JPH0744205B2 - プローブカード取付方法 - Google Patents
プローブカード取付方法Info
- Publication number
- JPH0744205B2 JPH0744205B2 JP62206036A JP20603687A JPH0744205B2 JP H0744205 B2 JPH0744205 B2 JP H0744205B2 JP 62206036 A JP62206036 A JP 62206036A JP 20603687 A JP20603687 A JP 20603687A JP H0744205 B2 JPH0744205 B2 JP H0744205B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- terminal
- socket
- pin
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明はプローブカード取付方法に関する。
［従来の技術］ プローバは半導体ウェハに多数形成されたチップの電気
的特性を測定するための装置であり、各チップの電極と
プローブカードの針との接触を図ることにより測定を行
う。プローブカードは被測定体であるチップの種類等に
よって異なり、被測定体に応じて交換されるもので従来
第３図に示すようなターミナルピンタイプのものが使わ
れていた。プローバ１側のプローブカード取付部である
プローブカードソケット３もこのようなターミナルピン
タイプのプローブカード２に対応してターミナルピン21
が嵌着されるソケット部31を有しており、オペレータが
プローブカード２をプローブカードソケット31に差し込
み、ビス止め等により固定することにより装着してい
た。
的特性を測定するための装置であり、各チップの電極と
プローブカードの針との接触を図ることにより測定を行
う。プローブカードは被測定体であるチップの種類等に
よって異なり、被測定体に応じて交換されるもので従来
第３図に示すようなターミナルピンタイプのものが使わ
れていた。プローバ１側のプローブカード取付部である
プローブカードソケット３もこのようなターミナルピン
タイプのプローブカード２に対応してターミナルピン21
が嵌着されるソケット部31を有しており、オペレータが
プローブカード２をプローブカードソケット31に差し込
み、ビス止め等により固定することにより装着してい
た。
一方、近年プローバの完全無人化、自動化の要請に伴な
いプローブカードの自動交換方法が開発され（特願昭61
−254071号）、プローブカードソケット及びプローブカ
ードは従来のターミナルピンタイプのものから第４図に
示すようなポゴピンタイプのものに変わりつつある。す
なわち、プローブカードソケット３′はスプリングを備
えたポゴピン32をプローブカード２′はポゴピン32に対
応する端子部22をそれぞれ備えており、ロボートアーム
等の自動交換手段によってプローブカード２′をプロー
ブカードソケット３′に容易に着脱可能できるようにな
っている。
いプローブカードの自動交換方法が開発され（特願昭61
−254071号）、プローブカードソケット及びプローブカ
ードは従来のターミナルピンタイプのものから第４図に
示すようなポゴピンタイプのものに変わりつつある。す
なわち、プローブカードソケット３′はスプリングを備
えたポゴピン32をプローブカード２′はポゴピン32に対
応する端子部22をそれぞれ備えており、ロボートアーム
等の自動交換手段によってプローブカード２′をプロー
ブカードソケット３′に容易に着脱可能できるようにな
っている。
［発明が解決しようとする問題点］ ところで、上記のようなポゴピンタイプのプローブカー
ドソケットを備えた自動交換用のプローバにおいては当
然のことながらポゴピンタイプのプローブカードしか使
用できないため、これまで使用されてきたターミナルピ
ンタイプのプローブカードがすべて無駄になり、ユーザ
に過大の経済的負担を与えるという問題点があった。
ドソケットを備えた自動交換用のプローバにおいては当
然のことながらポゴピンタイプのプローブカードしか使
用できないため、これまで使用されてきたターミナルピ
ンタイプのプローブカードがすべて無駄になり、ユーザ
に過大の経済的負担を与えるという問題点があった。
この発明は、多種のプローブカードに対応できるように
したプローブカード取付構造を提供するものである。
したプローブカード取付構造を提供するものである。
［問題点を解決するための手段］ このような目的を達成するため本発明のプローブカード
取付方法は、プローブカードと、ポゴピン及び端子の係
合によってプローブカードを交換可能に固定するプロー
ブカード取付部とを備え、プローブカードとプローブカ
ード取付部との間の電気的接触を介して電気的測定を行
うプローバのプローブカード取付方法において、プロー
ブカード取付部に係合する端子またはポゴピンを有する
プローブカードはプローブカード取付部に直接取り付
け、ピンまたはソケットを備えるプローブカードにはプ
ローブカード交換リングを設け、このプローブカード交
換リングをプローブカード取付部にポゴピンと端子との
係合により取り付けるものである。
取付方法は、プローブカードと、ポゴピン及び端子の係
合によってプローブカードを交換可能に固定するプロー
ブカード取付部とを備え、プローブカードとプローブカ
ード取付部との間の電気的接触を介して電気的測定を行
うプローバのプローブカード取付方法において、プロー
ブカード取付部に係合する端子またはポゴピンを有する
プローブカードはプローブカード取付部に直接取り付
け、ピンまたはソケットを備えるプローブカードにはプ
ローブカード交換リングを設け、このプローブカード交
換リングをプローブカード取付部にポゴピンと端子との
係合により取り付けるものである。
本発明のプローブカード取付方法に適用されるプローブ
カード交換リングは一面に設けられた端子と、端子と対
応して他面に設けられたソケットとが電気的に接続され
ているものである。
カード交換リングは一面に設けられた端子と、端子と対
応して他面に設けられたソケットとが電気的に接続され
ているものである。
更に、本発明のプローブカード取付方法は、プローブカ
ードと、ポゴピンが設けられプローブカード取付部とを
備えたプローバのプローブカード取付部にプローブカー
ドを取り付けるプローブカード取付方法であって、ピン
を備えたプローブカードとプローブカード取付部間に、
ピンに対応したソケットを一面に備え他面にソケットと
電気的に接続されポゴピンと係合する端子を備えたプロ
ーブカード交換リングを介在させるものである。
ードと、ポゴピンが設けられプローブカード取付部とを
備えたプローバのプローブカード取付部にプローブカー
ドを取り付けるプローブカード取付方法であって、ピン
を備えたプローブカードとプローブカード取付部間に、
ピンに対応したソケットを一面に備え他面にソケットと
電気的に接続されポゴピンと係合する端子を備えたプロ
ーブカード交換リングを介在させるものである。
［作用］ プローブカード取付部がポゴピンあるいはポゴピンに係
合される端子を備えた自動交換方式のプローバのとき
は、プローブカード取付部に係合される端子あるいはポ
ゴピンを備えたプローブカードはプローブカード取付部
に直接自動交換で取付ける。プローブカードがピンを備
えたものである場合、プローブカード交換リングを適用
する。この場合、プローブカード交換リングの一方の例
えばソケット部に例えばターミナルピンを有するプロー
ブカードのターミナルピンを係合させることにより、プ
ローブカード交換リングをプローブカードに予め装着し
ておき、プローブカードとプローブカード交換リングと
を一体としてプローブカード自動交換方式のプローバに
適用する。
合される端子を備えた自動交換方式のプローバのとき
は、プローブカード取付部に係合される端子あるいはポ
ゴピンを備えたプローブカードはプローブカード取付部
に直接自動交換で取付ける。プローブカードがピンを備
えたものである場合、プローブカード交換リングを適用
する。この場合、プローブカード交換リングの一方の例
えばソケット部に例えばターミナルピンを有するプロー
ブカードのターミナルピンを係合させることにより、プ
ローブカード交換リングをプローブカードに予め装着し
ておき、プローブカードとプローブカード交換リングと
を一体としてプローブカード自動交換方式のプローバに
適用する。
これにより、プローブカードとプローブカード交換リン
グは一体にロボットアーム等の自動交換手段によって搬
送され、プローブカード交換リングの他方の端子部とプ
ローブ装置側に固定されたプローブカード取付部のポゴ
ピンとの接続を図ることができる。
グは一体にロボットアーム等の自動交換手段によって搬
送され、プローブカード交換リングの他方の端子部とプ
ローブ装置側に固定されたプローブカード取付部のポゴ
ピンとの接続を図ることができる。
［実施例］ 以下、本発明のプローブカード取付構造の実施例を図面
を参照して説明する。第１図（ａ）及び（ｂ）に示すよ
うにプローブカード交換リング（以下、交換リングと略
す）10は、適用されるプローブカードとほぼ等しい外周
のドーナツ状の形状を有し、一方の面10a側にプローブ
カードのターミナルピンに対応した位置にターミナルピ
ンと同数のソケット部11を有する。ソケット部11が形成
された面10aと反対側の面10bにはソケット部11と対応し
て各端子12が形成されている。各端子12と各ソケット部
11はそれぞれ電気的に連結されている。ソケット部を構
成する導体が交換リングを貫通するようにして一体に形
成してもよい。又、各端子12はプローバ側のプローブカ
ード取付部のポゴピンと接触するための端子部でポゴピ
ンと対応した位置に配列している。
を参照して説明する。第１図（ａ）及び（ｂ）に示すよ
うにプローブカード交換リング（以下、交換リングと略
す）10は、適用されるプローブカードとほぼ等しい外周
のドーナツ状の形状を有し、一方の面10a側にプローブ
カードのターミナルピンに対応した位置にターミナルピ
ンと同数のソケット部11を有する。ソケット部11が形成
された面10aと反対側の面10bにはソケット部11と対応し
て各端子12が形成されている。各端子12と各ソケット部
11はそれぞれ電気的に連結されている。ソケット部を構
成する導体が交換リングを貫通するようにして一体に形
成してもよい。又、各端子12はプローバ側のプローブカ
ード取付部のポゴピンと接触するための端子部でポゴピ
ンと対応した位置に配列している。
このように構成される交換リング10はターミナルピンタ
イプのプローブカード２をポゴピンタイプのプローブカ
ード取付部３′を有するプローバ１′で適用する場合に
用いられる。
イプのプローブカード２をポゴピンタイプのプローブカ
ード取付部３′を有するプローバ１′で適用する場合に
用いられる。
すなわち、第２図に示すように交換リング10のソケット
部11にプローブカード２のターミナルピン21を係合させ
ることにより、交換リング10とプローブカード２を一体
化し、これをプローブカード自動交換機能付プローバ
１′にセットする。これにより、プローバ１′は交換リ
ング10と一体化されたプローブカード２をポゴピンタイ
プのプローブカードと同様の通常の操作プロセスにより
位置決め、搬送しポゴピンタイプのプローブカード取付
部３′に圧接係止することができる。
部11にプローブカード２のターミナルピン21を係合させ
ることにより、交換リング10とプローブカード２を一体
化し、これをプローブカード自動交換機能付プローバ
１′にセットする。これにより、プローバ１′は交換リ
ング10と一体化されたプローブカード２をポゴピンタイ
プのプローブカードと同様の通常の操作プロセスにより
位置決め、搬送しポゴピンタイプのプローブカード取付
部３′に圧接係止することができる。
［発明の効果］ 以上の説明からも明らかなように本発明によれば多種の
プローブカードの交換を容易にし、自動位置決めされプ
ローブカードの自動交換が可能となる。
プローブカードの交換を容易にし、自動位置決めされプ
ローブカードの自動交換が可能となる。
第１図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明のプローブカー
ド取付方法の一実施例を説明するための交換リングの相
異なる方向からの斜視図、第２図は第１図の交換リング
にプローブカードを装着した説明図、第３図及び第４図
はそれぞれ従来のプローブカード及びプローブカードソ
ケットを説明する図である。 １′……プローブ装置 ２……ターミナルピンタイプのプローブカード ３′……ポゴピンタイプのプローブカード取付部 10……プローブカード交換リング 12、22……端子 11……ソケット部 21……ターミナルピン 32……ポゴピン
ド取付方法の一実施例を説明するための交換リングの相
異なる方向からの斜視図、第２図は第１図の交換リング
にプローブカードを装着した説明図、第３図及び第４図
はそれぞれ従来のプローブカード及びプローブカードソ
ケットを説明する図である。 １′……プローブ装置 ２……ターミナルピンタイプのプローブカード ３′……ポゴピンタイプのプローブカード取付部 10……プローブカード交換リング 12、22……端子 11……ソケット部 21……ターミナルピン 32……ポゴピン
Claims (3)
- 【請求項１】プローブカードと、ポゴピン及び端子の係
合によって前記プローブカードを交換可能に固定するプ
ローブカード取付部とを備え、前記プローブカードと前
記プローブカード取付部との間の電気的接触を介して電
気的測定を行うプローバのプローブカード取付方法にお
いて、前記プローブカード取付部に係合する端子または
ポゴピンを有するプローブカードは前記プローブカード
取付部に直接取り付け、ピンまたはソケットを備えるプ
ローブカードにはプローブカード交換リングを設け、前
記プローブカード交換リングを前記プローブカード取付
部に前記ポゴピンと前記端子との係合により取り付ける
ことを特徴とするプローブカード取付方法。 - 【請求項２】前記プローブカード交換リングは一面に設
けられた端子と、前記端子と対応した他面に設けられた
ソケットとが電気的に接続されていることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のプローブカード取付方法。 - 【請求項３】プローブカードと、ポゴピンが設けられプ
ローブカード取付部とを備えたプローバの前記プローブ
カード取付部に前記プローブカードを取り付けるプロー
ブカード取付方法であって、ピンを備えたプローブカー
ドと前記プローブカード取付部間に、前記ピンに対応し
たソケットを一面に備え他面に前記ソケットと電気的に
接続され前記ポゴピンと係合する端子を備えたプローブ
カード交換リングを介在させることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のプローブカード取付方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62206036A JPH0744205B2 (ja) | 1987-08-18 | 1987-08-18 | プローブカード取付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62206036A JPH0744205B2 (ja) | 1987-08-18 | 1987-08-18 | プローブカード取付方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6448439A JPS6448439A (en) | 1989-02-22 |
| JPH0744205B2 true JPH0744205B2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=16516836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62206036A Expired - Fee Related JPH0744205B2 (ja) | 1987-08-18 | 1987-08-18 | プローブカード取付方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744205B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04276018A (ja) * | 1991-03-01 | 1992-10-01 | Kobe Steel Ltd | 圧壊特性に優れたドアガードバーの製造方法 |
| JPH0513046U (ja) * | 1991-07-29 | 1993-02-19 | 山形日本電気株式会社 | 半導体プローブボードの検査装置 |
| JP4185218B2 (ja) * | 1999-04-02 | 2008-11-26 | 株式会社ヨコオ | コンタクトプローブとその製造方法、および前記コンタクトプローブを用いたプローブ装置とその製造方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60192441U (ja) * | 1984-05-31 | 1985-12-20 | 富士通株式会社 | 集積回路試験装置 |
| JPS6265435A (ja) * | 1985-09-18 | 1987-03-24 | Fujitsu Ltd | ウエハ−試験装置 |
| JPS6286739A (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-21 | Nec Corp | プロ−ブカ−ド |
-
1987
- 1987-08-18 JP JP62206036A patent/JPH0744205B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6448439A (en) | 1989-02-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |