JPH09167311A - 複合型磁気ヘッドのヘッドコアピースの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 比較的要求精度の低いイレーズ用ガラスボン
ドバーを構成するＵバーの加工が、要求精度の高いリー
ドライト用のＵバーの加工と同様なので過剰適応になっ
ており、性能／コストを低下させていた。 【解決手段】 イレーズ用のガラスボンドバーを構成す
るＵバー４１１のＩバーとの突き合わせ面に対して、マ
ルチ砥石４１２によって形状付け加工すると同時に、Ｕ
バー４１１の側断面にバックハイト基準面４２３を加工
することにより、バックハイト４２２の一方の基準であ
るエイペックス４１４を決めるための従来の鏡面加工に
よる工程を省略した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はＦＤＤ用の磁気ヘッ
ドの、特にイレーズ用のヘッドコアピースの製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】ＦＤＤ用の磁気ヘッドの性能／製造コス
トは、広範囲な製造技術によって得られるリード／ライ
ト及びイレーズのヘッドコアピース（以下ではＨＣＰと
略称する）に依存していると言っても過言ではない。即
ち、基本的な磁気特性を支配するのは（１）フエライト
磁性材、（２）フェライト磁性材と接合するボンディン
グガラス材料及びモールドガラス材料、（３）ガラス材
料の融着温度パターン、（４）フエライト磁性材の無歪
み加工、（５）後工程での加工基準を得るための前段加
工、（６）各工程での洗浄方法、などである。しかしな
がら、このような技術を過剰に適用すると、性能の向上
が頭打ちになるだけではなく、コストを押し上げる要因
になる。

【０００３】以下では、従来のＨＣＰの一例を図面に基
づいて説明する。図３の（Ａ）〜（Ｅ）及び図４の
（Ｆ）〜（Ｇ）は従来のＨＣＰの主な製造工程のフロー
図である。図５は従来のＵバーのエーペックスを決める
斜鏡面加工の説明図である。図６は一対の夫々トラック
溝加工されたリードライト用とイレーズ用のガラスボン
ドバーとスペーサの組み付けを示す斜視図である。図７
は完成されたＨＣＰの斜視図である。

【０００４】図３において、製造工程１００及び２００
は夫々共通の主な製造工程（Ａ）〜（Ｅ）を有してい
て、製造工程１００によって得られたリードライト用の
トラック溝入りガラスボンドバー１５０と、製造工程２
００によって得られたイレーズ用のトラック溝入りガラ
スボンドバー２５０は、図４に示す製造工程（Ｆ）で一
体に接合されてガラスモールドバー３００に、更に製造
工程（Ｇ）でフォーミング加工が施されてＨＣＰバー３
５０となる。

【０００５】工程（Ａ）：図３（Ａ）において、製造工
程１００では、ＮｉーＺｎ系、又はＭｎーＺｎ系のフエ
ライトブロックから切り出された板状のワーク（被加工
物）１１０はマルチ砥石（後述）によって図のように形
状付け加工されてリードライト用のＵバー１１１とな
る。製造工程２００においても、同様にして、イレーズ
用のワーク２１０は溝加工されてＵバー２１１が得られ
る。一例としてマルチ砥石は＃４００〜６００で加工面
の表面粗さは約３μｍである。（以下の説明では、リー
ドライトとイレーズの共通の工程を説明する場合、ワー
ク１１０（２１０）のように略記する。）

【０００６】工程（Ｂ）：図３（Ｂ）において、Ｕバー
１１１（２１１）の突き合わせ面１２１（２２１）は、
例えば細かい粒径１μｍ以下のダイヤモンド砥粒で加工
歪みの少ない鏡面状にラップ加工されて、Ｕバー１２０
（２２０）となる。

【０００７】工程（Ｃ）：図３（Ｃ）の詳細を図５に基
づいて説明する。この工程では、治具（詳細省略）１３
４（２３４）にワックスなどで接着固定されたＵバー１
２０（２２０）に対して、ギャップ深さ１３６（２３
６）の基準となるエーペックス１３１（２３１）の設定
を行い、次にエーペックス１３１（２３１）を基準とし
て突っ切り砥石（図省略）で側断面加工することにより
バックハイト基準面（以下ＢＨ基準と略称）１３７（２
３７）が形成され、バックハイト（以下ＢＨと略称）１
３２（２３２）が設定される。

【０００８】即ち、工程（Ｂ）のままでは鏡面加工され
た突き合わせ面１２１（２２１）とギャップ深さ側の斜
面の交点１３８（２３８）は鏡面と粗い面が交わってい
て乱反射し、チッピングもあるので光学的方法ではその
位置を特定し難い。そのため、一例として、＃２５００
のカップ砥石１３５（２３５）によって斜鏡面１３３
（２３３）の加工を行えば、加工面の乱反射が消失して
エーペックス１３１（２３１）を正確に特定することが
できる。この工程によって完成Ｕバー１３０（２３０）
となる。

【０００９】上記の加工に於ける加工精度は、例えば、
２．７ｍｍ高さのＨＣＰでは、リードライト用のＢＨ１
３２が２．６７±０．００２ｍｍ、イレーズ用のＢＨ２
３２は２．６４±０．００２ｍｍと、同一方法による加
工の為リードライト用とイレーズ用とで同じ加工精度と
なっている。なお、ギャップ深さ１３６（２３６）はＢ
Ｈ基準１３７（２３７）から所定の設定値を与えること
によって、ＨＣＰ工程が終了した後の磁気ヘッドの組み
立て工程を経て最終仕上げ加工で完成される。

【００１０】工程（Ｄ）：図３（Ｄ）において、Ｕバー
１３０（２３０）の突き合わせ面１２１（２２１）側に
スパッタリングなどでＳｉＯ２の薄膜が形成されたＩバ
ー１４１（２４１）とＵバー１３０（２３０）は、ギャ
ップ長さ（ＩバーとＵバーの間隔）を精度よく保持する
ために、治具（図省略）に、直径数１００μｍ前後で長
さ数１０ｍｍのボンディングガラス１４２（２４２），
１４３（２４３）と共にセットされ、設定された温度パ
ターンによる熱工程を経てガラスボンドバー１４０（２
４０）となる。

【００１１】工程（Ｅ）：図３（Ｅ）において、ガラス
ボンドバー１４０（２４０）にトラック溝１５１（２５
１）の加工が施され、リードライト用のトラック溝入り
ガラスボンドバー１５０と、イレーズ用のトラック溝入
りガラスボンドバー２５０となる。

【００１２】工程（Ｆ）：図４（Ｆ）の詳細を図６の斜
視図に基づいて説明する。リードライト用のガラスボン
ドバー１５０とイレーズ用のガラスボンドバー２５０の
夫々のＩバー１４１，２４１同士をセラミック又はガラ
スからなるスペーサ３０１を挟んで対向させ、前記トラ
ック溝１５１（２５１）にガラスを流し込んで接合する
（図省略）ことによりガラスモールドバー３００とな
る。

【００１３】工程（Ｇ）：図４（Ｇ）において、ガラス
モールドバー３００はフォーミング加工されて、Ｉバー
１４１（２４１）の一部に加工残り１５０ａ（２５０
ａ）のあるＨＣＰバー３５０となる。

【００１４】図７は上記のＨＣＰバー３５０をスライス
して得られるＨＣＰの完成体７００を示すものである。
完成体７００は、イレーズトラック溝２５１ａ、イレー
ズＩバーのピース２５１ｐ、リードライトＩバーのピー
ス１４１ｐ及び上記のスペーサ３０１のピース３０１ｐ
とで形成される両コイル挿入脚１５０ｐ，２５０ｐ、リ
ードライトトラック溝１５１ａ、両加工残り部１５０ａ
ｐ，２５０ａｐなどから構成される。以上の説明から分
かるように、図３に示す製造工程（Ａ）〜（Ｃ）で両Ｕ
バー１３０，２３０の製作方法は殆ど同一である。

【００１５】上記のＨＣＰの完成体７００において、前
工程のガラスボンドバー１４０（２４０）の要求精度
は、一例としてＢＨはリードライト用で２．６７±０．
００２ｍｍ、イレーズ用で２．６４±０．０２ｍｍ、ギ
ャップ深さはリードライト用で３０±１０μｍ、イレー
ズ用で６０±４０μｍである。したがって、イレーズ用
のガラスボンドバー２４０に要求されるＢＨ及びギャッ
プ深さの要求精度は、リードライト用のガラスボンドバ
ー１４０のそれと比較して許容値が４〜１０倍大きいこ
とが分かる。これは、磁気ヘッドのリードライト用のＢ
Ｈ及びギャップ深さの要求精度が厳しいのに対して、イ
レーズ用のそれ等は消去特性に余裕があり要求精度が緩
やかなためである。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、リード
ライト用の加工精度を保証する為の加工方法をイレーズ
用にも適用しているために、イレーズ側に対しては加工
方法が過剰適応となっていてイレーズ用の要求精度に見
合った製造工程が実現していないことになる。従って、
磁気ヘッドの性能（例えば消去特性）を向上させている
訳ではないのに、イレーズ側に過剰な製造コストを掛け
ていると言える。このことは、磁気ヘッドの性能／コス
トを相対的に低下させ、磁気ヘッドを用いた製品の普及
を遅らせる要因となる恐れがある。

【００１７】本発明の目的は、イレーズ用のガラスボン
ドバーのＵバーのＩバーと対向する面の形状付け加工を
マルチ砥石によってのみ行い、斜鏡面加工を行わないこ
とにより、磁気ヘッドの性能／コストの改善を実現する
ことである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】課題を解決するための手
段は、リードライト用のＵバーのＩバーとの対向面に形
状付け加工を行う工程と、前記Ｕバーのエーペックスを
決める斜鏡面加工を施す工程と、前記Ｕバーの側断面加
工によりエーペックスからのＢＨが決められる工程と、
リードライト用のＩバーとのガラス接合によりリードラ
イト用のガラスボンドバーが形成される工程と、前記ガ
ラスボンドバーと対をなすイレーズ用のＵバーのＩバー
との対向面にマルチ砥石によって形状付け加工を施すと
同時にＢＨを決める側断面加工が施される工程とを有す
ることを特徴とする。

【００１９】さらには、ＢＨを決める側断面加工におい
ては砥石の外周部の側面を、砥石側面と平行に突出させ
た内周稜線部及び外周稜線部を有する砥石を用いて内周
稜線部が被加工物の下面を抜け切るように加工すること
を特徴とする。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下では本発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。図１は本発明のＵバーのエーペ
ックス及びエーペックスを基準とするＢＨを決めるマル
チ砥石による加工の説明図である。図２の（Ａ）〜
（Ｅ）は本発明のＨＣＰの主な製造工程のフロー図であ
る。

【００２１】図２において、リードライト用のガラスボ
ンドバーの製造工程とガラスモールドバーの製造工程
（Ｆ）とＨＣＰの製造工程（Ｇ）とは従来のそれぞれの
製造工程と同様なので図と説明とを省略する。イレーズ
用ガラスボンドバー４４０の工程（Ａ）〜（Ｅ）からな
る製造工程４００について、工程（Ｃ）の斜鏡面加工は
ない。又、この後の工程（Ｄ），（Ｅ）は従来と全く同
様であり、説明を省略する。

【００２２】次に、上記の工程（Ａ），（Ｂ）の詳細を
図１に基づいて説明する。加工機（図省略）の軸受けは
ボールベアリングであり、軸受け剛性はラジアルで約５
ｋｇｆ／μｍ、スラスト剛性は約９ｋｇｆ／μｍ、軸振
れは約３μｍ以内であり、砥石の振れは約２μｍ以内に
抑えられている。フエライトブロックから切り出された
フエライトの被加工物であるＵバー４１１は治具４１３
（詳細省略）にワックスなどで接着固定される。溝切り
加工用のマルチ砥石４１２は＃４００のメタルボンド
で、斜面のある砥石４１２ａ，４１２ｂ及び外周部の側
面を砥石側面と平行に突出させた段部４１６を有する直
径１２５ｍｍの突っ切り砥石４１２ｃから構成される。

【００２３】Ｕバー４１１のエーペックス４１４は砥石
４１２ａで加工されると同時に、ＢＨ４２２は突っ切り
砥石４１２ｃの外周稜線部４２６、内周稜線部４２５が
Ｕバー４１１のワーク下面４２４を突っ切ることによっ
て加工されて得られる。次に、マルチ砥石４１２によっ
てＵバー４１１の形状付け加工が実施された後で、粒径
１μｍ以下のダイヤモンド砥粒を用いて５０μｍ程度の
研磨代４２７により鏡面のラップ面４２１が形成され
る。同時に、ＢＨ４２２は予め研磨代４２７を見込んで
大き目に設定されているが、研磨工程後は所定の要求精
度内に入れられる。

【００２４】上記の突っ切り砥石４１２ｃの側面と平行
に突出された段部４１６は加工面からの砥石の逃げ４１
７を僅少にし、ＢＨ基準４２３とラップ面４２１（突き
合わせ面）との直角度を保持する働きがある。斜鏡面加
工を行わないので、エーペックス４１４の斜面４１４ａ
の表面粗さが大きい為、加工汚れが斜面４１４ａに擦り
込まれることが多く、その汚れがガラスボンデングの際
の熱で気化して気泡が発生し、それに伴う品質不良が心
配される。しかしこれは、洗浄方法を以下のように選ぶ
ことによって解決された。（１）ワックスで治具に接着
固定されたＵバー４２０をホットプレートにセットし、
その熱によって剥離してトリクレン洗浄を行う。（２）
Ｕバー４２０のガラスボンデング前の洗浄として、アル
カリ系洗剤−中性洗剤−市水−純水−ＩＰＡ等による洗
浄を行う。以上の洗浄工程により加工汚れを落とすこと
ができる。

【００２５】このように、イレーズボンドバーのＵバー
の加工方法と洗浄方法を用いた本発明の磁気ヘッドのコ
アピースの製造方法によって得られた加工精度は、ＢＨ
がリードライト用で２．６７±０．００２ｍｍ、イレー
ズ用で２．６４±０．０２ｍｍであり、要求精度に見合
った加工精度となっている。また、後工程の組み立て後
の最終仕上のギャップ深さは、リードライト用で３０±
１０μｍ、イレーズ用で６０±４０μｍであり、ＢＨと
同様に要求精度を満足している。さらに、磁気ヘッドの
特性（例えば消去特性）も従来の物と本発明の物とでの
差異は認められなかった。

【００２６】

【発明の効果】本発明によれば、磁気ヘッドのＨＣＰの
製造工程の一つであるイレーズ用のガラスボンドバーの
製造工程において、Ｕバーの形状付け加工後の斜鏡面加
工を行わなくても特性に差異はなく、工程が簡略化され
た分だけ性能／コストが改善される。また、Ｕバーの形
状付け加工用のマルチ砥石の突っ切り砥石に砥石側面と
平行に外周部に段部を設けることによって、砥石の逃げ
が少なくＢＨ基準と突き合わせ面（ラップ面）との直角
度が維持され、その結果、リードライト用のガラスボン
ドバーの寸法変動も少なくなり、磁気ヘッドの品質が格
段に安定する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のイレーズ用Ｕバーのマルチ砥石による
加工の説明図である。

【図２】本発明のガラスボンドバーの製造工程を示した
工程フロー図である。

【図３】従来のガラスボンドバーの製造工程を示した工
程フロー図である。

【図４】従来のＨＣＰバーの製造工程を示した工程フロ
ー図である。

【図５】従来のＵバーの斜鏡面加工の説明図である。

【図６】ガラスボンドバーとスペーサの組み付けを示す
斜視図である。

【図７】ＨＣＰの完成体斜視図である。

【符号の説明】

４１１ Ｕバー ４１２ マルチ砥石 ４１２ａ，４１２ｂ 砥石 ４１２ｃ 突っ切り砥石 ４１３ 治具 ４１４ エーペックス ４１４ａ 斜面 ４１６ 段部 ４１７ 砥石の逃げ ４２１ ラップ面 ４２２ バックハイト ４２３ バックハイト基準面 ４２４ ワーク下面 ４２５ 内周稜線部 ４２６ 外周稜線部 ４２７ 研磨代

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フエライト磁性材ブロックから切り出さ
   れた板状被加工物がリードライト用のＩバー及びＵバー
   に形状付け加工される工程と、同じくイレーズ用のＩバ
   ー及びＵバーに形状付け加工される工程と、前記夫々一
   対のＩバーとＵバーのガラス接合によりギャップが形成
   されるリードライト用及びイレーズ用のガラスボンドバ
   ーが形成される工程と、一対の前記リードライト用及び
   イレーズ用のガラスボンドバーにトラック溝が加工され
   る工程と、前記一対のガラスボンドバーが一体に接合し
   て形成されるガラスモールドバーが形成される工程と、
   前記ガラスモールドバーのフォーミング加工工程と、ス
   ライシング工程とからなるＦＤＤ用の複合型磁気ヘッド
   のヘッドコアピースの製造方法において、前記リードラ
   イト用のＵバーのＩバーとの対向面に形状付け加工を行
   う工程と、該Ｕバーのエーペックスを決める斜鏡面加工
   を施す工程と、該Ｕバーの側断面加工によりバックハイ
   トが決められる工程と、前記リードライト用のＩバーと
   のガラス接合によりリードライト用のガラスボンドバー
   が形成される工程と、該ガラスボンドバーと対をなす前
   記イレーズ用のＵバーのＩバーとの対向面にマルチ砥石
   によって形状付け加工を施すと同時にバックハイトを決
   める側断面加工が施される工程とを有することを特徴と
   するＦＤＤ用の複合型磁気ヘッドのヘッドコアピースの
   製造方法。
2. 【請求項２】 前記バックハイトを決める前記側断面加
   工においては砥石の外周部の側面を、砥石側面と平行に
   突出させた内周稜線部及び外周稜線部を有する砥石を用
   いて前記内周稜線部が被加工物の下面を抜け切るように
   加工することを特徴とする請求項１に記載の複合型磁気
   ヘッドのヘッドコアピースの製造方法。