JPH0715522B2 - レーザ用非球面鏡 - Google Patents
レーザ用非球面鏡Info
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- JPH0715522B2 JPH0715522B2 JP63130973A JP13097388A JPH0715522B2 JP H0715522 B2 JPH0715522 B2 JP H0715522B2 JP 63130973 A JP63130973 A JP 63130973A JP 13097388 A JP13097388 A JP 13097388A JP H0715522 B2 JPH0715522 B2 JP H0715522B2
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Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、CO2レーザ、COレーザなどの赤外レーザに
用いられるレーザ反射鏡に関するものである。
用いられるレーザ反射鏡に関するものである。
［従来の技術］ 従来の赤外レーザ用反射鏡としては、大きく分けて２つ
のタイプがある。１つのタイプは、鏡面加工されたCuま
たはMoの反射鏡基板を用いるものである。Cuは、被加工
性および熱伝導性等の性質に優れ、かつ赤外レーザの理
論反射率も99％以上と高く、また素材価格も安いため、
最も多く用いられている材質である。Cuは鏡面加工した
ままの状態で、レーザ反射鏡として使用されることもあ
るが、銅表面が酸化しやすいため、第１図に示すよう
に、Au薄膜２をめっきやイオンプレーティングなどの方
法で、Cu基板１上に形成して使用している。また、硬度
を増加させるため、第２図に示すように、Ni薄膜３をCu
基板１上に形成し、このNi薄膜３上にAu薄膜２を形成す
ることも行なわれている。
のタイプがある。１つのタイプは、鏡面加工されたCuま
たはMoの反射鏡基板を用いるものである。Cuは、被加工
性および熱伝導性等の性質に優れ、かつ赤外レーザの理
論反射率も99％以上と高く、また素材価格も安いため、
最も多く用いられている材質である。Cuは鏡面加工した
ままの状態で、レーザ反射鏡として使用されることもあ
るが、銅表面が酸化しやすいため、第１図に示すよう
に、Au薄膜２をめっきやイオンプレーティングなどの方
法で、Cu基板１上に形成して使用している。また、硬度
を増加させるため、第２図に示すように、Ni薄膜３をCu
基板１上に形成し、このNi薄膜３上にAu薄膜２を形成す
ることも行なわれている。
MoもCuと同様に鏡面加工して用いられるが、他の材質に
比べ硬度が高いので、反射鏡として使用している際にス
パッタなどの汚れが付いても、ブラシ等で汚れを擦り落
とすことができるという特徴がある。Moの場合には、そ
の硬度を維持するため、通常Auなどの薄膜を形成しな
い。
比べ硬度が高いので、反射鏡として使用している際にス
パッタなどの汚れが付いても、ブラシ等で汚れを擦り落
とすことができるという特徴がある。Moの場合には、そ
の硬度を維持するため、通常Auなどの薄膜を形成しな
い。
もう１つのタイプのものは鏡面加工されたSiやGeの反射
鏡基板を用いるものである。このタイプのレーザ反射鏡
では、金属基板の反射率をさらに向上させる目的で、第
３図に示すように、SiまたはGe基板４の上に、Auまたは
Ag薄膜５を形成し、この薄膜の上にThF4やZnSeの誘電体
薄膜を多数層積層した誘電体多層膜６を形成して使用し
ている。
鏡基板を用いるものである。このタイプのレーザ反射鏡
では、金属基板の反射率をさらに向上させる目的で、第
３図に示すように、SiまたはGe基板４の上に、Auまたは
Ag薄膜５を形成し、この薄膜の上にThF4やZnSeの誘電体
薄膜を多数層積層した誘電体多層膜６を形成して使用し
ている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このような従来のレーザ反射鏡には、以
下に述べるような種々の欠点があった。
下に述べるような種々の欠点があった。
まず、Cuを基板とするレーザ反射鏡では、Cuの硬度が低
いため、使用中表面が汚れた場合にガーゼ等で拭き取ろ
うとすると、表面に傷がついたり、あるいは表面のAu薄
膜が剥がれてしまい、反射性能が劣化してしまうという
欠点があった。
いため、使用中表面が汚れた場合にガーゼ等で拭き取ろ
うとすると、表面に傷がついたり、あるいは表面のAu薄
膜が剥がれてしまい、反射性能が劣化してしまうという
欠点があった。
また、Moを基板とするレーザ反射鏡は、Cuに比べると硬
度がはるかに高く、使用の際汚れが付いても傷をつける
ことなくガーゼ等で拭き取ることが可能であるが、材料
は高価であり、また研磨仕上げによらなければ鏡面加工
することができず、非球面を形成する際に、超精密切削
加工ができないという欠点があった。
度がはるかに高く、使用の際汚れが付いても傷をつける
ことなくガーゼ等で拭き取ることが可能であるが、材料
は高価であり、また研磨仕上げによらなければ鏡面加工
することができず、非球面を形成する際に、超精密切削
加工ができないという欠点があった。
CuやMoはそれぞれ比重が8.76、10.22と重いため、これ
らを基板とするレーザ反射鏡は取付けにくく、作業性が
悪いという欠点もあった。
らを基板とするレーザ反射鏡は取付けにくく、作業性が
悪いという欠点もあった。
また、SiまたはGe基板上にAuまたはAg薄膜を形成しその
上に誘電体多層膜を形成したレーザ反射鏡の場合には、
誘電体多層膜が、銅基板上に金薄膜を形成したものよ
り、さらに剥がれやすく、使用の際表面が汚れてこれを
除去しようとすると、誘電体多層膜が容易に剥がれてし
まうという欠点があった。
上に誘電体多層膜を形成したレーザ反射鏡の場合には、
誘電体多層膜が、銅基板上に金薄膜を形成したものよ
り、さらに剥がれやすく、使用の際表面が汚れてこれを
除去しようとすると、誘電体多層膜が容易に剥がれてし
まうという欠点があった。
この発明の目的は、かかる従来のレーザ反射鏡の欠点を
解消し、安価かつ軽量で、しかも表面の汚れを落しても
表面を傷つけることのないレーザ反射鏡を提供すること
にある。
解消し、安価かつ軽量で、しかも表面の汚れを落しても
表面を傷つけることのないレーザ反射鏡を提供すること
にある。
［課題を解決するための手段および作用］ この発明のレーザ反射鏡は、レーザ用非球面鏡であって
非球面に加工された、アルミニウムまたはアルミニウム
を主成分とする合金からなる反射鏡基板の上に、モリブ
デンの薄膜を形成したことを特徴としている。
非球面に加工された、アルミニウムまたはアルミニウム
を主成分とする合金からなる反射鏡基板の上に、モリブ
デンの薄膜を形成したことを特徴としている。
この発明では、反射鏡基板にアルミニウムまたはその合
金を使用しているので、被加工性が良く、研磨による鏡
面加工はもちろんのことながら、超精密旋盤による放物
面などの非鏡面の球面加工仕上げも可能である。また、
アルミニウムまたはその合金を反射鏡基板に用いている
ので、安価に製造することができる。さらに、アルミニ
ウムまたはその合金を基板に用いているので、熱伝導性
に優れており、レーザ反射鏡として使用する際に水冷に
よる反射鏡の冷却効果を最大限に発揮させることができ
る。すなわち、レーザによる反射鏡の温度上昇を小さく
抑えることができ、熱膨張による形状変化を非常に小さ
くすることができるので、レーザビームのモードを極め
て安定化させることができる。
金を使用しているので、被加工性が良く、研磨による鏡
面加工はもちろんのことながら、超精密旋盤による放物
面などの非鏡面の球面加工仕上げも可能である。また、
アルミニウムまたはその合金を反射鏡基板に用いている
ので、安価に製造することができる。さらに、アルミニ
ウムまたはその合金を基板に用いているので、熱伝導性
に優れており、レーザ反射鏡として使用する際に水冷に
よる反射鏡の冷却効果を最大限に発揮させることができ
る。すなわち、レーザによる反射鏡の温度上昇を小さく
抑えることができ、熱膨張による形状変化を非常に小さ
くすることができるので、レーザビームのモードを極め
て安定化させることができる。
さらに、アルミニウムの比重は、モリブデンに比べ約４
分の１、銅に比べ約３分の１であるので、従来のレーザ
反射鏡に比べ軽量化させることができる。このため、レ
ーザ反射鏡の取付けや取り外しの作業性が向上する。ま
た、NC装置等により、レーザ三次元；二次元加工機にこ
のレーザ反射鏡を装着した場合、レーザ反射鏡が軽量で
あるため従来に比べ慣性力を減らすことができ、従来よ
りも位置制御性を向上させ、また駆動系の小型化も図る
ことができる。
分の１、銅に比べ約３分の１であるので、従来のレーザ
反射鏡に比べ軽量化させることができる。このため、レ
ーザ反射鏡の取付けや取り外しの作業性が向上する。ま
た、NC装置等により、レーザ三次元；二次元加工機にこ
のレーザ反射鏡を装着した場合、レーザ反射鏡が軽量で
あるため従来に比べ慣性力を減らすことができ、従来よ
りも位置制御性を向上させ、また駆動系の小型化も図る
ことができる。
この発明のレーザ反射鏡では、反射鏡基板の上にモリブ
デンの薄膜を形成しているので、モリブデンを基板とし
たレーザ反射鏡と同様に、その表面の硬度が高くなる。
すなわち、ビッカース硬度で250程度になる。したがっ
て、反射鏡を使用中、スパッタやミストの焼き付き等が
生じても、トリクレンやアルコールなどの溶媒中で拭き
取り、表面を洗浄することができる。また、ナイロンブ
ラシ等でスパッタ等の汚れを除去することもできる。ま
た、モリブデンの融点は2610℃と高いので、使用時にス
パッタや異物等が付き、レーザの照射により焼き付きや
蒸発を起こしても、モリブデンが溶けることがなく、損
傷を生じるおそれがない。
デンの薄膜を形成しているので、モリブデンを基板とし
たレーザ反射鏡と同様に、その表面の硬度が高くなる。
すなわち、ビッカース硬度で250程度になる。したがっ
て、反射鏡を使用中、スパッタやミストの焼き付き等が
生じても、トリクレンやアルコールなどの溶媒中で拭き
取り、表面を洗浄することができる。また、ナイロンブ
ラシ等でスパッタ等の汚れを除去することもできる。ま
た、モリブデンの融点は2610℃と高いので、使用時にス
パッタや異物等が付き、レーザの照射により焼き付きや
蒸発を起こしても、モリブデンが溶けることがなく、損
傷を生じるおそれがない。
この発明において、モリブデンの薄膜は、たとえばイオ
ンプレーティングにより形成することができる。また、
モリブデンの薄膜の厚みは、0.1〜20μｍの範囲内であ
ることが好ましい。0.1μｍより厚みが少ないと、モリ
ブデンを基板としたレーザ反射鏡のような硬度を期待す
ることができず、また20μｍより厚くしても厚みに比例
した、より顕著な効果が得られなくなるからである。
ンプレーティングにより形成することができる。また、
モリブデンの薄膜の厚みは、0.1〜20μｍの範囲内であ
ることが好ましい。0.1μｍより厚みが少ないと、モリ
ブデンを基板としたレーザ反射鏡のような硬度を期待す
ることができず、また20μｍより厚くしても厚みに比例
した、より顕著な効果が得られなくなるからである。
［実施例］ 純度99.98％のアルミニウムを用いて、直径40mm焦点距
離150mmの軸外し放射面鏡の基板をSPDT加工で切削し、R
a＝0.07μｍ、面精度λ/20（λ＝10.6μｍ）とした。
離150mmの軸外し放射面鏡の基板をSPDT加工で切削し、R
a＝0.07μｍ、面精度λ/20（λ＝10.6μｍ）とした。
次に、この軸外し放射面鏡の基板の上に、純度99.99％
のモリブデンペレットを原料にして、イオンプレーティ
ング法により厚み５μｍのモリブデン薄膜を形成した。
得られた放物面鏡のCO2レーザの反射率は98.2％であ
り、表面のビッカース硬度は245であった。
のモリブデンペレットを原料にして、イオンプレーティ
ング法により厚み５μｍのモリブデン薄膜を形成した。
得られた放物面鏡のCO2レーザの反射率は98.2％であ
り、表面のビッカース硬度は245であった。
この放物面鏡を、出力5kwのCO2レーザ加工機の加工ヘッ
ドに取付け、鉄系材料の切断工程に使用した。使用につ
れて、放物面鏡の表面ではスパッタや工場雰囲気中のミ
ストの焼き付きを生じた。このような放物面鏡の表面に
付着したスパッタやミストを、水中でナイロンブラシに
より擦ったところ、ほぼ完全に除去することができた。
この後、放物面鏡の反射率および面精度を測定したとこ
ろ初期の値と同じλ/20および98.2％の値が得られた。
ドに取付け、鉄系材料の切断工程に使用した。使用につ
れて、放物面鏡の表面ではスパッタや工場雰囲気中のミ
ストの焼き付きを生じた。このような放物面鏡の表面に
付着したスパッタやミストを、水中でナイロンブラシに
より擦ったところ、ほぼ完全に除去することができた。
この後、放物面鏡の反射率および面精度を測定したとこ
ろ初期の値と同じλ/20および98.2％の値が得られた。
またこの実施例で用いた放物面鏡は、従来使用していた
Cuの放物面鏡に比べ、重量が約３分の１であり、取付け
取外しの作業性が大幅に向上することが確認された。
Cuの放物面鏡に比べ、重量が約３分の１であり、取付け
取外しの作業性が大幅に向上することが確認された。
さらに、放物面鏡を取付けた加工ヘッドを移動させて加
工する、二次元NC制御CO2レーザ加工機に、上述の実施
例の放物面鏡を取付けた。加工ヘッドの移動速度に対す
るNC指令位置の追随性を測定したところ、従来のCuの放
物面鏡を取付けた場合には3m/秒で±0.3mmであったもの
が、3m/秒で±0.1mmとなり、従来よりもはるかに追随性
が向上することが明らかになった。
工する、二次元NC制御CO2レーザ加工機に、上述の実施
例の放物面鏡を取付けた。加工ヘッドの移動速度に対す
るNC指令位置の追随性を測定したところ、従来のCuの放
物面鏡を取付けた場合には3m/秒で±0.3mmであったもの
が、3m/秒で±0.1mmとなり、従来よりもはるかに追随性
が向上することが明らかになった。
［発明な効果］ 以上説明したように、この発明のレーザ反射鏡は、安価
で軽量なアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とす
る合金を反射鏡基板に使用するため、低価格でかつ軽量
化を図ることができる。また、この発明のレーザ反射鏡
では、モリブデンの薄膜が反射鏡基板の上に形成されて
いるため、表面の硬度が硬く、反射鏡使用の際に汚れが
付着しても、表面を損傷させることなくこの汚れを除去
することができる。
で軽量なアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とす
る合金を反射鏡基板に使用するため、低価格でかつ軽量
化を図ることができる。また、この発明のレーザ反射鏡
では、モリブデンの薄膜が反射鏡基板の上に形成されて
いるため、表面の硬度が硬く、反射鏡使用の際に汚れが
付着しても、表面を損傷させることなくこの汚れを除去
することができる。
したがって、この発明のレーザ反射鏡は、CO2レーザやC
Oレーザなどの赤外レーザ用のレーザ反射鏡として使用
すると特に有効である。
Oレーザなどの赤外レーザ用のレーザ反射鏡として使用
すると特に有効である。
第１図は、従来のレーザ反射鏡の一例を示す断面図であ
る。第２図は、従来のレーザ反射鏡の他の例を示す断面
図である。第３図は、従来のレーザ反射鏡のさらに他の
例を示す断面図である。
る。第２図は、従来のレーザ反射鏡の他の例を示す断面
図である。第３図は、従来のレーザ反射鏡のさらに他の
例を示す断面図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭56−52701（ＪＰ，Ｕ) Ａｐｐｌｉｅｄ Ｏｐｔｉｃｓ Ｖｏ ｌ．19 Ｎｏ．20（15 Ｏｃｔｏｂｅｒ 1980）Ｐ．3562〜3583
Claims (1)
- 【請求項１】非球面に加工された、アルミニウムまたは
アルミニウムを主成分とする合金からなる反射鏡基板の
上に、厚みが0.1μｍ〜20μｍであるモリブデンの薄膜
を形成したことを特徴とする、レーザ用非球面鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63130973A JPH0715522B2 (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | レーザ用非球面鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63130973A JPH0715522B2 (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | レーザ用非球面鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01300203A JPH01300203A (ja) | 1989-12-04 |
| JPH0715522B2 true JPH0715522B2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=15046931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63130973A Expired - Lifetime JPH0715522B2 (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | レーザ用非球面鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0715522B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01312504A (ja) * | 1988-06-13 | 1989-12-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | レーザ反射鏡の製造方法 |
| JP3002212B2 (ja) * | 1989-11-30 | 2000-01-24 | 株式会社東芝 | 反射鏡 |
| CH683188A5 (de) * | 1991-01-11 | 1994-01-31 | Alusuisse Lonza Services Ag | Aluminiumoberflächen. |
| CN107380072A (zh) * | 2017-07-27 | 2017-11-24 | 信利光电股份有限公司 | 一种电致变色后视镜结构 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5652701U (ja) * | 1979-09-27 | 1981-05-09 |
-
1988
- 1988-05-27 JP JP63130973A patent/JPH0715522B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ＡｐｐｌｉｅｄＯｐｔｉｃｓＶｏｌ．１９Ｎｏ．２０（１５Ｏｃｔｏｂｅｒ１９８０）Ｐ．３５６２〜３５８３ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01300203A (ja) | 1989-12-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090222 Year of fee payment: 14 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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