JPH0695548B2 - ウエハー等の移替装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体ウエハー等の移替装置に関する。

従来技術及びその問題点 半導体ウエハーとは、例えば直径６インチの円板状で厚
さは0.5〜0.6mmで材質はシリコン単結晶であり、少しの
ショックですぐ割れるくらい脆いものである。

このようなウエハーの洗浄ラインにおいては、通常のキ
ャリヤから洗浄のキャリヤに移し替える必要があるが、
従来は人手により、キャリヤ同志の係合突起を合わせ、
ひっくり返して移し替えていた。しかし、ウエハーは割
れやすいため慎重な作業が要求され、人間は苦痛であっ
た。又、人間からの発塵の問題もあった。

問題点を解決するための手段 本発明は、上部が開放され下部に開口部を有し対向内側
面にウエハー保持溝を有する１つのキャリヤを位置決め
して移し替え位置に移動しうるスライドテーブルと、別
のキャリヤを位置決めして前記キャリヤとは反対方向か
ら前記移し替え位置に移動しうる別のスライドテーブル
と、前記移し替え位置においてキャリヤ内のウエハー等
をキャリヤの前記下部開口部から押し上げかつ下降させ
るとともに、上面に横方向のウエハー等保持溝を有する
押上板と、押し上げられたウエハー等を保持する縦方向
のウエハー等保持溝を有する保持板とを有する、ウエハ
ー等の移替装置である。

実施例 添付図面に具体例として示す半導体ウエハー移替装置の
機能は、ウエハー洗浄工程前及び工程後において、ウエ
ハーを通常搬送キャリヤより耐熱・耐薬品性に優れた洗
浄用キャリヤへ自動的に移し替えるものである。

第１図において、半導体ウエハー３の入ったキャリヤ１
（上部は開放され、下部には開口部がある）がスライド
テーブル４上に置かれるとＸ方向にスライドテーブル４
が移動し本移替装置の中央移し替え位置まで移動する。

なお、ウエハー３は、キャリヤ１の内側面に設けられた
溝１′により保持されている。

スライドテーブル４の移動は、第４図に示すようにエア
シリンダー41によって行われるが、他の同等の移動手段
を利用できることはいうまでもない。

そして、スライドテーブル４に設けられた開口部４′を
貫通して押上板５がウエハー３を一度に全部押し上げ、
ウエハー保持板６中にウエハー３が差し込まれる。

押上板５は横方向の溝５′、保持体６は縦方向の溝６′
を夫々有し、これによりウエハー３を保持する。

次に、第５図に想像線で示すように、回転軸７を中心に
保持板６が回転し、ウエハー３を下から保持する。

回転軸７の回転は、第６図に例示するようにエアシリン
ダー71の伸縮をリンク72に伝達することにより行ってい
る。回転軸７の回転角度は調節ナット73を有するストッ
パー74によって調整される。

この回転状態で押上板５が下降し、スライドテーブル４
が元の位置まで戻る。

次に空キャリヤ２（キャリヤ１と同様の構造になってい
る）が置かれたスライドテーブル８が本移替装置の中央
部移し替え位置まで移動し、再び押上板５がスライドテ
ーブル８を貫通して保持体６によって支えられているウ
エハー３に接触する。

そこで、保持体６が逆方向に回転し、ウエハー３が押上
板５に載せられ押上板５と同時に降下し、キャリヤ２の
中に入る。

そして、スライドテーブル８が元の位置に戻り、移し替
えが完了する。

キャリヤの位置決め機構の詳細を示す第２図において、
第１レバー11はスライドテーブル４に回動自在に取付け
られ、一端がテーブル４に固定されたコイルバネ12によ
り矢印方向に付勢されている。スライドテーブル４が初
期位置にある時には、第２レバー９は、側板10に押しつ
けられており、第２レバー９に連結固定されている第１
レバー11はキャリヤ１に対して開放されている。

スライドテーブル４がＸ方向に移動を始めると第２レバ
ー９が側板10より離れ、コイルバネ12のバネ力により、
第２レバー９、第１レバー11が同時に矢印方向に回転
し、第１レバー11の先端に支持されたローラー14によっ
てキャリヤ１を位置決めローラー13に押しつける。

一方、横方向については、第２レバー15は初期位置では
同様に、下部フレーム17に固定されているくさび形ドッ
グ16に接触して押しつけられており、第２レバー15に連
結固定されている第１レバー18は開放されている。

スライドテーブル４がＸ方向に移動を始めると、第２レ
バー15がくさび形ドッグ16より離れ、コイルバネ19のバ
ネ力によりレバー15、レバー18が同時に矢印方向に回転
し、第１レバー18の先端に支持されたローラー20によっ
てキャリヤ１をガイドストッパー21に押しつける。

この時、キャリヤ１は位置決めローラー13及びレバー先
端ローラー14の回転により正規の設定位置に位置決め固
定される。

なお、本発明を実施する上では他の任意の位置決め機構
を使用できるのはいうまでもない。

本発明は、以上に説明した半導体ウエハーと同様の物品
であれば、その移替のために使用できることは当然であ
る。

発明の効果 本発明により、従来人手に頼っていた作業の自動化が可
能になる。人手で行う場合に比べ、ウエハーがキャリヤ
内を転がったりしないので、割れたりすることがなく、
発塵の要因も少ない。

特に、押上板と保持板とに個々のウエハー等を互いに接
触しないように整列離間保持する多数の溝を刻設したの
で、キャリヤから押上げ、或はキャリヤに引き入れる際
に、押上板の溝と保持板の溝とが互いに協働してウエハ
ー等の三方面より保持できるから、ウエハー等の相互接
触により損傷、破損等の事故を確実に防止し、ウエハー
等の品質向上を飛躍的に向上させるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例の斜視図、第２図は内部構造
をも示した要部斜視図、第３図は上面図、第４図は正面
図、第５図は保持板と押上板の関係を示す拡大断面図、
第６図は保持板のシャフトの回転機構の正面図である。 １…キャリヤ、２…空キャリヤ、３…半導体ウエハー、
４…スライドテーブル、５…押上板、６…保持板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】上部が開放され下部に開口部を有し対向内
   側面にウエハー保持溝を有するキャリヤを位置決めして
   移し替え位置に移動しうるスライドテーブルと、前記キ
   ャリヤと同様の別のキャリヤを位置決めして前記キャリ
   ヤとは反対方向から前記移し替え位置に移動しうる別の
   スライドテーブルと、前記移し替え位置においてキャリ
   ヤ内のウエハー等を下方から押し上げかつ下降させると
   ともに、上面に横方向のウエハー保持溝を有する押上板
   と、押し上げられたウエハー等を保持する縦方向のウエ
   ハー保持溝を有する保持板とを有してなる、ウエハー等
   の移替装置。