JPH085574Y2 - レ−ザ用冷却器 - Google Patents

レ−ザ用冷却器

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JPH085574Y2
JPH085574Y2 JP1987117157U JP11715787U JPH085574Y2 JP H085574 Y2 JPH085574 Y2 JP H085574Y2 JP 1987117157 U JP1987117157 U JP 1987117157U JP 11715787 U JP11715787 U JP 11715787U JP H085574 Y2 JPH085574 Y2 JP H085574Y2
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JP
Japan
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temperature
cooling water
heat
primary cooling
temperature control
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JP1987117157U
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JPS6422064U (ja
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修一 渡部
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NEC Corp
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NEC Corp
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Description

【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案はレーザ用冷却器に関し、特に一次冷却水の温
度に対応して一次冷却水の熱交換を行うことに特徴を有
するレーザ用冷却器に関する。
[従来の技術] 従来、この種のレーザ用冷却器はレーザヘッド内を循
環する一次冷却水の循環路中に設けられ、一次冷却水の
熱交換を行う熱交換部と、一次冷却水の温度に応じて熱
交換部を作動又は停止させる温度制御部とよりなり、温
度制御部は一つの温度制御装置で構成されており、この
温度制御装置により熱交換器に流入する2次冷却媒体を
ON−OFFすることによって一次冷却水の温度を一定温度
に制御する構造となっていた。
[解決すべき問題点] 上述した従来のレーザ用冷却器は一つの温度制御装置
で一次冷却水の温度を一定温度に制御する構造となって
いたため、レーザヘッド内の発熱量が少ない場合にあっ
ても多量の二次冷却媒体をON−OFFすることとなり、こ
の結果温度リップルが大きくなり、またランニングコス
トも高くなるという欠点があった。
[問題点の解決手段] 本考案は、上記従来の問題点を解決するためになされた
もので、そのための解決手段として、レーザヘッド内を
循環する一次冷却水の循環路中に設けられ一次冷却水の
熱交換を行う熱交換部と、一次冷却水の温度に応じて熱
交換部を作動又は停止させる温度制御部とよりなるレー
ザ用冷却器において、上記温度制御部を一次冷却水の所
定の温度範囲で作動又は停止することを示す温度ヒステ
リシスが夫々異なる2以上の温度制御装置で構成し、上
記熱交換部を上記2以上の温度制御装置の各温度ヒステ
リシスに対応して所量の熱交換を行う2以上の熱交換器
で構成したことを特徴とするレーザ用冷却器を提供する
ものである。
[実施例] 次に、本考案の実施例について図面を参照して説明す
る。
第1図は本考案の一実施例に係るレーザ用冷却器の構
成概略図、第2図は温度制御装置の温度ヒステリシス特
性と本考案のレーザ用冷却器の冷却能力を表わした図、
第3図は本考案の他の実施例のレーザ用冷却器を示す構
成概略図である。
第1図に示すレーザ用冷却器は、レーザヘッド1と、
純水等の一次冷却水を蓄えた一次冷却水タンク2と、循
環路3を介して一次冷却水タンク2の一次冷却水をレー
ザヘッド1に送込む循環ポンプ4と、第1冷却ファン5
を備えレーザヘッド1から送出され循環路6を通る一次
冷却水の熱交換を行って冷却する第1熱交換器7と、第
1温度センサ8を備え第1熱交換器7をON又はOFFさせ
る第1温度制御装置9と、第2冷却ファン10を備え循環
路11を通る一次冷却水の熱交換を行う第2熱交換器12
と、第2温度センサ13を備え第2熱交換器12をON又はOF
Fさせる第2温度制御装置14とよりなる。
一次冷却水タンク2内にある一次冷却水は循環ポンプ
4により送出されレーザヘッド1を冷却し、第1,第2熱
交換器7,12を通り熱交換され一次冷却水タンク2へもど
る。第1熱交換器7に取付けてある第1冷却ファン5は
第1温度制御装置9によりON−OFF制御され、第2冷却
ファン10は第2温度制御装置14によりON−OFF制御され
る。
次に、温度制御装置9,14の温度ヒステリシス特性と冷
却能力の関係を第2図に基づいて説明する。
第2図の横軸は一次冷却水温度を縦軸は温度制御装置
9,14出力のON−OFF及び冷却器の冷却能力を示す。第1
温度制御装置9の温度ヒステリシスの温度幅は例えば0.
5℃と狭く、第2温度制御装置14の温度ヒステリシスの
温度幅は例えば1℃と広く設定してあり、出力がON状態
からOFF状態になる温度を一致させた特性となってい
る。
レーザヘッド1内の発熱が小さく第1交換器7の熱交
換能力以内の時は、一次冷却水の温度制御は第1温度制
御装置9だけで行われる。第1熱交換器7の熱交換能力
以上発熱量の場合、一次冷却水の水温は冷却能力不足の
ため上昇する。このとき、第2温度制御装置14の出力が
ONとなり、第2冷却ファン13が動作し第2熱交換器12が
熱交換をはじめ、一次冷却水の温度が制御される。この
ように発熱量によって冷却能力が自動的に切り替わる。
次に、本考案の他の実施例を第3図に基づいて説明す
る。
一次冷却水タンク2内にある一次冷却水は循環ポンプ
4により送出され、レーザヘッド1を冷却し、熱交換器
21を通り熱交換され一次冷却水タンク2にもどる。熱交
換器21に流入する水道水23は第1温度制御装置9で制御
される第1電磁バルブ22と、第2温度制御装置14で制御
される第2電磁バルブ23により流量が制御される。本実
施例では第1,第2温度制御装置9,14が異なる温度ヒステ
リシス特性を持っているため、レーザヘッド1の発熱量
によって熱交換器21に流れ込む水道水23の流量が自動的
に制御される。
[考案の効果] 以上説明したように本考案のレーザ用冷却器は、温度
制御部を一次冷却水の所定の温度範囲で作動又は停止す
ることを示す温度ヒステリシスが夫々異なる2以上の温
度制御装置で構成し、熱交換部を2以上の温度制御装置
の各温度ヒステリシスに対応して所量の熱交換を行う2
以上の熱交換器で構成したため、熱負荷の大小によって
自動的に冷却能力を変えることができ、低熱負荷時の温
度リップルの減少やランニングコストの減少、または空
冷冷却器の場合には冷却ファンによる騒音の減少を図る
ことができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例に係るレーザ用冷却器の構成
概略図、第2図は温度制御装置の温度ヒステリシス特性
と本考案のレーザ用冷却器の冷却能力を表わした図、第
3図は本考案の他の実施例のレーザ用冷却器を示す構成
概略図である。 1:レーザーヘッド 7,12,21:熱交換器 9,14:温度制御装置

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】レーザヘッド内を循環する一次冷却水の循
    環路中に設けられ一次冷却水の熱交換を行う熱交換部
    と、一次冷却水の温度に応じて熱交換部を作動又は停止
    させる温度制御部とよりなるレーザ用冷却器において、 上記温度制御部を一次冷却水の所定の温度範囲で作動又
    は停止することを示す温度ヒステリシスが夫々異なる2
    以上の温度制御装置で構成し、 上記熱交換部を上記2以上の温度制御装置の各温度ヒス
    テリシスに対応して所量の熱交換を行う2以上の熱交換
    器で構成したことを特徴とするレーザ用冷却器。
JP1987117157U 1987-07-30 1987-07-30 レ−ザ用冷却器 Expired - Lifetime JPH085574Y2 (ja)

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JPS6422064U JPS6422064U (ja) 1989-02-03
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59119056U (ja) * 1983-01-29 1984-08-11 株式会社東芝 固体レ−ザ発振装置
JPS59138258U (ja) * 1983-03-03 1984-09-14 三菱電機株式会社 レ−ザ発振器の冷却装置
JPS59182957U (ja) * 1983-05-23 1984-12-06 株式会社 アマダ 気体レ−ザ−発振装置

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JPS6422064U (ja) 1989-02-03

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