JPH0758542B2 - 薄膜型磁気記録媒体 - Google Patents
薄膜型磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0758542B2 JPH0758542B2 JP61082258A JP8225886A JPH0758542B2 JP H0758542 B2 JPH0758542 B2 JP H0758542B2 JP 61082258 A JP61082258 A JP 61082258A JP 8225886 A JP8225886 A JP 8225886A JP H0758542 B2 JPH0758542 B2 JP H0758542B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- magnetic recording
- recording medium
- layer
- copper oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［利用分野］ 本発明は記録層が磁性薄膜からなるフレキシブルな薄膜
型磁気記録媒体に関するものであり、更に詳しくは耐摩
耗性に優れたフレキシブルな薄膜型磁気記録媒体に関す
るものである。
型磁気記録媒体に関するものであり、更に詳しくは耐摩
耗性に優れたフレキシブルな薄膜型磁気記録媒体に関す
るものである。
［従来技術］ 近年高密度記録への要求はますます高くなり、磁気記録
層として強磁性金属層を用いたもの、更には特公昭58−
91号公報等の如く垂直磁気異方性を有するコバルト系合
金層を用いたものが提案されている。しかし磁気記録層
としてかかる磁性薄膜を用いた薄膜型の磁気記録媒体の
場合には、磁気記録ヘッドとの摩擦抵抗が大きいために
摩耗や損傷を受けやすく耐久性に欠けるという難点があ
る。
層として強磁性金属層を用いたもの、更には特公昭58−
91号公報等の如く垂直磁気異方性を有するコバルト系合
金層を用いたものが提案されている。しかし磁気記録層
としてかかる磁性薄膜を用いた薄膜型の磁気記録媒体の
場合には、磁気記録ヘッドとの摩擦抵抗が大きいために
摩耗や損傷を受けやすく耐久性に欠けるという難点があ
る。
このため従来より強磁性金属薄膜上に更に保護層として
有機高分子，高硬度金属，セラミックス等を設けたもの
が種々提案されている。
有機高分子，高硬度金属，セラミックス等を設けたもの
が種々提案されている。
しかし、前記薄膜型の磁気記録媒体の耐摩耗性、即ち磁
気記録ヘッド上に磁気記録媒体を繰返し走行させた時の
磁気記録媒体の寿命は従来の塗布型の磁気記録媒体にく
らべて劣り、実用上未だ充分ではない状態である。
気記録ヘッド上に磁気記録媒体を繰返し走行させた時の
磁気記録媒体の寿命は従来の塗布型の磁気記録媒体にく
らべて劣り、実用上未だ充分ではない状態である。
［発明の目的］ 本発明にかかる現状に鑑みなされたもので、耐摩耗性に
優れたフレキシブルな薄膜型の磁気記録媒体を目的とし
たものである。
優れたフレキシブルな薄膜型の磁気記録媒体を目的とし
たものである。
［発明の構成・作用］ 上述の目的は以下の本発明により達成される。すなわ
ち、本発明は、前述の記録層が磁性薄膜よりなる薄膜型
磁気記録媒体において、酸化銅よりなる保護層を設けた
ことを特徴とするフレキシブルな薄膜型磁気記録媒体で
ある。
ち、本発明は、前述の記録層が磁性薄膜よりなる薄膜型
磁気記録媒体において、酸化銅よりなる保護層を設けた
ことを特徴とするフレキシブルな薄膜型磁気記録媒体で
ある。
本発明は、公知の強磁性薄膜を記録層とした全てのフレ
キシブルな薄膜型磁気記録媒体に適用される。これらに
は、具体的には基板上に、γ酸化鉄の薄膜層を設けたも
の、鉄，コバルト，ニッケル等の金属あるいはこれらの
合金からなる内面記録用の強磁性金属薄膜層を設けたも
の、垂直磁気異方性を有するコバルト系合金薄膜等から
なる垂直記録用の強磁性金属薄膜層を設けたもの、また
は鉄，パーマロイ，コバルド・ニオブ・ジルコン合金等
の高透磁率を有する金属層に続けてその上に前述の垂直
記録用の金属薄膜層を順次形成したもの等公知の面内あ
るいは垂直記録用の薄膜型磁気記録媒体がある。中でも
実施例に示す記録層がコバルト−クロムを主成分とする
合金薄膜よりなる垂直磁気記録媒体に好ましく適用され
る。なお、基板としてはポリエステル，ポリイミド等の
高分子フイルム等からなるフレキシブルな基板が適用さ
れる。
キシブルな薄膜型磁気記録媒体に適用される。これらに
は、具体的には基板上に、γ酸化鉄の薄膜層を設けたも
の、鉄，コバルト，ニッケル等の金属あるいはこれらの
合金からなる内面記録用の強磁性金属薄膜層を設けたも
の、垂直磁気異方性を有するコバルト系合金薄膜等から
なる垂直記録用の強磁性金属薄膜層を設けたもの、また
は鉄，パーマロイ，コバルド・ニオブ・ジルコン合金等
の高透磁率を有する金属層に続けてその上に前述の垂直
記録用の金属薄膜層を順次形成したもの等公知の面内あ
るいは垂直記録用の薄膜型磁気記録媒体がある。中でも
実施例に示す記録層がコバルト−クロムを主成分とする
合金薄膜よりなる垂直磁気記録媒体に好ましく適用され
る。なお、基板としてはポリエステル，ポリイミド等の
高分子フイルム等からなるフレキシブルな基板が適用さ
れる。
これらの磁気記録媒体は、基体上に記録層となる磁性薄
膜を形成することにより製造される。この薄膜形成法と
しては、連続薄膜の形成法として公知の真空蒸着法，ス
パッタ法、更には特開昭57−100627号公報，特開昭59−
193528号公報等で公知の対向ターゲット式スパッタ法等
の物理蒸着法、あるいはメッキ法等が利用される。
膜を形成することにより製造される。この薄膜形成法と
しては、連続薄膜の形成法として公知の真空蒸着法，ス
パッタ法、更には特開昭57−100627号公報，特開昭59−
193528号公報等で公知の対向ターゲット式スパッタ法等
の物理蒸着法、あるいはメッキ法等が利用される。
又、本発明の酸化銅の保護層は当然のことながら磁気記
録媒体の記録層上に連続薄膜層として設けられる。この
保護層の形成には、前述の記録層の形成と同様に物理蒸
着法等が利用される。
録媒体の記録層上に連続薄膜層として設けられる。この
保護層の形成には、前述の記録層の形成と同様に物理蒸
着法等が利用される。
本発明に云う酸化銅は銅１原子に結合している酸素原子
の数は不明確であるが、前記方法にて作成された銅の酸
化物を本発明の酸化銅と呼ぶ。
の数は不明確であるが、前記方法にて作成された銅の酸
化物を本発明の酸化銅と呼ぶ。
本発明は磁性薄膜からなる記録層上に上述のようにして
酸化銅からなる保護層を設けることにより、実用レベル
に必要な数100万回以上のパス数の耐久性を実現したも
のである。
酸化銅からなる保護層を設けることにより、実用レベル
に必要な数100万回以上のパス数の耐久性を実現したも
のである。
以下に実施例を比較例と共に記す。
［実施例，比較例］ 第１図は本発明の一構成例を示すもので、フロッピーデ
ィスク用のフレキシブル両面垂直磁気記録媒体である。
直径5.25インチ，厚さ50μｍのポリエチレンテレフタレ
ートフイルムを基体１とし、その両面に0.5μｍのニッ
ケル鉄合金よりなる高透磁率の金属薄層２と、0.5μｍ
のコバルト・クロム（クロム:20wt％）の合金薄膜より
なる垂直磁気記録層３とを特開昭57−100627号公報と同
様に対向ターゲット式スパッタ法で順次積層し、更にそ
の上に酸化銅（CuO）粉末ターゲットを用いた100％のア
ルゴンガス雰囲気下の高周波（RF）マグネトロンスパッ
タ法により約200Åの酸化銅の保護層４を積層したもの
である（実施例）。
ィスク用のフレキシブル両面垂直磁気記録媒体である。
直径5.25インチ，厚さ50μｍのポリエチレンテレフタレ
ートフイルムを基体１とし、その両面に0.5μｍのニッ
ケル鉄合金よりなる高透磁率の金属薄層２と、0.5μｍ
のコバルト・クロム（クロム:20wt％）の合金薄膜より
なる垂直磁気記録層３とを特開昭57−100627号公報と同
様に対向ターゲット式スパッタ法で順次積層し、更にそ
の上に酸化銅（CuO）粉末ターゲットを用いた100％のア
ルゴンガス雰囲気下の高周波（RF）マグネトロンスパッ
タ法により約200Åの酸化銅の保護層４を積層したもの
である（実施例）。
又、比較例として、保護層を除いて実施例と同じ構成で
保護層として酸化タングステン（比較例１），酸化チタ
ン（比較例２），酸化タンタル（比較例３），酸化錫
（比較例４）を実施例と同様これらを酸化物の粉末ター
ゲットを用いた高周波マグネトロンスパッタ法で約200
Å厚さに積層したサンプルを作成した。
保護層として酸化タングステン（比較例１），酸化チタ
ン（比較例２），酸化タンタル（比較例３），酸化錫
（比較例４）を実施例と同様これらを酸化物の粉末ター
ゲットを用いた高周波マグネトロンスパッタ法で約200
Å厚さに積層したサンプルを作成した。
表１には、これらサンプルを、磁気ヘッドの替りに摺動
部（ヘッドスライダー部）を曲率半径50mmの球面とした
アルミナチタンカーバイト（通称アルチック（AlTi
C））よりなるダミーヘッドをセットした市販のフロッ
ピーディスクドライブ装置で、ヘッドを同一トラックに
固定しヘッド押圧荷重18g,回転速度1m/secで300万パス
回転させた後のサンプルの表面粗さを以下のように評価
した結果が示してある。
部（ヘッドスライダー部）を曲率半径50mmの球面とした
アルミナチタンカーバイト（通称アルチック（AlTi
C））よりなるダミーヘッドをセットした市販のフロッ
ピーディスクドライブ装置で、ヘッドを同一トラックに
固定しヘッド押圧荷重18g,回転速度1m/secで300万パス
回転させた後のサンプルの表面粗さを以下のように評価
した結果が示してある。
すなわち、耐久性評価は摺動テスト前後のサンプルの表
面粗さを表面粗さ計（SURFCOM,東京精密（株）製）を用
いて中心線平均粗さCLAとして求め、摺動後のCLA値を摺
動前のCLA値で除算した相対的表面粗さと媒体に生じた
摩耗傷の最大深さ（μｍ）とにより行なった。
面粗さを表面粗さ計（SURFCOM,東京精密（株）製）を用
いて中心線平均粗さCLAとして求め、摺動後のCLA値を摺
動前のCLA値で除算した相対的表面粗さと媒体に生じた
摩耗傷の最大深さ（μｍ）とにより行なった。
表−２には、表−１の条件に対してダミーヘッドの摺動
面の曲率半径を30mmとし、ヘッドの押圧荷重を4g,回転
速度3m/secとして、パス数1000万回後の結果を示す。
面の曲率半径を30mmとし、ヘッドの押圧荷重を4g,回転
速度3m/secとして、パス数1000万回後の結果を示す。
表より明らかなように本発明の酸化銅を保護層とした実
施例では300万パスでは殆んど摩耗はなく、1000万パス
において若干摩耗が見られる場合があるものの非常に軽
微でありまだ充分に使用できる状態にある。すなわち、
本発明により待望されている充分実用レベルの摺動耐久
性を有する薄膜型磁気記録媒体が得られることがわか
る。
施例では300万パスでは殆んど摩耗はなく、1000万パス
において若干摩耗が見られる場合があるものの非常に軽
微でありまだ充分に使用できる状態にある。すなわち、
本発明により待望されている充分実用レベルの摺動耐久
性を有する薄膜型磁気記録媒体が得られることがわか
る。
以上の本発明はその趣旨からいって、実施例に示したフ
ロッピーディスク及び垂直磁気記録媒体に何等限定され
るものではなく、全てのフレキシブルな薄膜型磁気記録
媒体に適用できることは言うまでもない。又記録層，保
護層の製法も実施例以外の他の前述の膜形成手段が適用
できることも明らかである。
ロッピーディスク及び垂直磁気記録媒体に何等限定され
るものではなく、全てのフレキシブルな薄膜型磁気記録
媒体に適用できることは言うまでもない。又記録層，保
護層の製法も実施例以外の他の前述の膜形成手段が適用
できることも明らかである。
第１図は本発明の一実施例の構成を示す部分側断面図で
ある。 1:基体,2:高透磁率金属薄膜層， 3:コバルト・クロム合金薄膜層， 4:酸化銅の保護層
ある。 1:基体,2:高透磁率金属薄膜層， 3:コバルト・クロム合金薄膜層， 4:酸化銅の保護層
Claims (5)
- 【請求項１】記録層が磁性薄膜よりなるフレキシブルな
薄膜型磁気記録媒体において、酸化銅よりなる保護層を
設けたことを特徴とする薄膜型磁気記録媒体。 - 【請求項２】前記記録層が垂直記録層である特許請求の
範囲第１項記載の薄膜型磁気記録媒体。 - 【請求項３】前記垂直記録層がコバルトークロムを主成
分とする合金薄膜である特許請求の範囲第２項記載の薄
膜型磁気記録媒体。 - 【請求項４】前記酸化銅よりなる保護層が物理蒸着法に
より形成された特許請求の範囲第１項、第２項若しくは
第３項記載の薄膜型磁気記録媒体。 - 【請求項５】前記磁気記録媒体が磁気デイスクである特
許請求の範囲第１項、第２項、第３項若しくは第４項記
載の薄膜型磁気記録媒体。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US79363385A | 1985-10-31 | 1985-10-31 | |
| US793633 | 1985-10-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62107431A JPS62107431A (ja) | 1987-05-18 |
| JPH0758542B2 true JPH0758542B2 (ja) | 1995-06-21 |
Family
ID=25160418
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61082258A Expired - Lifetime JPH0758542B2 (ja) | 1985-10-31 | 1986-04-11 | 薄膜型磁気記録媒体 |
| JP61094737A Expired - Lifetime JPH0758543B2 (ja) | 1985-10-31 | 1986-04-25 | 薄膜型磁気記録媒体 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61094737A Expired - Lifetime JPH0758543B2 (ja) | 1985-10-31 | 1986-04-25 | 薄膜型磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (2) | JPH0758542B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56143538A (en) * | 1980-04-09 | 1981-11-09 | Nec Corp | Manufacture of magnetic storage body |
| JPS57176537A (en) * | 1981-04-21 | 1982-10-29 | Canon Inc | Magnetic recording medium |
| JPS6087425A (ja) * | 1983-10-20 | 1985-05-17 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS6174129A (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-16 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体 |
-
1986
- 1986-04-11 JP JP61082258A patent/JPH0758542B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1986-04-25 JP JP61094737A patent/JPH0758543B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0758543B2 (ja) | 1995-06-21 |
| JPS62107432A (ja) | 1987-05-18 |
| JPS62107431A (ja) | 1987-05-18 |
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