JPH08233861A - ピコプローブ - Google Patents
ピコプローブInfo
- Publication number
- JPH08233861A JPH08233861A JP3824895A JP3824895A JPH08233861A JP H08233861 A JPH08233861 A JP H08233861A JP 3824895 A JP3824895 A JP 3824895A JP 3824895 A JP3824895 A JP 3824895A JP H08233861 A JPH08233861 A JP H08233861A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- pico
- needle
- probe
- metal plates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 20
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 先端がシグナル針とその両側にテーパ状金属
板が並んでいるピコプローブにおいて、両側のテーパー
状金属板が被試験対象物に接触していることを確認でき
るようにする。 【構成】 ピコプローブは、同軸固定ケーブル５先端部
分の内導体を露出して、その先を針上に加工したシグナ
ル針１を、被検査対象基板４の信号パッドに、またグラ
ンドをとるため、シグナル針と同時に接続できるよう外
導体先端部分左右に取り付けられたテーパー状金属板
２，３を被検査対象基板４のグランドパターンに接続し
ている。
板が並んでいるピコプローブにおいて、両側のテーパー
状金属板が被試験対象物に接触していることを確認でき
るようにする。 【構成】 ピコプローブは、同軸固定ケーブル５先端部
分の内導体を露出して、その先を針上に加工したシグナ
ル針１を、被検査対象基板４の信号パッドに、またグラ
ンドをとるため、シグナル針と同時に接続できるよう外
導体先端部分左右に取り付けられたテーパー状金属板
２，３を被検査対象基板４のグランドパターンに接続し
ている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はピコプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のピコプローブは、たとえ
ばＧＧＢ社ピコプローブＭＯＤＥＬ４０Ａに示されるよ
うに、高周波帯の被検査対象をプロービングして高周波
信号特性検査するものである。
ばＧＧＢ社ピコプローブＭＯＤＥＬ４０Ａに示されるよ
うに、高周波帯の被検査対象をプロービングして高周波
信号特性検査するものである。
【０００３】図３は、従来の一例を示すピコプローブに
よる基板プローピングの正面図である。図３において、
ピコプローブは、同軸固定ケーブル５先端部分の内導体
を露出し先端を円錐上に下降したシグナル針１を、被検
査対象基板４の信号パッドに、またグランドをとるた
め、シグナル針と同時に接続できるよう外導体先端部分
左右に取り付けられたテーパー状金属板２，３を、被検
査対象基板４のグランドパターンに接続し、高周波信号
特性検査を行っている。
よる基板プローピングの正面図である。図３において、
ピコプローブは、同軸固定ケーブル５先端部分の内導体
を露出し先端を円錐上に下降したシグナル針１を、被検
査対象基板４の信号パッドに、またグランドをとるた
め、シグナル針と同時に接続できるよう外導体先端部分
左右に取り付けられたテーパー状金属板２，３を、被検
査対象基板４のグランドパターンに接続し、高周波信号
特性検査を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のピコプ
ローブは、両側のテーパー状金属板が被検査対象にに接
触していることを、目視できないので、不安定なグラン
ドに起因する測定確度が低下するという欠点があった。
ローブは、両側のテーパー状金属板が被検査対象にに接
触していることを、目視できないので、不安定なグラン
ドに起因する測定確度が低下するという欠点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のピコプローブ
は、同軸固定ケーブル先端部の中心導体を露出し先端を
円錐上に加工したシグナル針とグランドをとるために同
軸固定ケーブル先端部先の中心導体の両側に一定間隔を
おいて外導体に接続した二つのテーパー状金属板の先端
部下面が、被検査対象基板を、同時にプローピングする
ことにより、信号の入出力を行うピコプローピングにお
いて、同軸固定ケーブルの外導体に接続した接触モニタ
基板の実装面に２つのテーパー上金属板が被検査基板に
接触したことを確認するエッヂセンサ針を取り付けるこ
とを含んで構成される。
は、同軸固定ケーブル先端部の中心導体を露出し先端を
円錐上に加工したシグナル針とグランドをとるために同
軸固定ケーブル先端部先の中心導体の両側に一定間隔を
おいて外導体に接続した二つのテーパー状金属板の先端
部下面が、被検査対象基板を、同時にプローピングする
ことにより、信号の入出力を行うピコプローピングにお
いて、同軸固定ケーブルの外導体に接続した接触モニタ
基板の実装面に２つのテーパー上金属板が被検査基板に
接触したことを確認するエッヂセンサ針を取り付けるこ
とを含んで構成される。
【０００６】
【実施例】次に、本発明について、図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
【０００７】図１は本発明の一実施例を示す正面図であ
る。ピコプローブは、同軸固定ケーブル５先端部分の内
導体を露出し先端を円錐上に加工したシグナル針１を、
被検査対象基板４の信号パッドに、また、グランドをと
るため、シグナル針と同時に接続できるよう外導体先端
部分左右に取り付けられたテーパー状金属板２，３を被
検査対象基板４のグランドパターンに接続している。
る。ピコプローブは、同軸固定ケーブル５先端部分の内
導体を露出し先端を円錐上に加工したシグナル針１を、
被検査対象基板４の信号パッドに、また、グランドをと
るため、シグナル針と同時に接続できるよう外導体先端
部分左右に取り付けられたテーパー状金属板２，３を被
検査対象基板４のグランドパターンに接続している。
【０００８】また、ピコプローブが被検査対象基板４に
接触していない状態では、固定同軸ケーブル５の外導体
に固定されている接触モニタ基板６実装面から、左およ
び右テーパー状金属板２，３先端状面に突き出した左お
よび右エッヂセンサ針７，８は、左および右テーパー状
金属板２，３に、接触しないよう高さ調整がされてい
る。
接触していない状態では、固定同軸ケーブル５の外導体
に固定されている接触モニタ基板６実装面から、左およ
び右テーパー状金属板２，３先端状面に突き出した左お
よび右エッヂセンサ針７，８は、左および右テーパー状
金属板２，３に、接触しないよう高さ調整がされてい
る。
【０００９】図２（ａ），（ｂ）は本発明の一使用例を
示す側面図であるピコプローブが、被測定対象基板４に
確実に接触していれば、図２（ａ）に示すように、左お
よび右テーパー状金属板２，３先端が上部に押圧され、
左および右えっヂせんサ針７，８に接続される。従っ
て、接触モニタ基板６から、右および左エッヂセンサ針
７，８の信号をモニタする左および右エッヂセンサ針リ
ード線９，１０の、グランドに対する導通検査をするこ
とにより、左および右テーパー状金属板２，３の被検査
対象基板に対するグランド接続が確認できる。
示す側面図であるピコプローブが、被測定対象基板４に
確実に接触していれば、図２（ａ）に示すように、左お
よび右テーパー状金属板２，３先端が上部に押圧され、
左および右えっヂせんサ針７，８に接続される。従っ
て、接触モニタ基板６から、右および左エッヂセンサ針
７，８の信号をモニタする左および右エッヂセンサ針リ
ード線９，１０の、グランドに対する導通検査をするこ
とにより、左および右テーパー状金属板２，３の被検査
対象基板に対するグランド接続が確認できる。
【００１０】また、ピコプローブが、被検査対象基板４
に左下に傾いて接触すれば、図２（ｂ）に示すように、
左テーパ状金属板２のみ先端が上部に押圧され、左エッ
ヂセンサ針７のみ接続され、左エッヂセンサ針８は左テ
ーパ状金属板２に対し開放のままである。この場合、左
エッヂセンサ針リード線９がグランドに対し導通し、右
エッヂセンサ針リード線１０がグランドに対して開放し
ていることから、左および右テーパ状金属板２，３の被
検査対象基板に対するグランド接続が不十分であること
が確認できる。
に左下に傾いて接触すれば、図２（ｂ）に示すように、
左テーパ状金属板２のみ先端が上部に押圧され、左エッ
ヂセンサ針７のみ接続され、左エッヂセンサ針８は左テ
ーパ状金属板２に対し開放のままである。この場合、左
エッヂセンサ針リード線９がグランドに対し導通し、右
エッヂセンサ針リード線１０がグランドに対して開放し
ていることから、左および右テーパ状金属板２，３の被
検査対象基板に対するグランド接続が不十分であること
が確認できる。
【００１１】また、ピコプローブが、被検査対象基板４
に対し右下傾きの場合も、右エッヂセンサ針リード線１
０がグランドに対して導通し、左エッヂセンサ針リード
線９がグランドに対して開放していることから、被検査
対象基板に対するグランド接続が不十分であることが確
認できる。
に対し右下傾きの場合も、右エッヂセンサ針リード線１
０がグランドに対して導通し、左エッヂセンサ針リード
線９がグランドに対して開放していることから、被検査
対象基板に対するグランド接続が不十分であることが確
認できる。
【００１２】
【発明の効果】本発明のピコプローブは、両側のテーパ
ー状金属板が、被検査対象に接触する際の押圧を検出す
るエッヂセンサ針の対グランド対抗値を測定することに
より、テーパ状金属板が被試験対象物に接触しているこ
とを確認できるので。グランドに起因する測定角度の低
下を防げるという効果がある。
ー状金属板が、被検査対象に接触する際の押圧を検出す
るエッヂセンサ針の対グランド対抗値を測定することに
より、テーパ状金属板が被試験対象物に接触しているこ
とを確認できるので。グランドに起因する測定角度の低
下を防げるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す正面図である。
【図２】（ａ），（ｂ）は本発明の一使用例を示す側面
図である。
図である。
【図３】従来の一例を示す正面図である。
１ シグナル針 ２ 右テーパー状金属板 ３ 左テーパー状金属板 ４ 被検査対象基板 ５ 同軸固定ケーブル ６ 接触モニタ基板 ７ 右エッヂセンサ針 ８ 左エッヂセンサ針 ９ 右エッヂセンサ針リード線 １０ 左エッヂセンサ針リード線
Claims (1)
- 【請求項１】 同軸固定ケーブル先端部の中心導体を露
出した先端を円錐上に下降したシグナル針とグランドを
とるために同軸固定ケーブル先端部先の中心導体の両側
に一定間隔をおいて外導体に接合した二つのテーパー状
金属板の先端部下面が、被検査対象基板を同時にプロー
ピングすることにより信号の入出力を行うピコプローブ
において、同軸固定ケーブルの外導体に接続した接触モ
ニタ基板の実装面に２つのテーパー状金属板が被検査基
板に接触したことを確認するエッヂセンサ針を取り付け
ることを特徴とするピコプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3824895A JPH08233861A (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | ピコプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3824895A JPH08233861A (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | ピコプローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08233861A true JPH08233861A (ja) | 1996-09-13 |
Family
ID=12520013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3824895A Pending JPH08233861A (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | ピコプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08233861A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6242930B1 (en) | 1997-11-21 | 2001-06-05 | Nec Corporation | High-frequency probe capable of adjusting characteristic impedance in end part and having the end part detachable |
| US6281691B1 (en) | 1998-06-09 | 2001-08-28 | Nec Corporation | Tip portion structure of high-frequency probe and method for fabrication probe tip portion composed by coaxial cable |
-
1995
- 1995-02-27 JP JP3824895A patent/JPH08233861A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6242930B1 (en) | 1997-11-21 | 2001-06-05 | Nec Corporation | High-frequency probe capable of adjusting characteristic impedance in end part and having the end part detachable |
| US6281691B1 (en) | 1998-06-09 | 2001-08-28 | Nec Corporation | Tip portion structure of high-frequency probe and method for fabrication probe tip portion composed by coaxial cable |
| US6400168B2 (en) | 1998-06-09 | 2002-06-04 | Nec Corporation | Method for fabricating probe tip portion composed by coaxial cable |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970916 |