JPH0519327Y2 - - Google Patents
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- JPH0519327Y2 JPH0519327Y2 JP10558384U JP10558384U JPH0519327Y2 JP H0519327 Y2 JPH0519327 Y2 JP H0519327Y2 JP 10558384 U JP10558384 U JP 10558384U JP 10558384 U JP10558384 U JP 10558384U JP H0519327 Y2 JPH0519327 Y2 JP H0519327Y2
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- boat
- selenium
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Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
本考案は、電子写真用感光体の感光層形成に用
いられるセレンフラツシユ蒸着装置に関する。
いられるセレンフラツシユ蒸着装置に関する。
電子写真用感光体は、アルミニウム合金より成
る基体上へセレン・テルルなどが蒸着されてお
り、特にレーザープリンタなどに使用される感光
体においては要求される特性を維持するため、キ
ヤリア発生層、キヤリア輸送層、保護層などに機
能分離された層を真空蒸着法により成膜してい
る。これらの層を任意に制御出来る方法としてフ
ラツシユ蒸着法がある。 この方法は、予め加熱されている蒸発源ボート
にセレン・テルルなどの蒸着原料を移動する供給
ベルトから落下させて蒸着する方法であつて、任
意の原料を供給ベルトから落下させて蒸着するこ
とが容易に出来る。例えばセレン・テルルのテル
ルの高い原料、又はゲルマニウムなどの高融点の
原料などにおていも、蒸発源ボートを高温に制御
させることで蒸着が可能である。しかし原料が急
激に加熱されて蒸発するため、突沸状態が起きや
すい。この際、落下される微細な原料が完全に溶
解されないまま基体上に付着し、感光体表面にい
わゆる突起物の生成現象が起こり、電子写真用感
光体の欠陥となり、機能を著しく低下させる。特
に高融点の原料を蒸発させると突沸現象が強ま
り、感光体表面に粗大突起物が増加する欠点があ
つた。 第３図は従来用いられているフラツシユ蒸着用
蒸発源で、例えば幅30mm、深さ５mmの断面コ字形
のボート１は直接通電により加熱され、その上に
供給ベルト２の上に並べられた蒸着原料、例えば
セレン・テルル合金がベルトの回転に伴つてガイ
ド板３を介してボート１の上に落下し蒸発する。
このような蒸発源において上述のように原料の飛
散が起こりやすく、それを防止するためにボート
１の断面をＶ形にする改良も行われたが突沸を防
止するには至らなかつた。
る基体上へセレン・テルルなどが蒸着されてお
り、特にレーザープリンタなどに使用される感光
体においては要求される特性を維持するため、キ
ヤリア発生層、キヤリア輸送層、保護層などに機
能分離された層を真空蒸着法により成膜してい
る。これらの層を任意に制御出来る方法としてフ
ラツシユ蒸着法がある。 この方法は、予め加熱されている蒸発源ボート
にセレン・テルルなどの蒸着原料を移動する供給
ベルトから落下させて蒸着する方法であつて、任
意の原料を供給ベルトから落下させて蒸着するこ
とが容易に出来る。例えばセレン・テルルのテル
ルの高い原料、又はゲルマニウムなどの高融点の
原料などにおていも、蒸発源ボートを高温に制御
させることで蒸着が可能である。しかし原料が急
激に加熱されて蒸発するため、突沸状態が起きや
すい。この際、落下される微細な原料が完全に溶
解されないまま基体上に付着し、感光体表面にい
わゆる突起物の生成現象が起こり、電子写真用感
光体の欠陥となり、機能を著しく低下させる。特
に高融点の原料を蒸発させると突沸現象が強ま
り、感光体表面に粗大突起物が増加する欠点があ
つた。 第３図は従来用いられているフラツシユ蒸着用
蒸発源で、例えば幅30mm、深さ５mmの断面コ字形
のボート１は直接通電により加熱され、その上に
供給ベルト２の上に並べられた蒸着原料、例えば
セレン・テルル合金がベルトの回転に伴つてガイ
ド板３を介してボート１の上に落下し蒸発する。
このような蒸発源において上述のように原料の飛
散が起こりやすく、それを防止するためにボート
１の断面をＶ形にする改良も行われたが突沸を防
止するには至らなかつた。
本考案は上述の欠点を除き、原料の突沸による
未溶解原料の飛散を防止し、感光体の表面に突起
物の生成のないフラツシユ蒸着装置を提供するこ
とを目的とする。
未溶解原料の飛散を防止し、感光体の表面に突起
物の生成のないフラツシユ蒸着装置を提供するこ
とを目的とする。
本考案によるフラツシユ蒸着装置は、直接通電
加熱されるボートが方形の水平底板と垂直な側板
と側板の上端から内側に下方に向かう傾斜板とを
有することによつて上記の目的が達成される。
加熱されるボートが方形の水平底板と垂直な側板
と側板の上端から内側に下方に向かう傾斜板とを
有することによつて上記の目的が達成される。
第１図は本考案の一実施例の蒸発源を示し、ボ
ート１は第２図に示すようなＭ字形の断面を有す
る。すなわちコ字形断面の上方から内側に向いた
傾斜板４を有する。ボート１の材料は、0.3mmの
厚さのステンレス鋼SUS304を用いた。傾斜板４
の傾斜角θは30°が好ましい。ボートの材料とし
ては他にモリブデン、タングステン、炭素などを
用いることができるが、形状、寸法などに制約が
ある。 このような蒸発源を用いることにより、ベルト
２からガイド板３を介して供給される原料は通電
されているボート１の傾斜板４の上で予熱されて
からボート内に落ちるため突沸することが少なく
なり、また完全に溶解されない原料が飛散しても
傾斜板４に遮られ感光体表面への突起物の発生も
低減する。 この蒸発源を用いてセレン・テルル系材料の感
光層を形成した結果では、蒸着膜の突起物の発生
は、第３図に示した従来の蒸発源を用いた場合の
17％から７％に減少し、さらに高温蒸着への適用
も可能となつた。
ート１は第２図に示すようなＭ字形の断面を有す
る。すなわちコ字形断面の上方から内側に向いた
傾斜板４を有する。ボート１の材料は、0.3mmの
厚さのステンレス鋼SUS304を用いた。傾斜板４
の傾斜角θは30°が好ましい。ボートの材料とし
ては他にモリブデン、タングステン、炭素などを
用いることができるが、形状、寸法などに制約が
ある。 このような蒸発源を用いることにより、ベルト
２からガイド板３を介して供給される原料は通電
されているボート１の傾斜板４の上で予熱されて
からボート内に落ちるため突沸することが少なく
なり、また完全に溶解されない原料が飛散しても
傾斜板４に遮られ感光体表面への突起物の発生も
低減する。 この蒸発源を用いてセレン・テルル系材料の感
光層を形成した結果では、蒸着膜の突起物の発生
は、第３図に示した従来の蒸発源を用いた場合の
17％から７％に減少し、さらに高温蒸着への適用
も可能となつた。
本考案によれば、フラツシユ蒸着装置の直接通
電加熱するボートの上部を内側に折り曲げて断面
Ｍ字形にすることにより、落下する原料が予熱さ
れるため突沸が防止され、また飛散原料も遮蔽さ
れるため感光層表面の突起物の発生の少ない感光
体を製造することができる。
電加熱するボートの上部を内側に折り曲げて断面
Ｍ字形にすることにより、落下する原料が予熱さ
れるため突沸が防止され、また飛散原料も遮蔽さ
れるため感光層表面の突起物の発生の少ない感光
体を製造することができる。
第１図は本考案の一実施例における蒸発源の斜
視図、第２図はそのボートの断面図、第３図は従
来の蒸発源の斜視図である。 １……ボート、２……原料供給ベルト、３……
ガイド板、４……傾斜板。
視図、第２図はそのボートの断面図、第３図は従
来の蒸発源の斜視図である。 １……ボート、２……原料供給ベルト、３……
ガイド板、４……傾斜板。
Claims (1)
- 移動するベルトからセレン原料が直接通電加熱
されるボート上に落下し蒸発して蒸着されるもの
において、ボートが方形の水平底板と、垂直な側
板と、側板の上端から内側に下方に向かう傾斜板
とを有することを特徴とするセレンフラツシユ蒸
着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10558384U JPS6122040U (ja) | 1984-07-12 | 1984-07-12 | セレンフラツシユ蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10558384U JPS6122040U (ja) | 1984-07-12 | 1984-07-12 | セレンフラツシユ蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6122040U JPS6122040U (ja) | 1986-02-08 |
| JPH0519327Y2 true JPH0519327Y2 (ja) | 1993-05-21 |
Family
ID=30664898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10558384U Granted JPS6122040U (ja) | 1984-07-12 | 1984-07-12 | セレンフラツシユ蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6122040U (ja) |
-
1984
- 1984-07-12 JP JP10558384U patent/JPS6122040U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6122040U (ja) | 1986-02-08 |
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