JPH073595B2 - 電子写真用感光体の製造方法 - Google Patents
電子写真用感光体の製造方法Info
- Publication number
- JPH073595B2 JPH073595B2 JP4080687A JP4080687A JPH073595B2 JP H073595 B2 JPH073595 B2 JP H073595B2 JP 4080687 A JP4080687 A JP 4080687A JP 4080687 A JP4080687 A JP 4080687A JP H073595 B2 JPH073595 B2 JP H073595B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy
- photoconductor
- electrophotographic photoreceptor
- tellurium
- concentration distribution
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording-members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat or to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
- G03G5/082—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
- G03G5/08207—Selenium-based
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、セレン・テルル系合金からなる感光層を導電
性基体上に有する電子写真用感光体の製造方法に関す
る。
性基体上に有する電子写真用感光体の製造方法に関す
る。
機能分離型の多層構造感光層を有する電子写真用感光体
は、例えば第２図のような構造を有する。すなわち、ア
ルミニウム基体１の上に5.5％のTeを含むSe合金の蒸着
により50〜55μｍの厚さに形成される電荷輸送層２、さ
らにその上に12〜13％のTeを含むSe合金の蒸着により４
〜５μｍの厚さに形成される電荷発生層３が積層されて
いる。このような感光体は、第３図に示すように、真空
槽４の中において、回転する支持軸上に装着されたアル
ミニウム素管１の下にそれぞれヒータ７を備えた二つの
蒸発源5,6を配置した装置を用いて製造される。蒸発源
５の中に5.5％Te−Se合金，蒸発源６の中に12〜13％Te
−Se合金をそれぞれ収容し、最初は蒸発源５の加熱によ
り電荷輸送層２を、次いで蒸発源６の加熱により電荷発
生層３を順次蒸着する。
は、例えば第２図のような構造を有する。すなわち、ア
ルミニウム基体１の上に5.5％のTeを含むSe合金の蒸着
により50〜55μｍの厚さに形成される電荷輸送層２、さ
らにその上に12〜13％のTeを含むSe合金の蒸着により４
〜５μｍの厚さに形成される電荷発生層３が積層されて
いる。このような感光体は、第３図に示すように、真空
槽４の中において、回転する支持軸上に装着されたアル
ミニウム素管１の下にそれぞれヒータ７を備えた二つの
蒸発源5,6を配置した装置を用いて製造される。蒸発源
５の中に5.5％Te−Se合金，蒸発源６の中に12〜13％Te
−Se合金をそれぞれ収容し、最初は蒸発源５の加熱によ
り電荷輸送層２を、次いで蒸発源６の加熱により電荷発
生層３を順次蒸着する。
しかし、このような方法で蒸着を行う場合，第一成分の
セレンと第二成分のテルルの分留がはなはだしく、第４
図に示すような目標のTe濃度分布に対し、実際のTe濃度
分布は第５図のようになり、しかも濃度分布の状態が一
定にならないため特性にばらつきが生じ、特に分留が激
しくなって濃度分布が第６図のように電荷発生層３の電
荷輸送層２側にピークを示すときには、疲労特性が悪く
なり、繰り返しコピー時の残留電位上昇が大きく、感光
体特性に致命的な影響を与える。
セレンと第二成分のテルルの分留がはなはだしく、第４
図に示すような目標のTe濃度分布に対し、実際のTe濃度
分布は第５図のようになり、しかも濃度分布の状態が一
定にならないため特性にばらつきが生じ、特に分留が激
しくなって濃度分布が第６図のように電荷発生層３の電
荷輸送層２側にピークを示すときには、疲労特性が悪く
なり、繰り返しコピー時の残留電位上昇が大きく、感光
体特性に致命的な影響を与える。
本発明の目的は、上述の問題を解決し、セレン・テルル
合金材料の蒸着時のセレンとテルルの分留を抑制し、分
留に起因する特性のばらつきがなく、疲労特性の向上し
た電子写真用感光体の製造方法を提供することにある。
合金材料の蒸着時のセレンとテルルの分留を抑制し、分
留に起因する特性のばらつきがなく、疲労特性の向上し
た電子写真用感光体の製造方法を提供することにある。
本発明は、分留が蒸着材料に非晶質合金を用いるときに
生じ、結晶合金を用いるときには生じないという認識に
基づき、蒸発源に結晶セレン・テルル合金を収容し、加
熱して導電性基体上に感光層を蒸着するものとする。
生じ、結晶合金を用いるときには生じないという認識に
基づき、蒸発源に結晶セレン・テルル合金を収容し、加
熱して導電性基体上に感光層を蒸着するものとする。
結晶材料は、材料の内部において、Se原子とTe原子との
結合状態が均一であるため、蒸発源の加熱により常にSe
とTeが一定比率で蒸発する。このため第５図，第６図に
示すような濃度分布異常が生ずることがない。
結合状態が均一であるため、蒸発源の加熱により常にSe
とTeが一定比率で蒸発する。このため第５図，第６図に
示すような濃度分布異常が生ずることがない。
第２図に示した構造を持つ感光体製造のために、第３図
の蒸発源5,6に入れる5.5％Te−Se合金および12〜13％Te
−Se合金合金は予め30℃以上の環境に１時間以上放置す
る加熱処理により結晶化させた材料を用いる。この結
果、Te濃度分布は常に第１図に示すようになり、分留が
ないといってよいほど水平に近い分布を示し、これに伴
って感光体特性のばらつきが少なくなった。また繰り返
しコピー時の残留電位上昇異常を防ぐことができ、第１
表に従来の方法で製造した感光体と比較して示すよう
に、300サイクル繰り返しコピー後の帯電低下量が小さ
くなり、またそのばらつきも少なくなった。
の蒸発源5,6に入れる5.5％Te−Se合金および12〜13％Te
−Se合金合金は予め30℃以上の環境に１時間以上放置す
る加熱処理により結晶化させた材料を用いる。この結
果、Te濃度分布は常に第１図に示すようになり、分留が
ないといってよいほど水平に近い分布を示し、これに伴
って感光体特性のばらつきが少なくなった。また繰り返
しコピー時の残留電位上昇異常を防ぐことができ、第１
表に従来の方法で製造した感光体と比較して示すよう
に、300サイクル繰り返しコピー後の帯電低下量が小さ
くなり、またそのばらつきも少なくなった。
なお、本発明に基づき用いる蒸着材料としては、溶融合
金化後徐冷することにより凝固時に結晶化した材料を用
いてもよい。また、完全に結晶化した材料でなく、亜結
晶状態である材料でも有効である。
金化後徐冷することにより凝固時に結晶化した材料を用
いてもよい。また、完全に結晶化した材料でなく、亜結
晶状態である材料でも有効である。
本発明によれば、蒸着材料として非晶質合金を加熱処理
することなどにより結晶化したセレン・テルル系合金を
用いて真空蒸着することにより、分留が防止され、テル
ルの濃度分布が一様になり、濃度分布のばらつきにより
る感光体の光感度異常がなくなる。また、濃度の制御が
容易で感光体特性のばらつきが少なく、残留電位上昇異
常が防止でき、繰り返しコピー時おける帯電低下量を小
さくして、画像における濃度低下を少なくすることがで
きる。
することなどにより結晶化したセレン・テルル系合金を
用いて真空蒸着することにより、分留が防止され、テル
ルの濃度分布が一様になり、濃度分布のばらつきにより
る感光体の光感度異常がなくなる。また、濃度の制御が
容易で感光体特性のばらつきが少なく、残留電位上昇異
常が防止でき、繰り返しコピー時おける帯電低下量を小
さくして、画像における濃度低下を少なくすることがで
きる。
第１図は本発明の一実施例による感光体のTe濃度分布線
図、第２図は第１図の感光体の構造を示す断面図、第３
図は本発明の一実施例に用いられる真空蒸着装置の断面
図、第４図は第１図の感光体の目標濃度分布線図、第５
図，第６図は従来の方法による感光体のTe濃度分布線図
である。 1:Al基体、2:電荷輸送層、3:電荷発生層。
図、第２図は第１図の感光体の構造を示す断面図、第３
図は本発明の一実施例に用いられる真空蒸着装置の断面
図、第４図は第１図の感光体の目標濃度分布線図、第５
図，第６図は従来の方法による感光体のTe濃度分布線図
である。 1:Al基体、2:電荷輸送層、3:電荷発生層。
Claims (3)
- 【請求項１】蒸発源に結晶セレン・テルル合金を収容
し、加熱して導電性基体上に感光体層を蒸着することを
特徴とする電子写真用感光体の製造方法。 - 【請求項２】特許請求の範囲第１項記載の方法におい
て、結晶セレン・テルル合金が非晶質合金を加熱処理し
て結晶化した材料であることを特徴とする電子写真用感
光体の製造方法。 - 【請求項３】特許請求の範囲第１項記載の方法におい
て、結晶セレン・テルル合金が溶融合金化後徐冷して凝
固時に結晶化した材料であることを特徴とする電子写真
用感光体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4080687A JPH073595B2 (ja) | 1987-02-24 | 1987-02-24 | 電子写真用感光体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4080687A JPH073595B2 (ja) | 1987-02-24 | 1987-02-24 | 電子写真用感光体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63206759A JPS63206759A (ja) | 1988-08-26 |
| JPH073595B2 true JPH073595B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=12590883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4080687A Expired - Lifetime JPH073595B2 (ja) | 1987-02-24 | 1987-02-24 | 電子写真用感光体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073595B2 (ja) |
-
1987
- 1987-02-24 JP JP4080687A patent/JPH073595B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63206759A (ja) | 1988-08-26 |
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