JPH087181B2 - 炭酸ガスセンサ - Google Patents
炭酸ガスセンサInfo
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- JPH087181B2 JPH087181B2 JP63096039A JP9603988A JPH087181B2 JP H087181 B2 JPH087181 B2 JP H087181B2 JP 63096039 A JP63096039 A JP 63096039A JP 9603988 A JP9603988 A JP 9603988A JP H087181 B2 JPH087181 B2 JP H087181B2
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- gas
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、施設園芸，環境衛生，防災用，工業用など
の炭酸ガス濃度を計測あるいは制御する場所に使用する
イオン伝導体を用いた構造の固体電解質型炭酸ガスセン
サに関するものである。
の炭酸ガス濃度を計測あるいは制御する場所に使用する
イオン伝導体を用いた構造の固体電解質型炭酸ガスセン
サに関するものである。
従来の技術 近年、空調・農畜産分野を中心に炭酸ガスセンサに対
するニーズが高まり、種々の方式のセンサが開発・実用
化が進められている。しかし、実用上、その信頼性に多
くの課題が残されている。
するニーズが高まり、種々の方式のセンサが開発・実用
化が進められている。しかし、実用上、その信頼性に多
くの課題が残されている。
以下、第５図および第６図を参照しながら上述した従
来の炭酸ガスセンサの例について説明する。
来の炭酸ガスセンサの例について説明する。
第５図および第６図は、従来の固体電解質型炭酸ガス
センサの構成を示すものである。第５図において、固体
電解質からなるイオン伝導体としての薄板状のNASICON
（ナトリウムイオン伝導体セラミックス）板11は、その
両端に電圧信号取り出し用の１対の多孔質な電極層12a,
12bを備え、さらに、その電極層12a,12bのいずれか一方
の一部、あるいは全部を覆う形状で炭酸ガスと解離平衡
を形成する炭酸ナトリウム13が付着され、炭酸ナトリウ
ム13を付着した側を陰極層12aと称し、ない側を陽極層1
2bを称しガス感知部１を構成していた。NASICONの組成
は、Na1+XZr2SiXP3-XO12、（０≦Ｘ≦３）である。また
第６図のこのガス感知部１には、片面下部に加熱用ヒー
タ２を備え、１対の陰・陽極層12a,12bから引き出した
リード線3a,3b、および加熱用ヒータ２から引出した２
本のリード線5a,5bを介して下部の台座６に固定されて
いる。リード線3a,3bおよびリード線5a,5bは、それぞれ
信号出力用および電圧印加用で台座６を貫通している。
センサの構成を示すものである。第５図において、固体
電解質からなるイオン伝導体としての薄板状のNASICON
（ナトリウムイオン伝導体セラミックス）板11は、その
両端に電圧信号取り出し用の１対の多孔質な電極層12a,
12bを備え、さらに、その電極層12a,12bのいずれか一方
の一部、あるいは全部を覆う形状で炭酸ガスと解離平衡
を形成する炭酸ナトリウム13が付着され、炭酸ナトリウ
ム13を付着した側を陰極層12aと称し、ない側を陽極層1
2bを称しガス感知部１を構成していた。NASICONの組成
は、Na1+XZr2SiXP3-XO12、（０≦Ｘ≦３）である。また
第６図のこのガス感知部１には、片面下部に加熱用ヒー
タ２を備え、１対の陰・陽極層12a,12bから引き出した
リード線3a,3b、および加熱用ヒータ２から引出した２
本のリード線5a,5bを介して下部の台座６に固定されて
いる。リード線3a,3bおよびリード線5a,5bは、それぞれ
信号出力用および電圧印加用で台座６を貫通している。
プロテクタ４は、内包するガス感知部１、ヒータ２、
リード線3a,3b,5a,5bそれぞれを機械的損傷から保護す
るとともに、測定雰囲気と接触を良くするためにステン
レス製金網で構成され、台座６に固定されている。
リード線3a,3b,5a,5bそれぞれを機械的損傷から保護す
るとともに、測定雰囲気と接触を良くするためにステン
レス製金網で構成され、台座６に固定されている。
上記構成において、ガス感知部１は以下の電池を構成
し得る。すなわち、 このような電池を構成するガス感知部１をヒータ２によ
り測定温度に加熱すると、陰極層12aおよび陽極層12b各
々以下のような電池反応が起き、 両電極間には次式に表わされる起電力が発生する。
し得る。すなわち、 このような電池を構成するガス感知部１をヒータ２によ
り測定温度に加熱すると、陰極層12aおよび陽極層12b各
々以下のような電池反応が起き、 両電極間には次式に表わされる起電力が発生する。
ここで E:発生起電力 P*：雰囲気全圧 R:気体定数 PCO2：雰囲気中の炭酸ガス分圧 F:ファラディ定数 aNa2O:NASICON中のNa2Oの活量 T:絶対温度 aNa2CO3：Na2CO3の活量 （３）式から、発生起電力Ｅは雰囲気中の炭酸ガス分圧
の対数に比例する。したがって、この起電力を陰極層12
a,陽極層12bよりリード線3a,3bを介して取り出すことに
より雰囲気中の炭酸ガス濃度を電気的に検出していた。
の対数に比例する。したがって、この起電力を陰極層12
a,陽極層12bよりリード線3a,3bを介して取り出すことに
より雰囲気中の炭酸ガス濃度を電気的に検出していた。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記のような構成では以下のような課
題を有していた。すなわち、上記の電池反応（１），
（２）により陽極層とNASICON界面に生成する酸化ナト
リウムNa2Oが電池反応（２）に関与する酸素イオンを供
給するため多孔性を持たせた陽極層を介して雰囲気中の
水分，あるいは炭酸ガスと接すると以下の反応を起こ
す。すなわち、 Na2O(S)＋H2O(g)→2NaOH ……（４） 2NaOH＋2CO2→2NaHCO3 ……（５） 2NaHCO3→Na2CO3＋H2O＋CO2 ……（６） これらの反応により陽極層とNASICON界面にNaCO3が形
成され、陽極層上に擬陰極が形成されることになり、特
性が劣化し、検出感度が消失することになる。
題を有していた。すなわち、上記の電池反応（１），
（２）により陽極層とNASICON界面に生成する酸化ナト
リウムNa2Oが電池反応（２）に関与する酸素イオンを供
給するため多孔性を持たせた陽極層を介して雰囲気中の
水分，あるいは炭酸ガスと接すると以下の反応を起こ
す。すなわち、 Na2O(S)＋H2O(g)→2NaOH ……（４） 2NaOH＋2CO2→2NaHCO3 ……（５） 2NaHCO3→Na2CO3＋H2O＋CO2 ……（６） これらの反応により陽極層とNASICON界面にNaCO3が形
成され、陽極層上に擬陰極が形成されることになり、特
性が劣化し、検出感度が消失することになる。
本発明は上記課題を解決するもので、ガス感知部が測
定雰囲気中の水分，炭酸ガスに暴露されても高い信頼性
を有する炭酸ガスセンサを提供することを目的とするも
のである。
定雰囲気中の水分，炭酸ガスに暴露されても高い信頼性
を有する炭酸ガスセンサを提供することを目的とするも
のである。
課題を解決するための手段 この目的を達成するための第１の手段の炭酸ガスセン
サは、両端に１対の陰・陽極層を備え金属炭酸塩を構成
しうる金属イオンに対して導電性を有するイオン伝導性
セラミックと、前記イオン伝導性セラミックの一方の陰
極層を電子伝導体で構成し、かつその一部あるいは全部
を覆う形状で炭酸ガスと解離平衡を形成する金属炭酸塩
で被覆し、他方の陽極層を酸素イオンと電子の両方に対
して伝導性をもつ混合伝導性セラミックとで構成される
ガス感知部と、前記ガス感知部を測定温度に加熱する加
熱部とを備えたものである。
サは、両端に１対の陰・陽極層を備え金属炭酸塩を構成
しうる金属イオンに対して導電性を有するイオン伝導性
セラミックと、前記イオン伝導性セラミックの一方の陰
極層を電子伝導体で構成し、かつその一部あるいは全部
を覆う形状で炭酸ガスと解離平衡を形成する金属炭酸塩
で被覆し、他方の陽極層を酸素イオンと電子の両方に対
して伝導性をもつ混合伝導性セラミックとで構成される
ガス感知部と、前記ガス感知部を測定温度に加熱する加
熱部とを備えたものである。
この目的を達成するための第２の手段は、上記手段に
おける陽極層を混合伝導性セラミックLa0.5Sr0.5CoO330
〜40mol％とSrTiO3を60〜70mol％添加して構成したもの
である。
おける陽極層を混合伝導性セラミックLa0.5Sr0.5CoO330
〜40mol％とSrTiO3を60〜70mol％添加して構成したもの
である。
この目的を達成するための第３の手段は、上記第1,第
２の手段に加え、イオン伝導性セラミックの陰・陽極層
形成表面以外の残余の部分の一部、あるいは全部にガス
遮断層を形成させたものである。
２の手段に加え、イオン伝導性セラミックの陰・陽極層
形成表面以外の残余の部分の一部、あるいは全部にガス
遮断層を形成させたものである。
作用 この第１の手段によって、陽極層が酸素イオンと電子
のみを透過する緻密な混合伝導体で形成されるため、陽
極層における以下電池反応 に雰囲気中のH2O(g)，CO2(g)が関与せず、以下の反応に
起因するガス感知部の特性劣化を防止できる。
のみを透過する緻密な混合伝導体で形成されるため、陽
極層における以下電池反応 に雰囲気中のH2O(g)，CO2(g)が関与せず、以下の反応に
起因するガス感知部の特性劣化を防止できる。
Na2O(S)＋H2O(g)→2NaOH 2NaOH＋2CO2→2NaHCO3 2NaHCO3→Na2CO3＋H2O＋CO2 また、第２の手段によって、陽極層を形成する混合伝
導性セラミックスの電子伝導度の温度依存特性が軽減さ
れ、ガス感知部の温度特性が改善され広い温度範囲で安
定動作が可能となる。
導性セラミックスの電子伝導度の温度依存特性が軽減さ
れ、ガス感知部の温度特性が改善され広い温度範囲で安
定動作が可能となる。
さらに、第３の手段により、NASICONと陽極層の界面
が雰囲気からシールされ、陽極生成物のNa2Oと雰囲気中
の水分やCO2との反応によるガス感知部の特性劣化が防
止できる。また、電極層とNASICONとの接着強度の向上
がはかれ、素子の熱・機械的強度が向上する。
が雰囲気からシールされ、陽極生成物のNa2Oと雰囲気中
の水分やCO2との反応によるガス感知部の特性劣化が防
止できる。また、電極層とNASICONとの接着強度の向上
がはかれ、素子の熱・機械的強度が向上する。
実施例 以下、本発明の第１の一実施例について第１図にもと
づいて説明する。
づいて説明する。
第１図は本発明の第１の一実施例を炭酸ガスセンサの
ガス感知部の構成を示すものである。なお、従来例と同
一部分には同一番号を付けて説明は省略する。
ガス感知部の構成を示すものである。なお、従来例と同
一部分には同一番号を付けて説明は省略する。
第１図において、薄板状のNASICON板11の一端に電極を
形成した陽極層14は酸素イオンと電子の両方に対して伝
導性をもつ混合伝導性セラミックでペロブスカイト型酸
化物La0.5Sr0.5CoO3の微粉末を圧縮成形し、1200℃程度
で焼結した緻密な焼結体で形成されNASICON板11の他端
に形成した陰極層12aは電子伝導体で構成され、その陰
極層12aの面を覆う形状で炭酸ガスと解離平衡を形成す
る金属炭酸塩で被覆して構成している。NASICONの組成
はNa1+XZr2SiXP3-XO12、（０≦Ｘ≦３）である。
形成した陽極層14は酸素イオンと電子の両方に対して伝
導性をもつ混合伝導性セラミックでペロブスカイト型酸
化物La0.5Sr0.5CoO3の微粉末を圧縮成形し、1200℃程度
で焼結した緻密な焼結体で形成されNASICON板11の他端
に形成した陰極層12aは電子伝導体で構成され、その陰
極層12aの面を覆う形状で炭酸ガスと解離平衡を形成す
る金属炭酸塩で被覆して構成している。NASICONの組成
はNa1+XZr2SiXP3-XO12、（０≦Ｘ≦３）である。
以上のように構成された炭酸ガスセンサについて、以
下その動作について説明する。
下その動作について説明する。
上記構成においてその検出動作は従来例と同様なので
説明は省略する。第６図のヒータ２によりガス感知部1a
を測定温度に加熱すると、NASICON11と陰極層12aおよび
陽極層14の各々の界面で従来例で示した電池反応（１）
および（２）が生じる。その際、陽極層14とNASICON11
の界面は陽極層14によって雰囲気中の酸素のみと接触
し、水蒸気や炭酸ガスから遮断されているため、従来例
で示した陽極生成物Na2Oの水酸化および炭酸化反応
（４），（５），（６）は軽減できる。
説明は省略する。第６図のヒータ２によりガス感知部1a
を測定温度に加熱すると、NASICON11と陰極層12aおよび
陽極層14の各々の界面で従来例で示した電池反応（１）
および（２）が生じる。その際、陽極層14とNASICON11
の界面は陽極層14によって雰囲気中の酸素のみと接触
し、水蒸気や炭酸ガスから遮断されているため、従来例
で示した陽極生成物Na2Oの水酸化および炭酸化反応
（４），（５），（６）は軽減できる。
以上のように、陽極層を酸素イオンと電子の両方に対
して伝導性をもつ混合伝導性セラミックスで構成するこ
とにより、陽極生成物Na2Oは雰囲気中の水分や炭酸ガス
との接触が阻止される。したがって、陽極生成物Na2Oの
水酸化，炭酸化によるガス感知部1aの劣化は軽減され
る。
して伝導性をもつ混合伝導性セラミックスで構成するこ
とにより、陽極生成物Na2Oは雰囲気中の水分や炭酸ガス
との接触が阻止される。したがって、陽極生成物Na2Oの
水酸化，炭酸化によるガス感知部1aの劣化は軽減され
る。
以下、本発明の第２の一実施例について、第２図〜第
３図にもとづいて説明する。第２図は本発明の第２の一
実施例の炭酸ガスセンサのガス感知部の構成断面を示
す。なお、従来例と第１の実施例に示した陰極層12aの
同一部分には同一番号を付けて説明は省略する。図にお
いて、薄板状のNASICON板11の一端に電極を形成した陽
極層15は第３図に示すように、ガス感知部1bの動作温度
範囲、すなわち400℃〜600℃において、その電子伝導度
の温度依存性が少ない混合伝導性セラミック（すなわ
ち、La0.5Sr0.5CoO3）35mol％とSrTiO365mol％の混合物
を圧縮し、1200℃程度で焼結した緻密な焼結体で形成さ
れている。
３図にもとづいて説明する。第２図は本発明の第２の一
実施例の炭酸ガスセンサのガス感知部の構成断面を示
す。なお、従来例と第１の実施例に示した陰極層12aの
同一部分には同一番号を付けて説明は省略する。図にお
いて、薄板状のNASICON板11の一端に電極を形成した陽
極層15は第３図に示すように、ガス感知部1bの動作温度
範囲、すなわち400℃〜600℃において、その電子伝導度
の温度依存性が少ない混合伝導性セラミック（すなわ
ち、La0.5Sr0.5CoO3）35mol％とSrTiO365mol％の混合物
を圧縮し、1200℃程度で焼結した緻密な焼結体で形成さ
れている。
以上のように構成された炭酸ガスセンサについて、以
下その動作について説明する。なお、炭酸ガスセンサの
検知動作は従来例と同様なので説明は省略する。
下その動作について説明する。なお、炭酸ガスセンサの
検知動作は従来例と同様なので説明は省略する。
上記構成において、第６図に示したヒータ２によりガ
ス感知部1bを動作温度に加熱すると、両陰・陽極層12a,
15間には雰囲気中の炭酸ガス分圧の対数に比例した起電
力が発生するが、その際、陽極層15は動作温度範囲にお
いて、安定した電子伝導度を有しているため動作温度の
変動に対して安定した起電力が得られる。
ス感知部1bを動作温度に加熱すると、両陰・陽極層12a,
15間には雰囲気中の炭酸ガス分圧の対数に比例した起電
力が発生するが、その際、陽極層15は動作温度範囲にお
いて、安定した電子伝導度を有しているため動作温度の
変動に対して安定した起電力が得られる。
以上のように、陽極層15を電子伝導度の温度依存性が
少ない混合伝導性セラミックで構成することにより、動
作温度変動に対して安定な出力が得られ、かつ、雰囲気
中の水分や炭酸ガスに起因するガス感知部1bの劣化を軽
減できる。
少ない混合伝導性セラミックで構成することにより、動
作温度変動に対して安定な出力が得られ、かつ、雰囲気
中の水分や炭酸ガスに起因するガス感知部1bの劣化を軽
減できる。
以下、本発明の第３の一実施例について、第４図にも
とづいて説明する。第４図は本発明の第３の一実施例の
炭酸ガスセンサのガス感知部1cの構成断面を示す。な
お、本発明と従来例および第２の１実施例と同一部分に
は同一番号を付けて説明は省略する。
とづいて説明する。第４図は本発明の第３の一実施例の
炭酸ガスセンサのガス感知部1cの構成断面を示す。な
お、本発明と従来例および第２の１実施例と同一部分に
は同一番号を付けて説明は省略する。
第４図において、ガス遮断層16は、水蒸気や炭酸ガス
等のガスの浸透を防止できる低融点ガラス系絶縁ペース
トを電極層12a,15を除く雰囲気に露出したNASICON11の
表面に塗布し、500〜600℃で焼成し固着させたものであ
る。
等のガスの浸透を防止できる低融点ガラス系絶縁ペース
トを電極層12a,15を除く雰囲気に露出したNASICON11の
表面に塗布し、500〜600℃で焼成し固着させたものであ
る。
以上のように構成された炭酸ガスセンサについて、以下
その動作について説明する。なお、炭酸ガスセンサの検
知動作は従来例と同様なので説明は省略する。
その動作について説明する。なお、炭酸ガスセンサの検
知動作は従来例と同様なので説明は省略する。
上記構成において、動作温度に加熱されたガス感知部
1cは、電池反応（１）および（２）によりNASICON11と
陽極層15の界面17に陽極生成物Na2Oが生成される。その
際、界面17はガス遮断層1bで測定雰囲気と絶縁され、界
面17上の酸化ナトリウムNa2Oと測定雰囲気の水蒸気およ
び炭酸ガスとの接触を回避できる。また陽極層15とNASI
CON11の接着強度がガス遮断層16の形成により向上され
る。
1cは、電池反応（１）および（２）によりNASICON11と
陽極層15の界面17に陽極生成物Na2Oが生成される。その
際、界面17はガス遮断層1bで測定雰囲気と絶縁され、界
面17上の酸化ナトリウムNa2Oと測定雰囲気の水蒸気およ
び炭酸ガスとの接触を回避できる。また陽極層15とNASI
CON11の接着強度がガス遮断層16の形成により向上され
る。
以上のように、陽極層15を酸素イオンと電子の両方に
対して伝導性をもつ混合伝導性セラミックで構成された
ガス感知部にガス遮断層を設けることにより、界面17に
生成される酸化ナトリウムの水酸化，あるいは炭酸化を
防止でき、かつ陽極層の接着強度も向上でき、ガス感知
部の耐久性は飛躍的に向上できる。
対して伝導性をもつ混合伝導性セラミックで構成された
ガス感知部にガス遮断層を設けることにより、界面17に
生成される酸化ナトリウムの水酸化，あるいは炭酸化を
防止でき、かつ陽極層の接着強度も向上でき、ガス感知
部の耐久性は飛躍的に向上できる。
発明の効果 以上の実施例の説明より明らかなように、本発明によ
れば陽極層を酸素イオンと電子の両方に対し伝導性をも
つ混合伝導性セラミックで構成されているため、陽極層
は酸素ガスのみを透過させ、電池反応に雰囲気中の水分
や炭酸ガスが関与せず、陽極生成物の酸化ナトリウムの
水酸化および炭酸化によるガス感知部の劣化を防止でき
る。
れば陽極層を酸素イオンと電子の両方に対し伝導性をも
つ混合伝導性セラミックで構成されているため、陽極層
は酸素ガスのみを透過させ、電池反応に雰囲気中の水分
や炭酸ガスが関与せず、陽極生成物の酸化ナトリウムの
水酸化および炭酸化によるガス感知部の劣化を防止でき
る。
さらに、第２の手段により電子伝導度の温度依存性が
小さい酸素イオンと電子の両方に対し伝導性をもつ混合
伝導性セラミックで陽極層を構成することにより、上記
の効果に加えて動作温度変動に対し安定な動作が可能と
なる。
小さい酸素イオンと電子の両方に対し伝導性をもつ混合
伝導性セラミックで陽極層を構成することにより、上記
の効果に加えて動作温度変動に対し安定な動作が可能と
なる。
また、上記構成に加えて、第３の手段によりガス感知
部にガス遮断層を形成することにより、陽極層とNASICO
N界面は外部雰囲気と遮断されているため、上記界面へ
の水分あるいは炭酸ガスの浸透による陽極劣化を防止で
き、さらに陽極層のNASICONとの接着強度を高めること
ができるものである。
部にガス遮断層を形成することにより、陽極層とNASICO
N界面は外部雰囲気と遮断されているため、上記界面へ
の水分あるいは炭酸ガスの浸透による陽極劣化を防止で
き、さらに陽極層のNASICONとの接着強度を高めること
ができるものである。
第１図は本発明の第１の一実施例における炭酸ガスセン
サのガス感知部の構成を示す縦断面図、第２図は本発明
の第２の一実施例における炭酸ガスセンサのガス感知部
の構成を示す縦断面図、第３図は本発明の第２の一実施
例における炭酸ガスセンサの陽極層を構成する混合伝導
性セラミックにおける電子伝導度の温度依存性を示すグ
ラフ、第４図は本発明の第３の一実施例における炭酸ガ
スセンサのガス感知部の構成を示す縦断面図、第５図は
従来の炭酸ガスセンサのガス感知部の構成を示す縦断面
図、第６図は従来の炭酸ガスセンサの構成を示す一部破
断の縦断面図である。 １……ガス感知部、２……ヒータ、3a,3b……リード
線、４……プロテクタ、5a,5b……リード線、６……台
座、11……NASICON、12a……陰極層、12b……陽極層、1
3……炭酸ナトリウム、14……陽極層、15……陽極層、1
6……ガス遮断層。
サのガス感知部の構成を示す縦断面図、第２図は本発明
の第２の一実施例における炭酸ガスセンサのガス感知部
の構成を示す縦断面図、第３図は本発明の第２の一実施
例における炭酸ガスセンサの陽極層を構成する混合伝導
性セラミックにおける電子伝導度の温度依存性を示すグ
ラフ、第４図は本発明の第３の一実施例における炭酸ガ
スセンサのガス感知部の構成を示す縦断面図、第５図は
従来の炭酸ガスセンサのガス感知部の構成を示す縦断面
図、第６図は従来の炭酸ガスセンサの構成を示す一部破
断の縦断面図である。 １……ガス感知部、２……ヒータ、3a,3b……リード
線、４……プロテクタ、5a,5b……リード線、６……台
座、11……NASICON、12a……陰極層、12b……陽極層、1
3……炭酸ナトリウム、14……陽極層、15……陽極層、1
6……ガス遮断層。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｎ 27/46 ＺＡＢ (72)発明者 竹田 武司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 関戸 聰 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】両端に１対の陰・陽極層を備え金属炭酸塩
を構成しうる金属イオンに対して導電性を有するイオン
伝導性セラミックと、前記イオン伝導性セラミックの一
方の陰極層を電子伝導体で構成し、かつその一部あるい
は全部を覆う形状で炭酸ガスと解離平衡を形成する金属
炭酸塩で被覆し、他方の陽極層を酸素イオンと電子の両
方に対し伝導性をもつ混合伝導性セラミックとで構成さ
れるガス感知部と、前記ガス感知部を測定温度に加熱す
る加熱部とを備えた炭酸ガスセンサ。 - 【請求項２】陽極層を混合伝導性セラミックLa0.5Sr0.5
CoO330〜40mol％とSrTiO3を60〜70mol％添加して構成し
た特許請求の範囲第１項記載の炭酸ガスセンサ。 - 【請求項３】イオン伝導性セラミックの陰・陽極層形成
表面以外の残余の部分の一部、あるいは全部にガス遮断
層を形成した特許請求の範囲第１項記載の炭酸ガスセン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63096039A JPH087181B2 (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 炭酸ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63096039A JPH087181B2 (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 炭酸ガスセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01267453A JPH01267453A (ja) | 1989-10-25 |
| JPH087181B2 true JPH087181B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=14154352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63096039A Expired - Fee Related JPH087181B2 (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 炭酸ガスセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH087181B2 (ja) |
-
1988
- 1988-04-19 JP JP63096039A patent/JPH087181B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01267453A (ja) | 1989-10-25 |
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