JPH0815067B2 - 紫外線光源 - Google Patents
紫外線光源Info
- Publication number
- JPH0815067B2 JPH0815067B2 JP16973086A JP16973086A JPH0815067B2 JP H0815067 B2 JPH0815067 B2 JP H0815067B2 JP 16973086 A JP16973086 A JP 16973086A JP 16973086 A JP16973086 A JP 16973086A JP H0815067 B2 JPH0815067 B2 JP H0815067B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- irradiated
- light emitting
- diameter
- illuminance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、平板の被照射物を均一にかつ光源に近づけ
て照射することを目的とした光源の構造に係り、特に、
紫外線とオゾンによる半導体プロセスに好適な紫外線光
源に関する。
て照射することを目的とした光源の構造に係り、特に、
紫外線とオゾンによる半導体プロセスに好適な紫外線光
源に関する。
従来の紫外線光源は、USPNo.3,679,928に示されるよ
うな構造のものが知られているが、実用上被照射物を均
一に照射し、被照射物上に処理ガスを均一に流しかつ被
照射物と光源との距離をできるだけ近づけて照射強度を
強くする具体的な構造が示されておらず実用上有効な配
慮がなされていなかつた。これら従来技術からは、第２
図に示す構造の光源が示唆される。
うな構造のものが知られているが、実用上被照射物を均
一に照射し、被照射物上に処理ガスを均一に流しかつ被
照射物と光源との距離をできるだけ近づけて照射強度を
強くする具体的な構造が示されておらず実用上有効な配
慮がなされていなかつた。これら従来技術からは、第２
図に示す構造の光源が示唆される。
上記従来技術は、被照射物上に処理ガスを均一に流す
方法及びそのことによる光源と被照射物との距離をでき
るだけ近づけて均一にかつ照射照度を強くする実用的具
体光源の構造に関する配慮がなされておらず、いたずら
に光源の出力を高くする必要がある問題点があつた。
方法及びそのことによる光源と被照射物との距離をでき
るだけ近づけて均一にかつ照射照度を強くする実用的具
体光源の構造に関する配慮がなされておらず、いたずら
に光源の出力を高くする必要がある問題点があつた。
本発明の目的は、大きなサイズの被照射物を複数本の
光源で均一に照射することと、被照射物の表面上に処理
ガスを均一に流すために被照射物の表面上方に近接して
紫外線透過ガラスを配置し、処理ハウスとランプハウス
とを区切つても、光源と被照射物との間の距離をできる
だけ近づけて、被照射物上の紫外線照度を強くし得る紫
外線光源を提供することにある。
光源で均一に照射することと、被照射物の表面上に処理
ガスを均一に流すために被照射物の表面上方に近接して
紫外線透過ガラスを配置し、処理ハウスとランプハウス
とを区切つても、光源と被照射物との間の距離をできる
だけ近づけて、被照射物上の紫外線照度を強くし得る紫
外線光源を提供することにある。
上記目的は、光源の構造を第１図（ａ），（ｂ）に示
すようにすることにより達成される。すなわち、発光部
１である小径部と、フイラメントを収納する管端部３の
大径部との稜線とを直線上にすることにより、第３図に
示すように、発光部１のあるランプハウス部４と、被照
射物６のある処理室５との境界を仕切る紫外線透過石英
板９とからなる処理システムにおいて、石英板９と発光
部１との間を近づけることができるから発光部１と被照
射物６との間を短かくできるので、その照射照度は上昇
できる。また、サイズの大きい被照射物６を均一に照射
するため、第１図（ａ）に示す光源が複数本必要であ
り、光源と光源との間を一つの光源のもつギヤツプｄと
等しくするために、一つの光源の巾W1とこれを端部で固
定する保持部の巾W2と、前記ギヤツプｄとの間に、 W2−W1ｄ となるようにすることによつて複数本の光源を並べても
均一に照射することができる。
すようにすることにより達成される。すなわち、発光部
１である小径部と、フイラメントを収納する管端部３の
大径部との稜線とを直線上にすることにより、第３図に
示すように、発光部１のあるランプハウス部４と、被照
射物６のある処理室５との境界を仕切る紫外線透過石英
板９とからなる処理システムにおいて、石英板９と発光
部１との間を近づけることができるから発光部１と被照
射物６との間を短かくできるので、その照射照度は上昇
できる。また、サイズの大きい被照射物６を均一に照射
するため、第１図（ａ）に示す光源が複数本必要であ
り、光源と光源との間を一つの光源のもつギヤツプｄと
等しくするために、一つの光源の巾W1とこれを端部で固
定する保持部の巾W2と、前記ギヤツプｄとの間に、 W2−W1ｄ となるようにすることによつて複数本の光源を並べても
均一に照射することができる。
まず、小径なる発光部１と大径なる管端部２との稜線
を直線となるように接続することにより、ランプハウス
と処理室とを区切る仕切板９を光源に極めて近くに配置
することができる。これにより、仕切板の下にある被照
射物を光源に最大限に近づけることができるので、照射
面の照度を上昇できる。
を直線となるように接続することにより、ランプハウス
と処理室とを区切る仕切板９を光源に極めて近くに配置
することができる。これにより、仕切板の下にある被照
射物を光源に最大限に近づけることができるので、照射
面の照度を上昇できる。
また、光源を複数本並べても光源と光源との間のギヤ
ツプが、一つの光源の発光管間のもつギヤツプｄとほぼ
同一となるため、複数本の光源を並べて、大きなサイズ
の被照射物を照射しても均一な照度が得られるので、処
理能率が大巾に向上できる。
ツプが、一つの光源の発光管間のもつギヤツプｄとほぼ
同一となるため、複数本の光源を並べて、大きなサイズ
の被照射物を照射しても均一な照度が得られるので、処
理能率が大巾に向上できる。
以下、本発明の一実施例を第１図，第３図について説
明する。合成石英よりなる小径（外径8.5mm）部１の発
光部とフイラメント10を収納する大径（外径23mm）部３
の管端部を片側に寄せ、両管端部をたとえば、アルミニ
ウム金具内２に一部挿入しセメント等で接着固定すると
同時に、フイラメントに電力を供給する電力線を接続す
る。前記発光部は、予め管内の空気を排気し、水銀と始
動ガスであるアルゴンガスなどが封入され、気密封止さ
れている前記小径部１と大径部２との稜線が、第１図
（ｂ）に示すように直線状となるように接続してある。
第３図に示すように、前記直線状の稜線12が、合成石英
製1.2mm厚の仕切板９の側に来るように光源をランプハ
ウス４内に配置することにより、仕切板９と光源１との
間のギヤツプは約1mmと近づけた。前記仕切板９をはさ
んで反対側には、処理ガスを被照射物上を均一に流すに
必要なギヤツプ（例えば3mm）をおいて被照射物６が処
理台７の上に配置してあり、処理台７は被照射物を加熱
することもできると同時に回転軸８によつて回転させる
ことも可能である。以上により、光源１と被照射物６と
の距離は最大限に近づけることができる。
明する。合成石英よりなる小径（外径8.5mm）部１の発
光部とフイラメント10を収納する大径（外径23mm）部３
の管端部を片側に寄せ、両管端部をたとえば、アルミニ
ウム金具内２に一部挿入しセメント等で接着固定すると
同時に、フイラメントに電力を供給する電力線を接続す
る。前記発光部は、予め管内の空気を排気し、水銀と始
動ガスであるアルゴンガスなどが封入され、気密封止さ
れている前記小径部１と大径部２との稜線が、第１図
（ｂ）に示すように直線状となるように接続してある。
第３図に示すように、前記直線状の稜線12が、合成石英
製1.2mm厚の仕切板９の側に来るように光源をランプハ
ウス４内に配置することにより、仕切板９と光源１との
間のギヤツプは約1mmと近づけた。前記仕切板９をはさ
んで反対側には、処理ガスを被照射物上を均一に流すに
必要なギヤツプ（例えば3mm）をおいて被照射物６が処
理台７の上に配置してあり、処理台７は被照射物を加熱
することもできると同時に回転軸８によつて回転させる
ことも可能である。以上により、光源１と被照射物６と
の距離は最大限に近づけることができる。
さらに、第１図（ａ）に示すように、一本の光源の発
光部の巾をW1＝50、その発光部である小径部の各発光部
のギヤツプｄ＝5.3とし、該光源の管端部の大径部を固
定保持する保持具の巾W2＝55mmとして、３本のランプを
並べることにより直径150mmの被照射物上の照度を均一
にすることができた。
光部の巾をW1＝50、その発光部である小径部の各発光部
のギヤツプｄ＝5.3とし、該光源の管端部の大径部を固
定保持する保持具の巾W2＝55mmとして、３本のランプを
並べることにより直径150mmの被照射物上の照度を均一
にすることができた。
本発明によれば、光源と被照射物との距離を最大限に
近づけることができ、被照射物の照度を高くできる。ま
た、光源を複数本並べてもランプとランプの間隔が各ラ
ンプ内のもつているgapの間隔と同じになるので被照射
物面上の照度を均一にできる。以上のように、照度を高
め均一化できるので処理のスピードが大巾に向上できる
効果がある。
近づけることができ、被照射物の照度を高くできる。ま
た、光源を複数本並べてもランプとランプの間隔が各ラ
ンプ内のもつているgapの間隔と同じになるので被照射
物面上の照度を均一にできる。以上のように、照度を高
め均一化できるので処理のスピードが大巾に向上できる
効果がある。
第１図（ａ），（ｂ）は、本発明の一実施例を説明する
ための光源の正面図と側面図、第２図は、従来例を説明
するための光源の側面図、第３図は、本発明の光源の効
果を説明するための処理方法の一例を示す概念図であ
る。 １……小径なる発光部、３……大径なる管端部、２……
管端固定保持部、９……石英製仕切板、６……被照射
物。
ための光源の正面図と側面図、第２図は、従来例を説明
するための光源の側面図、第３図は、本発明の光源の効
果を説明するための処理方法の一例を示す概念図であ
る。 １……小径なる発光部、３……大径なる管端部、２……
管端固定保持部、９……石英製仕切板、６……被照射
物。
Claims (1)
- 【請求項１】片側に管端部を寄せるように折り曲げた小
径部と、大径部との稜線が一面において直線状であり、
複数本の小径発光部の全幅W1と、大径部の管端部を固定
する保持部の幅W2と、前記複数本の発光部の間隔ｄとの
間に、W2−W1ｄの関係式を満足することを特徴とする
紫外線光源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16973086A JPH0815067B2 (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 紫外線光源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16973086A JPH0815067B2 (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 紫外線光源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6326941A JPS6326941A (ja) | 1988-02-04 |
| JPH0815067B2 true JPH0815067B2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=15891786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16973086A Expired - Lifetime JPH0815067B2 (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 紫外線光源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815067B2 (ja) |
-
1986
- 1986-07-21 JP JP16973086A patent/JPH0815067B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6326941A (ja) | 1988-02-04 |
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