JPH07199464A - ポジ型感光性組成物 - Google Patents
ポジ型感光性組成物Info
- Publication number
- JPH07199464A JPH07199464A JP33429193A JP33429193A JPH07199464A JP H07199464 A JPH07199464 A JP H07199464A JP 33429193 A JP33429193 A JP 33429193A JP 33429193 A JP33429193 A JP 33429193A JP H07199464 A JPH07199464 A JP H07199464A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- compound
- photosensitive composition
- exposed
- pigment
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- Pending
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- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 ポジ型感光性組成物であって、(a)多価フ
ェノール含有ノボラック樹脂の1,2−ナフトキノンジ
アジド−4−スルホン酸エステル化合物、(b)アルカ
リ可溶性樹脂、(c)露光により酸を生成する化合物お
よび(d)550〜650nmの範囲に吸収極大を有
し、かつ、酸により変色する色素を含有し、かつ、画像
露光前に下記式[I]を満足することを特徴とする。 【数1】 【効果】 感度および露光可視画性に優れたポジ型感光
性平版印刷版やフォトレジスト等を得ることができ、工
業的価値が極めて大きい。
ェノール含有ノボラック樹脂の1,2−ナフトキノンジ
アジド−4−スルホン酸エステル化合物、(b)アルカ
リ可溶性樹脂、(c)露光により酸を生成する化合物お
よび(d)550〜650nmの範囲に吸収極大を有
し、かつ、酸により変色する色素を含有し、かつ、画像
露光前に下記式[I]を満足することを特徴とする。 【数1】 【効果】 感度および露光可視画性に優れたポジ型感光
性平版印刷版やフォトレジスト等を得ることができ、工
業的価値が極めて大きい。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、感光性平版印刷版やフ
ォトレジスト等に適用されるポジ型感光性組成物に関す
る。詳しくは、高感度で、露光可視画性に優れたポジ型
感光性組成物に関する。
ォトレジスト等に適用されるポジ型感光性組成物に関す
る。詳しくは、高感度で、露光可視画性に優れたポジ型
感光性組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、ポジ型感光性組成物の感度を
向上させる目的で多価フェノール含有ノボラック樹脂の
1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル化合
物が使用されている(例えば、特開昭55−76346
号、同59−86046号、同59−88734号およ
び同59−88735号各公報)。しかし、ポジ型感光
性組成物には、印刷版の製版工程やフォトレジストの使
用時に露光量の確認、あるいは多面焼きまたは重約の場
合は同一の版に複数会の露光がなされるため、既露光部
と未露光部の境界の確認が必要なため、露光後、現像前
に可視画像が得られる性質が要求される。そのために、
通常、露光可視画剤として550〜650nmの範囲に
吸収極大を有し、酸により変色する色素等が添加される
が、上記化合物、特に、1,2−ナフトキノンジアジド
−4−スルホン酸エステル化合物を使用した場合には、
この露光可視画像性が悪化するという問題があった。そ
のために、露光可視画剤の添加量を増加させると、今度
は感度が低下するため、多価フェノール含有ノボラック
樹脂の1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸
エステル化合物を使用した高感度なポジ型感光性組成物
は実現できていない。
向上させる目的で多価フェノール含有ノボラック樹脂の
1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル化合
物が使用されている(例えば、特開昭55−76346
号、同59−86046号、同59−88734号およ
び同59−88735号各公報)。しかし、ポジ型感光
性組成物には、印刷版の製版工程やフォトレジストの使
用時に露光量の確認、あるいは多面焼きまたは重約の場
合は同一の版に複数会の露光がなされるため、既露光部
と未露光部の境界の確認が必要なため、露光後、現像前
に可視画像が得られる性質が要求される。そのために、
通常、露光可視画剤として550〜650nmの範囲に
吸収極大を有し、酸により変色する色素等が添加される
が、上記化合物、特に、1,2−ナフトキノンジアジド
−4−スルホン酸エステル化合物を使用した場合には、
この露光可視画像性が悪化するという問題があった。そ
のために、露光可視画剤の添加量を増加させると、今度
は感度が低下するため、多価フェノール含有ノボラック
樹脂の1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸
エステル化合物を使用した高感度なポジ型感光性組成物
は実現できていない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、かかる
課題を解決すべく鋭意検討の結果、使用された露光可視
画剤との関係で、ある特定の条件を満足する多価フェノ
ール含有ノボラック樹脂の1,2−ナフトキノンジアジ
ド−4−スルホン酸エステル化合物主体の組成物とする
ことにより、露光可視画性および感度の両方に優れたポ
ジ型感光性組成物となることを見出し、本発明に到達し
た。
課題を解決すべく鋭意検討の結果、使用された露光可視
画剤との関係で、ある特定の条件を満足する多価フェノ
ール含有ノボラック樹脂の1,2−ナフトキノンジアジ
ド−4−スルホン酸エステル化合物主体の組成物とする
ことにより、露光可視画性および感度の両方に優れたポ
ジ型感光性組成物となることを見出し、本発明に到達し
た。
【0004】即ち、本発明の目的は、上記のような露光
可視画性の低下の問題がなく、高感度なポジ型感光性組
成物を提供することにある。しかして、かかる本発明の
目的は、ポジ型感光性組成物であって、(a)多価フェ
ノール含有ノボラック樹脂の1,2−ナフトキノンジア
ジド−4−スルホン酸エステル化合物、(b)アルカリ
可溶性樹脂、(c)露光により酸を生成する化合物およ
び(d)550〜650nmの範囲に吸収極大を有し、
かつ、酸により変色する色素を含有し、かつ、画像露光
前に前記式[I]を満足することを特徴とするポジ型感
光性組成物、によって容易に達成される。
可視画性の低下の問題がなく、高感度なポジ型感光性組
成物を提供することにある。しかして、かかる本発明の
目的は、ポジ型感光性組成物であって、(a)多価フェ
ノール含有ノボラック樹脂の1,2−ナフトキノンジア
ジド−4−スルホン酸エステル化合物、(b)アルカリ
可溶性樹脂、(c)露光により酸を生成する化合物およ
び(d)550〜650nmの範囲に吸収極大を有し、
かつ、酸により変色する色素を含有し、かつ、画像露光
前に前記式[I]を満足することを特徴とするポジ型感
光性組成物、によって容易に達成される。
【0005】以下、本発明を詳細に説明する。本発明に
おいて(a)として表す、多価フェノール含有ノボラッ
ク樹脂の1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン
酸エステル化合物とは、構成単位として、少なくとも多
価フェノール類とアルデヒド類及び/またはケトン類か
ら得られたノボラック樹脂に、1,2−ナフトキノンジ
アジド−4−スルホン酸クロリドなど1,2−ナフトキ
ノンジアジド−4−スルホン酸化合物を反応させたもの
である。
おいて(a)として表す、多価フェノール含有ノボラッ
ク樹脂の1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン
酸エステル化合物とは、構成単位として、少なくとも多
価フェノール類とアルデヒド類及び/またはケトン類か
ら得られたノボラック樹脂に、1,2−ナフトキノンジ
アジド−4−スルホン酸クロリドなど1,2−ナフトキ
ノンジアジド−4−スルホン酸化合物を反応させたもの
である。
【0006】該多価フェノールとしては、例えば、カテ
コール、レゾルシン、ヒドロキノン、フロログルシン、
ピロガロール、1,2,4−トリヒドロキシベンゼン
等、あるいはこれらの混合物があげられる。好ましくは
レゾルシン、ピロガロールであって、特に好ましくはピ
ロガロールである。該アルデヒド類、ケトン類として
は、例えば、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、ベ
ンズアルデヒド、メチルエチルケトン、アセトン等があ
げられ、好ましくはアセトンがあげられる。
コール、レゾルシン、ヒドロキノン、フロログルシン、
ピロガロール、1,2,4−トリヒドロキシベンゼン
等、あるいはこれらの混合物があげられる。好ましくは
レゾルシン、ピロガロールであって、特に好ましくはピ
ロガロールである。該アルデヒド類、ケトン類として
は、例えば、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、ベ
ンズアルデヒド、メチルエチルケトン、アセトン等があ
げられ、好ましくはアセトンがあげられる。
【0007】ノボラック樹脂と1,2−ナフトキノンジ
アジド−4−スルホン酸化合物との反応については、特
に限定はされないが、例えば、本発明者の一部が先に提
案した常法に従って、過剰量の塩基性試薬の存在下で反
応させた後、得られた生成物の精製を行って副生成物を
除去する方法や、多価フェノール含有ノボラック樹脂に
1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸化合物
を求核試薬の存在下で反応させる方法等があげられる。
これらの方法により得られた多価フェノール含有ノボラ
ック樹脂の1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホ
ン酸エステル化合物は、500nmにおける吸光度が低
い。
アジド−4−スルホン酸化合物との反応については、特
に限定はされないが、例えば、本発明者の一部が先に提
案した常法に従って、過剰量の塩基性試薬の存在下で反
応させた後、得られた生成物の精製を行って副生成物を
除去する方法や、多価フェノール含有ノボラック樹脂に
1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸化合物
を求核試薬の存在下で反応させる方法等があげられる。
これらの方法により得られた多価フェノール含有ノボラ
ック樹脂の1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホ
ン酸エステル化合物は、500nmにおける吸光度が低
い。
【0008】本発明において(a)の含有量は、感光性
組成物の全固形分に対して、5〜60重量%であること
が一般的で、好ましくは10〜50重量%である。本発
明において(b)として表す、アルカリ可溶性樹脂とし
ては、主にバインダーとして使用できる樹脂はいずれで
もよいが、例えば、特開平2−137850号公報に記
載のノボラック樹脂やビニル系重合体樹脂、米国特許第
3,751,257号明細書に記載されているポリアミ
ド樹脂、米国特許第3,660,097号明細書に記載
されている線状ポリウレタン樹脂、ポリビニルアルコー
ルのフタレート化樹脂、ビスフェノールAとエピクロル
ヒドリンから縮合されたエポキシ樹脂、酢酸セルロー
ス、セルロースアセテートフタレート等のセルロース類
等があげられ、ノボラック樹脂やビニル系重合体樹脂お
よびその組合せ等が好適な例としてあげられる。
組成物の全固形分に対して、5〜60重量%であること
が一般的で、好ましくは10〜50重量%である。本発
明において(b)として表す、アルカリ可溶性樹脂とし
ては、主にバインダーとして使用できる樹脂はいずれで
もよいが、例えば、特開平2−137850号公報に記
載のノボラック樹脂やビニル系重合体樹脂、米国特許第
3,751,257号明細書に記載されているポリアミ
ド樹脂、米国特許第3,660,097号明細書に記載
されている線状ポリウレタン樹脂、ポリビニルアルコー
ルのフタレート化樹脂、ビスフェノールAとエピクロル
ヒドリンから縮合されたエポキシ樹脂、酢酸セルロー
ス、セルロースアセテートフタレート等のセルロース類
等があげられ、ノボラック樹脂やビニル系重合体樹脂お
よびその組合せ等が好適な例としてあげられる。
【0009】本発明において(b)の含有量は、感光性
組成物の全固形分に対して、5〜90重量%であること
が一般的で、好ましくは20〜90重量%である。本発
明において(c)として表す、露光によって酸を生成す
る化合物としては、例えば特開昭50−36209号公
報に記載のo−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸
ハロゲニド、特開昭53−36223号公報に記載のト
リハロメチル−2−ピロンやトリハロメチル−トリアジ
ン、特開昭55−6244号公報に記載のo−ナフトキ
ノンジアジド−4−スルホン酸クロライドと電子吸引性
置換基を有するフェノール類またはアニリン類とのエス
テル化合物またはアミド化合物、特開昭55−7774
2号公報に記載のハロメチル−ビニル−オキサジアゾー
ル化合物及びジアゾニウム塩等があげられる。
組成物の全固形分に対して、5〜90重量%であること
が一般的で、好ましくは20〜90重量%である。本発
明において(c)として表す、露光によって酸を生成す
る化合物としては、例えば特開昭50−36209号公
報に記載のo−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸
ハロゲニド、特開昭53−36223号公報に記載のト
リハロメチル−2−ピロンやトリハロメチル−トリアジ
ン、特開昭55−6244号公報に記載のo−ナフトキ
ノンジアジド−4−スルホン酸クロライドと電子吸引性
置換基を有するフェノール類またはアニリン類とのエス
テル化合物またはアミド化合物、特開昭55−7774
2号公報に記載のハロメチル−ビニル−オキサジアゾー
ル化合物及びジアゾニウム塩等があげられる。
【0010】本発明において(c)の含有量は、感光性
組成物の全固形分に対して、0.2〜10重量%である
ことが一般的で、好ましくは0.5〜3重量%である。
本発明において(d)として表す、550〜650nm
の間に吸収極大を有し、かつ、酸により変色する色素と
しては、例えば、ジフェニルメタン系色素、トリフェニ
ルメタン系色素、チアジン系色素、オキサジン系色素、
キサンテン系色素、アンスラキノン系色素、イミノナフ
トキノン系色素、アゾメチン系色素、インドアニリン系
色素等があげられる。
組成物の全固形分に対して、0.2〜10重量%である
ことが一般的で、好ましくは0.5〜3重量%である。
本発明において(d)として表す、550〜650nm
の間に吸収極大を有し、かつ、酸により変色する色素と
しては、例えば、ジフェニルメタン系色素、トリフェニ
ルメタン系色素、チアジン系色素、オキサジン系色素、
キサンテン系色素、アンスラキノン系色素、イミノナフ
トキノン系色素、アゾメチン系色素、インドアニリン系
色素等があげられる。
【0011】具体的には、ブリリアントグリーン、エチ
ルバイオレット、メチルグリーン、クリスタルバイオレ
ット、2,7−ジクロロフルオレセイン、メチルバイオ
レット、マラカイトグリーン、ビクトリアピュアブルー
BOH(保土ヶ谷化学(株)製)、オイルブルー#60
3(オリエント化学工業(株)製)、4−p−ジエチル
アミノフェニルイミノナフトキノン等があげられる。
ルバイオレット、メチルグリーン、クリスタルバイオレ
ット、2,7−ジクロロフルオレセイン、メチルバイオ
レット、マラカイトグリーン、ビクトリアピュアブルー
BOH(保土ヶ谷化学(株)製)、オイルブルー#60
3(オリエント化学工業(株)製)、4−p−ジエチル
アミノフェニルイミノナフトキノン等があげられる。
【0012】また、本発明の感光性組成物は、組成物自
体の吸光度として、前記式[I]を満足する。式[I]
を満足しない場合、クリア段数及び/または露光可視画
性が不十分で実用に供せられないことがある。本発明に
おいて用いられる感光性組成物には以上の各素材のほ
か、必要に応じて他の添加剤を含むことができる。例え
ば、本発明に用いられる感光性組成物には、該感光性組
成物の感脂性を向上させるため、感脂化剤として下記一
般式[II]で表される置換フェノール類とアルデヒド類
との縮合物からなる樹脂および/又は該樹脂のo−ナル
トキノンジアジドスルホン酸エステル化合物を含有する
ことができる。
体の吸光度として、前記式[I]を満足する。式[I]
を満足しない場合、クリア段数及び/または露光可視画
性が不十分で実用に供せられないことがある。本発明に
おいて用いられる感光性組成物には以上の各素材のほ
か、必要に応じて他の添加剤を含むことができる。例え
ば、本発明に用いられる感光性組成物には、該感光性組
成物の感脂性を向上させるため、感脂化剤として下記一
般式[II]で表される置換フェノール類とアルデヒド類
との縮合物からなる樹脂および/又は該樹脂のo−ナル
トキノンジアジドスルホン酸エステル化合物を含有する
ことができる。
【0013】
【化1】 (式中、R1およびR2 はそれぞれ水素原子、アルキル
基またはハロゲン原子を表し、R3 は炭素数2以上のア
ルキル基またはシクロアルキル基を表す。) 該感脂剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対し、
0.05〜15重量%であることが一般的で、好ましく
は0.5〜5重量%である。
基またはハロゲン原子を表し、R3 は炭素数2以上のア
ルキル基またはシクロアルキル基を表す。) 該感脂剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対し、
0.05〜15重量%であることが一般的で、好ましく
は0.5〜5重量%である。
【0014】また、感度を向上させるために有機酸を添
加することができる。このような有機酸としては特開平
2−137850号公報に記載のものがあげられる。本
発明においては、該有機酸の含有量が感光性組成物の全
固形分に対し、0.05〜15重量%であることが一般
的で、好ましくは0.1〜8重量%である。上記感光性
組成物は、各種溶媒、例えばメチルセロソルブ、エチル
セロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロ
ソルブアセテート等のセロソルブ類、ジメチルホルムア
ミド、ジメチルスルホキシド、ジオキサン、アセトン、
シクロヘキサノン、トリクロロエチレン等の塗布溶媒に
溶解させた塗料を適当な支持体に塗布することによって
感光性平版印刷版やフォトレジスト等として実用に供せ
られる。以下、例としてアルミニウム板を支持体とした
感光性平版印刷版の作製方法を詳述する。
加することができる。このような有機酸としては特開平
2−137850号公報に記載のものがあげられる。本
発明においては、該有機酸の含有量が感光性組成物の全
固形分に対し、0.05〜15重量%であることが一般
的で、好ましくは0.1〜8重量%である。上記感光性
組成物は、各種溶媒、例えばメチルセロソルブ、エチル
セロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロ
ソルブアセテート等のセロソルブ類、ジメチルホルムア
ミド、ジメチルスルホキシド、ジオキサン、アセトン、
シクロヘキサノン、トリクロロエチレン等の塗布溶媒に
溶解させた塗料を適当な支持体に塗布することによって
感光性平版印刷版やフォトレジスト等として実用に供せ
られる。以下、例としてアルミニウム板を支持体とした
感光性平版印刷版の作製方法を詳述する。
【0015】支持体としてアルミニウム板を使用する場
合、砂目立て処理、陽極酸化処理及び必要に応じて封孔
処理等の表面処理が施される。これらの処理には公知の
方法を適用することができる。砂目立て処理の方法とし
ては、例えば、機械的方法、電解によりエッチングする
方法があげられる。機械的方法としては、例えば、ボー
ル研磨法、ブラシ研磨法、液体ホーニングによる研磨
法、バフ研磨法等があげられる。アルミニウム材の組成
等に応じて上述の各種方法を単独あるいは組合せて用い
ることができる。好ましくは、電解エッチングである。
合、砂目立て処理、陽極酸化処理及び必要に応じて封孔
処理等の表面処理が施される。これらの処理には公知の
方法を適用することができる。砂目立て処理の方法とし
ては、例えば、機械的方法、電解によりエッチングする
方法があげられる。機械的方法としては、例えば、ボー
ル研磨法、ブラシ研磨法、液体ホーニングによる研磨
法、バフ研磨法等があげられる。アルミニウム材の組成
等に応じて上述の各種方法を単独あるいは組合せて用い
ることができる。好ましくは、電解エッチングである。
【0016】電解エッチングは、リン酸、硫酸、塩酸、
硝酸等の無機の酸を単独ないしは2種以上混合した浴で
行われる。砂目立て処理の後、必要に応じてアルカリあ
るいは酸の水溶液によってデスマット処理を行い中和し
て水洗する。陽極酸化処理は、電解液として、硫酸、ク
ロム酸、シュウ酸、リン酸、マロン酸等を1種または2
種以上含む溶液を用い、アルミニウム板を陽極として電
解して行われる。形成された陽極酸化皮膜量は、1〜5
9mg/dm2が適当であり、好ましくは10〜40m
g/dm2である。陽極酸化皮膜量は、例えば、アルミ
ニウム板をリン酸クロム酸溶液(リン酸85%液:35
ml、酸化クロム(VI):20gを1リットルの水に溶
解して作製)に浸漬し、酸化皮膜を溶解し、板の皮膜溶
解前後の重量変化測定等から求められる。
硝酸等の無機の酸を単独ないしは2種以上混合した浴で
行われる。砂目立て処理の後、必要に応じてアルカリあ
るいは酸の水溶液によってデスマット処理を行い中和し
て水洗する。陽極酸化処理は、電解液として、硫酸、ク
ロム酸、シュウ酸、リン酸、マロン酸等を1種または2
種以上含む溶液を用い、アルミニウム板を陽極として電
解して行われる。形成された陽極酸化皮膜量は、1〜5
9mg/dm2が適当であり、好ましくは10〜40m
g/dm2である。陽極酸化皮膜量は、例えば、アルミ
ニウム板をリン酸クロム酸溶液(リン酸85%液:35
ml、酸化クロム(VI):20gを1リットルの水に溶
解して作製)に浸漬し、酸化皮膜を溶解し、板の皮膜溶
解前後の重量変化測定等から求められる。
【0017】封孔処理は、沸騰水処理、水蒸気処理、ケ
イ酸ソーダ処理、重クロム酸塩水溶液処理等が具体例と
してあげられる。この他に、アルミニウム板支持体に対
して、水溶性高分子化合物や、フッ化ジルコン酸等の金
属塩の水溶液による下引き処理を施すこともできる。前
記感光性組成物を上述の支持体に塗布することによっ
て、感光性平版印刷版が得られるが、塗布量は用途によ
っても異なるが、一般的に固形分として0.5〜3.5
g/m2の範囲が適当である。
イ酸ソーダ処理、重クロム酸塩水溶液処理等が具体例と
してあげられる。この他に、アルミニウム板支持体に対
して、水溶性高分子化合物や、フッ化ジルコン酸等の金
属塩の水溶液による下引き処理を施すこともできる。前
記感光性組成物を上述の支持体に塗布することによっ
て、感光性平版印刷版が得られるが、塗布量は用途によ
っても異なるが、一般的に固形分として0.5〜3.5
g/m2の範囲が適当である。
【0018】塗布方法としては、一般に公知のロールコ
ーターケスライドホッパー方式コーター、グラビアコー
ター、ホエラーコーター、ワイヤーバーコーター等を用
いることができる。かくして得られる感光性平版印刷版
を常法に従い、露光、現像することによって平版印刷版
を得ることができる。
ーターケスライドホッパー方式コーター、グラビアコー
ター、ホエラーコーター、ワイヤーバーコーター等を用
いることができる。かくして得られる感光性平版印刷版
を常法に従い、露光、現像することによって平版印刷版
を得ることができる。
【0019】
【実施例】以下、本発明を合成例、実施例及び比較例に
よって、さらに具体的に説明するが、本発明はその要旨
を超えない限り、これらの合成例、実施例及び比較例に
限定されるものではない。 [合成例] (感光体1)攪拌装置、還流冷却管を備えた100ミリ
リットルの3口フラスコに、アセトン20ミリリット
ル、1,4−ジオキサン10ミリリットル、ピロガロー
ルとアセトンの重縮合樹脂(MW =3,000)1.6
6g、1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸
クロリド1.61gを投入して、完溶させた。これに2
ミリリットルのピリジンを加え、攪拌下5時間加熱還流
した。この反応混合物を1%塩酸水溶液150ミリリッ
トルに投入し、析出した樹脂を濾取後、水洗、乾燥し、
感光体1を得た。
よって、さらに具体的に説明するが、本発明はその要旨
を超えない限り、これらの合成例、実施例及び比較例に
限定されるものではない。 [合成例] (感光体1)攪拌装置、還流冷却管を備えた100ミリ
リットルの3口フラスコに、アセトン20ミリリット
ル、1,4−ジオキサン10ミリリットル、ピロガロー
ルとアセトンの重縮合樹脂(MW =3,000)1.6
6g、1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸
クロリド1.61gを投入して、完溶させた。これに2
ミリリットルのピリジンを加え、攪拌下5時間加熱還流
した。この反応混合物を1%塩酸水溶液150ミリリッ
トルに投入し、析出した樹脂を濾取後、水洗、乾燥し、
感光体1を得た。
【0020】(感光体2)攪拌装置を備えた100ミリ
リットルの3口フラスコに、1,4−ジオキサン20ミ
リリットル、ピロガロールとアセトンの重縮合樹脂(M
W =3,000)1.66g、1,2−ナフトキノンジ
アジド−4−スルホン酸クロリド1.61gを投入し
て、完溶させた。これに4−ジメチルアミノピリジン/
1,4−ジオキサン=0.77g/15ミリリットルの
混合液を徐々に滴下し、25℃で3時間反応させた。
リットルの3口フラスコに、1,4−ジオキサン20ミ
リリットル、ピロガロールとアセトンの重縮合樹脂(M
W =3,000)1.66g、1,2−ナフトキノンジ
アジド−4−スルホン酸クロリド1.61gを投入し
て、完溶させた。これに4−ジメチルアミノピリジン/
1,4−ジオキサン=0.77g/15ミリリットルの
混合液を徐々に滴下し、25℃で3時間反応させた。
【0021】この反応混合物を1%塩酸水溶液150ミ
リリットルに投入し、析出した樹脂を濾取後、水洗、乾
燥し、感光体2を得た。 (実施例1)厚さ0.24mmのアルミニウム板(材質
1050、調質H16)を5%水酸化ナトリウム水溶液
中で60℃で1分間脱脂処理を行った後、0.5モル/
リットルの塩酸水溶液中で、温度25℃、電流密度60
A/dm2 、処理時間30秒間の条件で電解エッチング
を行った。次いで、5%水酸化ナトリウム水溶液中で、
60℃、10秒間のデスマット処理を施した後、20%
硫酸溶液中で温度20℃、電流密度3A/dm2 ,処理
時間1分間の条件で陽極酸化処理を行った。さらに、9
0℃の熱水で20秒間、熱水封孔処理を行い、平版印刷
版材料用支持体のアルミニウム板を作製した。
リリットルに投入し、析出した樹脂を濾取後、水洗、乾
燥し、感光体2を得た。 (実施例1)厚さ0.24mmのアルミニウム板(材質
1050、調質H16)を5%水酸化ナトリウム水溶液
中で60℃で1分間脱脂処理を行った後、0.5モル/
リットルの塩酸水溶液中で、温度25℃、電流密度60
A/dm2 、処理時間30秒間の条件で電解エッチング
を行った。次いで、5%水酸化ナトリウム水溶液中で、
60℃、10秒間のデスマット処理を施した後、20%
硫酸溶液中で温度20℃、電流密度3A/dm2 ,処理
時間1分間の条件で陽極酸化処理を行った。さらに、9
0℃の熱水で20秒間、熱水封孔処理を行い、平版印刷
版材料用支持体のアルミニウム板を作製した。
【0022】上記のように作製したアルミニウム板に、
下記組成の感光性組成物塗布液を回転塗布機を用いて塗
布し、90℃で4分間乾燥し、感光層膜厚が2.2g/
m2のポジ型感光性平版印刷版を作製した。
下記組成の感光性組成物塗布液を回転塗布機を用いて塗
布し、90℃で4分間乾燥し、感光層膜厚が2.2g/
m2のポジ型感光性平版印刷版を作製した。
【0023】(感光性組成物塗布液) ・感光体1 ・フェノールとm,p−混合クレゾール(フェノール、
m−クレゾール、p−クレゾール=20:48:32、
モル比)とホルムアルデヒドとの共重縮合樹脂 ・p−ter−オクチルフェノールとホルムアルデヒド
より合成されたノボラック樹脂(MW =1,800)と
ナフトキノン−(1,2)−ジアジド−(2)−5−ス
ルホン酸クロライドとのエステル化合物(縮合率50
%) ・2−トリクロロメチル−5−[β−(2−ベンゾフリ
ル)ビニル]−1,3,4−オキサジアゾール ・ビクトリアピュアブルーBOH(保土ヶ谷化学(株)
製) ・メチルセロソルブ 得られた感光性平版印刷版上に、ステップタブレット
(イーストマン・コダック(株)製No.2、濃度差
0.15ずつで21段階グレースケール)を密着し、1
kWメタルハライドランプ(岩崎電気(株)製、「アイ
ドルフィン2000」)を光源として30秒露光し、露
光部と未露光部の境界の見やすさを目視で評価した。
m−クレゾール、p−クレゾール=20:48:32、
モル比)とホルムアルデヒドとの共重縮合樹脂 ・p−ter−オクチルフェノールとホルムアルデヒド
より合成されたノボラック樹脂(MW =1,800)と
ナフトキノン−(1,2)−ジアジド−(2)−5−ス
ルホン酸クロライドとのエステル化合物(縮合率50
%) ・2−トリクロロメチル−5−[β−(2−ベンゾフリ
ル)ビニル]−1,3,4−オキサジアゾール ・ビクトリアピュアブルーBOH(保土ヶ谷化学(株)
製) ・メチルセロソルブ 得られた感光性平版印刷版上に、ステップタブレット
(イーストマン・コダック(株)製No.2、濃度差
0.15ずつで21段階グレースケール)を密着し、1
kWメタルハライドランプ(岩崎電気(株)製、「アイ
ドルフィン2000」)を光源として30秒露光し、露
光部と未露光部の境界の見やすさを目視で評価した。
【0024】また露光後、コニカ(株)性現像液「SD
R−1」の6倍希釈溶液で25℃、45秒間皿現像し、
クリア段数を目視で評価した。これらの評価結果を表−
1に示す。 (比較例1)感光体1の代わりに感光体2を用いた以外
は、実施例1と同様にして、感光性平版印刷版を作製
し、露光、現像後、評価した。評価結果を表−1に示
す。
R−1」の6倍希釈溶液で25℃、45秒間皿現像し、
クリア段数を目視で評価した。これらの評価結果を表−
1に示す。 (比較例1)感光体1の代わりに感光体2を用いた以外
は、実施例1と同様にして、感光性平版印刷版を作製
し、露光、現像後、評価した。評価結果を表−1に示
す。
【0025】(比較例2)2−トリクロロメチル−5−
[β−(2−ベンゾフリル)ビニル]−1,3,4−オ
キサジアゾール1部を3部に増量した以外は、比較例1
と同様にして、感光性平版印刷版を作製し、露光、現像
後、評価した。評価結果を表−1に示す。
[β−(2−ベンゾフリル)ビニル]−1,3,4−オ
キサジアゾール1部を3部に増量した以外は、比較例1
と同様にして、感光性平版印刷版を作製し、露光、現像
後、評価した。評価結果を表−1に示す。
【0026】
【表1】 表−1中、Abs(500nm)/Abs(615nm) は、500nmにお
ける吸光度を感光層中の色素の吸収極大波長(615n
m)における吸光度でわった値を示す。
ける吸光度を感光層中の色素の吸収極大波長(615n
m)における吸光度でわった値を示す。
【0027】
【発明の効果】本発明の感光性組成物を用いることによ
り、感度および露光可視画性に優れたポジ型感光性平版
印刷版やフォトレジスト等を得ることができ、工業的価
値が極めて大きい。
り、感度および露光可視画性に優れたポジ型感光性平版
印刷版やフォトレジスト等を得ることができ、工業的価
値が極めて大きい。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03F 7/028 H01L 21/027 (72)発明者 金沢 大輔 神奈川県横浜市緑区鴨志田町1000番地 三 菱化成株式会社総合研究所内 (72)発明者 松原 真一 東京都日野市さくら町1番地 コニカ株式 会社内 (72)発明者 東野 克彦 東京都日野市さくら町1番地 コニカ株式 会社内 (72)発明者 小島 紀美 東京都日野市さくら町1番地 コニカ株式 会社内
Claims (1)
- 【請求項1】 ポジ型感光性組成物であって、(a)多
価フェノール含有ノボラック樹脂の1,2−ナフトキノ
ンジアジド−4−スルホン酸エステル化合物、(b)ア
ルカリ可溶性樹脂、(c)露光により酸を生成する化合
物および(d)550〜650nmの範囲に吸収極大を
有し、かつ、酸により変色する色素を含有し、かつ、画
像露光前に下記式[I]を満足することを特徴とするポ
ジ型感光性組成物。 【数1】
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33429193A JPH07199464A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | ポジ型感光性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33429193A JPH07199464A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | ポジ型感光性組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07199464A true JPH07199464A (ja) | 1995-08-04 |
Family
ID=18275701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33429193A Pending JPH07199464A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | ポジ型感光性組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07199464A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100601737B1 (ko) * | 1997-10-30 | 2006-12-01 | 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션 | 감광성 내식막 조성물의 제조방법 |
| WO2009022732A1 (ja) | 2007-08-10 | 2009-02-19 | Sumitomo Bakelite Co., Ltd. | ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜および半導体装置 |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP33429193A patent/JPH07199464A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100601737B1 (ko) * | 1997-10-30 | 2006-12-01 | 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션 | 감광성 내식막 조성물의 제조방법 |
| WO2009022732A1 (ja) | 2007-08-10 | 2009-02-19 | Sumitomo Bakelite Co., Ltd. | ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜および半導体装置 |
| US8309280B2 (en) | 2007-08-10 | 2012-11-13 | Sumitomo Bakelite Co., Ltd. | Positive-type photosensitive resin composition, cured film, protective film, insulating film, and semiconductor device |
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