JPH0781834B2 - チップ部品装着検査方法 - Google Patents
チップ部品装着検査方法Info
- Publication number
- JPH0781834B2 JPH0781834B2 JP2057434A JP5743490A JPH0781834B2 JP H0781834 B2 JPH0781834 B2 JP H0781834B2 JP 2057434 A JP2057434 A JP 2057434A JP 5743490 A JP5743490 A JP 5743490A JP H0781834 B2 JPH0781834 B2 JP H0781834B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- component mounting
- mounting position
- chip
- height
- surface height
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 51
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 35
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 18
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 13
- 101100141323 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) RNR2 gene Proteins 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- XBDRAUPLGHAFCU-UHFFFAOYSA-N 3-[6-amino-5-(6-ethoxynaphthalen-2-yl)pyridin-3-yl]-n-[2-(dimethylamino)ethyl]benzamide Chemical compound C1=CC2=CC(OCC)=CC=C2C=C1C(C(=NC=1)N)=CC=1C1=CC=CC(C(=O)NCCN(C)C)=C1 XBDRAUPLGHAFCU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、チップ部品装着検査方法に関し、特に基板の
反りやうねりによる装着良否の誤判定や判定漏れを防止
でき、しかも、安価な装置を用いて簡単に実施できるよ
うにしたチップ部品装着検査方法に関する。
反りやうねりによる装着良否の誤判定や判定漏れを防止
でき、しかも、安価な装置を用いて簡単に実施できるよ
うにしたチップ部品装着検査方法に関する。
従来、プリント配線基板のチップ部品の装着を自動的に
検査する方法として、例えば特開昭62-299705号公報に
開示されているように、半導体レーザからレーザ光を部
品装着部を通過する経路上とこれに平行な経路上の2箇
所に照射し、プリント基板上の2箇所で反射した光をそ
れぞれラインセンサで検出し、プリント基板全体にわた
って一様に設定された最低基準値とこれらの検出値とを
比較して2値信号に変換し、2つの2値信号を入力する
オア回路の出力(Aビット信号)と、2つのラインセン
サの出力を直接比較して得た2値信号(Bビット信号)
とに基づいて部品の有無及び位置ずれの有無を検査する
方法(以下、従来例という。)が提案されている。
検査する方法として、例えば特開昭62-299705号公報に
開示されているように、半導体レーザからレーザ光を部
品装着部を通過する経路上とこれに平行な経路上の2箇
所に照射し、プリント基板上の2箇所で反射した光をそ
れぞれラインセンサで検出し、プリント基板全体にわた
って一様に設定された最低基準値とこれらの検出値とを
比較して2値信号に変換し、2つの2値信号を入力する
オア回路の出力(Aビット信号)と、2つのラインセン
サの出力を直接比較して得た2値信号(Bビット信号)
とに基づいて部品の有無及び位置ずれの有無を検査する
方法(以下、従来例という。)が提案されている。
ところで、一般にプリント基板の部品装着の良否を判定
する場合には、プリント基板を平面の上に載せている
が、プリント基板はスルーホールなどの孔加工時や部品
装着時に加熱され、この加熱によってプリント基板にう
ねりや反りが生じることが良く知られている。そして、
このプリント基板のうねりや反りはプリント基板に搭載
された部品の高さよりも高くなる場合もある。
する場合には、プリント基板を平面の上に載せている
が、プリント基板はスルーホールなどの孔加工時や部品
装着時に加熱され、この加熱によってプリント基板にう
ねりや反りが生じることが良く知られている。そして、
このプリント基板のうねりや反りはプリント基板に搭載
された部品の高さよりも高くなる場合もある。
上記従来例によれば、例えばプリント基板の反りやうね
りがあった場合、上記最低基準値がプリント基板全体に
わたって一様に設定されているので、両ラインセンサの
一方又は両方のラインセンサが受光不能になったり、本
来他方のラインセンサで受光されるべき光線を受光した
りすることがある。その結果、例えば第2のラインセン
サが受光しなくなり、第1のラインセンサの出力が全体
にわたって第2のラインセンサの出力よりも大きくなっ
て、部品があるのに部品が検出されず、その装着の良否
を判定できなくなると共に、部品が存在しない“欠品”
と誤判定されたり、逆に第1のラインセンサが受光しな
くなり、第1のラインセンサの出力が全体にわたって第
2のラインセンサの出力よりも小さくなって、部品が存
在しないのに部品が存在すると誤判定されたりすること
が少なくない。
りがあった場合、上記最低基準値がプリント基板全体に
わたって一様に設定されているので、両ラインセンサの
一方又は両方のラインセンサが受光不能になったり、本
来他方のラインセンサで受光されるべき光線を受光した
りすることがある。その結果、例えば第2のラインセン
サが受光しなくなり、第1のラインセンサの出力が全体
にわたって第2のラインセンサの出力よりも大きくなっ
て、部品があるのに部品が検出されず、その装着の良否
を判定できなくなると共に、部品が存在しない“欠品”
と誤判定されたり、逆に第1のラインセンサが受光しな
くなり、第1のラインセンサの出力が全体にわたって第
2のラインセンサの出力よりも小さくなって、部品が存
在しないのに部品が存在すると誤判定されたりすること
が少なくない。
本発明は、上記の事情を鑑み、基板の反りやうねりによ
る装着不良の誤判定や判定漏れを防止でき、しかも、安
価な装置を用いて簡単に実施できるようにしたチップ部
品装着検査方法の提供を目的とする。
る装着不良の誤判定や判定漏れを防止でき、しかも、安
価な装置を用いて簡単に実施できるようにしたチップ部
品装着検査方法の提供を目的とする。
本発明に係るチップ部品装着検査方法は、上記の目的を
達成するため、レーザー距離測定器によりプリント基板
を順次走査し、予め設定された部品装着位置ごとに、レ
ーザー距離測定器の受光光量と、走査経路上で部品装着
位置の直前の所定の区間に対して個別に与えられた基準
値とに基づいてプリント基板の表面高さを基準面高さと
して測定し、この測定に引き続いて部品装着位置におけ
るレーザー距離測定器の受光光量と、走査経路上で部品
装着位置に対個別に与えられた基準値とに基づいて部品
装着位置の表面高さを測定し、この部品装着位置の表面
高さと基準面高さとの差に基づいて部品装着の良否判定
を行うことを特徴とする。
達成するため、レーザー距離測定器によりプリント基板
を順次走査し、予め設定された部品装着位置ごとに、レ
ーザー距離測定器の受光光量と、走査経路上で部品装着
位置の直前の所定の区間に対して個別に与えられた基準
値とに基づいてプリント基板の表面高さを基準面高さと
して測定し、この測定に引き続いて部品装着位置におけ
るレーザー距離測定器の受光光量と、走査経路上で部品
装着位置に対個別に与えられた基準値とに基づいて部品
装着位置の表面高さを測定し、この部品装着位置の表面
高さと基準面高さとの差に基づいて部品装着の良否判定
を行うことを特徴とする。
本発明においては、プリント基板は検査に先立って平面
上に載置され、この平面に平行にレーザ距離測定機を二
次元方向に移動させたり、プリント基板及び平面をその
面方向に移動させたりすることにより、レーザー距離測
定器でプリント基板が順次走査される。
上に載置され、この平面に平行にレーザ距離測定機を二
次元方向に移動させたり、プリント基板及び平面をその
面方向に移動させたりすることにより、レーザー距離測
定器でプリント基板が順次走査される。
このレーザ距離測定機の走査経路は特に限定されない
が、プリント基板上に搭載された全てのチップ部品を走
査するように設定され、好ましくは、全てのチップ部品
を最短距離で結ぶ走査経路が選択される。
が、プリント基板上に搭載された全てのチップ部品を走
査するように設定され、好ましくは、全てのチップ部品
を最短距離で結ぶ走査経路が選択される。
この走査経路の予め設定された部品装着位置ごとに、走
査経路上で部品装着位置の直前のプリント基板の基板表
面の高さを、レーザー距離測定器の受光光量と、走査経
路上で部品装着位置の直前の所定の区間に対して個別に
与えられた基準値とに基づいて基準面位置として測定
し、この測定に引き続いて、部品装着位置におけるレー
ザー距離測定器の受光光量と、走査経路上で部品装着位
置に対個別に与えられた基準値とに基づいて部品装着位
置の表面高さを測定し、この部品装着位置の表面高さと
基準面位置との差を求め、この差の値によって部品装着
の良否判定が行われる。
査経路上で部品装着位置の直前のプリント基板の基板表
面の高さを、レーザー距離測定器の受光光量と、走査経
路上で部品装着位置の直前の所定の区間に対して個別に
与えられた基準値とに基づいて基準面位置として測定
し、この測定に引き続いて、部品装着位置におけるレー
ザー距離測定器の受光光量と、走査経路上で部品装着位
置に対個別に与えられた基準値とに基づいて部品装着位
置の表面高さを測定し、この部品装着位置の表面高さと
基準面位置との差を求め、この差の値によって部品装着
の良否判定が行われる。
ここで行う良否判定の方法は、例えば、その差がその部
品装着位置に正常に装着されたチップの表面高さ(以
下、チップ厚さという。)よりも所定寸法α以上高い場
合にはチップが側面を下にして立てに装着された“立
ち”不良であり、チップ厚さよりも所定寸法α(αとは
異なるβでもよい)以上低い場合には“欠品”不良であ
り、部品装着位置の端から“欠品”不良が続いた後にそ
の差がチップ厚さ±αとなった場合には、その端から差
の値がチップ厚さ±αとなった位置までのズレがあり、
この部品装着位置の端のズレが許容量以上である場合に
は“ズレ”不良であると判定し、その他の場合には“合
格”と判定する方法を採用すればよい。
品装着位置に正常に装着されたチップの表面高さ(以
下、チップ厚さという。)よりも所定寸法α以上高い場
合にはチップが側面を下にして立てに装着された“立
ち”不良であり、チップ厚さよりも所定寸法α(αとは
異なるβでもよい)以上低い場合には“欠品”不良であ
り、部品装着位置の端から“欠品”不良が続いた後にそ
の差がチップ厚さ±αとなった場合には、その端から差
の値がチップ厚さ±αとなった位置までのズレがあり、
この部品装着位置の端のズレが許容量以上である場合に
は“ズレ”不良であると判定し、その他の場合には“合
格”と判定する方法を採用すればよい。
この各部品装着位置での良否判定は、部品装着位置の直
前の位置の基板の高さと部品装着位置との高さを比較す
るので、各部品装着位置及びその近傍でプリント基板が
反りやうねりによって平均的な高さよりも高く位置して
いたり、低く位置していたりしていても、確実にその部
品装着位置の部品の装着状態を判定することができる。
前の位置の基板の高さと部品装着位置との高さを比較す
るので、各部品装着位置及びその近傍でプリント基板が
反りやうねりによって平均的な高さよりも高く位置して
いたり、低く位置していたりしていても、確実にその部
品装着位置の部品の装着状態を判定することができる。
走査経路上での高さ測定においては、その位置でのプリ
ント基板表面の反射率ないし透光率が大きな影響を有し
ているが、この反射率ないし透光率は、例えば裸の基板
表面であるか、絶縁層で覆われた基板表面であるか、は
んだが付着している基板表面であるか、部品表面である
かによって、つまり、その表面の種類によってそれぞれ
一定の基準値以上になることが知られている。
ント基板表面の反射率ないし透光率が大きな影響を有し
ているが、この反射率ないし透光率は、例えば裸の基板
表面であるか、絶縁層で覆われた基板表面であるか、は
んだが付着している基板表面であるか、部品表面である
かによって、つまり、その表面の種類によってそれぞれ
一定の基準値以上になることが知られている。
各高さ測定位置は測定経路が決定されれば決定され、そ
の測定位置の表面の種類とその表面の反射率ないし透光
率も決定される。
の測定位置の表面の種類とその表面の反射率ないし透光
率も決定される。
本発明では、走査経路上の各高さ測定位置ごとにその測
定位置に個別に対応させた基準値を設定することによ
り、各高さ測定位置で測定される表面の反射率ないし透
光率の差異による測定誤差が解消される。
定位置に個別に対応させた基準値を設定することによ
り、各高さ測定位置で測定される表面の反射率ないし透
光率の差異による測定誤差が解消される。
ここで、基準値としては、特に限定されないが、プリン
ト基板の表面は反りやうねりがある部分ではプリント基
板がそれを支持するテーブル上面に密着している部分よ
りも高くなるので、プリント基板がそれを支持するテー
ブル上面に密着している時にその種の基板表面から反射
され、レーザ距離測定器が受光する反射光量とすれば、
各高さ測定位置でレーザ距離測定器の受光量は基準値以
上となり、漏れなく高さ測定ができることになる。
ト基板の表面は反りやうねりがある部分ではプリント基
板がそれを支持するテーブル上面に密着している部分よ
りも高くなるので、プリント基板がそれを支持するテー
ブル上面に密着している時にその種の基板表面から反射
され、レーザ距離測定器が受光する反射光量とすれば、
各高さ測定位置でレーザ距離測定器の受光量は基準値以
上となり、漏れなく高さ測定ができることになる。
そして、本発明において、各高さ測定位置での高さ測定
の信頼性を高めるためには、この基準値よりも多量の反
射光が所定の時間以上連続して同じ光量でレーザ距離測
定器に受光される状態が確認された時にその受光量に対
応する高さをその測定位置における高さとして検出する
ことが好ましい。
の信頼性を高めるためには、この基準値よりも多量の反
射光が所定の時間以上連続して同じ光量でレーザ距離測
定器に受光される状態が確認された時にその受光量に対
応する高さをその測定位置における高さとして検出する
ことが好ましい。
又、本発明においては、実際のプリント基板の表面に異
物が付着していたり、ピンホールが形成されていたり、
部品の表面がへこんでいたりしていることがあり、これ
らが原因となって幾つかの高さ測定位置でレーザ距離測
定器の受光量が上記の基準値を下回ることを考慮するこ
とが好ましい。
物が付着していたり、ピンホールが形成されていたり、
部品の表面がへこんでいたりしていることがあり、これ
らが原因となって幾つかの高さ測定位置でレーザ距離測
定器の受光量が上記の基準値を下回ることを考慮するこ
とが好ましい。
本発明において、このような問題を解消する一つの方法
として、高さ測定を行っている間にレーザ距離測定器の
受光量が上記の基準値を下回る場合には、最終データ、
即ち、基準値よりも低くなる直前の測定値を読出してこ
の読み出した測定値と基準値とに基づいて高さ測定を行
うようにすることができる。この場合、高さ測定の信頼
性を高めるために、最終データとしては所定の時間連続
して同じ値に保持されていたものを用いることが好まし
い。また、最終データとして用いられるデータはある程
度以上の受光量のものであることが好ましく、例えば、
上記基準値の2分の1以上であることが好ましい。
として、高さ測定を行っている間にレーザ距離測定器の
受光量が上記の基準値を下回る場合には、最終データ、
即ち、基準値よりも低くなる直前の測定値を読出してこ
の読み出した測定値と基準値とに基づいて高さ測定を行
うようにすることができる。この場合、高さ測定の信頼
性を高めるために、最終データとしては所定の時間連続
して同じ値に保持されていたものを用いることが好まし
い。また、最終データとして用いられるデータはある程
度以上の受光量のものであることが好ましく、例えば、
上記基準値の2分の1以上であることが好ましい。
このようにして、検査漏れを防止する対策を講じても、
幾つかの高さ測定位置において、レーザ距離測定器の受
光量が基準値の2分の1を下回ることがあるが、この場
合には、全体としての判定時間を短縮するために、一応
判定を不良として後続の全部品について良否判定を進め
ることが好ましい。そして、このような一応不良とする
判定を含む全部品の良否判定を終了した後、一応不良と
判定した部品装着位置について良否判断をやり直すこと
が好ましい。
幾つかの高さ測定位置において、レーザ距離測定器の受
光量が基準値の2分の1を下回ることがあるが、この場
合には、全体としての判定時間を短縮するために、一応
判定を不良として後続の全部品について良否判定を進め
ることが好ましい。そして、このような一応不良とする
判定を含む全部品の良否判定を終了した後、一応不良と
判定した部品装着位置について良否判断をやり直すこと
が好ましい。
この場合、部品装着位置の直前の高さ測定位置の反射率
ないし透過率が測定経路の方向によって異なると考えら
れるので、部品装着位置からその直前の位置に逆走査し
て部品装着位置のプリント基板表面の高さとその直前の
位置のプリント基板表面の高さとを測定し、更に、レー
ザ距離測定器を直前の位置から部品装着位置に戻して部
品装着位置のプリント基板表面の高さを求めることによ
り、一応不良とされた部品装着位置の部品装填状態の良
否判定ができるようになる。
ないし透過率が測定経路の方向によって異なると考えら
れるので、部品装着位置からその直前の位置に逆走査し
て部品装着位置のプリント基板表面の高さとその直前の
位置のプリント基板表面の高さとを測定し、更に、レー
ザ距離測定器を直前の位置から部品装着位置に戻して部
品装着位置のプリント基板表面の高さを求めることによ
り、一応不良とされた部品装着位置の部品装填状態の良
否判定ができるようになる。
又、本発明を実施するため用いるレーザ距離測定器とし
ては市販されているレーザ距離測定器を用いることがで
き、又、このレーザ距離測定器またはプリント基板を載
置するテーブルを二次元方向に移動させるためには市販
されているXYテーブルを用いればよいので、安価な装置
で簡単に実施することができるのである。
ては市販されているレーザ距離測定器を用いることがで
き、又、このレーザ距離測定器またはプリント基板を載
置するテーブルを二次元方向に移動させるためには市販
されているXYテーブルを用いればよいので、安価な装置
で簡単に実施することができるのである。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
本実施例では第1図に示す検査装置が準備される。
すなわち、一般に市販されている、或いはそれを若干改
良した次の部品を備えた装置が準備される。
良した次の部品を備えた装置が準備される。
a.レーザー距離測定器1 b.XYテーブル2 c.コントローラ3 c′.X、Y用パルス発生器3′ d.システムディスク4 e.データディスク5 f.表示装置6 g.ブリンター7 レーザー距離測定器1は、被測定物にレーザー光を発射
して被測定物からのレーザー光反射角度の差により被測
定物の高さを測定できる市販のものに被測定物からの反
射光量を検出できる機能を付加したもので、レーザー光
を発射するレーザー光発射部、被測定物からの反射光を
受光部で受けて距離データ及び反射光量を得るセンサー
部、該センサー部から取り入れた距離データを処理して
距離(チップ高さ)を算出する演算部、センサー部から
取り入れたアナログ反射光量をデジタル変換するA/D変
換器を含んでいる。
して被測定物からのレーザー光反射角度の差により被測
定物の高さを測定できる市販のものに被測定物からの反
射光量を検出できる機能を付加したもので、レーザー光
を発射するレーザー光発射部、被測定物からの反射光を
受光部で受けて距離データ及び反射光量を得るセンサー
部、該センサー部から取り入れた距離データを処理して
距離(チップ高さ)を算出する演算部、センサー部から
取り入れたアナログ反射光量をデジタル変換するA/D変
換器を含んでいる。
XYテーブル2は、固定フレームFに設けられており、パ
ルスモータ21によりX軸方向に駆動されるテーブル2aと
パルスモータ22によりX軸に直角なY軸方向に駆動され
るテーブル2bとを含んでおり、各モータはコントローラ
3の指示に基づいたパルスにより運転される。1パルス
による移動量はX、Y軸共に0.04mmに設定されているの
でX、Yテーブルの現在位置はX、Yのパルス数をパル
スカウンタでカウントして算出することができる。レー
ザー距離測定器1はこのXYテーブル2に搭載され、固定
台8上に配置した被測定プリント基板9を必要範囲で走
査できる。なお、本実施例では、測定器1全体がテーブ
ル2に搭載されているが、測定器1のうち少なくともレ
ーザー光発射部及びセンサー部が搭載されていれば足り
る。
ルスモータ21によりX軸方向に駆動されるテーブル2aと
パルスモータ22によりX軸に直角なY軸方向に駆動され
るテーブル2bとを含んでおり、各モータはコントローラ
3の指示に基づいたパルスにより運転される。1パルス
による移動量はX、Y軸共に0.04mmに設定されているの
でX、Yテーブルの現在位置はX、Yのパルス数をパル
スカウンタでカウントして算出することができる。レー
ザー距離測定器1はこのXYテーブル2に搭載され、固定
台8上に配置した被測定プリント基板9を必要範囲で走
査できる。なお、本実施例では、測定器1全体がテーブ
ル2に搭載されているが、測定器1のうち少なくともレ
ーザー光発射部及びセンサー部が搭載されていれば足り
る。
コントローラ3には、本実施例ではパーソナルコンピュ
ータ(以下、「パソコン」という)が使用され、これは
フリッピードライブ31を備えている。
ータ(以下、「パソコン」という)が使用され、これは
フリッピードライブ31を備えている。
システムディスク4は、装置の検査進行を制御するため
のものであり、本実施例ではフロッピーディスクの形態
である。
のものであり、本実施例ではフロッピーディスクの形態
である。
データディスク5は、プリント基板上のチップ部品装着
位置データを有しており、チップ装着図面に基づき、別
途パソコン等により作成されたもので、本実施例ではフ
ロッピーディスクの形態である。
位置データを有しており、チップ装着図面に基づき、別
途パソコン等により作成されたもので、本実施例ではフ
ロッピーディスクの形態である。
これらフロッピーディスク4、5はコントローラ3のフ
ロッピードライブ31にセットされる。
ロッピードライブ31にセットされる。
表示装置6は、本実施例ではCRTディスプレーであり、
コントローラ3の指示に基づいてチップ位置を表示でき
るとともに、良否判定前のチップを青色で、不良チップ
を赤色で、良チップを白色で表示できる。
コントローラ3の指示に基づいてチップ位置を表示でき
るとともに、良否判定前のチップを青色で、不良チップ
を赤色で、良チップを白色で表示できる。
プリンター7は検査結果をコントローラ3の指示に基づ
いてプリントアウトする。
いてプリントアウトする。
第2図に示すように、レーザー距離測定器1から被測定
プリント基板9に対して直上から垂直に発射されたレー
ザー光Lの反射光はセンサー部Sの受光面Cでとらえる
が、反射角度の差により、面Bに対しセンサー部Sによ
り近い(面Bより高い)面Aからの反射光の受光点は受
光面Cに於いて、点bより点aに移動する。この際、面
Bを基準面と設定すると、点bより点aまでの移動距離
を前記演算部で変換、演算して面Bより面A迄の高さと
する。従って面Bを基準面、面Aをチップ面とするとチ
ップ面の高さを測定することが出来、この高さを観測出
来るか否か、観測出来た場合にそれが許容誤差範囲内に
あるか否か、でチップの装着状態を判定できる。
プリント基板9に対して直上から垂直に発射されたレー
ザー光Lの反射光はセンサー部Sの受光面Cでとらえる
が、反射角度の差により、面Bに対しセンサー部Sによ
り近い(面Bより高い)面Aからの反射光の受光点は受
光面Cに於いて、点bより点aに移動する。この際、面
Bを基準面と設定すると、点bより点aまでの移動距離
を前記演算部で変換、演算して面Bより面A迄の高さと
する。従って面Bを基準面、面Aをチップ面とするとチ
ップ面の高さを測定することが出来、この高さを観測出
来るか否か、観測出来た場合にそれが許容誤差範囲内に
あるか否か、でチップの装着状態を判定できる。
しかしながら測定基準面が常にフラットな平面である場
合は前記のままで正しく測定することが出来るが、本発
明の測定対象はプリント基板であるため基板面は、通常
フラットな平面でなく複雑に変化しており、チップ高さ
を超えるような凹凸がある場合が多い。このため、最初
に設定した基準面のままではチップ高さを正しく測定す
ることが出来ない。
合は前記のままで正しく測定することが出来るが、本発
明の測定対象はプリント基板であるため基板面は、通常
フラットな平面でなく複雑に変化しており、チップ高さ
を超えるような凹凸がある場合が多い。このため、最初
に設定した基準面のままではチップ高さを正しく測定す
ることが出来ない。
従って本実施例では、チップ高さを測定するに際し、チ
ップ毎にチップ直前の基板面を基準面として設定し直し
つつ検査を進めるよう工夫されている。
ップ毎にチップ直前の基板面を基準面として設定し直し
つつ検査を進めるよう工夫されている。
この基準面の設定の仕方について説明する。第3図に於
いて、データディスク5より読みだしたデータに従って
レーザー光は、XYテーブル2上でパルスモータ21、22に
送られるパルスによって、チップ中心を通過するD線に
沿って一定速度で移動するが、本実施例では1パルスの
移動距離を0.04mmとしている。以下例として幅W1.25m
m、高さH0.5mmのチップを検査するとして記述する。
いて、データディスク5より読みだしたデータに従って
レーザー光は、XYテーブル2上でパルスモータ21、22に
送られるパルスによって、チップ中心を通過するD線に
沿って一定速度で移動するが、本実施例では1パルスの
移動距離を0.04mmとしている。以下例として幅W1.25m
m、高さH0.5mmのチップを検査するとして記述する。
チップ毎に、予めデータディスクに入力されたデータよ
り読みだした被測定チップの中心点Pより逆算して、48
パルス分手前をデータ取り込み開始位置とし、以後24パ
ルスで基板面を基準面として、次の24パルスでチップ面
の判定をする。この合計48パルス分データを取り込んで
コントローラ3のメモリに記憶させておく。以上の工程
の合計48パルスを終了すると、次のチップの測定に入る
ために、2番目のチップ中心点Qより逆算して48パルス
手前よりデータの取り込みを開始しする。かくしてこの
工程をチップ毎に繰り返して測定を続ける。
り読みだした被測定チップの中心点Pより逆算して、48
パルス分手前をデータ取り込み開始位置とし、以後24パ
ルスで基板面を基準面として、次の24パルスでチップ面
の判定をする。この合計48パルス分データを取り込んで
コントローラ3のメモリに記憶させておく。以上の工程
の合計48パルスを終了すると、次のチップの測定に入る
ために、2番目のチップ中心点Qより逆算して48パルス
手前よりデータの取り込みを開始しする。かくしてこの
工程をチップ毎に繰り返して測定を続ける。
以上のように、本実施例ではチップ毎に基準面を設定し
直すので、基板面の凹凸によって測定ミスを起こすこと
はない。
直すので、基板面の凹凸によって測定ミスを起こすこと
はない。
次に検査の判定の仕方をより詳しく説明する。レーザー
反射光量の変化の仕方は48パルス間に於いて、第3図
上、y軸を反射光量、x軸を移動距離とすると、lのご
とき曲線を示すが、lを1からl4に分けて説明する
と、 1:基板の材質単体部分でレーザー光が殆ど透過して反
射光量がきわめて弱い部分 l2:レジスト部、銅箔パターン部で反射光量が多く、且
つ比較的安定した部分で、この反射光量を基準反射光量
と設定し、この基準反射光量以上の光量が5パルス以上
安定していたとき、測定の基準面と設定する。
反射光量の変化の仕方は48パルス間に於いて、第3図
上、y軸を反射光量、x軸を移動距離とすると、lのご
とき曲線を示すが、lを1からl4に分けて説明する
と、 1:基板の材質単体部分でレーザー光が殆ど透過して反
射光量がきわめて弱い部分 l2:レジスト部、銅箔パターン部で反射光量が多く、且
つ比較的安定した部分で、この反射光量を基準反射光量
と設定し、この基準反射光量以上の光量が5パルス以上
安定していたとき、測定の基準面と設定する。
l3:レーザースポット径が極めて小さければl3は殆ど立
つが、本実施例ではレーザースポット径を約0.2mmとし
ているので図のように傾斜する。
つが、本実施例ではレーザースポット径を約0.2mmとし
ているので図のように傾斜する。
l4:チップが装着されていると、一般にはチップ面の反
射が良好であるため反射光量は増加しかつ安定する。
射が良好であるため反射光量は増加しかつ安定する。
本実施例では、反射光量が多く且つ安定したl4部分の有
無によって、チップ“あり”、“なし”を判定するので
はなく、l2部分で設定した基準面よりの高さを測定し
て、それが“チップ高さ±α”(αは自由に設定でき
る)の範囲内にあるかどうかで、正しくチップが装着さ
れているかどうかを判定するのである。即ち測定基準面
は反射光量で判定し、チップの有無はチップの高さ測定
で判定するわけである。測定基準面及びチップ面の安定
度は5パルス以上としている。従って測定するチップ中
心より48パルス手前よりデータの取り込みを開始し、24
パルスで予め設定した基準反射光量以上で5パルス以上
安定した面を基準面として記憶し、次の24パルスで測定
した高さが“チップ厚さ±α”の範囲内で5パルス以上
安定していたとき、“チップあり”と判定してCRT5に表
示された被検査チップ位置の色を青色から合格の白色に
変える。高さが“チップ高さ−α”以下の時“欠品”不
良、反対に“チップ高さ+α”以上の時は“立ち”不良
として、何れもCRT6のチップ色を赤に変える。
無によって、チップ“あり”、“なし”を判定するので
はなく、l2部分で設定した基準面よりの高さを測定し
て、それが“チップ高さ±α”(αは自由に設定でき
る)の範囲内にあるかどうかで、正しくチップが装着さ
れているかどうかを判定するのである。即ち測定基準面
は反射光量で判定し、チップの有無はチップの高さ測定
で判定するわけである。測定基準面及びチップ面の安定
度は5パルス以上としている。従って測定するチップ中
心より48パルス手前よりデータの取り込みを開始し、24
パルスで予め設定した基準反射光量以上で5パルス以上
安定した面を基準面として記憶し、次の24パルスで測定
した高さが“チップ厚さ±α”の範囲内で5パルス以上
安定していたとき、“チップあり”と判定してCRT5に表
示された被検査チップ位置の色を青色から合格の白色に
変える。高さが“チップ高さ−α”以下の時“欠品”不
良、反対に“チップ高さ+α”以上の時は“立ち”不良
として、何れもCRT6のチップ色を赤に変える。
次に、当然チップ面であるべき位置にチップ高さが観測
されなくても、予め設定したズレ許容パルス数以内にチ
ップ高さが観測されて、且つ5パルス以上安定していれ
ば“チップあり”と判定し、そうでなければ“ズレ”不
良としてCRT6のチップ色を赤に代えて不良であることを
表示する。そうして不良になったチップをコントローラ
3のメモリに記憶させておく。
されなくても、予め設定したズレ許容パルス数以内にチ
ップ高さが観測されて、且つ5パルス以上安定していれ
ば“チップあり”と判定し、そうでなければ“ズレ”不
良としてCRT6のチップ色を赤に代えて不良であることを
表示する。そうして不良になったチップをコントローラ
3のメモリに記憶させておく。
前記のごとく、基板面からのレーザー反射光量が予め設
定した基準反射光量以上の時を基準面とするので、この
ままの判定法では、基板面全面にわたって基準反射光量
以上の反射量がないと基準面が設定できないので測定不
能となり、検査装置が機能しないことになる。しかしな
がら多くの基板では材質、表面反射状態によって反射光
量は様々で、一定の反射光量以上を常時期待することは
出来ないので、前記の基準面判定法だけでは安定した検
査の続行ができない。
定した基準反射光量以上の時を基準面とするので、この
ままの判定法では、基板面全面にわたって基準反射光量
以上の反射量がないと基準面が設定できないので測定不
能となり、検査装置が機能しないことになる。しかしな
がら多くの基板では材質、表面反射状態によって反射光
量は様々で、一定の反射光量以上を常時期待することは
出来ないので、前記の基準面判定法だけでは安定した検
査の続行ができない。
本実施例では、このような不具合を防止するため次のよ
うな対策をしている。プログラム上でその都度設定する
基準反射光量の1/2を最低反射光量と設定しておき、測
定を進めている途中でl2が基準反射光量に達しないとき
は、直ちに最終データを読み直しl2が最低反射光量以上
で3パルス以上安定していることを条件として判定をや
り直す事によって前記の不具合を防止している。
うな対策をしている。プログラム上でその都度設定する
基準反射光量の1/2を最低反射光量と設定しておき、測
定を進めている途中でl2が基準反射光量に達しないとき
は、直ちに最終データを読み直しl2が最低反射光量以上
で3パルス以上安定していることを条件として判定をや
り直す事によって前記の不具合を防止している。
この時、初めから最低反射光量と3パルス以上を判定の
基準とすればよいように考えられるが、その様にする
と、1部分のレーザー光の透過量が少なくて最低反射
光量を超える場合は基準面の設定を誤って、検査ミスを
犯すことになるので、前記のごとき手続きが必要になる
わけである。
基準とすればよいように考えられるが、その様にする
と、1部分のレーザー光の透過量が少なくて最低反射
光量を超える場合は基準面の設定を誤って、検査ミスを
犯すことになるので、前記のごとき手続きが必要になる
わけである。
しかし、この様な検査ミス防止策にもかかわらず、多く
の基板面では最低反射光量にも達しない場合が僅かなが
らあって、検査ミスを起こす恐れがある。
の基板面では最低反射光量にも達しない場合が僅かなが
らあって、検査ミスを起こす恐れがある。
従って本実施例では、この様な場合には、最終まで検査
を進行させ、検査終了後不良として記憶しておいたチッ
プ位置に測定器センサー部を戻し、データを逆にチップ
面から基板へ読みだして、l2部分で反射光量の多少にか
かわらず5パルス以上安定した面があれば、その面を基
準面と設定し直して、再度チップ面に相当する位置で高
さを測定し直して判定を行う。
を進行させ、検査終了後不良として記憶しておいたチッ
プ位置に測定器センサー部を戻し、データを逆にチップ
面から基板へ読みだして、l2部分で反射光量の多少にか
かわらず5パルス以上安定した面があれば、その面を基
準面と設定し直して、再度チップ面に相当する位置で高
さを測定し直して判定を行う。
本実施例では、この様な検査ミス防止のための手続きを
検査プログラムの中に持っているので、検査装置が極め
て単純な要素の組み合わせにもかかわらず、信頼性が高
く、且つミスのない検査を行うことが出来るのである。
検査プログラムの中に持っているので、検査装置が極め
て単純な要素の組み合わせにもかかわらず、信頼性が高
く、且つミスのない検査を行うことが出来るのである。
さて、実際に量産品の検査にはいるまでに次のような準
備作業を行う。
備作業を行う。
準備作業は第4図の準備作業チャートに従う。
即ち、ステップ1でチップ装着図面より各チップ位置の
XYデータ及びチップ記号を1セットとして、すべてのチ
ップのデータを入力したデータディスクを別のパソコン
で作成する。
XYデータ及びチップ記号を1セットとして、すべてのチ
ップのデータを入力したデータディスクを別のパソコン
で作成する。
ステップ2で、このデータディスクとシステムディスク
をフロッピードライブに装着し、電源をONして検査装置
をスタートさせる。ステップ3でプログラムに従って自
動的にチップの最短検査経路(順序)を設定する。
をフロッピードライブに装着し、電源をONして検査装置
をスタートさせる。ステップ3でプログラムに従って自
動的にチップの最短検査経路(順序)を設定する。
尚、本検査装置では、検査の進行について次の3つのモ
ードをもっている。
ードをもっている。
1 手動進行モード(準備作業等に使用) 2 総わたり自動モード(不良があっても検査終了迄自
動で進行する) 3 不良時停止モード(不良発見時チップ装着ラインを
停止させる) ステップ4で総わたり自動モードとして、セットされて
いる生基板で自動検査をし、すべてが不良になる(CRT
に表示されたチップがすべて赤に変わる)ことを確認す
る。
動で進行する) 3 不良時停止モード(不良発見時チップ装着ラインを
停止させる) ステップ4で総わたり自動モードとして、セットされて
いる生基板で自動検査をし、すべてが不良になる(CRT
に表示されたチップがすべて赤に変わる)ことを確認す
る。
ステップ5で見本基板を固定台にセットして、自動検査
させ、すべて良(CRT6上のチップが全部白色となる)で
あることを確認する。
させ、すべて良(CRT6上のチップが全部白色となる)で
あることを確認する。
以上のステップ4、5が満足されれば準備作業完了であ
るが、満足されないときは再度ステップ1に帰って修正
をしてステップ4、5が満足されるまでやり直す。
るが、満足されないときは再度ステップ1に帰って修正
をしてステップ4、5が満足されるまでやり直す。
次に、被検査基板に対する検査工程を第5図の検査工程
チャートによって実効する。
チャートによって実効する。
ステップ1でシステムおよびデータの両ディスクをドラ
イブにセットして、検査装置の電源をONし、ステップ2
で被検査基板を固定台にセットし、ステップ3でコント
ローラ3上のスタートキーを押して本装置をスタートさ
せる。
イブにセットして、検査装置の電源をONし、ステップ2
で被検査基板を固定台にセットし、ステップ3でコント
ローラ3上のスタートキーを押して本装置をスタートさ
せる。
ステップ4で検査装置はプログラムに従って自動検査を
始める。ステップ5で検査結果をその都度CRTに表示す
る。ステップ6で全チップの検査を終了し、もし不良が
なければステップ7で次の基板の検査に移る。
始める。ステップ5で検査結果をその都度CRTに表示す
る。ステップ6で全チップの検査を終了し、もし不良が
なければステップ7で次の基板の検査に移る。
もし不良が有れば、ステップ8で自動で不良ケ所の再検
査を行い、不良ケ所がなければステップ7に移る。不良
が有ればステップ9で不良チップをCRTに表示し、ステ
ップ10で不良データをプリントアウトして、ステップ11
で検査を停止する。
査を行い、不良ケ所がなければステップ7に移る。不良
が有ればステップ9で不良チップをCRTに表示し、ステ
ップ10で不良データをプリントアウトして、ステップ11
で検査を停止する。
前記実施例によると、次の利点がある。
1 チップ装着図面によってプログラム化された順序に
従って全数自動検査をするので、目視検査における、見
逃しによる検査洩れ、誤認による検査ミスがなく、又検
査のために多くの人員を掛ける必要がない。
従って全数自動検査をするので、目視検査における、見
逃しによる検査洩れ、誤認による検査ミスがなく、又検
査のために多くの人員を掛ける必要がない。
2 また、検査を実施するための装置として、市販装置
に比べて数分の一の価格のものを採用できるので、該装
置を設備して実施し易い。
に比べて数分の一の価格のものを採用できるので、該装
置を設備して実施し易い。
前記検査装置は、構成要素が殆ど一般市販品の組み合わ
せであるため極めて安価であって市販の検査機の数分の
一程度の価格となるため、プリント基板製造ラインに容
易に採用できる。
せであるため極めて安価であって市販の検査機の数分の
一程度の価格となるため、プリント基板製造ラインに容
易に採用できる。
以上に説明したように、本発明は、各チップ部品ごとに
その直前で測定したプリント基板の表面高さと、各チッ
プ部品の部品装着位置の表面高さとを測定し、その高さ
の差に基づいて良否判定をするので、基板の反りやうね
りによる装着良否の誤判定や判定漏れを防止できる上、
光量測定機能を付加した市販のレーザ距離測定器やX−
Yテーブルなどの安価な装置を用いて簡単に実施でき
る。
その直前で測定したプリント基板の表面高さと、各チッ
プ部品の部品装着位置の表面高さとを測定し、その高さ
の差に基づいて良否判定をするので、基板の反りやうね
りによる装着良否の誤判定や判定漏れを防止できる上、
光量測定機能を付加した市販のレーザ距離測定器やX−
Yテーブルなどの安価な装置を用いて簡単に実施でき
る。
本発明において、特に走査経路の各点からレーザ測定器
が受光する光量が当該点の基準値未満となった時に、そ
の直前の所定の時間内の最終データが連続して基準値の
2分の1以上であることを条件にこの直前の所定の時間
内の最終データにより高さを測定する場合には、例えば
不純物の付着などによって表面反射率が低下し、レーザ
距離測定器の受光量が基準値に満たない場合であって
も、部品装着の良否判定をすることができ、安定良く検
査を続行することができる。
が受光する光量が当該点の基準値未満となった時に、そ
の直前の所定の時間内の最終データが連続して基準値の
2分の1以上であることを条件にこの直前の所定の時間
内の最終データにより高さを測定する場合には、例えば
不純物の付着などによって表面反射率が低下し、レーザ
距離測定器の受光量が基準値に満たない場合であって
も、部品装着の良否判定をすることができ、安定良く検
査を続行することができる。
又、本発明において、特に全部品装着位置の部品装着の
良否判定を行った後、不良判定がなされた部品装着位置
からその直前に逆走査して、不良判定がなされた部品装
着位置の直前のプリント基板の表面高さを所定の時間以
上安定して検出されるレーザ距離測定器の受光光量に基
づいて基準面高さとして測定しなおし、引き続き当該部
品装着位置のプリント基板の表面高さを測定し、この一
連の測定における基準面高さと部品装着位置の表面高さ
との差に基づいて部品装着の良否判定を行う場合には、
レーザ測定器が受光する光量が当該点の基準値の2分の
1未満となる場合にも部品装着の良否を再判定をするこ
とができ、誤判定を更に確実に防止できる。
良否判定を行った後、不良判定がなされた部品装着位置
からその直前に逆走査して、不良判定がなされた部品装
着位置の直前のプリント基板の表面高さを所定の時間以
上安定して検出されるレーザ距離測定器の受光光量に基
づいて基準面高さとして測定しなおし、引き続き当該部
品装着位置のプリント基板の表面高さを測定し、この一
連の測定における基準面高さと部品装着位置の表面高さ
との差に基づいて部品装着の良否判定を行う場合には、
レーザ測定器が受光する光量が当該点の基準値の2分の
1未満となる場合にも部品装着の良否を再判定をするこ
とができ、誤判定を更に確実に防止できる。
第1図は本発明の一実施例に用いる検査装置例の概略構
成図、第2図はレーザー距離測定器の原理説明図、第3
図は検査判定方法説明図、第4図は検査準備作業を示す
フローチャート、第5図は検査工程フローチャートであ
る。 1……レーザー距離測定器 9……プリント基板 10……チップ
成図、第2図はレーザー距離測定器の原理説明図、第3
図は検査判定方法説明図、第4図は検査準備作業を示す
フローチャート、第5図は検査工程フローチャートであ
る。 1……レーザー距離測定器 9……プリント基板 10……チップ
Claims (3)
- 【請求項1】レーザー距離測定器によりプリント基板を
順次走査し、予め設定された部品装着位置ごとに、レー
ザー距離測定器の受光光量と、走査経路上で部品装着位
置の直前の所定の区間に対して個別に与えられた基準値
とに基づいてプリント基板の表面高さを基準面高さとし
て測定し、この測定に引き続いて部品装着位置における
レーザー距離測定器の受光光量と、走査経路上で部品装
着位置に対個別に与えられた基準値とに基づいて部品装
着位置の表面高さを測定し、この部品装着位置の表面高
さと基準面高さとの差に基づいて部品装着の良否判定を
行うことを特徴とするチップ部品装着検査方法。 - 【請求項2】走査経路の各点からレーザ測定器が受光す
る光量が当該点の基準値未満となった時に、その直前の
所定の時間内の最終データが連続して基準値の2分の1
以上であることを条件にこの直前の所定の時間内の最終
データにより高さを測定する請求項1に記載のチップ部
品装着検査方法。 - 【請求項3】全部品装着位置の部品装着の良否判定を行
った後、不良判定がなされた部品装着位置からその直前
に逆走査して、不良判定がなされた部品装着位置の直前
のプリント基板の表面高さを基準面高さとして測定しな
おし、引き続き当該部品装着位置のプリント基板の表面
高さを測定し、この一連の測定における基準面高さと部
品装着位置の表面高さとの差に基づいて部品装着の良否
判定を行う請求項1又は2に記載のチップ部品装着検査
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2057434A JPH0781834B2 (ja) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | チップ部品装着検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2057434A JPH0781834B2 (ja) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | チップ部品装着検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03257305A JPH03257305A (ja) | 1991-11-15 |
| JPH0781834B2 true JPH0781834B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=13055547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2057434A Expired - Lifetime JPH0781834B2 (ja) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | チップ部品装着検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0781834B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102582062B1 (ko) * | 2022-08-05 | 2023-09-22 | 제너셈(주) | 플립 칩 본딩을 위한 기판 언로딩 장치 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5856809B2 (ja) * | 1979-08-02 | 1983-12-16 | ウエスト電気株式会社 | 距離検出装置 |
| JPS5764707U (ja) * | 1980-10-03 | 1982-04-17 | ||
| JPS60154804U (ja) * | 1984-03-24 | 1985-10-15 | 関東自動車工業株式会社 | 測距装置 |
| JPH0672763B2 (ja) * | 1986-06-20 | 1994-09-14 | 富士通株式会社 | 実装部品検査装置 |
-
1990
- 1990-03-08 JP JP2057434A patent/JPH0781834B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102582062B1 (ko) * | 2022-08-05 | 2023-09-22 | 제너셈(주) | 플립 칩 본딩을 위한 기판 언로딩 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03257305A (ja) | 1991-11-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6640002B1 (en) | Image processing apparatus | |
| US5162866A (en) | Apparatus and method for inspecting IC leads | |
| US6278797B1 (en) | Apparatus for inspecting land-attached circuit board | |
| JP2007033048A (ja) | はんだ接合判定方法,はんだ検査方法,はんだ検査装置およびはんだ検査用プログラムならびに記録媒体 | |
| JP2001272215A (ja) | ねじの測定方法及びその装置並びにねじ形状合否判定装置 | |
| JPH0781834B2 (ja) | チップ部品装着検査方法 | |
| JP2620992B2 (ja) | 電子部品の半田付け部の検査方法 | |
| JP2002026512A (ja) | 印刷半田検査装置 | |
| JP3310753B2 (ja) | リード計測装置 | |
| JP2560462B2 (ja) | 膜厚測定装置 | |
| JPH06185994A (ja) | 実装基板検査装置 | |
| JPH11251799A (ja) | 部品認識方法および部品検査、実装方法 | |
| JP2847351B2 (ja) | 実装済印刷配線板自動検査装置 | |
| JPH05114640A (ja) | リード測定方法および装置並びにそれが使用されたリード検査装置 | |
| JPH04350506A (ja) | リード半田付け及び半田面検査方法 | |
| JPH05288687A (ja) | リード検査装置 | |
| JP3107070B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
| JP3310752B2 (ja) | 電子部品認識装置 | |
| JP3029723B2 (ja) | 半田付け工程でのリード浮きの検出方法 | |
| JPH0727520A (ja) | プリント基板上の物体の高さ検査方法及び高さ検査装置 | |
| JPH07113835A (ja) | 電気部品接続部の検査方法 | |
| JPH02156107A (ja) | プリント基板の半田付け部外観検査装置 | |
| JPH04140650A (ja) | プリント板検査装置 | |
| JPH04369411A (ja) | 半田の形状検査方法 | |
| JPH0637500A (ja) | チップ部品検査装置 |