JPH09297102A - 連続ガス分析計 - Google Patents
連続ガス分析計Info
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- JPH09297102A JPH09297102A JP8134480A JP13448096A JPH09297102A JP H09297102 A JPH09297102 A JP H09297102A JP 8134480 A JP8134480 A JP 8134480A JP 13448096 A JP13448096 A JP 13448096A JP H09297102 A JPH09297102 A JP H09297102A
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- gas
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- sample gas
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
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- G—PHYSICS
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
- G01N33/0042—SO2 or SO3
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 校正を短時間ですませられるようにすること
により、標準ガスボンベの容量を小さくして装置全体を
小型化する。 【解決手段】 標準ガス導入流路１４を除湿器１２の下
流とし、除湿器１２の上流には大気導入口を設ける。ゼ
ロガスとスパンガスを乾燥状態で測定し、大気導入口か
ら導入された大気をサンプルと同じ水分濃度にして測定
したときの測定値を水分干渉値として、サンプルガスを
測定したときの測定値から引き算して水分干渉補正を行
ない、その補正後の測定結果に検量線データを適用して
目的ガス成分を算出する。
により、標準ガスボンベの容量を小さくして装置全体を
小型化する。 【解決手段】 標準ガス導入流路１４を除湿器１２の下
流とし、除湿器１２の上流には大気導入口を設ける。ゼ
ロガスとスパンガスを乾燥状態で測定し、大気導入口か
ら導入された大気をサンプルと同じ水分濃度にして測定
したときの測定値を水分干渉値として、サンプルガスを
測定したときの測定値から引き算して水分干渉補正を行
ない、その補正後の測定結果に検量線データを適用して
目的ガス成分を算出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はサンプルガス中の目
的ガス成分を連続して分析する連続ガス分析計に関し、
特にＳＯ2測定装置のように水分により干渉をうける成
分を分析する分析計に関するものである。
的ガス成分を連続して分析する連続ガス分析計に関し、
特にＳＯ2測定装置のように水分により干渉をうける成
分を分析する分析計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１にＳＯ2測定装置を示す。吸引ポン
プ２によりサンプルガスを吸引して分析計４に導入する
サンプルガス導入流路６には、ポンプ２の上流に流量調
整弁８が設けられ、ポンプ２と分析計４の間にはサンプ
ルガス中の水分濃度を一定に保つ定湿装置としての除湿
器１０が設けられている。ポンプ２と除湿器１０の間の
流路には三方コック１２を介して標準ガス導入流路１４
が接続されており、標準ガス導入流路１４にはＳＯ2を
含まないゼロガスのボンベ１６とＳＯ2を一定濃度で含
むスパンガスのボンベ１８とがそれぞれ開閉弁２０，２
２を介して接続されている。三方コック１２の切換えと
開閉弁２０，２２の開閉により、分析計４には除湿器１
０を経てサンプルガス、ゼロガス及びスパンガスが切り
換えて導入される。
プ２によりサンプルガスを吸引して分析計４に導入する
サンプルガス導入流路６には、ポンプ２の上流に流量調
整弁８が設けられ、ポンプ２と分析計４の間にはサンプ
ルガス中の水分濃度を一定に保つ定湿装置としての除湿
器１０が設けられている。ポンプ２と除湿器１０の間の
流路には三方コック１２を介して標準ガス導入流路１４
が接続されており、標準ガス導入流路１４にはＳＯ2を
含まないゼロガスのボンベ１６とＳＯ2を一定濃度で含
むスパンガスのボンベ１８とがそれぞれ開閉弁２０，２
２を介して接続されている。三方コック１２の切換えと
開閉弁２０，２２の開閉により、分析計４には除湿器１
０を経てサンプルガス、ゼロガス及びスパンガスが切り
換えて導入される。
【０００３】分析計４は標準ガス導入流路からのゼロガ
スとスパンガスを測定したときの測定値を検量線データ
として保持する検量線記憶部を有しその検量線データに
基づいてサンプルガス濃度を算出するデータ処理部を備
えている。ＳＯ2の測定に関しては、その分析計での検
出部は水分に対しても感度をもっており、そのため水分
が検出値に水分干渉としてプラスに作用する。校正時に
は三方コック１２と開閉弁２０，２２の切換えにより、
ゼロガスとスパンガスが分析計に導入される。その際、
標準ガスにも除湿器１０から一定濃度の水分が与えられ
るため、水分干渉が０からスパン値の間で一定に働く。
スとスパンガスを測定したときの測定値を検量線データ
として保持する検量線記憶部を有しその検量線データに
基づいてサンプルガス濃度を算出するデータ処理部を備
えている。ＳＯ2の測定に関しては、その分析計での検
出部は水分に対しても感度をもっており、そのため水分
が検出値に水分干渉としてプラスに作用する。校正時に
は三方コック１２と開閉弁２０，２２の切換えにより、
ゼロガスとスパンガスが分析計に導入される。その際、
標準ガスにも除湿器１０から一定濃度の水分が与えられ
るため、水分干渉が０からスパン値の間で一定に働く。
【０００４】図２に検量線と水分干渉の関係を示す。ゼ
ロガスとスパンガスが除湿器１０を介して分析計４に導
かれて検量線が作成されると、水分干渉の分だけ指示が
プラス側になるため、ｂで示されるような検量線にな
る。しかし、０点及びスパン点で水分を含んだウェット
状態のままで校正するため、校正後の検量線は見かけ
上、原点を通るａで示されたものとなる。つまり水分干
渉分を加算した状態で校正していることになる。
ロガスとスパンガスが除湿器１０を介して分析計４に導
かれて検量線が作成されると、水分干渉の分だけ指示が
プラス側になるため、ｂで示されるような検量線にな
る。しかし、０点及びスパン点で水分を含んだウェット
状態のままで校正するため、校正後の検量線は見かけ
上、原点を通るａで示されたものとなる。つまり水分干
渉分を加算した状態で校正していることになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】目的ガス成分が水分干
渉をうけるＳＯ2のような場合、そのサンプルガスはウ
ェット状態では目的ガス成分が水分に吸着するため、応
答速度が遅くなり、そのため校正時間が長くかかる。そ
の結果、ゼロガスとスパンガスの消費量が多くなり、標
準ガスボンベの容量を小さくすることができず、装置全
体の小型化を妨げている。本発明は校正を短時間ですま
せることができるようにすることにより、標準ガスボン
ベの容量を小さくして装置全体を小型化することを目的
とするものである。
渉をうけるＳＯ2のような場合、そのサンプルガスはウ
ェット状態では目的ガス成分が水分に吸着するため、応
答速度が遅くなり、そのため校正時間が長くかかる。そ
の結果、ゼロガスとスパンガスの消費量が多くなり、標
準ガスボンベの容量を小さくすることができず、装置全
体の小型化を妨げている。本発明は校正を短時間ですま
せることができるようにすることにより、標準ガスボン
ベの容量を小さくして装置全体を小型化することを目的
とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、目的ガス成分
を検出する検出部と、サンプルガスの水分濃度を一定に
する定湿装置を介して検出部に導くサンプルガス導入流
路と、目的ガス成分を含まないゼロガスと一定濃度の目
的ガス成分を含むスパンガスとを切り換えて供給でき、
サンプルガス導入流路に切換え弁を介して接続された標
準ガス導入流路と、標準ガス導入流路からのゼロガスと
スパンガスを測定したときの測定値を検量線データとし
て保持する検量線記憶部を有しその検量線データに基づ
いてサンプルガス濃度を算出するデータ処理部とを備え
た連続ガス分析計であり、標準ガス導入流路とサンプル
ガス導入流路との接続位置は定湿装置と検出部との間と
し、サンプルガス導入流路で定湿装置より上流側にサン
プルガスと切り換えて大気を導入できる大気導入口を設
け、データ処理部３０は図３に示されるように、その検
量線記憶部３２はゼロガスとスパンガスを乾燥状態で測
定したときの測定値を検量線データとして保持するもの
であり、データ処理部３０は大気導入口から導入された
大気を測定したときの測定値を水分干渉値として、サン
プルガスを測定したときの測定値から引き算する水分干
渉補正部３４をさらに備え、データ処理部３０の演算部
３６は水分干渉が補正された測定結果に検量線記憶部３
２の検量線データを適用して目的ガス成分を算出するも
のである。
を検出する検出部と、サンプルガスの水分濃度を一定に
する定湿装置を介して検出部に導くサンプルガス導入流
路と、目的ガス成分を含まないゼロガスと一定濃度の目
的ガス成分を含むスパンガスとを切り換えて供給でき、
サンプルガス導入流路に切換え弁を介して接続された標
準ガス導入流路と、標準ガス導入流路からのゼロガスと
スパンガスを測定したときの測定値を検量線データとし
て保持する検量線記憶部を有しその検量線データに基づ
いてサンプルガス濃度を算出するデータ処理部とを備え
た連続ガス分析計であり、標準ガス導入流路とサンプル
ガス導入流路との接続位置は定湿装置と検出部との間と
し、サンプルガス導入流路で定湿装置より上流側にサン
プルガスと切り換えて大気を導入できる大気導入口を設
け、データ処理部３０は図３に示されるように、その検
量線記憶部３２はゼロガスとスパンガスを乾燥状態で測
定したときの測定値を検量線データとして保持するもの
であり、データ処理部３０は大気導入口から導入された
大気を測定したときの測定値を水分干渉値として、サン
プルガスを測定したときの測定値から引き算する水分干
渉補正部３４をさらに備え、データ処理部３０の演算部
３６は水分干渉が補正された測定結果に検量線記憶部３
２の検量線データを適用して目的ガス成分を算出するも
のである。
【０００７】本発明ではドライ状態で校正するため、標
準ガスが水分に吸着されることがなく、ウェット状態の
場合よりも標準ガスを流す時間が短かくなり、標準ガス
の消費量が少なくなる。
準ガスが水分に吸着されることがなく、ウェット状態の
場合よりも標準ガスを流す時間が短かくなり、標準ガス
の消費量が少なくなる。
【０００８】
【実施例】図４は一実施例のＳＯ2測定装置の全体構成
を表わしたものである。図１と同一の部材には同一の符
号を用いる。吸引ポンプ２によりサンプルガスを吸引し
て分析計４ａに導入するサンプルガス導入流路６には、
ポンプ２の上流に流量調整弁８が設けられ、ポンプ２と
分析計４ａの間にはサンプルガス中の水分濃度を一定に
保つ定湿装置としての除湿器１０が設けられている。
を表わしたものである。図１と同一の部材には同一の符
号を用いる。吸引ポンプ２によりサンプルガスを吸引し
て分析計４ａに導入するサンプルガス導入流路６には、
ポンプ２の上流に流量調整弁８が設けられ、ポンプ２と
分析計４ａの間にはサンプルガス中の水分濃度を一定に
保つ定湿装置としての除湿器１０が設けられている。
【０００９】標準ガス導入流路１４とサンプルガス導入
流路６との接続部である三方コック１２の位置は、図１
では除湿器１０よりも上流側であるが、実施例では除湿
器１０よりも下流側、すなわち除湿器１０と分析計４ａ
の間に変更されている。標準ガス導入流路１４にはＳＯ
2を含まないゼロガスのボンベ１６とＳＯ2を一定濃度で
含むスパンガスのボンベ１８とがそれぞれ開閉弁２０，
２２を介して接続されており、さらに乾燥ガスを供給で
きる乾燥ガス流路４０が接続されている。サンプルガス
導入流路６で、流量調整弁８よりも上流側には三方コッ
ク４２を介して、大気を導入できる大気導入口４４が接
続されている。
流路６との接続部である三方コック１２の位置は、図１
では除湿器１０よりも上流側であるが、実施例では除湿
器１０よりも下流側、すなわち除湿器１０と分析計４ａ
の間に変更されている。標準ガス導入流路１４にはＳＯ
2を含まないゼロガスのボンベ１６とＳＯ2を一定濃度で
含むスパンガスのボンベ１８とがそれぞれ開閉弁２０，
２２を介して接続されており、さらに乾燥ガスを供給で
きる乾燥ガス流路４０が接続されている。サンプルガス
導入流路６で、流量調整弁８よりも上流側には三方コッ
ク４２を介して、大気を導入できる大気導入口４４が接
続されている。
【００１０】三方コック１２を標準ガス導入流路１４側
に設定した場合、開閉弁２０，２２の開閉と乾燥ガス流
路４０の開閉により、分析計４ａには除湿器１０を経な
いでゼロガス、スパンガス及び乾燥ガスが切り換えて導
入される。三方コック１２をサンプルガス導入流路６側
に設定した場合、三方コック４２の切換えにより分析計
４ａには除湿器１０を経てサンプルガス及び大気が切り
換えて導入される。
に設定した場合、開閉弁２０，２２の開閉と乾燥ガス流
路４０の開閉により、分析計４ａには除湿器１０を経な
いでゼロガス、スパンガス及び乾燥ガスが切り換えて導
入される。三方コック１２をサンプルガス導入流路６側
に設定した場合、三方コック４２の切換えにより分析計
４ａには除湿器１０を経てサンプルガス及び大気が切り
換えて導入される。
【００１１】分析計４ａは標準ガス導入流路からのゼロ
ガスとスパンガスを測定したときの測定値を検量線デー
タとして保持する検量線記憶部３２を有し、その検量線
データに基づいてサンプルガス濃度を算出するデータ処
理部３０を備えている。そのデータ処理部３０は図３に
示された機能を備えている。
ガスとスパンガスを測定したときの測定値を検量線デー
タとして保持する検量線記憶部３２を有し、その検量線
データに基づいてサンプルガス濃度を算出するデータ処
理部３０を備えている。そのデータ処理部３０は図３に
示された機能を備えている。
【００１２】この実施例の動作を図５から図７により説
明する。サンプルガス測定中は三方コック４２がサンプ
ルガスを導入する側に設定され、三方コック１２がサン
プルガスを分析計４ａに導入する側に設定される。ポン
プ２によりサンプルガスが吸引され、除湿器１０を経て
水分量が一定にされて分析計４ａに導かれ、分析が行な
われる。
明する。サンプルガス測定中は三方コック４２がサンプ
ルガスを導入する側に設定され、三方コック１２がサン
プルガスを分析計４ａに導入する側に設定される。ポン
プ２によりサンプルガスが吸引され、除湿器１０を経て
水分量が一定にされて分析計４ａに導かれ、分析が行な
われる。
【００１３】校正時には三方コック１２が標準ガス導入
流路１４を分析計４ａに導く側に切り換えられ、乾燥ガ
ス導入流路４０は閉じられた状態で、開閉弁２０，２２
の開閉によりゼロガスとスパンガスが切り換えて分析計
４ａに導入される。
流路１４を分析計４ａに導く側に切り換えられ、乾燥ガ
ス導入流路４０は閉じられた状態で、開閉弁２０，２２
の開閉によりゼロガスとスパンガスが切り換えて分析計
４ａに導入される。
【００１４】さらに詳しく動作を説明する。サンプル測
定中に、定期的に又は必要に応じて校正動作に切り換え
られる。図６は校正と水分干渉補正動作を示したもので
ある。校正に切り換えられると、三方コック１２が標準
ガス導入流路１４側に切り換えられ、開閉弁２０が開け
られ、開閉弁２２が閉じられてゼロガスが分析計４ａに
導入される。校正時は水分干渉補正演算が解除され、図
５ので示されるように指示出力が水分干渉分だけ上昇
する。分析計４ａの配管内部が乾燥するにつれて指示出
力が減少していき、乾燥後、指示出力が０にされてゼロ
校正が終了する（図５の）。
定中に、定期的に又は必要に応じて校正動作に切り換え
られる。図６は校正と水分干渉補正動作を示したもので
ある。校正に切り換えられると、三方コック１２が標準
ガス導入流路１４側に切り換えられ、開閉弁２０が開け
られ、開閉弁２２が閉じられてゼロガスが分析計４ａに
導入される。校正時は水分干渉補正演算が解除され、図
５ので示されるように指示出力が水分干渉分だけ上昇
する。分析計４ａの配管内部が乾燥するにつれて指示出
力が減少していき、乾燥後、指示出力が０にされてゼロ
校正が終了する（図５の）。
【００１５】次に、開閉弁２０が閉じられ、開閉弁２２
が開けられてスパンガスが分析計４ａに導入され、指示
が安定した時点で指示出力がスパン点にされてスパン校
正が終了する（図５の）。
が開けられてスパンガスが分析計４ａに導入され、指示
が安定した時点で指示出力がスパン点にされてスパン校
正が終了する（図５の）。
【００１６】三方コック１２がサンプルガス導入流路６
を分析計４ａに接続する側に戻され、三方コック４２が
大気導入口４４側に切り換えられて、ポンプ２によって
大気が吸引される。吸引された大気は除湿器１０によっ
て水分量が一定にされて分析計４ａに導入される。大気
には測定対象のガス成分は含まれないため、指示は０の
はずであるが、水分干渉のためプラス側に指示が現われ
る。その指示を０にシフトさせることにより、水分干渉
量がサンプルの指示から引かれることになり、水分干渉
補正が終了する（図５の）。
を分析計４ａに接続する側に戻され、三方コック４２が
大気導入口４４側に切り換えられて、ポンプ２によって
大気が吸引される。吸引された大気は除湿器１０によっ
て水分量が一定にされて分析計４ａに導入される。大気
には測定対象のガス成分は含まれないため、指示は０の
はずであるが、水分干渉のためプラス側に指示が現われ
る。その指示を０にシフトさせることにより、水分干渉
量がサンプルの指示から引かれることになり、水分干渉
補正が終了する（図５の）。
【００１７】校正及び水分干渉補正が終了すると、図７
に示されるように、再びサンプルガスの測定に戻され
る。サンプルガスの測定値はすでに水分干渉量が差し引
かれた結果になっているので、その測定値に検量線デ−
タが適用されて目的ガス成分濃度が算出され、出力され
る。
に示されるように、再びサンプルガスの測定に戻され
る。サンプルガスの測定値はすでに水分干渉量が差し引
かれた結果になっているので、その測定値に検量線デ−
タが適用されて目的ガス成分濃度が算出され、出力され
る。
【００１８】図４の実施例では標準ガス導入流路１４に
乾燥ガス導入流路４０を接続しているので、校正時にゼ
ロガスで配管内部を乾燥させるのに代えてこの乾燥ガス
を用いることができる。これにより配管が乾燥するまで
の間のゼロガスの消費がなくなるため、ゼロガスボンベ
をさらに小型にすることができる。この場合、ゼロガス
とスパンガスの消費量が等しくなる。実施例の動作に示
したように、ゼロガスで配管内部を乾燥させる場合に
は、乾燥ガス導入流路４０を設けなくてもよい。
乾燥ガス導入流路４０を接続しているので、校正時にゼ
ロガスで配管内部を乾燥させるのに代えてこの乾燥ガス
を用いることができる。これにより配管が乾燥するまで
の間のゼロガスの消費がなくなるため、ゼロガスボンベ
をさらに小型にすることができる。この場合、ゼロガス
とスパンガスの消費量が等しくなる。実施例の動作に示
したように、ゼロガスで配管内部を乾燥させる場合に
は、乾燥ガス導入流路４０を設けなくてもよい。
【００１９】
【発明の効果】本発明ではゼロガスとスパンガスを乾燥
状態で測定したときの測定値を検量線データとし、大気
導入口から導入された大気をサンプルと同じ水分濃度に
して測定したときの測定値を水分干渉値として、サンプ
ルガスを測定したときの測定値から引き算して水分干渉
補正を行ない、水分干渉が補正された測定結果に検量線
データを適用して目的ガス成分を算出するようにした。
このように、校正を乾燥状態で行なうことから、標準ガ
スの消費量が少なくなり、使用されるガスボンベが小さ
くてすみ、分析装置全体を小型にすることができる。
状態で測定したときの測定値を検量線データとし、大気
導入口から導入された大気をサンプルと同じ水分濃度に
して測定したときの測定値を水分干渉値として、サンプ
ルガスを測定したときの測定値から引き算して水分干渉
補正を行ない、水分干渉が補正された測定結果に検量線
データを適用して目的ガス成分を算出するようにした。
このように、校正を乾燥状態で行なうことから、標準ガ
スの消費量が少なくなり、使用されるガスボンベが小さ
くてすみ、分析装置全体を小型にすることができる。
【図１】従来のＳＯ2分析装置を示す流路図である。
【図２】検量線と水分干渉の関係を示す図である。
【図３】本発明におけるデ−タ−処理部を示すブロック
図である。
図である。
【図４】一実施例のＳＯ2分析装置を示す流路図であ
る。
る。
【図５】実施例の動作を示すタイムチャ−トである。
【図６】校正及び水分干渉補正の動作を示すフロ−チャ
−ト図である。
−ト図である。
【図７】サンプル測定動作を示すフロ−チャ−ト図であ
る。
る。
２ ポンプ ６ サンプルガス導入流路 ４ａ 分析計 １０ 除湿器 １２ 三方コック １４ 標準ガス導入流路 １６ ゼロガスボンベ １８ スパンガスボンベ ３０ デ−タ処理部 ３２ 検量線記憶部 ３４ 水分干渉補正部 ３６ 演算部 ４０ 乾燥ガス導入流路 ４４ 大気導入口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村上 博司 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所三条工場内 (72)発明者 神吉 良英 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所三条工場内
Claims (1)
- 【請求項１】 目的ガス成分を検出する検出部と、サン
プルガスの水分濃度を一定にする定湿装置を介して前記
検出部に導くサンプルガス導入流路と、目的ガス成分を
含まないゼロガスと一定濃度の目的ガス成分を含むスパ
ンガスとを切り換えて供給でき、前記サンプルガス導入
流路に切換え弁を介して接続された標準ガス導入流路
と、標準ガス導入流路からのゼロガスとスパンガスを測
定したときの測定値を検量線データとして保持する検量
線記憶部を有しその検量線データに基づいてサンプルガ
ス濃度を算出するデータ処理部とを備えた連続ガス分析
計において、 前記標準ガス導入流路と前記サンプルガス導入流路との
接続位置は前記定湿装置と前記検出部との間とし、 前記サンプルガス導入流路で前記定湿装置より上流側に
サンプルガスと切り換えて大気を導入できる大気導入口
を設け、 前記データ処理部の検量線記憶部はゼロガスとスパンガ
スを乾燥状態で測定したときの測定値を検量線データと
して保持するものであり、前記データ処理部は前記大気
導入口から導入された大気を測定したときの測定値を水
分干渉値として、サンプルガスを測定したときの測定値
から引き算する水分干渉補正部をさらに備え、前記デー
タ処理部の演算部は水分干渉が補正された測定結果に前
記検量線記憶部の検量線データを適用して目的ガス成分
を算出するものであることを特徴とする連続ガス分析
計。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13448096A JP3183165B2 (ja) | 1996-04-30 | 1996-04-30 | 連続ガス分析計 |
| US08/845,924 US5894083A (en) | 1996-04-30 | 1997-04-28 | Continuous gas analyzer |
| DE19718464A DE19718464A1 (de) | 1996-04-30 | 1997-04-30 | Kontinuierlicher Gasanalysator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13448096A JP3183165B2 (ja) | 1996-04-30 | 1996-04-30 | 連続ガス分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09297102A true JPH09297102A (ja) | 1997-11-18 |
| JP3183165B2 JP3183165B2 (ja) | 2001-07-03 |
Family
ID=15129317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13448096A Expired - Fee Related JP3183165B2 (ja) | 1996-04-30 | 1996-04-30 | 連続ガス分析計 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
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