JPH0145029B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ウエフアなどの集積回路の特性試験
の際にプローブカードに装着して使用されるプロ
ーブニードルに関する。

一般に、プローブカードは大要次のように構成
されている。すなわち、第１図及び第２図に示す
ように、該プローブカード１は基板２と、プロー
ブリング３及びこれの下面に取付けられる多数の
プローブニードル４とを備えている。前記基板２
には集積回路の電気的特性の試験または試験補助
用の回路（以下、周辺回路という）が組込まれ、
その本体部分にプローブリング３を嵌着固定する
リング状の固定部５を有すると共に、基端部にテ
スタ６と接続するコネクタ７を有する。前記固定
部５には周辺回路と電気的に接続されたソケツト
部８が形成されている。一方、プローブリング３
の上面にはプローブニードル４と同数のピン部９
が形成され、該ピン部９はプローブニードル４と
電気的に接続されている。そして、固定部５にプ
ローブリング３を機械的に嵌着すると同時に、ピ
ン部９がソケツト部８に嵌着され、これにより基
板２上の周辺回路とプローブニードル４とが電気
的に接続される。しかるときは、基板２のコネク
タ７にテスタ６を接続し、プローブニードル４を
被試験用の集積回路１０の各端子に接触させ、こ
れによつて集積回路１０の特性を試験する。

ところで、プローブニードル４はその本体１１
の針先部１２が被試験用の集積回路１０の端子に
確実に接触することが要請される。しかるに、従
来のプローブニードル４は第７図イ，ロに示すよ
うに、針先部１２の端子と接触する底面１３が部
分球面状（第７図イ）、あるいは、円形平面状
（第７図ロ）に形成されていたため、そのいずれ
の場合においても、端子表面に対して点接触状に
接触することになり、したがつて、接触圧が弱い
ときは接触不良を招き、また接触圧が強いときは
接触部の端子表面にピンホール等の損傷を来たす
など、いずれにしても不安定な接触状態を完全に
回避することができず、十分な測定精度を得難い
という問題があつた。

本発明は、かかる問題を解決するためになさ
れ、プローブニードル本体の針先部の底面形状を
抜本的に改良することにより、該底面を端子表面
に安定的に線接触させて、測定精度の向上を図る
ことを目的とする。

以下、本発明の実施例を図面に基き詳細に説明
する。

第３図は本発明に係るプローブニードルの要部
を示し、これのプローブニードル本体１１はタン
グステン、パラジウム合金、ベリリウムカツパー
などの材質からなり、断面円形の細線の先端部分
を下方に鈍角状に屈曲させた形状を有する。この
本体１１はその基端部がプローブリング４の下面
に取付けられて、プローブカード１の基板２上の
周辺回路に電気的に接続されることは前述した周
知の構成の通りである（第１図及び第２図参照）。

第４図において、プローブニードル本体１１の
針先部１２は先細り状に形成され、その前後面１
４，１４は傾斜平面状の截断面に形成されてい
る。さて、この針先部１２の底面１３は部分円柱
周面からなる彎曲面に形成されており、その彎曲
面の直径はおおよそ0.5mmを越えない程度に設定
されている。

しかるときは、第５図及び第６図に示すよう
に、針先部１２は一定角度をもつて集積回路１０
の端子１５上に位置設定され、その底面１３が端
子１５の表面に接触するが、この接触の際、上記
両図からも明らかなように、彎曲底面１３は端子
１５表面に線接触し、該端子１５上に所定の接触
圧を安定して付与することになる。

なお、この針先部１２の底面１３は、針先部１
２と端子１５との接触角度のばらつきや、針先部
１２の端子１５表面上でのずれ動き等を考慮した
場合、真円柱の周面部分からなる彎曲面に形成す
るのが接触圧の安定保持上望ましいが、このほか
楕円柱や放物線断面を有する柱体の周面部分など
部分円柱周面状の範疇に含まれる彎曲面に形成す
ることも可能である。また、プローブニードル本
体１１の断面形状は円形のほか角形等であつても
よい。

以上説明したように、本発明によればプローブ
ニードル本体の針先部の底面形状を部分円柱周面
状の彎曲面としたことにより、針先部の彎曲底面
がウエフアなどの被試験物の集積回路の微小な端
子上に線接触状に接触するものとした。したがつ
て、プローブニードルと端子との接触圧が該端子
表面に均等に付与されるため、接触圧の強弱にか
かわらず、安定化が図れる。このため、端子表面
に酸化膜等が自然形成されたものについては、強
い接触圧を付与したうえで針先部底面を端子表面
上でスライドさせることにより、該酸化膜を無理
なく除去することができるので、そのクリーニン
グ効果によりプローブニードルと端子との接触抵
抗が適正値で安定して、測定精度の向上に寄与で
きると共に、端子これ自体にピンホール等の損傷
を及ぼす虞をなくすことができ、これにより被試
験用の特性試験の際における不良品発生率を可及
的に低減し得るため、被試験物の歩留りの向上を
図ることができるなど、ウエフア等の被試験物の
集積回路の電気特性の測定に応用して効果が大で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は周知のプローブカードを示
し、第１図は平面図、第２図は第１図における
−線に沿う断面図である。第３図乃至第６図は
本発明の実施例をそれぞれ示し、第３図は要部側
面図、第４図は針先部の拡大斜視図、第５図は使
用状態を示す要部拡大正面図、第６図は第５図に
おける矢視図である。第７図イ，ロはそれぞれ
異なる従来例を示す針先部の斜視図である。 １……プローブカード、４……プローブニード
ル、１０……集積回路、１１……プローブニード
ル本体、１２……プローブニードル本体の針先
部、１３……針先部の底面、１５……集積回路の
端子。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 集積回路の特性試験に使用されるプローブカ
   ードに装備され、該使用時において、プローブニ
   ードル本体の針先部の底面が前記集積回路の端子
   に接触するようにしたプローブニードルにおい
   て、前記プローブニードル本体の針先部の底面が
   部分円柱周面状の彎曲面に形成されていることを
   特徴とするプローブニードル。