JPS62128137A - ウエハ−等の移替方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体ウェハー等の移替方法及び装置に関す
る。

従来技術及びその問題点 半導体ウェハーとは、例えば直径６インチの円板状で厚
さは０．５〜０．６ｍｍで材質はシリコン単結晶であり
、少しのショックですぐ割れるくらい脆いものである。

このようなウェハーの洗浄ラインにおいては、通常のキ
ャリヤから洗浄用のキャリヤに移し替える必要があるが
、従来は人手により、キャリヤ同志の係合突起を合わせ
、ひっくり返して移し替えていた。しかし、ウェハーは
割れやすいため慎重な作業が要求され、人間には苦痛で
あった。又、人間からの発塵の問題もあった。

問題点を解決するための手段 本発明は、上部が開放され下部に開口部を有し内側面の
溝にウェハー等を保持したキャリヤを移し替え位置に移
動させ、下方からウェハー等を押し上げることにより保
持板に一時的に保持し、さらに前記キャリヤと同様の空
キャリャを移し替え位置に移動させて、前記ウェハー等
を保持板から下降させることにより空キャリヤに移し替
える方法を採ることによって前記問題点を解決した。

実　　施　　例 添付図面に具体例として示す半導体ウェハー移替装置の
機能は、ウェハー洗浄工程前及び工程後において、ウェ
ハーを通常搬送キャリヤより耐熱・耐薬品性に優れた洗
浄用キャリヤへ自動的に移し替えるものである。

第１図において、半導体ウェハー３の入ったキャリヤ１
　（上部は開放され、下部には開口部がある）がスライ
ドテーブル４上に置かれるとＸ方向にスライドテーブル
４が移動し本移替装置の中央移し替え位置まで移動する
。

なお、ウェハー３は、キャリヤ１の内側面に設けられた
溝１′により保持されている。

スライドテーブル４の移動は、第４図に示すようにエア
シリンダー４１によって行われるが、他の同等の移動手
段を利用できることはいうまでもない。

そして、スライドテーブル４に設けられた開口部４′を
貫通して押上板５がウェハー３を一度に全部押し上げ、
ウェハー保持板６中にウェハー３が差し込まれる。

押上板５は横方向の溝５′、保持体６は縦方向の溝６′
を夫々有し、これによりウェハー３を保持する。

次に、第５図に想像線で示すように、回転軸７を中心に
保持板６が回転し、ウェハー３を下から保持する。

回転軸７の回転は、第６図に例示するようにエアシリン
ダー７１の伸縮をリンク７２に伝達することにより行っ
ている。回転軸７の回転角度は調節ナツト７３を有する
ストッパー７４によって調整される。

この回転状態で押上板５が下降し、スライドテーブル４
が元の位置まで戻る。

次に空キャリヤ２　（キャリヤ１と同様の構造になって
いる）が置かれたスライドテーブル８が本移替装置の中
央部移し替え位置まで移動し、再び押上板５がスライド
テーブル８を貫通して保持板６によって支えられている
ウェハー３に接触する。

そこで、保持板６が逆方向に回転し、ウェハー３が押上
板５に載せられ押上板５と同時に降下し、キャリヤ２の
中に入る。

そして、スライドテーブル８が元の位置に戻り、移し替
えが完了する。

キャリヤの位置決め機構の詳細を示す第２図において、
第ルバー１１はスライドテーブル４に回動自在に取付け
られ、一端がテーブル４に固定されたコイルバネ１２に
より矢印方向に付勢されている。スライドテーブル４が
初期位置にある時には、第２レバー９は、側板１０に押
しつけられており、第２レバー９に連結固定されている
第ルバー１１はキャリヤ１に対して開放されている。

スライドテーブル４がＸ方向に移動を始めると第２レバ
ー９が側板１０より離れ、コイルバネ１２のバネ力によ
り、第２レバー９、第ルバー１１が同時に矢印方向に回
転し、第ルバー１１の先端に支持されたローラー１４に
よってキャリヤ１を位置決めローラー１３に押しつける
。

一方、横方向については、第２レバー１５は初期位置で
は同様に、下部フレーム１７に固定されているくさび形
ドッグ１６に接触して押しつけられており、第２レバー
１５に連結固定されている第ルバー１８は開放されてい
る。

スライドテーブル４がＸ方向に移動を始めると、第２レ
バー１５がくさび形ドッグ１６より離れ、コイルバネ１
９のバネ力によりレバー１５、レバー１８が同時に矢印
方向に回転し、第ルバー１８の先端に支持されたローラ
ー２０によってキャリヤ１をガイドストッパー２１に押
しつける。

この時、キャリヤ１は位置決めローラー１３及びレバー
先端ローラー１４の回転により正規の設定位置に位置決
め固定される。

なお、本発明を実施する上では他の任意の位置決め機構
を使用できるのはいうまでもない。

本発明は、以上に説明した半導体ウェハーと同様の物品
であれば、その移替のために使用できることは当然であ
る。

発明の効果 本発明により、従来人手に頼っていた作業の自動化が可
能になる。人手で行う場合に比べ、ウェハーがキャリヤ
内を転がったりしないので、割れたりすることがなく、
発塵の要因も少ない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例の斜視図、第２図は内部構造
をも示した要部斜視図、第３図は上面図、第４図は正面
図、第５図は保持板と押上板の関係を示す拡大断面図、
第６図は保持板のシャフトの回転機構の正面図である。 １・・・キャリヤ　　　　２・・・空キャリヤ３・・・
半導体ウェハー　　４・・・スライドテーブル５・・・
押上板　　　　　　６・・・保持板代理人　弁理士　祐
用尉−外２名 第１図 第　２　図 第３図 第５図 第６図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）上部が開放され下部に開口部を有し内側面の溝に
   ウェハー等を保持したキャリヤを移し替え位置に移動さ
   せ、下方からウェハー等を押し上げることにより保持板
   に一時的に保持し、さらに前記キャリヤと同様の空キャ
   リヤを移し替え位置に移動させて、前記ウェハー等を保
   持板から下降させることにより空キャリヤに移し替える
   、ウェハー等の移替方法。
2. （２）上部が開放され下部に開口部を有するキャリヤを
   位置決めして移動しうるスライドテーブルと、前記キャ
   リヤ内のウェハー等を下方から押し上げかつ下降させる
   押上板と、押し上げられたウェハー等を保持する保持板
   とを有してなるウェハー等の移替装置。