JPH089049Y2 - 自動基板供給・収納装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、基板を自動的に処理装置に供給および収納
する装置に関する。

〔従来の技術〕 従来、この種の自動基板供給収納装置は、第８図に示
すように供給マガジン51に搭載された基板52をベルトコ
ンベア53等の装置により供給マガジン51から取出し54の
位置で位置決めを行い次に供給用アーム等により載物台
55上に搬送し、クランプ用ベアリング56によりコーナベ
アリング57に位置決め固定する。またレーザによる加工
が終了した基板58は収納アーム62によりベルトコンベア
59上にもどし60の位置で位置決めした後、ベルトコンベ
ア59等により収納マガジン61に収納するという方式にな
っていた。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上述した従来の自動基板供給収納装置は、基板を供給
マガジンから載物台上に固定位置決めするまで及び載物
台上から収納マガジンに収納するまでの間に基板の位置
決めをそれぞれ１回づつ行い、またそれぞれの位置決め
位置の前後で異った搬送手段を用いる必要があるため、
かなり複雑で場所をとる構造となってしまうという欠点
と、また基板の大きさを変更する場合にはかなり多くの
場所の部品交換や調整が必要となってしまうのでセッテ
ィングに多大な時間がかかるという欠点がある。さらに
位置決め回数が多い分ローディングのサイクルタイムが
長くなるという欠点がある。

〔問題点を解決するための手段〕

上述した従来の自動基板供給収納装置に対し、本考案
は供給マガジンから載物台上まで及び載物台上から収納
マガジンまでを１つの搬送手段で実行し、位置決めは載
物台上だけで良いという相違点を有する。

本考案の自動基板供給・収納装置は、未加工の基板が
搭載される棚式の供給マガジンと、加工済みの基板が搭
載される棚式の収納マガジンと、前記供給マガジン内ま
で入って前記未加工の基板をつかむとともにその未加工
の基板を載物台上に載置する供給用チャック部と、前記
載物台上で加工された基板をつかむとともにその加工済
みの基板を前記収納マガジン内まで入って収納する収納
用チャック部とを前記供給マガジンおよび前記収納マガ
ジンが設置された間隔に応じて配置して備えるととも
に、前記収納用チャック部を旋回させる旋回手段を備え
るハンド部と、前記ハンド部を前記供給マガジンおよび
収納マガジンが配置された位置から前記載物台が配置さ
れる位置まで搬送する搬送機構とを備え、前記旋回手段
による旋回動作により、前記搬送機構による搬送方向に
前記供給用チャック部と前記収納用チャック部が配置さ
れた状態で、その収納用チャック部は、前記載物台上の
加工済みの基板をつかむとともに、前記旋回手段による
旋回動作により、前記供給マガジンと前記収納マガジン
とが配置される方向と平行に前記供給用チャック部と前
記収納用チャック部が配置された状態で、その収納用チ
ャック部は、前記加工済みの基板を前記収納マガジン内
に収納するものである。

〔実施例〕 次に、本考案の実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図は本考案の一実施例の正面図、第２図は第１図
の左側面図、第３図は第２図の左側面図、第４図は第１
図の上面図、第５図はその動作説明図、第６図及び第７
図は第５図の一部断面図である。

図において、コンソール１上の開始ボタンにより動作
が開始すると、基板９を挿入するための空の収納マガジ
ン２がリフター３により上限まで上昇する。次に搬送部
４により供給用チャック部５と収納用チャック部６を持
ったハンド部７が供給マガジン８及び収納マガジン２の
上側まで移動する。供給用チャック部５が基板９をつか
むことができる高さまで供給マガジン８がリフター10に
より上昇する。各マガジンは上面及びハンド部７の移動
方向がフリーになるようにできている。供給用チャック
部５が、供給マガジン８内の未加工の基板９をつかみ、
ハンド部７が搬送部４によりマガジンの上側から、載置
台12の方へ移動する。収納用チャック部６は、ハンド部
７に備えられる旋回機構11により旋回し、供給用チャッ
ク部５とその搬送部４による搬送方向と同一方向（同一
直線上）に配置されるように移動する。ハンド部７は、
搬送部４により載物台12上に移動し、収納用チャック部
６がシリンダ13により下降し載物台12上の加工済みの基
板９をつかんだ後上昇する。次に、ハンド部７がさらに
搬送部４により移動し、供給用チャック部５がシリンダ
14により下降して載物台12上に未加工の基板９を置いた
後上昇する。その基板９は、クランプベアリング17によ
りコーナベアリング18に固定される。次に、収納用チャ
ック部６が、ハンド部７に備えられる旋回機構11により
旋回し、供給用チャック部５に対して、供給用マガジン
８と収納用マガジン２とが配置される方向と平行となる
ように配置される。そして、ハンド部７が、搬送部４に
より再びマガジンの上側に移動する。収納用チャック部
６につかまれた加工済みの基板９が、収納マガジン２内
で放たれた後、収納マガジン２は基板１段分下降する。
また、供給マガジン８は、再び供給用チャック部５が未
加工の基板９をつかむことができる高さまで上昇する。
以上の動作が、供給用マガジン８内の未加工の基板９が
無くなるまで繰り返される。また制御部15は架台16の中
に実装さている。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案は、自動基板供給収納装置
の供給ハンドが供給マガジン内に入って基板をつかみ載
物台上まで搬送し、収納ハンドが載物台上の基板をつか
んで収納マガジン内に入り基板を収納することにより、
マガジンから載物台間の搬送機構を簡略化・省スペース
化することができ、かつ、位置決め箇所等の削除により
基板サイズの変更を短時間で行うことができる効果があ
る。さらに位置決めが１回だけで良いのでローディング
のサイクルタイムを短くすることができる効果がある。
さらに、本考案は、ハンド部の備えられる供給ハンドと
収納ハンドとを旋回させて、まず、載物台上の加工済み
の基板を収納ハンドによりつかみ、次いで、供給ハンド
がつかんでいる未加工の基板をその載物台上に載置する
ことができるために、載物台上の基板の交換は、ハンド
部をマガジン・載物台間で１往復させるだけで可能とな
り、処理時間の大幅な削減も実現している。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の正面図、第２図は第１図の
左側面図、第３図は第２図の左側面図、第４図は第１図
の上面図、第５図は本考案の実施例の動作説明図、第６
図，第７図は第５図の部分断面図、第８図は従来例の動
作説明図、第９図，第10図は第８図の部分断面図であ
る。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】未加工の基板が搭載される棚式の供給マガ
   ジンと、 加工済みの基板が搭載される棚式の収納マガジンと、 前記供給マガジン内まで入って前記未加工の基板をつか
   むとともにその未加工の基板を載物台上に載置する供給
   用チャック部と、前記載物台上で加工された基板をつか
   むとともにその加工済みの基板を前記収納マガジン内ま
   で入って収納する収納用チャック部とを前記供給マガジ
   ンおよび前記収納マガジンが設置された間隔に応じて配
   置して備えるとともに、前記収納用チャック部を旋回さ
   せる旋回手段を備えるハンド部と、 前記ハンド部を前記供給マガジンおよび収納マガジンが
   配置された位置から前記載物台が配置される位置まで搬
   送する搬送機構とを備え、 前記旋回手段による旋回動作により、前記搬送機構によ
   る搬送方向に前記供給用チャック部と前記収納用チャッ
   ク部が配置された状態で、その収納用チャック部は、前
   記載物台上の加工済みの基板をつかむとともに、 前記旋回手段による旋回動作により、前記供給マガジン
   と前記収納マガジンとが配置される方向と平行に前記供
   給用チャック部と前記収納用チャック部が配置された状
   態で、その収納用チャック部は、前記加工済みの基板を
   前記収納マガジン内に収納することを特徴とする自動基
   板供給・収納装置。