JPH08283971A - 水系洗浄装置 - Google Patents
水系洗浄装置Info
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- JPH08283971A JPH08283971A JP7109099A JP10909995A JPH08283971A JP H08283971 A JPH08283971 A JP H08283971A JP 7109099 A JP7109099 A JP 7109099A JP 10909995 A JP10909995 A JP 10909995A JP H08283971 A JPH08283971 A JP H08283971A
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- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 従来の水系洗浄装置での洗浄装置内の洗浄
液、すすぎ槽内のすすぎ液がすぐに汚れて、液寿命が短
くなり、またその汚れがワーク引上げ時に再付着し、乾
燥後も汚れとして残るという問題を解決すること。 【構成】 ワークを洗浄液内で洗浄してワークに付着し
た油分を浮上分離させる洗浄槽１の他に、洗浄槽１から
オーバーフローする洗浄液及び油分を受入れ、仕切りに
よって洗浄液と油分を分離してそれぞれオーバーフロー
させる油分オーバーフロー槽８と、油分オーバーフロー
槽８からオーバーフローした洗浄液を受入れる水位槽１
０と、水位槽１０内の洗浄液をフィルター１５で浄化し
て前記洗浄槽１へ戻す循環装置とを設けたため、洗浄液
から油分のみが分離され、洗浄液はフィルターで浄化さ
れ再循環使用することが出来るとともに油分の付着をな
くす。
液、すすぎ槽内のすすぎ液がすぐに汚れて、液寿命が短
くなり、またその汚れがワーク引上げ時に再付着し、乾
燥後も汚れとして残るという問題を解決すること。 【構成】 ワークを洗浄液内で洗浄してワークに付着し
た油分を浮上分離させる洗浄槽１の他に、洗浄槽１から
オーバーフローする洗浄液及び油分を受入れ、仕切りに
よって洗浄液と油分を分離してそれぞれオーバーフロー
させる油分オーバーフロー槽８と、油分オーバーフロー
槽８からオーバーフローした洗浄液を受入れる水位槽１
０と、水位槽１０内の洗浄液をフィルター１５で浄化し
て前記洗浄槽１へ戻す循環装置とを設けたため、洗浄液
から油分のみが分離され、洗浄液はフィルターで浄化さ
れ再循環使用することが出来るとともに油分の付着をな
くす。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は水系洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】水系洗浄装置では洗浄槽、すすぎ槽、乾
燥装置へとワークを順次移して洗浄、すすぎ、乾燥の各
工程を行なうが、従来では１つの洗浄槽、１つのすすぎ
槽でそれぞれ洗浄、すすぎを行なっていた。
燥装置へとワークを順次移して洗浄、すすぎ、乾燥の各
工程を行なうが、従来では１つの洗浄槽、１つのすすぎ
槽でそれぞれ洗浄、すすぎを行なっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
水系洗浄装置ではこのように１つの洗浄槽、１つのすす
ぎ槽で洗浄工程、すすぎ工程を行なっているため、洗浄
装置内の洗浄液、すすぎ槽内のすすぎ液がすぐに汚れ
て、液寿命が短くなり、またその汚れがワーク引上げ時
に再付着し、乾燥後も汚れとして残るという問題があっ
た。本発明はこのような問題を解決した水系洗浄装置を
提供することを目的としている。
水系洗浄装置ではこのように１つの洗浄槽、１つのすす
ぎ槽で洗浄工程、すすぎ工程を行なっているため、洗浄
装置内の洗浄液、すすぎ槽内のすすぎ液がすぐに汚れ
て、液寿命が短くなり、またその汚れがワーク引上げ時
に再付着し、乾燥後も汚れとして残るという問題があっ
た。本発明はこのような問題を解決した水系洗浄装置を
提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記問題を解決するため
に、本発明の水系洗浄装置では、ワークを洗浄液内で洗
浄してワークに付着した油分を浮上分離させる洗浄槽の
他に、前記洗浄槽からオーバーフローする洗浄液及び油
分を受入れ、仕切りによって洗浄液と油分混在洗浄液を
分離してそれぞれオーバーフローさせる油分オーバーフ
ロー槽と、前記油分オーバーフロー槽からさらに仕切り
によってオーバーフローした洗浄液を受入れる水位槽
と、前記水位槽内の洗浄液をフィルターで浄化して前記
洗浄槽へ戻す循環装置とを設けたことを特徴としてい
る。
に、本発明の水系洗浄装置では、ワークを洗浄液内で洗
浄してワークに付着した油分を浮上分離させる洗浄槽の
他に、前記洗浄槽からオーバーフローする洗浄液及び油
分を受入れ、仕切りによって洗浄液と油分混在洗浄液を
分離してそれぞれオーバーフローさせる油分オーバーフ
ロー槽と、前記油分オーバーフロー槽からさらに仕切り
によってオーバーフローした洗浄液を受入れる水位槽
と、前記水位槽内の洗浄液をフィルターで浄化して前記
洗浄槽へ戻す循環装置とを設けたことを特徴としてい
る。
【０００５】また、前記油分オーバーフロー槽にオーバ
ーフローした油分混在洗浄液を受入れて油水分離フィル
ターで分離浄化して前記洗浄槽へ戻す循環用油水分離装
置を設けたことを特徴としている。
ーフローした油分混在洗浄液を受入れて油水分離フィル
ターで分離浄化して前記洗浄槽へ戻す循環用油水分離装
置を設けたことを特徴としている。
【０００６】また、複数段の水位の異なるすすぎ槽を設
けて上位のすすぎ槽内のすすぎ液のオーバーフローを順
次下位のすすぎ槽で受入れ、最下位の下位すすぎ槽内の
すすぎ液を前記上位すすぎ槽へ再生装置で浄化しつつ循
環させ、ワークを最下位の下位すすぎ槽から上位すすぎ
槽へと移送する移送装置とを備えたことを特徴としてい
る。
けて上位のすすぎ槽内のすすぎ液のオーバーフローを順
次下位のすすぎ槽で受入れ、最下位の下位すすぎ槽内の
すすぎ液を前記上位すすぎ槽へ再生装置で浄化しつつ循
環させ、ワークを最下位の下位すすぎ槽から上位すすぎ
槽へと移送する移送装置とを備えたことを特徴としてい
る。
【０００７】また、すすぎ液を噴射装置によって霧状に
吹き付けて、洗浄槽から引き上げたワークに付着した洗
浄液を洗い流して洗浄槽に戻して、洗浄槽内の洗浄液の
減少分を補給するようにしたことを特徴としている。
吹き付けて、洗浄槽から引き上げたワークに付着した洗
浄液を洗い流して洗浄槽に戻して、洗浄槽内の洗浄液の
減少分を補給するようにしたことを特徴としている。
【０００８】
【作用】このように本発明の水系洗浄装置では、ワーク
を洗浄液内で洗浄してワークに付着した油分を浮上分離
させる洗浄槽の他に、前記洗浄槽からオーバーフローす
る洗浄液及び油分を受入れ、仕切りによって洗浄液と油
分を分離してそれぞれオーバーフローさせる油分オーバ
ーフロー槽と、前記油分オーバーフロー槽からオーバー
フローした洗浄液を受入れる水位槽と、前記水位槽内の
洗浄液をフィルターで浄化して前記洗浄槽へ戻す循環装
置とを設けたため、洗浄槽から洗浄液とワークを洗浄し
た際に浮上分離した油分とが油分オーバーフロー槽で受
入れられ、この油分オーバーフロー槽から油分がオーバ
ーフローして除去され、さらにオーバーフロー槽から洗
浄液が水位槽に受入れられ、この水位槽内の洗浄液がフ
ィルターで浄化されつつ洗浄槽へ戻されて、常に上位か
ら下位へとオーバーフローして洗浄液から油分が除去さ
れつつ循環するので、洗浄液の液寿命が長くなり、ワー
クの洗浄性が向上する。
を洗浄液内で洗浄してワークに付着した油分を浮上分離
させる洗浄槽の他に、前記洗浄槽からオーバーフローす
る洗浄液及び油分を受入れ、仕切りによって洗浄液と油
分を分離してそれぞれオーバーフローさせる油分オーバ
ーフロー槽と、前記油分オーバーフロー槽からオーバー
フローした洗浄液を受入れる水位槽と、前記水位槽内の
洗浄液をフィルターで浄化して前記洗浄槽へ戻す循環装
置とを設けたため、洗浄槽から洗浄液とワークを洗浄し
た際に浮上分離した油分とが油分オーバーフロー槽で受
入れられ、この油分オーバーフロー槽から油分がオーバ
ーフローして除去され、さらにオーバーフロー槽から洗
浄液が水位槽に受入れられ、この水位槽内の洗浄液がフ
ィルターで浄化されつつ洗浄槽へ戻されて、常に上位か
ら下位へとオーバーフローして洗浄液から油分が除去さ
れつつ循環するので、洗浄液の液寿命が長くなり、ワー
クの洗浄性が向上する。
【０００９】また、油分オーバーフロー槽にオーバーフ
ローされた油分混在洗浄液を受入れて油水分離装置の油
水分離フィルターで油分を分離除去して分離浄化した洗
浄液が洗浄槽に戻され循環するため、洗浄液の液寿命が
一層長くなり、ワークの洗浄性が一層向上する。
ローされた油分混在洗浄液を受入れて油水分離装置の油
水分離フィルターで油分を分離除去して分離浄化した洗
浄液が洗浄槽に戻され循環するため、洗浄液の液寿命が
一層長くなり、ワークの洗浄性が一層向上する。
【００１０】また、複数段の水位の異なるすすぎ槽を設
けて上位のすすぎ槽内のすすぎ液のオーバーフローを順
次下位のすすぎ槽で受入れ、最下位の下位すすぎ槽内の
すすぎ液を前記上位すすぎ槽へ再生装置で浄化しつつ循
環させ、ワークを最下位の下位すすぎ槽から上位すすぎ
槽へと移送する移送装置とを備えたため、すすぎ液が上
記のすすぎ液から下位のすすぎ槽へと常に再生装置で浄
化しつつ循環するので、すすぎ液の液寿命が長くなり、
ワークの洗浄性が向上する。
けて上位のすすぎ槽内のすすぎ液のオーバーフローを順
次下位のすすぎ槽で受入れ、最下位の下位すすぎ槽内の
すすぎ液を前記上位すすぎ槽へ再生装置で浄化しつつ循
環させ、ワークを最下位の下位すすぎ槽から上位すすぎ
槽へと移送する移送装置とを備えたため、すすぎ液が上
記のすすぎ液から下位のすすぎ槽へと常に再生装置で浄
化しつつ循環するので、すすぎ液の液寿命が長くなり、
ワークの洗浄性が向上する。
【００１１】また、すすぎ液を噴射装置によって霧状に
吹き付けて、洗浄槽から引き上げたワークに付着した洗
浄液を洗い流して洗浄槽に戻して、洗浄槽内の洗浄液の
減少分を補給するようにしているため、洗浄液の減少分
が自動的に補給される。
吹き付けて、洗浄槽から引き上げたワークに付着した洗
浄液を洗い流して洗浄槽に戻して、洗浄槽内の洗浄液の
減少分を補給するようにしているため、洗浄液の減少分
が自動的に補給される。
【００１２】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。図１は本発明の水系洗浄装置の一実施例を示して
いる。洗浄槽１は内部に揺動を含む外圧を発生させる装
置例えば超音波発振装置２が設けられ、またヒーター３
が設けられていて、水に洗剤が溶解された洗浄液内でワ
ークＷを超音波発振装置２による外圧で洗浄するための
ものである。
する。図１は本発明の水系洗浄装置の一実施例を示して
いる。洗浄槽１は内部に揺動を含む外圧を発生させる装
置例えば超音波発振装置２が設けられ、またヒーター３
が設けられていて、水に洗剤が溶解された洗浄液内でワ
ークＷを超音波発振装置２による外圧で洗浄するための
ものである。
【００１３】洗浄槽には導電率計４が設けられていて、
この導電率計４で検知される導電率値に基づいて洗剤供
給装置５及び水供給装置（図示せず）からの洗剤及び水
の注入量が制御されて洗浄液の濃度が設定した濃度に維
持される。また、洗浄槽１には温度計７が設けられてい
て検知された温度に基づいてヒーター３がＯＮ・ＯＦＦ
制御されて、洗浄槽１内の洗浄液の温度が設定した一定
温度に維持される。
この導電率計４で検知される導電率値に基づいて洗剤供
給装置５及び水供給装置（図示せず）からの洗剤及び水
の注入量が制御されて洗浄液の濃度が設定した濃度に維
持される。また、洗浄槽１には温度計７が設けられてい
て検知された温度に基づいてヒーター３がＯＮ・ＯＦＦ
制御されて、洗浄槽１内の洗浄液の温度が設定した一定
温度に維持される。
【００１４】洗剤供給装置５からは弱アルカリ性の分離
型洗剤が供給され、この洗浄液内でワーク（特に金属加
工品）Ｗに付着した油分が超音波発振装置２による外圧
で剥がれて分離し液面に浮上する。
型洗剤が供給され、この洗浄液内でワーク（特に金属加
工品）Ｗに付着した油分が超音波発振装置２による外圧
で剥がれて分離し液面に浮上する。
【００１５】洗浄槽１に隣接して洗浄槽１内の洗浄液及
び分離した油分を受入れる油分オーバーフロー槽８が設
けられている。この油分オーバーフロー槽８には液面の
上部にある油分とその下の洗浄液とを分離するための仕
切り９ａ〜９ｃが設けられている。即ち、仕切り９ａが
油分オーバーフロー槽８の中央の上方から所定深さまで
設けられ、仕切り９ｂが水位槽１０との境界壁１１との
間に通路を構成するように温度計７の上方から温度計７
の底部近傍まで達するように設けられ、仕切り９ａ、９
ｂの間で、仕切り９ｂが温度計７の底部から所定高さま
で設けられている。このため、洗浄槽１と油分オーバー
フロー槽８との境界壁１２の上端を越えてオーバーフロ
ーした洗浄液と油分は仕切り９ａと境界壁１２との間に
流入し、軽い油分が浮上して仕切り９ａと境界壁１２の
間に溜まり、その側方（図１の紙面に垂直な方向）から
油分混在洗浄液がオーバーフローし、洗浄液は仕切り９
ａの下端から仕切り９ｂの下端を通って仕切り９ｂと境
界壁１１との間を上昇して境界壁１１の上端を越えてオ
ーバーフローして水位槽１０へ流入する。
び分離した油分を受入れる油分オーバーフロー槽８が設
けられている。この油分オーバーフロー槽８には液面の
上部にある油分とその下の洗浄液とを分離するための仕
切り９ａ〜９ｃが設けられている。即ち、仕切り９ａが
油分オーバーフロー槽８の中央の上方から所定深さまで
設けられ、仕切り９ｂが水位槽１０との境界壁１１との
間に通路を構成するように温度計７の上方から温度計７
の底部近傍まで達するように設けられ、仕切り９ａ、９
ｂの間で、仕切り９ｂが温度計７の底部から所定高さま
で設けられている。このため、洗浄槽１と油分オーバー
フロー槽８との境界壁１２の上端を越えてオーバーフロ
ーした洗浄液と油分は仕切り９ａと境界壁１２との間に
流入し、軽い油分が浮上して仕切り９ａと境界壁１２の
間に溜まり、その側方（図１の紙面に垂直な方向）から
油分混在洗浄液がオーバーフローし、洗浄液は仕切り９
ａの下端から仕切り９ｂの下端を通って仕切り９ｂと境
界壁１１との間を上昇して境界壁１１の上端を越えてオ
ーバーフローして水位槽１０へ流入する。
【００１６】油分オーバーフロー槽８にオーバーフロー
して循環用油水分離装置１３に受入れられた油分混在液
は、油水分離フィルタで油水分離されて油分が除去さ
れ、分離浄化された洗浄液が洗浄槽１へ戻され循環され
る。水位槽１０内の洗浄液は、ポンプ１４による循環装
置で洗浄槽１へ循環される。
して循環用油水分離装置１３に受入れられた油分混在液
は、油水分離フィルタで油水分離されて油分が除去さ
れ、分離浄化された洗浄液が洗浄槽１へ戻され循環され
る。水位槽１０内の洗浄液は、ポンプ１４による循環装
置で洗浄槽１へ循環される。
【００１７】従って、洗浄液は洗浄槽１→油分オーバー
フロー槽８→水位槽１０→洗浄槽１の順及び洗浄槽１→
油分オーバーフロー槽８→循環用油水分離装置１３→洗
浄槽１の順で常に循環されていて、洗浄槽１でワークを
洗浄するときに発生した油分は常に除去されるため、洗
浄液の寿命を長く延ばすことができ、ワークの洗浄性を
向上させることができる。
フロー槽８→水位槽１０→洗浄槽１の順及び洗浄槽１→
油分オーバーフロー槽８→循環用油水分離装置１３→洗
浄槽１の順で常に循環されていて、洗浄槽１でワークを
洗浄するときに発生した油分は常に除去されるため、洗
浄液の寿命を長く延ばすことができ、ワークの洗浄性を
向上させることができる。
【００１８】また、ポンプ１４による循環装置の経路に
フィルター１５を設けて洗浄液の汚れを除去することに
よって、洗浄液の寿命を一層長く延ばすことができる。
なお、このように洗浄液の循環において蒸発などによっ
て水分が失われるので、水供給装置（図示せず）からそ
の分を補給する。
フィルター１５を設けて洗浄液の汚れを除去することに
よって、洗浄液の寿命を一層長く延ばすことができる。
なお、このように洗浄液の循環において蒸発などによっ
て水分が失われるので、水供給装置（図示せず）からそ
の分を補給する。
【００１９】なお、この水分補給は、ワークＷを洗浄後
に後述する移送装置５０でワークＷを引き上げて洗浄槽
１の洗浄液の液面の上方で停止させ、噴射装置１７でワ
ークＷに補給分に見合うだけの水を霧状に吹きつけるこ
とによって行なってもよい。なお、この噴射装置１７に
用いる水は、後述するすすぎ槽２０から供給してもよ
い。このようにワークＷに霧状に吹きつけた水はワーク
Ｗに付着した洗浄液を洗い流すと共に、洗浄槽１に落下
する。
に後述する移送装置５０でワークＷを引き上げて洗浄槽
１の洗浄液の液面の上方で停止させ、噴射装置１７でワ
ークＷに補給分に見合うだけの水を霧状に吹きつけるこ
とによって行なってもよい。なお、この噴射装置１７に
用いる水は、後述するすすぎ槽２０から供給してもよ
い。このようにワークＷに霧状に吹きつけた水はワーク
Ｗに付着した洗浄液を洗い流すと共に、洗浄槽１に落下
する。
【００２０】洗浄槽１の側方には順番に第一、第二、第
三すすぎ槽２０、２１、２２が互いに隣接して設けら
れ、第一、第二すすぎ槽２０、２１間の境界壁２３は、
第二、第三すすぎ槽２１、２２間の境界壁２４より低く
なっている。このため、上位の第三すすぎ槽２２内のす
すぎ液はオーバーフローすると、第二すすぎ槽２１に受
入れられ、第二すすぎ槽２１内のすすぎ液はオーバーフ
ローすると最下位の第一すすぎ槽２０に受入れられる。
最下位の第一すすぎ槽２０内のすすぎ液はポンプ２５に
よる循環装置で最上位の第三すすぎ槽２２に循環され
る。このため、すすぎ液は第三すすぎ槽２２→第二すす
ぎ槽２１→第一すすぎ槽２０→第三すすぎ槽２２のよう
に常に循環されており、そして、ポンプ２５による循環
装置の経路にリンス再生装置２６が設けられていて、す
すぎ液を浄化することによって、一層すすぎ液の寿命を
長く延ばすことができ、ワークの洗浄性を向上させるこ
とができる。
三すすぎ槽２０、２１、２２が互いに隣接して設けら
れ、第一、第二すすぎ槽２０、２１間の境界壁２３は、
第二、第三すすぎ槽２１、２２間の境界壁２４より低く
なっている。このため、上位の第三すすぎ槽２２内のす
すぎ液はオーバーフローすると、第二すすぎ槽２１に受
入れられ、第二すすぎ槽２１内のすすぎ液はオーバーフ
ローすると最下位の第一すすぎ槽２０に受入れられる。
最下位の第一すすぎ槽２０内のすすぎ液はポンプ２５に
よる循環装置で最上位の第三すすぎ槽２２に循環され
る。このため、すすぎ液は第三すすぎ槽２２→第二すす
ぎ槽２１→第一すすぎ槽２０→第三すすぎ槽２２のよう
に常に循環されており、そして、ポンプ２５による循環
装置の経路にリンス再生装置２６が設けられていて、す
すぎ液を浄化することによって、一層すすぎ液の寿命を
長く延ばすことができ、ワークの洗浄性を向上させるこ
とができる。
【００２１】第一すすぎ槽２０に、あるいは第二、第三
すすぎ槽２１、２２にも揺動を含む外圧を発生させる装
置、例えば超音波発振装置２７が設けることができる。
また、第一すすぎ槽２０にはヒーター２８及び温度計２
９が設けられていて、温度計２９で検知された温度に基
づいてヒーター２８がＯＮ・ＯＦＦ制御されて、第一す
すぎ槽２０内のすすぎ液の温度が設定した一定温度に維
持される。
すすぎ槽２１、２２にも揺動を含む外圧を発生させる装
置、例えば超音波発振装置２７が設けることができる。
また、第一すすぎ槽２０にはヒーター２８及び温度計２
９が設けられていて、温度計２９で検知された温度に基
づいてヒーター２８がＯＮ・ＯＦＦ制御されて、第一す
すぎ槽２０内のすすぎ液の温度が設定した一定温度に維
持される。
【００２２】また、第三すすぎ槽２２はヒーター３０及
び温度計３１が設けられていて、温度計３１で検知され
た温度に基づいてヒーター３０がＯＮ・ＯＦＦ制御され
て、第三すすぎ槽２２内のすすぎ液の温度が設定した一
定温度に維持される。
び温度計３１が設けられていて、温度計３１で検知され
た温度に基づいてヒーター３０がＯＮ・ＯＦＦ制御され
て、第三すすぎ槽２２内のすすぎ液の温度が設定した一
定温度に維持される。
【００２３】ワークは移送装置５０によって第一すすぎ
槽２０、第二すすぎ槽２１、第三すすぎ槽２２に順次移
送されて浸漬される。なお、すすぎ液の循環において蒸
発などによって、あるいは噴射装置１７に供給すること
によって水分が失われるので、リンス再生装置２６にそ
の分だけ水供給装置３２によって市水を自動的に補給す
る。なお、すすぎ槽は複数段であれば２段でも４段以上
でもよく、超音波発振装置を複数のすすぎ槽に設けても
よい。
槽２０、第二すすぎ槽２１、第三すすぎ槽２２に順次移
送されて浸漬される。なお、すすぎ液の循環において蒸
発などによって、あるいは噴射装置１７に供給すること
によって水分が失われるので、リンス再生装置２６にそ
の分だけ水供給装置３２によって市水を自動的に補給す
る。なお、すすぎ槽は複数段であれば２段でも４段以上
でもよく、超音波発振装置を複数のすすぎ槽に設けても
よい。
【００２４】第三すすぎ槽２２の側方には、上部に開閉
蓋４０を備えた真空乾燥槽４１が設けられていて、減圧
ポンプ４２によって真空乾燥槽４１内を減圧することが
できる。また、真空乾燥槽４１の内部には加熱ヒーター
４３が設けられ、この熱をワークに与えるために、真空
にならない状態での真空乾燥槽４１内の空気を攪拌する
ためのファン４４が設けられている。４５はファンモー
ターである。
蓋４０を備えた真空乾燥槽４１が設けられていて、減圧
ポンプ４２によって真空乾燥槽４１内を減圧することが
できる。また、真空乾燥槽４１の内部には加熱ヒーター
４３が設けられ、この熱をワークに与えるために、真空
にならない状態での真空乾燥槽４１内の空気を攪拌する
ためのファン４４が設けられている。４５はファンモー
ターである。
【００２５】これらの洗浄槽１、第一すすぎ槽２０、第
二すすぎ槽２１、第三すすぎ槽２２、真空乾燥槽４１の
上部には、ワークＷを懸吊して洗浄槽１の上部へ移送
し、次に洗浄槽１内の洗浄液に浸漬し、予め定めた時間
後上昇させて第一すすぎ槽２０の上部へ移送し、このよ
うにして順次第一すすぎ槽２０、第二すすぎ槽２１、第
三すすぎ槽２２内のすすぎ液にそれぞれ予め定めた時間
浸漬し、次に真空乾燥槽４１内に予め定めた時間入れた
後、運び出す移送装置５０が設けられている。
二すすぎ槽２１、第三すすぎ槽２２、真空乾燥槽４１の
上部には、ワークＷを懸吊して洗浄槽１の上部へ移送
し、次に洗浄槽１内の洗浄液に浸漬し、予め定めた時間
後上昇させて第一すすぎ槽２０の上部へ移送し、このよ
うにして順次第一すすぎ槽２０、第二すすぎ槽２１、第
三すすぎ槽２２内のすすぎ液にそれぞれ予め定めた時間
浸漬し、次に真空乾燥槽４１内に予め定めた時間入れた
後、運び出す移送装置５０が設けられている。
【００２６】真空乾燥槽４１ではワークＷを入れた後、
開閉蓋４０を閉じ、加熱ヒーター４３の余熱をファン４
４で真空乾燥槽４１内の空気を攪拌してワークＷに熱を
与えた後、減圧ポンプ４２で減圧して乾燥させ、次に常
気圧に戻して開閉蓋４０を開いてワークを移送装置５０
で運び出す。このようにワークに熱を与えるのは、減圧
すると沸点が上がりワークに付着した水分が気化してこ
の気化熱で熱が奪われてワークが凍結するので、これを
防ぐためである。この真空乾燥装置によって低温で短時
間で乾燥させることができる。
開閉蓋４０を閉じ、加熱ヒーター４３の余熱をファン４
４で真空乾燥槽４１内の空気を攪拌してワークＷに熱を
与えた後、減圧ポンプ４２で減圧して乾燥させ、次に常
気圧に戻して開閉蓋４０を開いてワークを移送装置５０
で運び出す。このようにワークに熱を与えるのは、減圧
すると沸点が上がりワークに付着した水分が気化してこ
の気化熱で熱が奪われてワークが凍結するので、これを
防ぐためである。この真空乾燥装置によって低温で短時
間で乾燥させることができる。
【００２７】例えば洗浄するワークＷが金属製精密加工
部品の場合、洗浄槽１内の弱アルカリ性の分離型洗剤を
溶解させた洗浄液の温度を５０°Ｃにし、５分間ワーク
を浸漬して超音波洗浄を行ない、次に第一すすぎ槽２０
内のすすぎ液の温度を３５°Ｃにして５分間ワークを浸
漬して超音波すすぎを行ない、次にワークを第二すすぎ
槽２１内のすすぎ液に２分間浸漬してすすぎ、次に第三
すすぎ槽２２のすすぎ液の温度を３５°Ｃにして２分間
ワークを浸漬してすすぎ、次に開閉蓋４０を開いて真空
乾燥槽４１内にワークをいれて開閉蓋４０を閉じ、加熱
ヒーター４３で熱して真空乾燥槽４１内の温度を８５°
Ｃにし、ファン４４を２分間作動させて真空乾燥槽４１
内の空気を攪拌してワークに熱を与え、次に減圧ポンプ
４２を５分間作動させて真空にしてワークを乾燥させ、
次に常気圧に戻して開閉蓋４０を開いてワークを運び出
す。
部品の場合、洗浄槽１内の弱アルカリ性の分離型洗剤を
溶解させた洗浄液の温度を５０°Ｃにし、５分間ワーク
を浸漬して超音波洗浄を行ない、次に第一すすぎ槽２０
内のすすぎ液の温度を３５°Ｃにして５分間ワークを浸
漬して超音波すすぎを行ない、次にワークを第二すすぎ
槽２１内のすすぎ液に２分間浸漬してすすぎ、次に第三
すすぎ槽２２のすすぎ液の温度を３５°Ｃにして２分間
ワークを浸漬してすすぎ、次に開閉蓋４０を開いて真空
乾燥槽４１内にワークをいれて開閉蓋４０を閉じ、加熱
ヒーター４３で熱して真空乾燥槽４１内の温度を８５°
Ｃにし、ファン４４を２分間作動させて真空乾燥槽４１
内の空気を攪拌してワークに熱を与え、次に減圧ポンプ
４２を５分間作動させて真空にしてワークを乾燥させ、
次に常気圧に戻して開閉蓋４０を開いてワークを運び出
す。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の水系洗浄
装置では、ワークを洗浄液内で洗浄してワークに付着し
た油分を浮上分離させる洗浄槽の他に、前記洗浄槽から
オーバーフローする洗浄液及び油分を受入れ、仕切りに
よって洗浄液と油分を分離してそれぞれオーバーフロー
させる油分オーバーフロー槽と、前記油分オーバーフロ
ー槽からオーバーフローした洗浄液を受入れる水位槽
と、前記水位槽内の洗浄液をフィルターで浄化して前記
洗浄槽へ戻す循環装置とを設けたため、洗浄槽から洗浄
液とワークを洗浄した際に分離した油分とがオーバーフ
ロー槽で受入れられ、このオーバーフロー槽から油分が
オーバーフローして除去され、さらにオーバーフロー槽
から洗浄液が水位槽に受入れられ、この水位槽内の洗浄
液がフィルターで浄化されつつ洗浄槽へ戻されて、常に
上位から下位へとオーバーフローして洗浄液から油分が
除去されつつ循環するので、洗浄液の液寿命が長くな
り、ワークの洗浄性が向上する。
装置では、ワークを洗浄液内で洗浄してワークに付着し
た油分を浮上分離させる洗浄槽の他に、前記洗浄槽から
オーバーフローする洗浄液及び油分を受入れ、仕切りに
よって洗浄液と油分を分離してそれぞれオーバーフロー
させる油分オーバーフロー槽と、前記油分オーバーフロ
ー槽からオーバーフローした洗浄液を受入れる水位槽
と、前記水位槽内の洗浄液をフィルターで浄化して前記
洗浄槽へ戻す循環装置とを設けたため、洗浄槽から洗浄
液とワークを洗浄した際に分離した油分とがオーバーフ
ロー槽で受入れられ、このオーバーフロー槽から油分が
オーバーフローして除去され、さらにオーバーフロー槽
から洗浄液が水位槽に受入れられ、この水位槽内の洗浄
液がフィルターで浄化されつつ洗浄槽へ戻されて、常に
上位から下位へとオーバーフローして洗浄液から油分が
除去されつつ循環するので、洗浄液の液寿命が長くな
り、ワークの洗浄性が向上する。
【００２９】また、油水分離装置によって油分オーバー
フロー槽にオーバーフローされた油分混在洗浄液を受入
れて油水分離装置の油水分離フィルターで油分が除去さ
れ、分離浄化された洗浄液を洗浄槽に戻して循環するの
で、一層洗浄液の寿命が長くなり、ワークの洗浄性が一
層向上する。
フロー槽にオーバーフローされた油分混在洗浄液を受入
れて油水分離装置の油水分離フィルターで油分が除去さ
れ、分離浄化された洗浄液を洗浄槽に戻して循環するの
で、一層洗浄液の寿命が長くなり、ワークの洗浄性が一
層向上する。
【００３０】また、複数段の水位の異なるすすぎ槽を設
けて上位のすすぎ槽内のすすぎ液のオーバーフローを順
次下位のすすぎ槽で受入れ、最下位の下位すすぎ槽内の
すすぎ液を前記上位すすぎ槽へ再生装置で浄化しつつ循
環させ、ワークを最下位の下位すすぎ槽から上位すすぎ
槽へと移送する移送装置とを備えたため、すすぎ液が上
記のすすぎ液から下位のすすぎ槽へと常に再生装置で浄
化しつつ循環するので、すすぎ液の液寿命が長くなり、
ワークの洗浄性が向上する。
けて上位のすすぎ槽内のすすぎ液のオーバーフローを順
次下位のすすぎ槽で受入れ、最下位の下位すすぎ槽内の
すすぎ液を前記上位すすぎ槽へ再生装置で浄化しつつ循
環させ、ワークを最下位の下位すすぎ槽から上位すすぎ
槽へと移送する移送装置とを備えたため、すすぎ液が上
記のすすぎ液から下位のすすぎ槽へと常に再生装置で浄
化しつつ循環するので、すすぎ液の液寿命が長くなり、
ワークの洗浄性が向上する。
【００３１】また、すすぎ液を噴射装置によって霧状に
吹き付けて、洗浄槽から引き上げたワークに付着した洗
浄液を洗い流して洗浄槽に戻して、洗浄槽内の洗浄液の
減少分を補給するようにしているため、洗浄液の減少分
が自動的に補給され、長期にわたって洗浄液を新たに供
給する必要がない。
吹き付けて、洗浄槽から引き上げたワークに付着した洗
浄液を洗い流して洗浄槽に戻して、洗浄槽内の洗浄液の
減少分を補給するようにしているため、洗浄液の減少分
が自動的に補給され、長期にわたって洗浄液を新たに供
給する必要がない。
【図１】本発明の一実施例を示す概略構成図
１ 洗浄槽 ２ 超音波発振装置 ８ 油分オーバーフロー槽 ９ａ、９ｂ、９ｃ 仕切り １０ 水位槽 １３ 循環用油水分離装置 １４ ポンプ １５ フィルター １７ 噴射装置 ２０ 第一すすぎ槽 ２１ 第二すすぎ槽 ２２ 第三すすぎ槽 ２５ ポンプ ２６ リンス再生装置 ２７ 超音波発振装置 ４０ 開閉蓋 ４１ 真空乾燥槽 ４２ 減圧ポンプ ４３ 加熱ヒーター ４４ ファン ５０ 移送装置
Claims (5)
- 【請求項１】揺動含む外圧発生装置を備え、ワークを洗
浄液内で洗浄してワークに付着した油分を浮上分離させ
る洗浄槽と、 前記洗浄槽からオーバーフローする洗浄液及び油分を受
入れ、仕切りによって洗浄液と油分混在洗浄液を分離し
てそれぞれオーバーフローさせる油分オーバーフロー槽
と、 前記油分オーバーフロー槽から、さらに仕切りによって
オーバーフローした洗浄液を受入れる水位槽と、 前記水位槽内の洗浄液をフィルターで浄化して前記洗浄
槽へ戻す循環装置とを備えた水系洗浄装置。 - 【請求項２】前記油分オーバーフロー槽にオーバーフロ
ーした油分混在洗浄液を受入れ、油水分離フィルターで
分離浄化して前記洗浄槽へ戻す循環用油水分離装置を備
えた請求項１記載の水系洗浄装置。 - 【請求項３】上位すすぎ槽と、 前記上位すすぎ槽内のすすぎ液のオーバーフローを受入
れる少なくとも一段の下位すすぎ槽と、 少なくとも一つのすすぎ槽に設けられた揺動含む外圧発
生装置と、 前記最下位の下位すすぎ槽内のすすぎ液を前記上位すす
ぎ槽へ循環させる循環装置と、 前記循環装置の循環経路に設けられ前記すすぎ液を浄化
する再生装置と、 ワークを前記最下位の下位すすぎ槽から上位すすぎ槽へ
と移送する移送装置とを備えた水系洗浄装置。 - 【請求項４】揺動含む外圧発生装置を備え、ワークを洗
浄液内で洗浄してワークに付着した油分を浮上分離させ
る洗浄槽と、 前記洗浄槽からオーバーフローする洗浄液及び油分を受
入れ、仕切りによって洗浄液と油分混在洗浄液を分離し
てそれぞれオーバーフローさせる油分オーバーフロー槽
と、 前記油分オーバーフロー槽にオーバーフローした油分混
在洗浄液を受入れ、油水分離フィルターで分離浄化して
前記洗浄槽へ戻す循環用油水分離装置と、 前記油分オーバーフロー槽から、さらに仕切りによって
オーバーフローした洗浄液を受入れる水位槽と、 前記水位槽内の洗浄液をフィルターで浄化して前記洗浄
槽へ戻す循環装置と、 上位すすぎ槽と、 前記上位すすぎ槽内のすすぎ液のオーバーフローを受入
れる少なくとも一段の下位すすぎ槽と、 少なくとも一つのすすぎ槽に設けられた揺動含む外圧発
生装置と、 前記最下位の下位すすぎ槽内のすすぎ液を前記上位すす
ぎ槽へ循環させる循環装置と、 前記循環装置の循環経路に設けられ前記すすぎ液を浄化
する再生装置と、 真空乾燥装置と、 ワークを前記洗浄槽、最下位の下位すすぎ槽から上位す
すぎ槽へ、さらに前記真空乾燥装置へと移送する移送装
置とを備えた水系洗浄装置。 - 【請求項５】洗浄槽から移送装置で引き上げたワークに
すすぎ槽内のすすぎ液を霧状に吹き付けてワークに付着
した洗浄液を洗い流してこれを前記洗浄槽内に戻すこと
によって前記洗浄槽の水分の減少分を補給する噴射装置
を備えた請求項１、３、４記載の水系洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7109099A JPH08283971A (ja) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | 水系洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7109099A JPH08283971A (ja) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | 水系洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08283971A true JPH08283971A (ja) | 1996-10-29 |
Family
ID=14501563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7109099A Pending JPH08283971A (ja) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | 水系洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08283971A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101773915A (zh) * | 2010-01-20 | 2010-07-14 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 太阳能电池硅片多级循环清洗设备 |
| CN107639070A (zh) * | 2017-08-24 | 2018-01-30 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 一种硅片清洗设备及清洗工艺 |
-
1995
- 1995-04-10 JP JP7109099A patent/JPH08283971A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101773915A (zh) * | 2010-01-20 | 2010-07-14 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 太阳能电池硅片多级循环清洗设备 |
| CN107639070A (zh) * | 2017-08-24 | 2018-01-30 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 一种硅片清洗设备及清洗工艺 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070109 |
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| A521 | Written amendment |
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