JPH0687306B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH0687306B2 JPH0687306B2 JP23800485A JP23800485A JPH0687306B2 JP H0687306 B2 JPH0687306 B2 JP H0687306B2 JP 23800485 A JP23800485 A JP 23800485A JP 23800485 A JP23800485 A JP 23800485A JP H0687306 B2 JPH0687306 B2 JP H0687306B2
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Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は基板面に対して垂直方向に磁化可能な高密度磁
気記録用磁気記録媒体の製造方法に関する。
気記録用磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来の技術 近年、磁気記録媒体は従来の塗布型磁気記録層から、強
磁性金属薄膜磁気記録層の実用化が検討されている。
磁性金属薄膜磁気記録層の実用化が検討されている。
これに伴い、製造方法も強磁性金属薄膜を形成するに適
した真空蒸着法を中心に検討が加えられている。
した真空蒸着法を中心に検討が加えられている。
第２図は従来のCo−Ｏ系，又はCo−Ni−Ｏ系の垂直磁化
膜を磁気記録層とする磁気記録媒体の製造を行うのに利
用する真空蒸着装置の内部構成略図である。
膜を磁気記録層とする磁気記録媒体の製造を行うのに利
用する真空蒸着装置の内部構成略図である。
第２図において、１は高分子フィルム等の基板、２は送
り出し軸、３は巻取り軸、４は回転支持体、５は蒸発
源、６は真空容器、７は遮へい板、８はスリット、９は
ガス導入ノズル、10は真空ポンプである。
り出し軸、３は巻取り軸、４は回転支持体、５は蒸発
源、６は真空容器、７は遮へい板、８はスリット、９は
ガス導入ノズル、10は真空ポンプである。
第２図の装置を用い、ガス導入ノズル９より酸素ガスを
導入しながら、蒸発源５よりCo又はCoNi（Niは５％〜30
％）を蒸発させ、その蒸発源子の一部をスリット８によ
りほぼ基板１に垂直に入射する成分で蒸着を行うこと
で、Co−O,又はCo−Ni−Ｏから成る垂直磁化膜を高分子
フィルム上に連続して形成することが出来る。
導入しながら、蒸発源５よりCo又はCoNi（Niは５％〜30
％）を蒸発させ、その蒸発源子の一部をスリット８によ
りほぼ基板１に垂直に入射する成分で蒸着を行うこと
で、Co−O,又はCo−Ni−Ｏから成る垂直磁化膜を高分子
フィルム上に連続して形成することが出来る。
この方法は、量産性の点で、Co−Cr等のスパッタ垂直磁
化膜，回転支持体を高温に保持してのCo−Cr電子ビーム
蒸着膜に比較して優れており、高密度磁気記録媒体の製
造方法として有望である。
化膜，回転支持体を高温に保持してのCo−Cr電子ビーム
蒸着膜に比較して優れており、高密度磁気記録媒体の製
造方法として有望である。
発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記したような構成では、得られる垂直
磁化膜の磁気特性から予測される短波長記録再生特性が
実現されないことがある。特に長尺媒体を製造した時に
スペーシング損失の変動に原因があると考えられる出力
変動が大きく、実用上問題となる。
磁化膜の磁気特性から予測される短波長記録再生特性が
実現されないことがある。特に長尺媒体を製造した時に
スペーシング損失の変動に原因があると考えられる出力
変動が大きく、実用上問題となる。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、長尺の媒体
を、短波長出力の大きい状態で安定に得ることの出来る
方法を提供するものである。
を、短波長出力の大きい状態で安定に得ることの出来る
方法を提供するものである。
問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明の磁気記録媒体の製
造方法は、高分子フィルムを移動させ、蒸着開始側から
酸素を、蒸着終了側に水素を導入し、Co又はCo−Ni蒸気
をフィルムに垂直に差し向けるようにしたものである。
造方法は、高分子フィルムを移動させ、蒸着開始側から
酸素を、蒸着終了側に水素を導入し、Co又はCo−Ni蒸気
をフィルムに垂直に差し向けるようにしたものである。
作用 本発明の磁気記録媒体の製造方法は、上記した構成によ
り、垂直磁化膜の条件を満足せしめるのに酸素が作用
し、垂直磁化膜のヘッドアクセス側、即ち膜の表面側の
酸化膜が導入水素の還元作用に基ずいて薄くできること
から、短波長出力の大きい状態で長尺の媒体を製造でき
るのである。
り、垂直磁化膜の条件を満足せしめるのに酸素が作用
し、垂直磁化膜のヘッドアクセス側、即ち膜の表面側の
酸化膜が導入水素の還元作用に基ずいて薄くできること
から、短波長出力の大きい状態で長尺の媒体を製造でき
るのである。
実施例 以下、図面を参照しながら、本発明の実施例について説
明する。
明する。
第１図は、本発明を実施するために用いた蒸着装置の内
部構成図である。
部構成図である。
第１図において、11は高分子フィルム、12は送り出し
軸、13は巻取り軸、14は回転支持体、15は蒸発源、16は
真空容器、17は遮へい板、18はスリット、19は水素導入
ノズル、20は酸素導入ノズル、21は真空ポンプである。
軸、13は巻取り軸、14は回転支持体、15は蒸発源、16は
真空容器、17は遮へい板、18はスリット、19は水素導入
ノズル、20は酸素導入ノズル、21は真空ポンプである。
第１図において、蒸発源15の中心から真上の高分子フィ
ルム11までの距離を34.5cm,回転支持体の直径を66cm,ス
リット18の幅を4cm,酸素導入ノズル20と水素導入ノズル
19の先端間の距離を12cm,夫々の先端と蒸発源中心間距
離を31cmとして以下の実施例で本発明の効果を確かめ
た。
ルム11までの距離を34.5cm,回転支持体の直径を66cm,ス
リット18の幅を4cm,酸素導入ノズル20と水素導入ノズル
19の先端間の距離を12cm,夫々の先端と蒸発源中心間距
離を31cmとして以下の実施例で本発明の効果を確かめ
た。
回転支持体の表面温度は25℃一定とし、真空度は、ガス
導入前１×10-6（Torr）まで到達してから、ガス導入を
行った。
導入前１×10-6（Torr）まで到達してから、ガス導入を
行った。
厚み10μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを移
動させながら、膜厚0.2μｍのCo−O,Co−Ni−Ｏ膜を形
成し、平坦化処理後、ステアリン酸を約30Å真空蒸着
し、その後、8mm幅にスリットし、各種の磁気テープを
試作した。
動させながら、膜厚0.2μｍのCo−O,Co−Ni−Ｏ膜を形
成し、平坦化処理後、ステアリン酸を約30Å真空蒸着
し、その後、8mm幅にスリットし、各種の磁気テープを
試作した。
性能比較は、ギャップ長0.16μｍのフェライトリングヘ
ッドを用いて、0.4μｍの記録波長の再生出力を、全長1
000mのうち任意の10点を選び、各点10mを測定し出力の
最大値，最小値を相対比較した。
ッドを用いて、0.4μｍの記録波長の再生出力を、全長1
000mのうち任意の10点を選び、各点10mを測定し出力の
最大値，最小値を相対比較した。
垂直方向の保磁力は振動試料型磁速計で測定した。
製造条件と性能の比較を次表にまとめて示した。
以上より明らかに本発明により得られた磁気記録媒体
は、長手においても再生出力が良好で且つ安定している
ことが理解できる。
は、長手においても再生出力が良好で且つ安定している
ことが理解できる。
本実施例では磁気テープについて説明したが、本発明に
より磁気ディスク，磁気シートを製造することも可能で
あり、均一で、高性能な媒体を大量に製造できるもので
ある。
より磁気ディスク，磁気シートを製造することも可能で
あり、均一で、高性能な媒体を大量に製造できるもので
ある。
発明の効果 以上のように本発明によれば、垂直方向に磁化可能な磁
気記録媒体を大量に生産することができるといったすぐ
れた効果が得られるものである。
気記録媒体を大量に生産することができるといったすぐ
れた効果が得られるものである。
第１図は本発明の磁気記録媒体の製造方法の実施に用い
た蒸着装置の一例の内部構成図、第２図は従来の蒸着装
置の内部構成図である。 11……高分子フィルム、15……蒸発源、18……スリッ
ト、19……水素導入ノズル、20……酸素導入ノズル。
た蒸着装置の一例の内部構成図、第２図は従来の蒸着装
置の内部構成図である。 11……高分子フィルム、15……蒸発源、18……スリッ
ト、19……水素導入ノズル、20……酸素導入ノズル。
Claims (1)
- 【請求項１】移動する高分子フィルムに垂直入射でCo又
はCo−Niを蒸着する際、蒸着開始側にて酸素、蒸着終了
側にて水素を夫々導入することを特徴とする磁気記録媒
体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23800485A JPH0687306B2 (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23800485A JPH0687306B2 (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6297133A JPS6297133A (ja) | 1987-05-06 |
| JPH0687306B2 true JPH0687306B2 (ja) | 1994-11-02 |
Family
ID=17023704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23800485A Expired - Lifetime JPH0687306B2 (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0687306B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2794662B2 (ja) * | 1987-05-16 | 1998-09-10 | ソニー 株式会社 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH0762238B2 (ja) * | 1990-08-03 | 1995-07-05 | 松下電器産業株式会社 | 両面蒸着フィルムの製造方法 |
| JP3331622B2 (ja) * | 1992-06-05 | 2002-10-07 | 東レ株式会社 | 透明ガスバリア性フィルムの製造方法 |
-
1985
- 1985-10-24 JP JP23800485A patent/JPH0687306B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6297133A (ja) | 1987-05-06 |
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