半導体装置上に印刷されたマークを撮像してこれを電
気信号に変換して出力する光電変換手段と、この光電変
換手段により得られた電気信号から前記マークの２値化
画像を得る２値化手段と、前記光電変換手段により得ら
れた電気信号からマークの印字位置を検出する位置検出
手段と、この位置検出手段より得られた位置を基準とし
て設定する、下限を検査するための文字欠け検出枠およ
び上限を検査するための目詰まり検出枠を持つ検査エリ
ア決定手段と、この検査エリア決定手段より得られた２
値化画像上のエリアの文字面積をカウントする面積カウ
ント手段と、この面積カウント手段より得られた面積を
判定する時に異種文字エリアの判定基準を品質検査エリ
アの判定基準よりも厳しく判定するカウント比較手段と
を備えたことを特徴とする半導体装置のマーク検査装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14433188A JPH0682730B2 (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | 半導体装置のマーク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14433188A JPH0682730B2 (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | 半導体装置のマーク検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01312846A true JPH01312846A (ja) | 1989-12-18 |
| JPH0682730B2 JPH0682730B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=15359625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14433188A Expired - Lifetime JPH0682730B2 (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | 半導体装置のマーク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682730B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007043007A (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Shibaura Mechatronics Corp | 部品実装装置及び部品実装方法 |
-
1988
- 1988-06-10 JP JP14433188A patent/JPH0682730B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007043007A (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Shibaura Mechatronics Corp | 部品実装装置及び部品実装方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0682730B2 (ja) | 1994-10-19 |
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