JPH0312813A - 金属薄膜型磁気記録媒体 - Google Patents
金属薄膜型磁気記録媒体Info
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- JPH0312813A JPH0312813A JP14763789A JP14763789A JPH0312813A JP H0312813 A JPH0312813 A JP H0312813A JP 14763789 A JP14763789 A JP 14763789A JP 14763789 A JP14763789 A JP 14763789A JP H0312813 A JPH0312813 A JP H0312813A
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- Japan
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- film
- magnetic
- magnetic recording
- thin film
- recording
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はノイズ特性にすぐれた金属薄膜型面内記録用磁
気記録媒体に関する。
気記録媒体に関する。
近時、磁気記録媒体として、ＣｏＮｉ、ＣｏＣｒ。
ＣｏＣｒＮｉ等の強磁性金属の薄膜（磁性層）を非磁性
基体上に成膜した金属薄膜型磁気記録媒体が、その高密
度記録性により、従来の塗布型磁気記録媒体に置き代り
つつある。その記録層である磁性膜の形成は、スパッタ
リング、イオンプレティング、真空蒸着等の各種物理的
蒸着法により行われる。磁気記録方式を面内磁化方式と
する場合の記録媒体では、その磁性膜に面内異方性を導
入するための下地層、代表的にはクロム膜が基体上に成
膜され、そのＣｒ膜面に上記磁性膜の積層成膜が行われ
る。
基体上に成膜した金属薄膜型磁気記録媒体が、その高密
度記録性により、従来の塗布型磁気記録媒体に置き代り
つつある。その記録層である磁性膜の形成は、スパッタ
リング、イオンプレティング、真空蒸着等の各種物理的
蒸着法により行われる。磁気記録方式を面内磁化方式と
する場合の記録媒体では、その磁性膜に面内異方性を導
入するための下地層、代表的にはクロム膜が基体上に成
膜され、そのＣｒ膜面に上記磁性膜の積層成膜が行われ
る。
上記金属薄膜型磁気記録媒体は、これまでの塗布型磁気
記録媒体にまさる高密度の記録が可能であるが、次世代
の磁気記録媒体としては更に記録密度の向上が要求され
る。
記録媒体にまさる高密度の記録が可能であるが、次世代
の磁気記録媒体としては更に記録密度の向上が要求され
る。
本発明は、上記金属薄膜型磁気記録媒体について、更に
その高密度記録を可能とするためのノイズ特性の改良さ
れた磁気記録媒体を提供しようとするものである。
その高密度記録を可能とするためのノイズ特性の改良さ
れた磁気記録媒体を提供しようとするものである。
〔課題を解決するための手段および作用〕本発明は、非
磁性基体上に記録層として強磁性金属からなる薄膜が下
地膜を介して積層形成されている面内記録用磁気記録媒
体において、前記下地膜が下式： ％式％） で示される組成を有する合金からなること特徴としてい
る。
磁性基体上に記録層として強磁性金属からなる薄膜が下
地膜を介して積層形成されている面内記録用磁気記録媒
体において、前記下地膜が下式： ％式％） で示される組成を有する合金からなること特徴としてい
る。
上記のように本発明の磁気記録媒体は、記録層である強
磁性金属薄膜（磁性膜）に面内異方性を付与する下地膜
が、〔１１式で示されるＣｒＡｇ合金を以て形成されて
いる。この下地膜を形成するＣｒＡｇ合金中のＡｇはＣ
ｒに固溶せず、Ｃｒの粒界に析出して下地膜の結晶粒界
を明確化する。
磁性金属薄膜（磁性膜）に面内異方性を付与する下地膜
が、〔１１式で示されるＣｒＡｇ合金を以て形成されて
いる。この下地膜を形成するＣｒＡｇ合金中のＡｇはＣ
ｒに固溶せず、Ｃｒの粒界に析出して下地膜の結晶粒界
を明確化する。
下地膜の粒界が明確化されることに伴い、その下地膜面
上に積層形成される磁性膜の粒界の明確化・磁区の孤立
化が、促され、結果として磁性膜の保磁力増加、磁化遷
移幅の減少等による記録再生ノイズ１、目土の低減効果
が得られる。
上に積層形成される磁性膜の粒界の明確化・磁区の孤立
化が、促され、結果として磁性膜の保磁力増加、磁化遷
移幅の減少等による記録再生ノイズ１、目土の低減効果
が得られる。
下地膜のＣｒＡｇ合金におけるＡｇ量（Ｘ）の下限を０
．１としたのは、上記効果を十分ならしめるためである
。しかし、その量があまり多くなると、却って磁性膜の
保磁力（Ｈｃ）の低下傾向をみる。
．１としたのは、上記効果を十分ならしめるためである
。しかし、その量があまり多くなると、却って磁性膜の
保磁力（Ｈｃ）の低下傾向をみる。
これは、Ａｇの増量に伴って下地膜のＣｒの結晶に乱れ
が生じること等によるものと考えられる。
が生じること等によるものと考えられる。
このため、Ａｇ量の上限を３．０とした。
上記下地膜の膜面上に積層形成される磁性膜は、Ｃｏ、
ＣｏＮｉ、ＣｏＣｒ、ＣｏＣｒＮｉ等、あるいはその磁
気的・電気的特性の改善を目的として添加される、例え
ばＴａ、Ｎｂ、Ｖ、Ｐ、その他の元素を含有する各種の
強磁性合金であり、その合金組成の選択は自由である。
ＣｏＮｉ、ＣｏＣｒ、ＣｏＣｒＮｉ等、あるいはその磁
気的・電気的特性の改善を目的として添加される、例え
ばＴａ、Ｎｂ、Ｖ、Ｐ、その他の元素を含有する各種の
強磁性合金であり、その合金組成の選択は自由である。
本発明の金属薄膜型磁気記録媒体は、磁気ディスクをは
じめ、磁気ドラム、磁気テープ、磁気シート等を包含す
る。これらは、いずれもその磁性膜に面内異方性を導入
するための下地膜が前記〔１３式で示される組成を有す
るＣｒＡｇ合金からなる点を除いて、公知の工程および
条件に従って製作することができる。例えば、磁気ディ
スクについて述べれば、アルミニウム合金板等を基体と
し、その表面に無電解めっきにより硬質のＮｉＰめっき
膜（膜厚：例えば１５〜２５μｍ）を設け、めっき膜面
にテキスチャ処理を施したのち、磁性膜に面内異方性を
与えるための下地層であるＣｒＡｇ合金膜を適宜膜厚（
例えば５００〜３０００人）に形成する。その膜面上に
、記録層である磁性膜（膜厚は例えば５００〜２０００
人）を成膜する。ついで磁性膜の摩耗・損傷を防止する
ための保護膜として、潤滑性と耐摩耗性を備えた被膜、
例えば炭素質膜（膜厚：例えば１５０〜６００人）を形
成することにより、多層積層構造を有する面内記録用磁
気ディスクを得る。その積層構造は上記の例に限定され
ず、例えば、磁性膜の上に、炭素質膜を成膜するに先立
って、Ｃｒ膜（膜厚約１００〜５００人）を形成するこ
とにより、磁気ディスクの耐候性をさらに高めることが
でき、また磁性膜面に炭素質膜を形成した後、更にその
表面に潤滑剤（膜厚：例えば１０〜１００人）を設番ノ
で、磁気ヘッドに対する保護潤滑機能をより良好なもの
とすることもできる。なお、各層の成膜は、スパッタリ
ング法、イオンプレティング法、真空蒸着法などにより
行うことができる。
じめ、磁気ドラム、磁気テープ、磁気シート等を包含す
る。これらは、いずれもその磁性膜に面内異方性を導入
するための下地膜が前記〔１３式で示される組成を有す
るＣｒＡｇ合金からなる点を除いて、公知の工程および
条件に従って製作することができる。例えば、磁気ディ
スクについて述べれば、アルミニウム合金板等を基体と
し、その表面に無電解めっきにより硬質のＮｉＰめっき
膜（膜厚：例えば１５〜２５μｍ）を設け、めっき膜面
にテキスチャ処理を施したのち、磁性膜に面内異方性を
与えるための下地層であるＣｒＡｇ合金膜を適宜膜厚（
例えば５００〜３０００人）に形成する。その膜面上に
、記録層である磁性膜（膜厚は例えば５００〜２０００
人）を成膜する。ついで磁性膜の摩耗・損傷を防止する
ための保護膜として、潤滑性と耐摩耗性を備えた被膜、
例えば炭素質膜（膜厚：例えば１５０〜６００人）を形
成することにより、多層積層構造を有する面内記録用磁
気ディスクを得る。その積層構造は上記の例に限定され
ず、例えば、磁性膜の上に、炭素質膜を成膜するに先立
って、Ｃｒ膜（膜厚約１００〜５００人）を形成するこ
とにより、磁気ディスクの耐候性をさらに高めることが
でき、また磁性膜面に炭素質膜を形成した後、更にその
表面に潤滑剤（膜厚：例えば１０〜１００人）を設番ノ
で、磁気ヘッドに対する保護潤滑機能をより良好なもの
とすることもできる。なお、各層の成膜は、スパッタリ
ング法、イオンプレティング法、真空蒸着法などにより
行うことができる。
〔Ｉ〕供試磁気ディスクの製作
アルミニウム合金基板（外径１３０ｍｍ、内径４０ ｍ
ｍ、厚さ１．９ｍｍ）の表面に、Ｎ１−Ｐ無電解めっき
膜（膜厚２０μｍ）を形成し、表面にポリッシュとテキ
スチャ処理を行ったのち、マグネトロンスパッタリング
法（但し、アルゴン雰囲気圧： Ｉ Ｘｌ０−２ｔｏｒ
ｒ）により、ＣｒＡｇ合金からなる下地膜、強磁性合金
からなる磁性膜および潤滑膜としての炭素質膜（膜厚３
００人）をこの順に積層成膜して供試磁気ディスクを得
た。なお、各供試磁気ディスク同士の記録再生特性の正
当な比較を行うために、各供試磁気ディスクの保磁力（
Ｈｃ）、および残留磁束密度（Ｂｒ）と膜厚（δ）の積
（Ｂｒ・δ）が互いに等しくなるように下地膜および磁
性膜の成膜を行った。そのＨｃは１０５００ｅとし、１
３ ｒ・δは４５０Ｇ・μとした。
ｍ、厚さ１．９ｍｍ）の表面に、Ｎ１−Ｐ無電解めっき
膜（膜厚２０μｍ）を形成し、表面にポリッシュとテキ
スチャ処理を行ったのち、マグネトロンスパッタリング
法（但し、アルゴン雰囲気圧： Ｉ Ｘｌ０−２ｔｏｒ
ｒ）により、ＣｒＡｇ合金からなる下地膜、強磁性合金
からなる磁性膜および潤滑膜としての炭素質膜（膜厚３
００人）をこの順に積層成膜して供試磁気ディスクを得
た。なお、各供試磁気ディスク同士の記録再生特性の正
当な比較を行うために、各供試磁気ディスクの保磁力（
Ｈｃ）、および残留磁束密度（Ｂｒ）と膜厚（δ）の積
（Ｂｒ・δ）が互いに等しくなるように下地膜および磁
性膜の成膜を行った。そのＨｃは１０５００ｅとし、１
３ ｒ・δは４５０Ｇ・μとした。
（ＩＩ）記録再生特性試験
各供１ｉＪｔ： ＬＮ気ディスクについて、フェライ１
〜ヘットを使用し、記録線密度２８ＫＦＣ１で、信号の
記録再生試験を行った。ヘッド仕様は、ギャップ幅：
１３．５μ、ギヤ・ンブ長さ： ０．７９μ、インダク
タンス二８μ１１、フライングハイド： ０．２０μ、
ローディング・フォース：９，５ｇｆ、コイル巻数：２
６であり、回転速度は３６００ｒｐｍとした。
〜ヘットを使用し、記録線密度２８ＫＦＣ１で、信号の
記録再生試験を行った。ヘッド仕様は、ギャップ幅：
１３．５μ、ギヤ・ンブ長さ： ０．７９μ、インダク
タンス二８μ１１、フライングハイド： ０．２０μ、
ローディング・フォース：９，５ｇｆ、コイル巻数：２
６であり、回転速度は３６００ｒｐｍとした。
Ｒａｃ ｒ ＋２Ｔ ａ ４）をそれぞれ有する磁気デ
ィスクについての測定結果を示している。
ィスクについての測定結果を示している。
上記試験結果から、ＣｒＡｇ合金下地膜とする発明例の
磁気ディスクは、変調ノイズ、Ｓ／Ｎ比等の改良された
ノイズ特性を有していることがわかる。
磁気ディスクは、変調ノイズ、Ｓ／Ｎ比等の改良された
ノイズ特性を有していることがわかる。
各供試磁気ディスクの試験結果を、その磁性膜の合金組
成と併せて第１表に示す。表中、Ｎｏ、 １〜Ｇは下地
膜をＣｒＡｇ合金で形成した発明例、Ｎａ１１〜１３は
下地膜がＣｒ単相和金属ある比較例である。なお、ｒｓ
／ＮＪは再生信号出力とメディアノイズ強さの比を意味
している。
成と併せて第１表に示す。表中、Ｎｏ、 １〜Ｇは下地
膜をＣｒＡｇ合金で形成した発明例、Ｎａ１１〜１３は
下地膜がＣｒ単相和金属ある比較例である。なお、ｒｓ
／ＮＪは再生信号出力とメディアノイズ強さの比を意味
している。
また、第１図は、４’ｔ’ｚ性膜の保磁力（Ｈｃ）を、
その下地膜の膜厚（δ）との関係で示したグラフであり
、図中、（ａ）は」−記供試磁気ディスクＮｏ、 １と
同じ合金組成の下地膜（Ｃｒ、ｑΔｇ＋）と磁性膜（Ｃ
Ｏｌ１４Ｃｒ １２Ｔ ａ ４）、（ｂ）は供試磁気デ
ィスクＮｏ、 １１と同し合金５１１）成のド地）模（
Ｃ’ ｒ ＋ｏｏ）と磁性膜（Ｃ。
その下地膜の膜厚（δ）との関係で示したグラフであり
、図中、（ａ）は」−記供試磁気ディスクＮｏ、 １と
同じ合金組成の下地膜（Ｃｒ、ｑΔｇ＋）と磁性膜（Ｃ
Ｏｌ１４Ｃｒ １２Ｔ ａ ４）、（ｂ）は供試磁気デ
ィスクＮｏ、 １１と同し合金５１１）成のド地）模（
Ｃ’ ｒ ＋ｏｏ）と磁性膜（Ｃ。
本発明の金属薄膜型磁気記録媒体は、ノイズ特性にすぐ
れ、記録再生ノイスが低いことにより従来品を凌ぐ高密
度記録が可能であり、これにより磁気記録媒体のコンパ
クト化と高品質・高性能化等の効果を得ることができる
。
れ、記録再生ノイスが低いことにより従来品を凌ぐ高密
度記録が可能であり、これにより磁気記録媒体のコンパ
クト化と高品質・高性能化等の効果を得ることができる
。
第１図は、磁性膜の保磁力（Ｆ（ｃ ）を、その下地層
の膜厚との関係で示したグラフである。
の膜厚との関係で示したグラフである。
Claims (1)
- （１）非磁性基体上に、記録層として強磁性金属からな
る薄膜が下地膜を介して積層形成されている面内記録用
磁気記録媒体において、 前記下地膜が下式： Ｃｒ＿１＿０＿０＿−＿ｘＡｇ＿ｘ 〔但し、ｘは０．１〜３．０である〕 で示される組成を有する合金からなることを特徴とする
ノイズ特性にすぐれた金属薄膜型磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1147637A JP2527616B2 (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1147637A JP2527616B2 (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312813A true JPH0312813A (ja) | 1991-01-21 |
| JP2527616B2 JP2527616B2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=15434839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1147637A Expired - Lifetime JP2527616B2 (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2527616B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9548075B2 (en) | 2013-06-27 | 2017-01-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium and magnetic recording/reproduction apparatus |
-
1989
- 1989-06-09 JP JP1147637A patent/JP2527616B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9548075B2 (en) | 2013-06-27 | 2017-01-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium and magnetic recording/reproduction apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2527616B2 (ja) | 1996-08-28 |
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