JPH0833162B2 - 磁気軸受装置における回転体の変位検出装置 - Google Patents

磁気軸受装置における回転体の変位検出装置

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JPH0833162B2
JPH0833162B2 JP62170677A JP17067787A JPH0833162B2 JP H0833162 B2 JPH0833162 B2 JP H0833162B2 JP 62170677 A JP62170677 A JP 62170677A JP 17067787 A JP17067787 A JP 17067787A JP H0833162 B2 JPH0833162 B2 JP H0833162B2
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、磁気軸受装置における回転体の変位検出
装置、さらに詳しくは、たとえば磁気軸受装置のロータ
軸または筒状のロータなどの回転体の変位を検出する装
置に関する。
従来の技術とその問題点 磁気軸受装置の回転体の変位検出装置として、第5図
に示すように、インダクタンス検知式非接触変位検出器
(1)と、この検出器(1)の出力を正または負の値に
全波整流する絶対値回路(2)と、検出器(1)の出力
から検出器発振周波数f1を除去するために絶対値回路
(2)の出力から検出器発振周波数f1の2倍の周波数f2
以上を除去するローパスフィルタ(3)と、増幅器
(4)とを備えたものが知られている。なお、ローパス
フィルタ(3)において検出器発振周波数f1の2倍の周
波数f2以上を除去するのは、検出器(1)の出力を全波
整流することにより絶対値回路(2)の出力に検出器発
振周波数が2倍になってあらわれるからである。
このような従来の変位検出装置の場合、第6図に示す
ようなローパスフィルタの特性により、その遮断周波数
fsを検出器発振周波数f1の2倍の周波数f2よりかなり低
い値に設定する必要があり、遮断周波数fs以上で周波数
f2以下の領域でゲインが下り、かつ位相遅れが生じる。
このため、回転体が高速回転するときには、その回転周
波数領域でゲインが下りかつ位相が遅れることになり、
高速回転体の変位を正確に検出することが困難になる。
この発明は、上記の問題を解決し、高速回転体の変位
も正確に検出できる磁気軸受装置における回転体の変位
検出装置を提供することにある。
問題点を解決するための手段 この発明による磁気軸受装置における回転体の変位検
出装置は、変位検出器の出力を正または負の値に全波整
流する絶対値回路と、遮断周波数が変位検出器の発振周
波数の2倍以上に設定されたローパスフィルタと、遮断
周波数が変位検出器の発振周波数の2倍に設定されたノ
ッチフィルタとが直列に接続されていることを特徴とす
るものである。
作用 ローパスフィルタの遮断周波数が検出器発振周波数の
2倍以上に設定されているので、絶対値回路の出力から
検出器発振周波数の2倍を越える高周波ノイズのみが除
去され、ノッチフィルタの遮断周波数が検出器発振周波
数の2倍に設定されているので、ローパスフィルタの出
力からさらに検出器発振周波数に2倍の周波数成分のみ
が除去される。したがって、ノッチフィルタの出力は検
出器の出力から検出器発振周波数成分と高周波ノイズの
みが完全に除去されたものとなり、検出器発振周波数以
下の周波数領域ではゲインも位相も変化しないため、高
速回転体で変位が正確に検出される。
実施例 第1図はこの発明の実施例を示し、磁気軸受装置にお
ける回転体の変位検出装置は変位検出器(10)、絶対値
回路(11)、ローパスフィルタ(12)ノッチフィルタ
(13)および増幅器(14)を備えている。
変位検出器(10)、絶対値回路(11)および増幅器
(14)は従来例のものと同様である。
ローパスフィルタ(12)の遮断周波数fsは、第2図に
示すように、検出器発振周波数f1の2倍の周波数f2以上
に設定されている。ノッチフィルタ(13)の遮断周波数
fnは、第3図に示すように、検出器発振周波数f1の2倍
の周波数f2に設定されている。
絶対値回路(11)の出力をローパスフィルタ(12)に
通すことにより、第2図に示すように、周波数f2以上で
ゲインが小さくなり、さらに大きい周波数f3以上の高周
波ノイズが除去されるが、周波数f2以下ではゲインおよ
び位相は変化しない。このローパスフィルタ(12)の出
力をさらにノッチフィルタ(13)に通すことにより、第
4図に示すように、これから周波数f2成分のみが除去さ
れる。したがって、ノッチフィルタ(13)の出力は検出
器(10)の出力から検出器発振周波数f1成分と高周波ノ
イズのみが完全に除去されたものとなり、周波数f1以下
の周波数領域ではゲインも位相も変化しない。このた
め、高速回転の変位が正確に検出される。
発明の効果 この発明の磁気軸受装置における回転体の変位検出装
置によれば、上述のように、検出器の出力から検出器発
振周波数と高周波ノイズのみを完全に除去して、変位信
号のみを取出すことができ、したがって、高速回転体の
変位を正確に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の実施例を示す磁気軸受装置における
回転体の変位検出装置のブロック図、第2図はローパス
フィルタの周波数特性図、第3図はノッチフィルタの周
波数特性図、第4図はローパスフィルタとノッチフィル
タを合わせた周波数特性図、第5図は従来例を示すブロ
ック図、第6図はローパスフィルタの周波数特性図であ
る。 (10)……変位検出器、(11)……絶対値回路、(12)
……ローパスフィルタ、(13)……ノッチフィルタ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】変位検出器の出力を正または負の値に全波
    整流する絶対値回路と、遮断周波数が変位検出器の発振
    周波数の2倍以上に設定されたローパスフィルタと、遮
    断周波数が変位検出器の発振周波数の2倍に設定された
    ノッチフィルタとが直列に接続されていることを特徴と
    する磁気軸受装置における回転体の変位検出装置。
JP62170677A 1987-07-07 1987-07-07 磁気軸受装置における回転体の変位検出装置 Expired - Fee Related JPH0833162B2 (ja)

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JPS6415519A JPS6415519A (en) 1989-01-19
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JPS61206820A (ja) * 1985-03-11 1986-09-13 Ntn Toyo Bearing Co Ltd 磁気軸受制御装置
JPS61286609A (ja) * 1985-06-11 1986-12-17 Ntn Toyo Bearing Co Ltd 制御式ラジアル磁気軸受の制御装置

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