JPH0765171B2 - 金属化フィルムの製造方法 - Google Patents
金属化フィルムの製造方法Info
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- JPH0765171B2 JPH0765171B2 JP1232538A JP23253889A JPH0765171B2 JP H0765171 B2 JPH0765171 B2 JP H0765171B2 JP 1232538 A JP1232538 A JP 1232538A JP 23253889 A JP23253889 A JP 23253889A JP H0765171 B2 JPH0765171 B2 JP H0765171B2
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は電気機器，通信機器，制御機器等の電気回路用
素子のフィルムコンデンサ等に用いられる金属化フィル
ムの製造方法に関するものである。
素子のフィルムコンデンサ等に用いられる金属化フィル
ムの製造方法に関するものである。
従来の技術 近年、エレクトロニクス技術の進歩は著しく、エレクト
ロニクス技術を使用した電気機器，通信機器，制御機器
等は多機能化，小型化が進んでいる。従って、電気回路
を構成する回路素子の小型化が強く要望されている。
ロニクス技術を使用した電気機器，通信機器，制御機器
等は多機能化，小型化が進んでいる。従って、電気回路
を構成する回路素子の小型化が強く要望されている。
この中の回路素子の１つである蒸着電極型フィルムコン
デンサは、小型化を図るための一要因として誘導体とな
るフィルムの厚みを薄くしている。コンデンサは電極層
の形成のためにフィルムの表面に金属薄膜層を形成する
必要がある。従来から長尺のフィルムに金属薄膜層を形
成するのに巻取式真空蒸着法が多く用いられてきた。
デンサは、小型化を図るための一要因として誘導体とな
るフィルムの厚みを薄くしている。コンデンサは電極層
の形成のためにフィルムの表面に金属薄膜層を形成する
必要がある。従来から長尺のフィルムに金属薄膜層を形
成するのに巻取式真空蒸着法が多く用いられてきた。
発明が解決しようとする課題 従来から行なわれている巻取式真空蒸着法は、金属薄膜
層を形成するときにフィルムが焼けたり、熱劣化しない
ように蒸着ドラムの温度をマイナス20〜40℃にも冷却し
ていた。しかしフィルムコンデンサの小型化を目的とし
た数ミクロン厚以下のフィルムでは付着した金属原子の
持つ潜熱や蒸発源からの輻射熱によりフィルムが焼けた
り、熱劣化したりしてフィルムコンデンサの材料に供し
得ない場合があった。又、コンデンサ用のアルミニウム
（Al）薄膜層としては、耐湿特性を更に向上させたい要
望があった。
層を形成するときにフィルムが焼けたり、熱劣化しない
ように蒸着ドラムの温度をマイナス20〜40℃にも冷却し
ていた。しかしフィルムコンデンサの小型化を目的とし
た数ミクロン厚以下のフィルムでは付着した金属原子の
持つ潜熱や蒸発源からの輻射熱によりフィルムが焼けた
り、熱劣化したりしてフィルムコンデンサの材料に供し
得ない場合があった。又、コンデンサ用のアルミニウム
（Al）薄膜層としては、耐湿特性を更に向上させたい要
望があった。
本発明は数ミクロン厚以下の極薄フィルムで、これらの
要望を満たす金属化フィルムを提供するものである。
要望を満たす金属化フィルムを提供するものである。
課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するために発明した金属化フィ
ルムの製造方法であり、その手段は巻取式真空蒸着法に
おいて、フィルム両端のマージン幅を、蒸着用ドラムの
直径と、蒸着用ドラムと同心円上にあって蒸着用ドラム
の外側にあるフィルム両端への蒸着を妨げるために蒸着
用ドラムの両端に設けられたマスクの内直径との差の２
分の１以下の幅とし、かつ蒸着用ドラムの直径とマスク
の内直径との差を20mm以下としたものである。
ルムの製造方法であり、その手段は巻取式真空蒸着法に
おいて、フィルム両端のマージン幅を、蒸着用ドラムの
直径と、蒸着用ドラムと同心円上にあって蒸着用ドラム
の外側にあるフィルム両端への蒸着を妨げるために蒸着
用ドラムの両端に設けられたマスクの内直径との差の２
分の１以下の幅とし、かつ蒸着用ドラムの直径とマスク
の内直径との差を20mm以下としたものである。
作 用 上記方法によれば、フィルム両端のマージン部に少量の
金属が蒸着されるのでフィルムの帯電量が減少し、フィ
ルムが蒸着ドラムの外周表面から離れる際、フィルムが
損傷を受けることなくスムーズにドラムから離れるとい
う作用がある。
金属が蒸着されるのでフィルムの帯電量が減少し、フィ
ルムが蒸着ドラムの外周表面から離れる際、フィルムが
損傷を受けることなくスムーズにドラムから離れるとい
う作用がある。
実 施 例 以下実施例を掲げて本発明の詳細な説明をする。第１図
に本発明のアルミニウム薄膜層を形成するための巻取式
真空蒸着機を示す。真空槽１は仕切り板３によりフィル
ムの巻出し、巻取りのための上室２とアルミニウムをフ
ィルム表面に蒸着するための下室23に分割されている。
上室２は開閉弁4,排気管５を経て図示されていない排気
ポンプにより通常は10-2Pa以下に減圧されている。下室
23は開閉弁6,排気管７を経て図示されていない排気ポン
プにより通常は10-3Pa以下に減圧されている。厚さ3.0
μm,幅505mm,長さ5000mのポリエチレンテレフタレート
（以後PETという）フィルムを上室２の巻出し軸８にセ
ットした。PETフィルム10はフリーロール11を経て10℃
に冷却された直径1200mm,幅600mmの蒸着用ドラム14の外
周に添って蒸着用ドラム14と同期して走行（矢印Ａの方
向）した後、フリーロール12を経て巻取り軸９に巻取ら
れる。13はアルミニウム薄膜層が形成されたPETフィル
ムを示す。アルミニムウ17は耐火物より成るルツボ16に
入れ、電子銃21から放出された電子ビーム22により加
熱、溶解されてアルミニウム蒸気18となって蒸発する。
尚、電子ビーム22は図示されていない偏向装置によりア
ルミニムウ17上でほぼ90度偏向した。アルミニウム17の
PETフィルム10への蒸着は、蒸発源からアルミニムウ17
を蒸発させて、PETフィルム10を100m/minで走行させ、
蒸気の初期入射部Ｂ側よりシャッター15を徐々に開ける
のと同時に、徐々に電子銃19から放出された電子ビーム
20をPETフィルム10に連続して照射して、シャッター15
を全開してアルミニウム蒸気18をPETフィルム10表面に
堆積させる。電子銃19はPETフィルム10に電子ビーム20
を照射することでPETフィルム10を帯電させるためのも
ので、電子ビーム20により帯電したPETフィルム10は蒸
着用ドラム14の外周表面への密着力が強くなり、アルミ
ニウム蒸着時のPETフィルム10に加えられる熱を素早く
蒸着用ドラム14に伝達してPETフィルムから熱を取り除
きPETフィルム10の温度上昇を押さえてPETフィルム10の
熱劣化をなくした。
に本発明のアルミニウム薄膜層を形成するための巻取式
真空蒸着機を示す。真空槽１は仕切り板３によりフィル
ムの巻出し、巻取りのための上室２とアルミニウムをフ
ィルム表面に蒸着するための下室23に分割されている。
上室２は開閉弁4,排気管５を経て図示されていない排気
ポンプにより通常は10-2Pa以下に減圧されている。下室
23は開閉弁6,排気管７を経て図示されていない排気ポン
プにより通常は10-3Pa以下に減圧されている。厚さ3.0
μm,幅505mm,長さ5000mのポリエチレンテレフタレート
（以後PETという）フィルムを上室２の巻出し軸８にセ
ットした。PETフィルム10はフリーロール11を経て10℃
に冷却された直径1200mm,幅600mmの蒸着用ドラム14の外
周に添って蒸着用ドラム14と同期して走行（矢印Ａの方
向）した後、フリーロール12を経て巻取り軸９に巻取ら
れる。13はアルミニウム薄膜層が形成されたPETフィル
ムを示す。アルミニムウ17は耐火物より成るルツボ16に
入れ、電子銃21から放出された電子ビーム22により加
熱、溶解されてアルミニウム蒸気18となって蒸発する。
尚、電子ビーム22は図示されていない偏向装置によりア
ルミニムウ17上でほぼ90度偏向した。アルミニウム17の
PETフィルム10への蒸着は、蒸発源からアルミニムウ17
を蒸発させて、PETフィルム10を100m/minで走行させ、
蒸気の初期入射部Ｂ側よりシャッター15を徐々に開ける
のと同時に、徐々に電子銃19から放出された電子ビーム
20をPETフィルム10に連続して照射して、シャッター15
を全開してアルミニウム蒸気18をPETフィルム10表面に
堆積させる。電子銃19はPETフィルム10に電子ビーム20
を照射することでPETフィルム10を帯電させるためのも
ので、電子ビーム20により帯電したPETフィルム10は蒸
着用ドラム14の外周表面への密着力が強くなり、アルミ
ニウム蒸着時のPETフィルム10に加えられる熱を素早く
蒸着用ドラム14に伝達してPETフィルムから熱を取り除
きPETフィルム10の温度上昇を押さえてPETフィルム10の
熱劣化をなくした。
第２図に蒸着工程図を示す。巻取り軸８から出た幅505m
mのPETフィルム10は蒸着用ドラム14の外周に添って蒸着
用ドラム14と同期して走行（矢印Ａの方向）した後、蒸
着用ドラム14の下方に置かれた耐火物より成るルツボ16
内に入れられたアルミニウム17蒸発源からの蒸発蒸気18
によりアルミニウム薄膜層が形成されるとともに、PET
フィルム10のアルミニウム薄膜層が形成された部分の帯
電量は、蒸発源からの輻謝熱や、薄膜層による導電層に
より低減される。アルミニウム薄膜層形成時、PETフィ
ルム10へのアルミニウム蒸気18の入射は、PETフィルム1
0の両端マージンＣについて2.5mmずつマスク30によって
妨げた。蒸着用ドラム14の外径とマスク30の内径は、そ
れぞれ1200mmと1210mmであり、蒸着用ドラム14の外径と
マスク30の内径の差は10mmで、蒸着用ドラム14の外径と
マスク30の距離Ｄは5mmである。PETフィルム10への蒸着
幅は、両端マスク30間の500mmにアルミニウムAl薄膜層
が形成され、両端マージンＣは2.5mmずつについてアル
ミニウム蒸着量の少ない部分を作った。両端のマージン
Ｃを作ることは、PETフィルム10が両端のマスク30間よ
り狭い場合PETフィルム10の幅方向全面にアルミニウム
薄膜層が形成されると同時、蒸着用ドラム14の外周表面
にもアルミニウム蒸気が付着堆積する。この蒸着用ドラ
ム14の外周表面のアルミニウム蒸気の付着堆積は、PET
フィルム10にアルミニウム薄膜層を形成している規間中
付着が累積されるもので、時間の経過と共に堆積量が増
加すると共に、蒸着用ドラム14の外周表面から自然剥離
してPETフィルム10に着いたり、PETフィルム10の端部に
キズをつけたりしてPETフィルム10の切断の原因になっ
たりする。さらに、蒸着用ドラム14の外周表面の保守の
上からも、アルミニウム蒸気を常時蒸着することは好ま
しくなかった。反面、マージンＣの幅が広すぎるとマー
ジンＣに電子ビームによる帯電が残り、３μｍ以下のフ
ィルムでは蒸着用ドラム14の外周表面から蒸着されたPE
Tフィルムを剥がす際に、マージンＣ部分が蒸着用ドラ
ム14の外周表面への強い密着でフィルムが切断されてし
まう。従って、蒸着用ドラム14の外周表面へのアルミニ
ウム蒸着量を極力防止すると共に、マージンＣの帯電量
を減少させる必要があった。そこで、蒸着用ドラム14の
外周表面とマスク30間の空間にアルミニウム蒸気が回り
込み、少量のアルミニウム蒸気がマージンＣに蒸着され
ることにより、マージンＣの帯電が減少することを見い
だした。このとき蒸着用ドラム14の外周表面とマスク30
間の距離と、マージンＣ幅との関係はマージンＣ幅を蒸
着用ドラム14の外周表面とマスク30間の距離Ｄから０の
範囲にすることが望ましく、更に、蒸着用ドラム14の外
周表面とマスク30間の距離は10mm以下にすることが望ま
しかった。
mのPETフィルム10は蒸着用ドラム14の外周に添って蒸着
用ドラム14と同期して走行（矢印Ａの方向）した後、蒸
着用ドラム14の下方に置かれた耐火物より成るルツボ16
内に入れられたアルミニウム17蒸発源からの蒸発蒸気18
によりアルミニウム薄膜層が形成されるとともに、PET
フィルム10のアルミニウム薄膜層が形成された部分の帯
電量は、蒸発源からの輻謝熱や、薄膜層による導電層に
より低減される。アルミニウム薄膜層形成時、PETフィ
ルム10へのアルミニウム蒸気18の入射は、PETフィルム1
0の両端マージンＣについて2.5mmずつマスク30によって
妨げた。蒸着用ドラム14の外径とマスク30の内径は、そ
れぞれ1200mmと1210mmであり、蒸着用ドラム14の外径と
マスク30の内径の差は10mmで、蒸着用ドラム14の外径と
マスク30の距離Ｄは5mmである。PETフィルム10への蒸着
幅は、両端マスク30間の500mmにアルミニウムAl薄膜層
が形成され、両端マージンＣは2.5mmずつについてアル
ミニウム蒸着量の少ない部分を作った。両端のマージン
Ｃを作ることは、PETフィルム10が両端のマスク30間よ
り狭い場合PETフィルム10の幅方向全面にアルミニウム
薄膜層が形成されると同時、蒸着用ドラム14の外周表面
にもアルミニウム蒸気が付着堆積する。この蒸着用ドラ
ム14の外周表面のアルミニウム蒸気の付着堆積は、PET
フィルム10にアルミニウム薄膜層を形成している規間中
付着が累積されるもので、時間の経過と共に堆積量が増
加すると共に、蒸着用ドラム14の外周表面から自然剥離
してPETフィルム10に着いたり、PETフィルム10の端部に
キズをつけたりしてPETフィルム10の切断の原因になっ
たりする。さらに、蒸着用ドラム14の外周表面の保守の
上からも、アルミニウム蒸気を常時蒸着することは好ま
しくなかった。反面、マージンＣの幅が広すぎるとマー
ジンＣに電子ビームによる帯電が残り、３μｍ以下のフ
ィルムでは蒸着用ドラム14の外周表面から蒸着されたPE
Tフィルムを剥がす際に、マージンＣ部分が蒸着用ドラ
ム14の外周表面への強い密着でフィルムが切断されてし
まう。従って、蒸着用ドラム14の外周表面へのアルミニ
ウム蒸着量を極力防止すると共に、マージンＣの帯電量
を減少させる必要があった。そこで、蒸着用ドラム14の
外周表面とマスク30間の空間にアルミニウム蒸気が回り
込み、少量のアルミニウム蒸気がマージンＣに蒸着され
ることにより、マージンＣの帯電が減少することを見い
だした。このとき蒸着用ドラム14の外周表面とマスク30
間の距離と、マージンＣ幅との関係はマージンＣ幅を蒸
着用ドラム14の外周表面とマスク30間の距離Ｄから０の
範囲にすることが望ましく、更に、蒸着用ドラム14の外
周表面とマスク30間の距離は10mm以下にすることが望ま
しかった。
本実施例ではアルミニウム薄膜層は表面抵抗値2.6〜3.4
Ω／□の範囲でPETフィルム10の幅500mmに行なった。
Ω／□の範囲でPETフィルム10の幅500mmに行なった。
表−１にフィルム厚，マージン幅による電子ビーム表面
処理、蒸着時のフィルム状況を示す。
処理、蒸着時のフィルム状況を示す。
このようにして作られた金属化フィルムは、 （１） 電子ビームによるフィルムの表面処理、アルミ
ニウムの加熱、蒸発によりアルミニウム薄膜層とフィル
ムの付着力が高く、又、高密度のアルミニウム薄膜層が
得られる。
ニウムの加熱、蒸発によりアルミニウム薄膜層とフィル
ムの付着力が高く、又、高密度のアルミニウム薄膜層が
得られる。
（２） アルミニウム薄膜層形成時のフィルム温度上昇
が少なくフィルムの劣化が極めて少ない金属化フィルム
である。
が少なくフィルムの劣化が極めて少ない金属化フィルム
である。
（３） アルミニウム薄膜層の耐湿性が優れている。上
記アルミニウム金属化フィルムでフィルムコンデンサを
製作して電気特性を調べた。
記アルミニウム金属化フィルムでフィルムコンデンサを
製作して電気特性を調べた。
コンデンサ仕様 定格電圧：直流25V 静電容量C:10nF （初期） 静電容量C:10nF 誘電損失tanδ:0.08％ （1KHz） 絶縁抵抗IR:2×1012Ω （耐湿負荷寿命試験1000時間後） 条 件 60℃ 90％RH 印加電圧 直流25V 静電容量変化ΔC/C:＋0.6％ 誘電損失tanδ:0.18％ （1KHz） 絶縁抵抗IR:2×1012Ω （耐湿負荷寿命試験2000時間後） 静電容量変化ΔC/C:−2.0％ 誘電損失tanδ:0.3％ （1KHz） 絶縁抵抗IR:2×1012Ω 以上の如く耐湿負荷寿命試験2000時間後において、優れ
た電気特性を持つフィルムコンデンサが得られた。
た電気特性を持つフィルムコンデンサが得られた。
なお、本発明の詳細な説明に当たっては、具体的な材料
や、寸法，形状を掲げて説明したが、これらに限定され
るものでなく、例えばフィルムもPETフィルム以外に、P
PS（ポリフェニレンスルファイド）フィルム,PP（ポリ
プロピレン）フィルム等の高分子フィルムでも可能であ
る。
や、寸法，形状を掲げて説明したが、これらに限定され
るものでなく、例えばフィルムもPETフィルム以外に、P
PS（ポリフェニレンスルファイド）フィルム,PP（ポリ
プロピレン）フィルム等の高分子フィルムでも可能であ
る。
発明の効果 以上のように、本発明の金属化フィルムの製造方法によ
れば、フィルム両端のマージン部の帯電量が減少し、フ
ィルムが蒸着ドラムの外周表面から離れる際、マージン
部がスムーズにドラムから離れるため、フィルムが損傷
を受けず、たとえ３μｍ以下の極薄フィルムでも、フィ
ルムの切断がなくなるという効果を発揮するものであ
る。
れば、フィルム両端のマージン部の帯電量が減少し、フ
ィルムが蒸着ドラムの外周表面から離れる際、マージン
部がスムーズにドラムから離れるため、フィルムが損傷
を受けず、たとえ３μｍ以下の極薄フィルムでも、フィ
ルムの切断がなくなるという効果を発揮するものであ
る。
第１図は本発明に用いた巻取式真空蒸着法真空蒸着機の
全体構成図、第２図はフィルム両端のマージンＣと蒸着
ドラム14とマスク30との距離Ｄの関係及びアルミニウム
蒸着工程を示す概略図である。 １……真空槽、８……巻出し軸、９……巻取り軸、10…
…PETフィルム、14……蒸着用ドラム、15……シャッタ
ー、16……ルツボ、17……アルミニウム、18……蒸気、
19,21……電子銃。
全体構成図、第２図はフィルム両端のマージンＣと蒸着
ドラム14とマスク30との距離Ｄの関係及びアルミニウム
蒸着工程を示す概略図である。 １……真空槽、８……巻出し軸、９……巻取り軸、10…
…PETフィルム、14……蒸着用ドラム、15……シャッタ
ー、16……ルツボ、17……アルミニウム、18……蒸気、
19,21……電子銃。
Claims (1)
- 【請求項１】巻取式真空蒸着法を用いて得られる金属化
フィルムの製造方法において、フィルムに３μｍ以下の
高分子フィルムを用い、フィルムの表面処理および蒸発
源の加熱に電子ビームを使い、フィルムへの金属薄膜層
形成は、フィルムの両端に金属薄膜層の極めて少ないマ
ージン部を残して全面に行い、このフィルム両端のマー
ジン幅は、蒸着用ドラムの直径と、蒸着用ドラムと同心
円上にあって蒸着用ドラムの外側にあるフィルム両端へ
の蒸着を妨げるために蒸着用ドラムの両端に設けられた
マスクの内直径との差の２分の１以下の幅であり、かつ
蒸着用ドラムの直径とマスクの内直径との差は20mm以下
であることを特徴とする金属化フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1232538A JPH0765171B2 (ja) | 1989-09-07 | 1989-09-07 | 金属化フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1232538A JPH0765171B2 (ja) | 1989-09-07 | 1989-09-07 | 金属化フィルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0397860A JPH0397860A (ja) | 1991-04-23 |
| JPH0765171B2 true JPH0765171B2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=16940899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1232538A Expired - Fee Related JPH0765171B2 (ja) | 1989-09-07 | 1989-09-07 | 金属化フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0765171B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6018530U (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-07 | ソニー株式会社 | 磁気テ−プ製造用蒸着装置 |
| JPS63310959A (ja) * | 1987-06-11 | 1988-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 金属薄膜の製造方法 |
-
1989
- 1989-09-07 JP JP1232538A patent/JPH0765171B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0397860A (ja) | 1991-04-23 |
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