JPH0712011B2 - 半導体製造管理方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体製造の管理方法に関するものであ
る。

〔従来の技術〕

第３図はカセツトの斜視図で、第４図は半導体処理設備
の制御構成を示した構成図であり、第５図は半導体処理
設備の構成図である。第３図において、(1)は半導体ウ
エハ（以下「ウエハ」と呼ぶ）で、(2)はウエハを複数
枚収納するウエハカセツト（以下「カセツト」と呼ぶ）
であり、(3)はIDカードであり、(4)はIDカード認識装置
であり、（4a）はIDカード認識装置に取り付けられた入
力手段である。第４図において、(5)はウエハを加工処
理するウエハ処理装置（以下「処理装置」と呼ぶ）であ
り、(6)は処理装置とIDカード認識装置の複数個の制御
を行なう上位計算機である。第５図において、(7)は上
位計算機の端末である。

第６図は従来の上位計算機の半導体処理設備の制御プロ
グラムのフローチヤートであり、上位計算機(6)と、処
理設備(5)、及びIDカード認識装置(4)を示したものであ
る。第７図は半導体処理設備の自動運用方法を示したも
のである。

以下、作用について説明する。カセツト(2)が上記処理
装置(5)に到着すると、作業者はIDカード認識装置(4)の
入力手段（4a）を操作し、上位計算機(6)にカセツト到
着信号を送り（ステツプ13）、上位計算機(6)はその信
号を受け取り（ステツプ９）、装置自動プログラムを起
動する（ステツプ16）。装置自動プログラムは次のよう
な処理を行う。まず、上位計算機(6)は作業開始指示を
処理装置(5)に送り（ステツプ18）、処理装置(5)にカセ
ツト(2)内のウエハ(1)の処理を開始させる。次に処理が
完了するのを待ち、処理装置(5)からの作業完了報告を
受けて（ステツプ19）、上位計算機(6)は、上記カセツ
ト(2)の工程を一つ進める。以上で装置自動プロブラム
の処理は完了したこととなり、一連の作業は完了したこ
ととなる（ステツプ17）。最初に戻り、上位計算機(6)
は次のカセツト到着信号を待つ（ステツプ８）。

処理装置(5)は前述の通り自動制御プログラムにより制
御されるが、処理装置(5)の故障等により、自動制御プ
ログラムで制御できなくなつた場合、作業者のマニユア
ル操作により処理装置を動かし、ウエハ(1)の処理を行
なわなければならない。マニユアル操作により処理を行
つた場合、処理装置(5)により上記カセツト(2)の処理が
完了したことを、上位計算機(6)に伝えるために作業者
は上位計算機の端末(7)へ向かい、処理が完了したこと
を報告しなければならない。これを受けて、上位計算機
(6)は上記カセツト(2)の工程を一つ進める。

以上でマニユアル操作による上記カセツト(2)の上記処
理装置(5)での処理は完了するとなる。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来は以上のような方法で工程進捗を管理していたた
め、処理装置の故障等により、自動制御プログラムによ
り処理装置を制御できなくなつた場合、作業者が端末に
よりその工程の完了を報告することによつてしか、上位
計算機にカセツトの工程を進めることが出来ない。この
端末操作はカセツトの処理が完了する度に行なわなけれ
ばならず、わずらわしく、操作ミスも起こりやすいとい
う欠点があつた。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、処理装置が故障しているために、自動制御プ
ログラムにより制御できなくなつた場合でも、わずらわ
しい端末操作をすることなく、上位計算機にカセツトの
工程進捗管理を行わせることができる半導体生産管理方
法を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係わる管理方法は、上位計算機に各処理装置
ごとに端末より、変更できる運用モードを持たせ、IDカ
ード認識装置から与えられるIDカードの情報に基づいて
起動される上位計算機の処理プログラムを複数個持たせ
る。

〔作用〕

上位計算機の上記運用モードを端末を用いて変更するこ
とに連動して、上位計算機の上記処理ブログラムが変更
される。

〔実施例〕

第１図はこの発明による半導体処理設備の制御プログラ
ムフローチヤートであり、第２図は半導体処理設備の手
動運用方法を示した図である。また、カセツトの構造、
及び半導体処理設備の制御構成は、従来例で示した第3,
4図と同一である。

以下、作用について説明する。上位計算機(6)の指示に
より、処理装置(5)を動かせる場合、端末により上位計
算機(6)が有する各処理装置(5)ごとの運用モードの内、
上記処理装置に該当するものを自動とする。カセツト
(2)が、上記処理装置(5)に到着すると、作業者はIDカー
ド認識装置(4)の入力手段（4a）を操作し、上位計算機
(6)にカセツト到着信号を送り（ステツプ13）、上位計
算機(6)は、その信号を受け取り（ステツプ９）、次に
運用モードを判定する（ステツプ10）。判定の結果、運
用モードは自動であるから、装置自動プログラムが起動
される（ステツプ16）。以降は、従来例で示したものと
同一である。

一方、処理装置(5)が故障等により、装置自動処理プロ
グラムにより、処理装置(5)を制御できない場合につい
て説明する。端末によりあらかじめ上記運用モードを手
動に切り替えておく。カセツト(2)が処理装置(5)に到着
すると、作業者はIDカード認識装置に取り付けられた入
力手段（4a）を操作し、上位計算機(6)にカセツト到着
信号を送り（ステツプ13）、上位計算機(6)はその信号
を受け取り（ステツプ９）、運用モードを判定する（ス
テツプ10）。判定の結果、運用モードは手動であるか
ら、装置手動プログラムが起動される（ステツプ11）。
装置手動プログラムは、次のような処理を行う。作業者
は、カセツト(2)内のウエハ(1)の処理をマニユアル操作
により処理装置(5)を動かすことにより行う。処理完了
後、作業者はIDカード認識装置(4)にとりつけられた入
力手段（4a）を再度操作し、カセツト(2)の処理が終了
したことを上位計算機(6)に伝える（ステツプ14）。上
位計算機(6)はその信号を受けて、上記カセツト(2)の工
程を一つ進める。以上で装置手動プログラムの処理は完
了したことになり、一連の作業は完了したこととなる
（ステツプ12）。最初に戻り、上位計算機(6)は次のカ
セツト到着信号を待つ（ステツプ９）。

〔発明の効果〕

以上のように、上位計算機がデータとして有する各処理
装置の運用モードを端末を用いて変更することにより、
IDカード認識装置から送られてくるIDカードの情報に基
づいて起動される上位計算機の処理プログラムを変更す
ることにより、処理装置が故障して、上位計算機の指示
のもとで、自動で処理装置が動かないときでも、わずら
わしい端末操作をカセツトごとに行うことなく、上位計
算機にカセツトの進捗管理を行わせることが可能となつ
た。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明における半導体処理設備の制御プログ
ラムフローチヤートで、第２図は半導体処理設備の手動
運用方法を示した図である。 第３図はカセツトの斜視図で、第４図は半導体処理設備
の制御構成図であり、第５図は半導体処理設備の構成図
である。第６図は従来の半導体処理設備の制御プログラ
ムフローチヤートで、第７図は半導体処理設備の自動運
用方法を示した図である。 図において、(1)はウエハ、(2)はカセツト、(3)はIDカ
ード、(4)はIDカード認識装置、（4a）は入力手段、(5)
は処理装置、(6)は上位計算機、(9)はカセツト到着信号
処理ステツプ、(10)は運用モード判断ステツプ、(11)は
装置手動処理ステツプ、(16)は装置自動処理ステツプ。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体ウエハと、上記半導体ウエハを複数
   枚収納する半導体ウエハカセツトと、上記半導体ウエハ
   を加工処理する半導体ウエハ処理装置と、上記半導体ウ
   エハカセツトに取り付けられたIDカードと、上記IDカー
   ドと情報のやりとりを行うIDカード認識装置と、上記半
   導体ウエハ処理装置と上記IDカード認識装置の複数個の
   制御を行なう上位計算機と、上位計算機と通信を行なう
   端末からなる半導体処理設備において、上記上位計算機
   がデータとして有する各半導体ウエハ処理装置の運用モ
   ードを端末を用いて変更することにより、IDカード認識
   装置から与えられるIDカードの情報に基づいて起動され
   る上位計算機の処理プログラムが変更されることを特徴
   とする半導体ウエハ製造管理方法。