JPH0773407A

JPH0773407A - 磁気ヘッドチップの製造方法

Info

Publication number: JPH0773407A
Application number: JP24042093A
Authority: JP
Inventors: Jiro Osada; 二郎長田; Hidekazu Kachi; 英一加地
Original assignee: Akai Electric Co Ltd
Current assignee: Akai Electric Co Ltd
Priority date: 1993-09-01
Filing date: 1993-09-01
Publication date: 1995-03-17

Abstract

(57)【要約】【目的】作動ギャップを構成する軟磁性薄膜がそれぞ
れ成膜された基板を互いに突き合わせて接着するための
溝に溶融ガラスを充填する工程で、前記基板を互いに接
着するので、加熱の工程数が少なくなる。【構成】非磁性の基板１ａ，１ｂには複数の平行なＶ
字形の溝を設け、かつ前記基板には前記Ｖ字形の溝と直
交する巻線溝を設ける。Ｖ字形の溝には軟磁性薄膜２
ａ，２ｂを成膜し、ギャップ材を介して前記基板を突合
わせ、この突合せによって前記巻線溝により形成された
巻線窓１６に非磁性パイプ１７を挿入する。前記Ｖ字形
の溝に前記軟磁性膜を成膜して形成された溝にガラス棒
１８を溶融して充填し、これにより前記基板を互いに固
定する。この互いに固定された基板をその前記突合せ面
及び非磁性パイプと交わる方向にスライスして磁気ヘッ
ドチップを得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、磁気ヘッドチップの
製造方法に係わり、特に製造工程を簡略化して生産性を
向上させ得る磁気ヘッドチップの製造方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来、ビデオヘッドとして、図３に示す
ものが知られている。図３において、符号１ａ，１ｂは
非磁性基板、２ａ，２ｂは該基板上に成膜された軟磁性
薄膜、３ａ，３ｂは溝に充填されたガラス、４は作動ギ
ャップ、５は巻線窓、６は該窓を通して巻線された巻線
材を示すものである。前記軟磁性薄膜は飽和磁束密度の
高いセンダスト等が用いられているので、メタルテープ
のように高保磁力記録媒体の特性をも充分に引き出すこ
とができる。

【０００３】次に、上記従来のビデオヘッドにおけるヘ
ッドチップの製造方法の一例を図４及び図５について説
明する。平板状の非導電性でかつ非磁性の基板、例えば
ＣａＴｉＯ₃セラミックス基板１ａに、図４（ａ）に示
すようなＶ字形の溝７を複数箇所に亘って設ける。この
溝７のある面に、（ｂ）のようにセンダストよりなる軟
磁性薄膜２ａを所定の厚さに成膜する。この成膜により
Ｖ字形の溝７は溝８となる。この溝８にガラスを乗せて
加熱する。（ｃ）はこの加熱後の様子を示すものであ
り、３ａはガラスである。その後、（ｄ）、（ｅ）のよ
うに巻線窓５用の溝９を設ける。

【０００４】この溝９は前記溝７，８とはほぼ直交して
いて、溝７，８と同じ面に設けられている。尚、（ｅ）
は（ｄ）の側面を示すものである。

【０００５】その後、（ｆ）に示すように、対向面を仕
上げラップをし、ギャップ材（図示せず）をスパッタす
る。この（ｆ）に示すブロック１０と、これと同一形状
のブロック１１（ギャップ材がスパッタされていなくて
もよい）を、図５のように対にして突合わせ、加熱圧着
をする。次に、摺動面のＲ加工を行い、所定アジマス角
度にて鎖線で示すようにスライスする。このようにして
完成したチップに巻線、先端加工等の工程を施し、最終
的に図３に示すような磁気ヘッドにする。尚、図３の磁
気ヘッドは、図４、図５の工程で製造された磁気ヘッド
とはアジマス方向が逆のものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前記のような磁気ヘッ
ドチップでは、その製造において、少なくとも２回の加
熱工程を必要とする。即ち、１回目は前記溝８に溶融ガ
ラスを充填する工程、２回目はブロック１０と１１を突
合せた状態で加熱圧着して互いに接着する工程である。
このように従来の磁気ヘッドチップでは、少なくとも２
回の加熱工程を必要としていたので、工程数が多くなる
という欠点があった。また、加熱工程が多いと、軟磁性
薄膜としてセンダストを用いた場合には磁気特性が劣化
して、記録再生効率が低下するという欠点があった。こ
の発明は上記した欠点を除去し、比較的少ない加熱工程
により製造することができる磁気ヘッドチップの製造方
法を提供することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの、この発明の磁気ヘッドチップの製造方法は、コア
半体を突き合わせて作動ギャップを形成した磁気ヘッド
チップの製造方法であって、この磁気ヘッドチップは前
記コア半体を前記突合せの状態に互いに接着するための
ガラスを充填する溝と、この溝とほぼ直交する方向でし
かもこの溝と連通した巻線窓とを有するものにおいて、
前記コア半体を突き合わせ方向に加圧すると共に前記巻
線窓には非磁性パイプを挿入し、この状態で前記溝に溶
融ガラスを充填して前記コア半体を互いに接着すること
を特徴とするものである。また、前記巻線窓には、前記
非磁性パイプに代え、ワイヤーを挿入し、前記溝に充填
された溶融ガラスの固化後に前記ワイヤーを抜き取るよ
うにしてもよい。

【０００８】

【作用】上記のように構成された磁気ヘッドチップの製
造方法では、前記巻線窓に非磁性パイプが挿入されてい
るので、前記基板を突合わせた状態で前記溝に溶融ガラ
スを充填してもこの溶融ガラスが前記巻線窓内の非磁性
パイプ内に至ることはない。そして、前記した溝に溶融
ガラスを充填することにより前記基板が相互に接着され
る。従って、溶融ガラスを充填するための加熱工程と同
時に前記基板が接着され、比較的少ない加熱工程により
磁気ヘッドチップを製造することができる。ちなみに、
前記巻線窓に非磁性パイプを挿入しない状態で、前記溝
に溶融ガラスを充填すると、この溶融ガラスが巻線窓に
も至り、該巻線窓が埋まってしまう。また、前記非磁性
パイプに代え、ワイヤーを用いた場合には、前記溶融ガ
ラスの固化後にこのワイヤーを引き抜くことにより、巻
線窓がガラスに埋まることなく、確保される。

【０００９】

【実施例】以下に、この発明の製造方法の実施例を図１
及び図２について説明する。図２（ａ）において、１ａ
は前記図４について説明したのと同様の、セラミック、
結晶化ガラス等の非磁性基板であり、この基板１ａには
所定のピッチ寸法で複数箇所に亘り互いに平行にＶ字形
の溝７を刻設し、かつこれらの溝７と同一面に、かつ該
溝７と直交する方向に巻線溝（図示せず）をも刻設す
る。次に（ｂ）のように前記溝７のある面にセンダス
ト、アモルファス等の軟磁性薄膜２ａをスパッタリング
あるいは真空蒸着により、所定の膜厚に成膜する。そし
て（ｃ）のように基板１ａと軟磁性薄膜の上面をラッピ
ングにより鏡面仕上げを行ない、この仕上面にはSiO₂等
のギャップ材（図示せず）をスパッタする。この（ｃ）
に示すブロック１２ａと、これと同一形状のブロック１
２ｂ（ギャップ材がスパッタされていなくてもよい）
を、（ｄ）のように対にして、前記軟磁性薄膜２ａの互
いの突合せ位置が一致するように突合わせる。

【００１０】図１（ａ）は、この突合せた状態のブロッ
ク１２ａ，１２ｂの側面を示すものであり、磁気記録媒
体と接触する面になる側、即ち作動ギャップ側が下にな
っている。そして、切り欠き１３ａ，１３ｂ，１４ａ，
１４ｂ，１５ａ，１５ｂは、前記Ｖ字形の溝７を刻設し
た段階で設けられたものである。前記の突合せによっ
て、図１（ａ）に示すように、前記巻線溝により形成さ
れた巻線窓１６には銅等の非磁性パイプ１７を挿入す
る。そして、前記切り欠き１３ａ，１３ｂによって形成
された溝にはガラス棒１８を載置する。この状態でブロ
ック１２ａ，１２ｂをその突合せ方向に加圧して加熱す
る。この加熱によって溶融されたガラスは、前記Ｖ字形
の溝７に前記軟磁性膜を成膜して形成された溝に充填さ
れ、前記ブロック１２ａ，１２ｂが互いに接着される。
この際、溶融ガラスは非磁性パイプ１７により阻止され
て、該パイプ内に至ることはない。尚、切り欠き１４
ａ，１４ｂによって形成された溝は前記溶融ガラスによ
りブロック１２ａ，１２ｂが治具と接着されるのを防ぐ
ためのものである。

【００１１】次に、前記のように互いに接着されたブロ
ック１２ａ，１２ｂの、磁気記録媒体と接触する面にな
る側のＲ加工を行い、所定アジマス角度にて、ブロック
１２ａ，１２ｂの前記突合せ面及び前記非磁性パイプ１
７と交わる方向にスライスする。これにより図１（ｂ）
のような磁気ヘッドチップが得られる。尚、符号１９
ａ，１９ｂは前記ガラス棒１８が溶融して前記溝に充填
されたガラスを示す。このようにして完成したチップの
非磁性パイプ１７と切り欠き１５ａ，１５ｂに巻線を施
して磁気ヘッドを完成する。

【００１２】上記実施例では、巻線窓１６に非磁性パイ
プ１７を挿入したが、このパイプに代え、ワイヤーを挿
入し、前記溝に溶融されたガラスの固化後にこのワイヤ
ーを引き抜くことにより、巻線窓１６がガラスにより埋
まるのを防止するようにしてもよい。尚、ワイヤーを巻
線窓に挿入して、この巻線窓がガラスにより埋まるのを
防止することは、特開平5-166126号公報に詳細に説明さ
れているが、本発明のワイヤーもこの公報のものと同様
のものを用いることができる。

【００１３】上記実施例では、基板として非磁性のもの
を用いたが、基板として磁性のものを用いることもでき
る。この場合には、基板２０ａ，２０ｂの溝を、図６に
示すように設け、これにガラス２１ａ，２１ｂを充填す
ることが望ましい。また、上記実施例では、巻線窓１６
を形成する巻線溝を基板１ａ，１ｂの双方に設けたが、
何れか一方の基板のみに設けてもよい。更に、この発明
は、基板として磁性のものを用い、軟磁性薄膜を用いる
ことなく磁気ヘッドチップを構成してもよい。図７
（ａ）はこの磁気ヘッドチップの正面を示すものであ
り、２２ａ，２２ｂは基板、２３ａ，２３ｂはＶ字形の
溝に充填されたガラス、２４は作動ギャップを示す。こ
のような磁気ヘッドチップは、図１及び図２により説明
した製造工程において、軟磁性薄膜２ａ，２ｂの成膜工
程を省くことにより、ほぼ同様に製造することができ
る。上記図７（ａ）で説明した磁気ヘッドチップのガラ
ス２３ａ，２３ｂが充填される溝の形状を、（ｂ）また
は（ｃ）のようにしてもよい。

【００１４】上記図７で説明した磁気ヘッドチップにお
いて、ガラス２３ａ，２３ｂが充填された溝のうち、何
れか一方を省いてもよい。

【００１５】

【発明の効果】この発明の磁気ヘッドチップの製造方法
では、前記巻線窓に非磁性パイプが挿入されているの
で、前記基板を突合わせた状態で前記溝に溶融ガラスを
充填してもこの溶融ガラスが前記巻線溝の非磁性パイプ
内に至ることはない。そして、前記した溝に溶融ガラス
を充填することにより前記基板が相互に接着される。従
って、溶融ガラスを充填するための加熱工程と同時に前
記基板が互いに接着され、比較的少ない加熱工程により
磁気ヘッドチップを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）はこの発明の磁気ヘッドチップの製造工
程を示す図、（ｂ）はこの製造工程によって製造された
磁気ヘッドチップを示す正面図である。

【図２】この発明の磁気ヘッドチップの製造工程を示す
図である。

【図３】従来の磁気ヘッドを示す斜視図である。

【図４】従来の磁気ヘッドチップの製造工程を示す図で
ある。

【図５】従来の磁気ヘッドチップの製造工程を示す図で
ある。

【図６】この発明の製造工程によって製造された他の磁
気ヘッドチップを示す正面図である。

【図７】この発明の製造工程によって製造された、更に
他の磁気ヘッドチップを示す正面図である。

【符号の説明】

１ａ，１ｂ基板２ａ，２ｂ軟磁性薄膜４作動ギャップ７Ｖ字形の溝１２ａ，１２ｂブロック１６巻線窓１７非磁性パイプ１８ガラス棒１９ａ，１９ｂガラス

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】コア半体を突き合わせて作動ギャップを
形成した磁気ヘッドチップの製造方法であって、この磁
気ヘッドチップは前記コア半体を前記突合せの状態に互
いに接着するためのガラスを充填する溝と、この溝とほ
ぼ直交する方向でしかもこの溝と連通した巻線窓とを有
するものにおいて、前記コア半体を突き合わせ方向に加圧すると共に前記巻
線窓には非磁性パイプを挿入し、この状態で前記溝に溶
融ガラスを充填して前記コア半体を互いに接着すること
を特徴とする磁気ヘッドチップの製造方法。
【請求項２】前記巻線窓には、前記非磁性パイプに代
え、ワイヤーを挿入し、前記溝に充填された溶融ガラス
の固化後に前記ワイヤーを抜き取ることを特徴とする磁
気ヘッドチップの製造方法。