JPH08136141A - 熱処理炉 - Google Patents
熱処理炉Info
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- JPH08136141A JPH08136141A JP27368794A JP27368794A JPH08136141A JP H08136141 A JPH08136141 A JP H08136141A JP 27368794 A JP27368794 A JP 27368794A JP 27368794 A JP27368794 A JP 27368794A JP H08136141 A JPH08136141 A JP H08136141A
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- heating chamber
- treatment furnace
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Links
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Landscapes
- Tunnel Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大量の雰囲気ガスを用いなくても短時間のう
ちにセラミック成形品の全周囲にわたる脱脂処理を実行
することができ、また、脱脂処理時と焼成処理時とのい
ずれにおいても使用可能な熱処理炉の提供を目的として
いる。 【構成】 本発明に係る第1の熱処理炉は、脱脂処理す
べきセラミック成形品Sが載置されたうえで加熱室2内
に配置される道具材3を具備しており、この道具材3が
通気性を有する多孔質素材を用いて作製されたものであ
ることを特徴としている。また、第2の熱処理炉は、加
熱室2内の天井側に雰囲気ガスGを供給するガス供給管
4が設置される一方、加熱室2内の床面にガス排出管6
が開口したものであり、通気性を有する多孔質素材を用
いて作製された道具材3でもってガス排出管6の開口を
閉塞していることを特徴とするものである。
ちにセラミック成形品の全周囲にわたる脱脂処理を実行
することができ、また、脱脂処理時と焼成処理時とのい
ずれにおいても使用可能な熱処理炉の提供を目的として
いる。 【構成】 本発明に係る第1の熱処理炉は、脱脂処理す
べきセラミック成形品Sが載置されたうえで加熱室2内
に配置される道具材3を具備しており、この道具材3が
通気性を有する多孔質素材を用いて作製されたものであ
ることを特徴としている。また、第2の熱処理炉は、加
熱室2内の天井側に雰囲気ガスGを供給するガス供給管
4が設置される一方、加熱室2内の床面にガス排出管6
が開口したものであり、通気性を有する多孔質素材を用
いて作製された道具材3でもってガス排出管6の開口を
閉塞していることを特徴とするものである。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック成形品の脱
脂処理に用いられる熱処理炉に関する。
脂処理に用いられる熱処理炉に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、積層セラミックコンデンサな
どのチップ部品やトランスコアなどの異形部品であるセ
ラミック成形品を製造する際にはこれらに対する焼成処
理を施すことが行われており、焼成処理に先立っては成
形時に必要であったバインダを予めセラミック成形品中
から取り除くための脱脂処理を施しておくのが一般的と
なっている。すなわち、脱脂処理を施さないままでの焼
成処理を行った際には、バインダが残存していることに
起因するセラミック成形品の割れや剥がれ、変形などが
発生し、製品機能が失われてしまうことがあるから、こ
のような不都合を回避するため、セラミック成形品に対
しては十分な脱脂処理を施すことが必要とされているの
である。
どのチップ部品やトランスコアなどの異形部品であるセ
ラミック成形品を製造する際にはこれらに対する焼成処
理を施すことが行われており、焼成処理に先立っては成
形時に必要であったバインダを予めセラミック成形品中
から取り除くための脱脂処理を施しておくのが一般的と
なっている。すなわち、脱脂処理を施さないままでの焼
成処理を行った際には、バインダが残存していることに
起因するセラミック成形品の割れや剥がれ、変形などが
発生し、製品機能が失われてしまうことがあるから、こ
のような不都合を回避するため、セラミック成形品に対
しては十分な脱脂処理を施すことが必要とされているの
である。
【0003】ところで、セラミック成形品に対する脱脂
処理に際しては、多品種少量生産に適したバッチ式熱処
理炉や大量生産に適したプッシャー型などの連続式熱処
理炉を使用するのが一般的である。そして、図示してい
ないが、これらの熱処理炉においては、脱脂処理すべき
セラミック成形品が載置された道具材であるところの匣
を加熱室内に配置したうえ、厳密な雰囲気ガスの制御を
行いながら400ないし500℃の温度下での20時間
以上にわたる脱脂処理が実行されることになっている。
なお、このような長時間にわたる脱脂処理を施すのは、
セラミック成形品からバインダを十分に放出させるため
であり、放出されたバインダに対しては大量の雰囲気ガ
スを供給することによって対応している。
処理に際しては、多品種少量生産に適したバッチ式熱処
理炉や大量生産に適したプッシャー型などの連続式熱処
理炉を使用するのが一般的である。そして、図示してい
ないが、これらの熱処理炉においては、脱脂処理すべき
セラミック成形品が載置された道具材であるところの匣
を加熱室内に配置したうえ、厳密な雰囲気ガスの制御を
行いながら400ないし500℃の温度下での20時間
以上にわたる脱脂処理が実行されることになっている。
なお、このような長時間にわたる脱脂処理を施すのは、
セラミック成形品からバインダを十分に放出させるため
であり、放出されたバインダに対しては大量の雰囲気ガ
スを供給することによって対応している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来構成とされた熱処理炉においては、つぎのような不都
合が生じることになっていた。すなわち、まず、加熱室
内に供給された雰囲気ガスを匣上に載置されたセラミッ
ク成形品と十分に接触する状態で流通させることが難し
く、特に、セラミック成形品における匣との接触部分か
らはバインダを十分に放出させることが困難であった。
そして、十分なバインダの放出が行われなかったセラミ
ック成形品の接触部分には数多くの欠陥が発生すること
になり、品質上の問題が生じてしまう。
来構成とされた熱処理炉においては、つぎのような不都
合が生じることになっていた。すなわち、まず、加熱室
内に供給された雰囲気ガスを匣上に載置されたセラミッ
ク成形品と十分に接触する状態で流通させることが難し
く、特に、セラミック成形品における匣との接触部分か
らはバインダを十分に放出させることが困難であった。
そして、十分なバインダの放出が行われなかったセラミ
ック成形品の接触部分には数多くの欠陥が発生すること
になり、品質上の問題が生じてしまう。
【0005】また、この熱処理炉を用いて脱脂処理され
るセラミック成形品の処理量が増えた場合には、雰囲気
ガスの供給量をさらに増やす必要があり、また、放出さ
れたバインダを含んで炉外へと排出される排出ガスの総
量が増えることになる結果、排出ガス処理にも多大な手
間及びコストを要することになる。さらに、セラミック
成形品から放出されたバインダでもって加熱室内が汚染
されることもあり、加熱室内に残存したバインダが焼成
処理時の雰囲気ガスに悪影響を及ぼすことも起こるた
め、脱脂処理時に使用した熱処理炉をセラミック成形品
の焼成処理時に使用することができなくなってしまう。
るセラミック成形品の処理量が増えた場合には、雰囲気
ガスの供給量をさらに増やす必要があり、また、放出さ
れたバインダを含んで炉外へと排出される排出ガスの総
量が増えることになる結果、排出ガス処理にも多大な手
間及びコストを要することになる。さらに、セラミック
成形品から放出されたバインダでもって加熱室内が汚染
されることもあり、加熱室内に残存したバインダが焼成
処理時の雰囲気ガスに悪影響を及ぼすことも起こるた
め、脱脂処理時に使用した熱処理炉をセラミック成形品
の焼成処理時に使用することができなくなってしまう。
【0006】本発明は、これらの不都合に鑑みて創案さ
れたものであって、大量の雰囲気ガスを用いなくても短
時間のうちにセラミック成形品の全周囲にわたる脱脂処
理を容易に実行することができ、また、脱脂処理及び焼
成処理のいずれにおいても使用可能な熱処理炉の提供を
目的としている。
れたものであって、大量の雰囲気ガスを用いなくても短
時間のうちにセラミック成形品の全周囲にわたる脱脂処
理を容易に実行することができ、また、脱脂処理及び焼
成処理のいずれにおいても使用可能な熱処理炉の提供を
目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明に係る第1の熱処
理炉は、このような目的を達成するために、脱脂処理す
べきセラミック成形品が載置されたうえで加熱室内に配
置される道具材を具備しており、この道具材は通気性を
有する多孔質素材を用いて作製されたものであることを
特徴としている。また、第2の熱処理炉は、加熱室内の
天井側に雰囲気ガスを供給するガス供給管が設置される
一方、加熱室内の床面にガス排出管が開口したものであ
り、通気性を有する多孔質素材を用いて作製された道具
材でもってガス排出管の開口を閉塞していることを特徴
とするものである。
理炉は、このような目的を達成するために、脱脂処理す
べきセラミック成形品が載置されたうえで加熱室内に配
置される道具材を具備しており、この道具材は通気性を
有する多孔質素材を用いて作製されたものであることを
特徴としている。また、第2の熱処理炉は、加熱室内の
天井側に雰囲気ガスを供給するガス供給管が設置される
一方、加熱室内の床面にガス排出管が開口したものであ
り、通気性を有する多孔質素材を用いて作製された道具
材でもってガス排出管の開口を閉塞していることを特徴
とするものである。
【0008】
【作用】第1の構成によれば、通気性を有する多孔質素
材を用いて作製された道具材を用いているから、この道
具材の内部をも雰囲気ガスが流通し得ることになり、セ
ラミック成形品における道具材との接触部分についても
雰囲気ガスが行き渡って十分に接触することになる。そ
こで、セラミック成形品の全周囲を雰囲気ガスが流れな
がらの十分な接触が行われる結果、処理量が増えた場合
であっても雰囲気ガスの供給量をさほど増やす必要はな
く、セラミック成形品における欠陥の発生を防止し得
る。さらに、第2の構成を採用した場合には、セラミッ
ク成形品から放出されたバインダが道具材を通過したう
えでガス排出管に流れ込むことになるため、放出された
バインダが加熱室内に拡散することは起こり得ず、バイ
ンダによる加熱室内の汚染が生じることもなくなる。
材を用いて作製された道具材を用いているから、この道
具材の内部をも雰囲気ガスが流通し得ることになり、セ
ラミック成形品における道具材との接触部分についても
雰囲気ガスが行き渡って十分に接触することになる。そ
こで、セラミック成形品の全周囲を雰囲気ガスが流れな
がらの十分な接触が行われる結果、処理量が増えた場合
であっても雰囲気ガスの供給量をさほど増やす必要はな
く、セラミック成形品における欠陥の発生を防止し得
る。さらに、第2の構成を採用した場合には、セラミッ
ク成形品から放出されたバインダが道具材を通過したう
えでガス排出管に流れ込むことになるため、放出された
バインダが加熱室内に拡散することは起こり得ず、バイ
ンダによる加熱室内の汚染が生じることもなくなる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【0010】図1は本実施例に係る熱処理炉の横断面構
造を簡略化して示す説明図であり、この図1で示す熱処
理炉はバッチ式もしくは連続式のいずれであってもよ
い。
造を簡略化して示す説明図であり、この図1で示す熱処
理炉はバッチ式もしくは連続式のいずれであってもよ
い。
【0011】本実施例に係る熱処理炉は、所定厚みの断
熱材からなる炉体1と、この炉体1によって取り囲まれ
た加熱室2とを備えて構成されたものであり、脱脂処理
すべきチップ部品や異形部品などのセラミック成形品S
が載置されたうえで加熱室2内に配置される道具材であ
るところの匣3を具備している。そして、この際におけ
る匣3は、通気性を有する多孔質素材、例えば、見かけ
の気孔率が50ないし90%程度と大きいセラミックを
用いて作製されたものであり、所定厚みの平板形状を有
している。なお、この匣3が、上側のみ開口した箱形状
などとされていてもよいことは勿論である。
熱材からなる炉体1と、この炉体1によって取り囲まれ
た加熱室2とを備えて構成されたものであり、脱脂処理
すべきチップ部品や異形部品などのセラミック成形品S
が載置されたうえで加熱室2内に配置される道具材であ
るところの匣3を具備している。そして、この際におけ
る匣3は、通気性を有する多孔質素材、例えば、見かけ
の気孔率が50ないし90%程度と大きいセラミックを
用いて作製されたものであり、所定厚みの平板形状を有
している。なお、この匣3が、上側のみ開口した箱形状
などとされていてもよいことは勿論である。
【0012】一方、この匣3が収納される加熱室2内の
天井側には、セラミック成形品Sの脱脂処理に適した雰
囲気ガスGを供給するガス供給管4と、炉体1の側壁間
に架設された電熱ヒータ5とが互いに交差した状態で配
設されており、また、この加熱室2内の床面にはガス排
出管6が開口している。そして、このガス排出管6にお
ける開口はその加熱室2側が拡がった側面視テーパ形状
とされており、炉外にまで引き出されたガス排出管6の
中途部には排出ガスを清浄化するための一般的な構造を
有する排ガス浄化装置7が取り付けられている。さらに
また、加熱室2内の床面におけるガス排出管6の開口上
には通気性を有する多孔質素材を用いて作製された上記
の匣3が載置されており、このガス排出管6の開口は匣
3でもって閉塞された状態となっている。
天井側には、セラミック成形品Sの脱脂処理に適した雰
囲気ガスGを供給するガス供給管4と、炉体1の側壁間
に架設された電熱ヒータ5とが互いに交差した状態で配
設されており、また、この加熱室2内の床面にはガス排
出管6が開口している。そして、このガス排出管6にお
ける開口はその加熱室2側が拡がった側面視テーパ形状
とされており、炉外にまで引き出されたガス排出管6の
中途部には排出ガスを清浄化するための一般的な構造を
有する排ガス浄化装置7が取り付けられている。さらに
また、加熱室2内の床面におけるガス排出管6の開口上
には通気性を有する多孔質素材を用いて作製された上記
の匣3が載置されており、このガス排出管6の開口は匣
3でもって閉塞された状態となっている。
【0013】つぎに、本実施例に係る熱処理炉の動作及
び作用を説明する。
び作用を説明する。
【0014】まず、本実施例においては、ガス供給管4
から供給されたうえで電熱ヒータ5によって加熱された
新鮮な雰囲気ガスGが加熱室2内をその上側から下側へ
と向かって流通しており、流れてきた雰囲気ガスGは通
気性を有する匣3の内部を通り抜けたうえでガス排出管
6の開口へと流れ込んでいる。そこで、この匣3上に載
置されたセラミック成形品Sに対しては、このセラミッ
ク成形品Sが匣3と接触している接触部分までをも含む
全周囲にわたって雰囲気ガスGが行き渡ることになり、
セラミック成形品Sのそれぞれは雰囲気ガスGと十分に
接触する。
から供給されたうえで電熱ヒータ5によって加熱された
新鮮な雰囲気ガスGが加熱室2内をその上側から下側へ
と向かって流通しており、流れてきた雰囲気ガスGは通
気性を有する匣3の内部を通り抜けたうえでガス排出管
6の開口へと流れ込んでいる。そこで、この匣3上に載
置されたセラミック成形品Sに対しては、このセラミッ
ク成形品Sが匣3と接触している接触部分までをも含む
全周囲にわたって雰囲気ガスGが行き渡ることになり、
セラミック成形品Sのそれぞれは雰囲気ガスGと十分に
接触する。
【0015】そのため、雰囲気ガスGと接触することに
よって脱脂処理が施されたセラミック成形品Sからはバ
インダが放出されてくることになり、放出されたバイン
ダは匣3を通過する雰囲気ガスGとともにガス排出管6
へと流れ込んでしまう。従って、この際に放出されたバ
インダが加熱室2内へと拡散したうえで残存することは
起こり得ず、ガス排出管6内を流通した排出ガス中のバ
インダは排ガス浄化装置7によって除去されてしまう。
そして、本発明の発明者らが実験したところ、上記構成
とされた匣3を具備してなる熱処理炉を使用した際にお
けるセラミック成形品Sの脱脂処理に要する時間が従来
例の約半分となり、また、セラミック成形品Sの全周囲
における脱脂状態が均一となることが確認されている。
よって脱脂処理が施されたセラミック成形品Sからはバ
インダが放出されてくることになり、放出されたバイン
ダは匣3を通過する雰囲気ガスGとともにガス排出管6
へと流れ込んでしまう。従って、この際に放出されたバ
インダが加熱室2内へと拡散したうえで残存することは
起こり得ず、ガス排出管6内を流通した排出ガス中のバ
インダは排ガス浄化装置7によって除去されてしまう。
そして、本発明の発明者らが実験したところ、上記構成
とされた匣3を具備してなる熱処理炉を使用した際にお
けるセラミック成形品Sの脱脂処理に要する時間が従来
例の約半分となり、また、セラミック成形品Sの全周囲
における脱脂状態が均一となることが確認されている。
【0016】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る熱処
理炉によれば、道具材の内部をも雰囲気ガスが流通し、
セラミック成形品における道具材との接触部分について
も雰囲気ガスが行き渡ることになる結果、セラミック成
形品の全周囲を雰囲気ガスが流れながらの十分な接触が
行われることになり、これらセラミック成形品の脱脂処
理に要する時間の大幅な短縮を図るとともに、セラミッ
ク成形品の全周囲における脱脂状態の均一化を図ること
ができるという効果が得られる。また、セラミック成形
品における欠陥の発生を防止することができ、製品特性
の安定を実現することもできる。
理炉によれば、道具材の内部をも雰囲気ガスが流通し、
セラミック成形品における道具材との接触部分について
も雰囲気ガスが行き渡ることになる結果、セラミック成
形品の全周囲を雰囲気ガスが流れながらの十分な接触が
行われることになり、これらセラミック成形品の脱脂処
理に要する時間の大幅な短縮を図るとともに、セラミッ
ク成形品の全周囲における脱脂状態の均一化を図ること
ができるという効果が得られる。また、セラミック成形
品における欠陥の発生を防止することができ、製品特性
の安定を実現することもできる。
【0017】さらに、セラミック成形品の脱脂処理にあ
たって大量の雰囲気ガスを供給する必要もなくなり、排
出ガス処理に要する手間及びコストを削減することが可
能になるという利点もある。そして、セラミック成形品
から放出されたバインダが加熱室内に拡散せず、バイン
ダでもって加熱室内が汚染されることも起こらなくなる
ため、脱脂処理及び焼成処理のいずれにおいても本発明
に係る熱処理炉を使用することができるという効果が得
られる。
たって大量の雰囲気ガスを供給する必要もなくなり、排
出ガス処理に要する手間及びコストを削減することが可
能になるという利点もある。そして、セラミック成形品
から放出されたバインダが加熱室内に拡散せず、バイン
ダでもって加熱室内が汚染されることも起こらなくなる
ため、脱脂処理及び焼成処理のいずれにおいても本発明
に係る熱処理炉を使用することができるという効果が得
られる。
【図1】本実施例に係る熱処理炉の横断面構造を簡略化
して示す説明図である。
して示す説明図である。
2 加熱室 3 匣(道具材) 4 ガス供給管 6 ガス排出管 S セラミック成形品 G 雰囲気ガス
Claims (2)
- 【請求項1】 脱脂処理すべきセラミック成形品(S)
が載置されたうえで加熱室(2)内に配置される道具材
(3)を具備しており、この道具材(3)は通気性を有
する多孔質素材を用いて作製されたものであることを特
徴とする熱処理炉。 - 【請求項2】 加熱室(2)内の天井側には雰囲気ガス
(G)を供給するガス供給管(4)が設置される一方、
加熱室(2)内の床面にはガス排出管(6)が開口して
おり、このガス排出管(6)の開口は道具材(3)でも
って閉塞されていることを特徴とする請求項1に記載の
熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27368794A JPH08136141A (ja) | 1994-11-08 | 1994-11-08 | 熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27368794A JPH08136141A (ja) | 1994-11-08 | 1994-11-08 | 熱処理炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08136141A true JPH08136141A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17531156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27368794A Pending JPH08136141A (ja) | 1994-11-08 | 1994-11-08 | 熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08136141A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100598304B1 (ko) * | 1999-06-30 | 2006-07-10 | 다이요 유덴 가부시키가이샤 | 적층 세라믹 전자 부품의 제법 |
| JP2013024528A (ja) * | 2011-07-25 | 2013-02-04 | Tdk Corp | 熱処理装置 |
-
1994
- 1994-11-08 JP JP27368794A patent/JPH08136141A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100598304B1 (ko) * | 1999-06-30 | 2006-07-10 | 다이요 유덴 가부시키가이샤 | 적층 세라믹 전자 부품의 제법 |
| JP2013024528A (ja) * | 2011-07-25 | 2013-02-04 | Tdk Corp | 熱処理装置 |
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