JPH09328528A - フェノール類樹脂、エボキシ樹脂、エポキシ樹脂組成物及びその硬化物 - Google Patents
フェノール類樹脂、エボキシ樹脂、エポキシ樹脂組成物及びその硬化物Info
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Abstract
どの性能を有する硬化物を与えるフェノール類樹脂、エ
ポキシ樹脂を提供すること。 【解決手段】アルデヒド基を有するシクロアルケン類と
フェノール類の重縮合物であるフェノール類樹脂、これ
をグリシジル化してなるエポキシ樹脂、該フェノール類
樹脂及び/またはエポキシ樹脂を含有するエポキシ樹脂
組成物。
Description
用を始めとする電気・電子部品絶縁材料用、及び積層板
(プリント配線板)やCFRP(炭素繊維強化プラスチ
ック)を始めとする各種複合材料用、接着剤、塗料等に
有用なフェノール樹脂、エポキシ樹脂及び該フェノール
樹脂及び/またはエポキシ樹脂を含有するエポキシ樹脂
組成物及びその硬化物に関する。
物の優れた電気特性、耐熱性、接着性、耐湿性(耐水
性)等により電気・電子部品、構造用材料、接着剤、塗
料等の分野で幅広く用いられている。
子分野においてはその発展に伴い、エポキシ樹脂の高純
度化をはじめその硬化物の耐熱性、耐湿性、密着性の向
上、エポキシ樹脂組成物とした時のフィラー高充填のた
めの低粘度性等の諸特性の一層の向上が求められてい
る。また、構造材としては航空宇宙材料、レジャー・ス
ポーツ器具用途などにおいて軽量で機械物性の優れた材
料であることと同時に、作業性の向上のために低粘度の
樹脂が求められている。これらの要求に対しエポキシ樹
脂組成物について多くの提案がなされてはいるが、未だ
充分とはいえない。
な特性を持つエポキシ樹脂について鋭意研究の結果、本
発明を完成した。即ち、本発明は、(1)式(1)
て炭素数1〜10の炭化水素基、アルコキシ基を示す。
Xは−CH2 −、−CH2 −CH2 −、または−O−を
示す。)で表される化合物とフェノール類との縮重合物
であるフェノール類樹脂、(2)前記(1)記載のフェ
ノール類樹脂をグリシジル化してなるエポキシ樹脂、
(3)前記(1)記載のフェノール類樹脂を硬化剤成分
として含有するエポキシ樹脂組成物、(4)前記(2)
記載のエポキシ樹脂を含有するエポキシ樹脂組成物、
(5)前記(1)記載のフェノール類樹脂と前記(2)
記載のエポキシ樹脂を含有するエポキシ樹脂組成物、
(6)前記(3)、(4)または(5)のいずれか1項
に記載のエポキシ樹脂組成物を硬化してなる硬化物、
(7)半導体封止用に調製されてなる前記(3)、
(4)または(5)のいずれか1項に記載のエポキシ樹
脂組成物に関する。
類と式(1)の化合物を例えば酸触媒で縮重合すること
により得られる。
ド(アルデヒド基とオレフィンが隣接する化合物)とc
is構造になり得る共役ジエン構造を有する化合物との
ディールス−アルダー反応生成物である。式(1)の化
合物の原料として用いうるオレフィンアルデヒドの具体
例としては、アクロレイン、メタクロレイン、クロトン
アルデヒド、シンナムアルデヒド、アミルシンナムアル
デヒド、ヘキシルシンナムアルデヒド、シトラール等が
挙げられ、また、用いうるジエン構造を有する化合物の
具体例としてはブタジエン、イソプレン、ジメチルブタ
ジエン、シクロペンタジエン、シクロヘキサジエン、ミ
ルセン、ジンジベレン、フラン、ジメチルフラン等が挙
げられるが、これらに限定されない。またこれらは単独
でも2種以上併用してもよい。式(1)の化合物の好ま
しい具体例としては1,2,3,6−テトラヒドロベン
ズアルデヒド、5−ノルボルネン−2−カルボキシアル
デヒド、2,5−エタノ−Δ3 −テトラヒドロベンズア
ルデヒド等が挙げられる。
ェノール、クレゾール、キシレノール、2ーtertブ
チルー5ーメチルフェノール、2ーtertブチルー4
ーメチルフェノール、フェニルフェノール、グアヤコー
ル、ヒドロキノン、レゾルシン、カテコール、ナフトー
ル、ジヒドロキシナフタレン等が挙げられるがこれらに
限定されない。またこれらは単独でも2種以上併用して
もよい。
酸、p−トルエンスルホン酸、蓚酸、酢酸、乳酸、クエ
ン酸、酒石酸、三フッ化ほう素等が挙げられるが、これ
らに限定されない。またこれらは単独でも2種以上を併
用してもよい。
えば式(1)で表される化合物とフェノール類と(必要
により溶媒)の混合物中に酸触媒を加えて加熱する。反
応終了後、水洗や中和処理で触媒を除去あるいは失活さ
せた後、減圧加熱下で未反応原料や溶剤を除去する。ま
た、フェノール類と触媒(必要により溶媒)の混合物中
を加熱しているところに式(1)の化合物を徐々に添加
してもよい。反応温度は通常30〜120℃、反応時間
は通常1〜100時間である。また、比較的低温で反応
を行い、一旦未反応原料の除去工程までおこなった後、
再び得られた生成物を、再び加熱されたフェノール類と
触媒(必要により溶媒)の混合物中に徐々に添加する方
法でもよい。この方法だと3官能成分を多く得ることが
出来る。
の具体例としては、トルエン、キシレン等が挙げられ、
その使用量は通常フェノール類100重量部に対して通
常20〜400重量部である。
れるフェノール類樹脂とエピハロヒドリン類とを反応さ
せて得ることができる。
ては、エピクロルヒドリン、β−メチルエピクロルヒド
リン、エピブロムヒドリン、β−メチルエピブロムヒド
リン、エピヨードヒドリン、β−エチルエピクロルヒド
リン等が挙げられるが、工業的に入手し易く安価なエピ
クロルヒドリンが好ましい。このエポキシ化反応はそれ
自体従来公知の方法に準じて行うことが出来る。
エピハロヒドリン類の混合物に水酸化ナトリウム、水酸
化カリウムなどのアルカリ金属水酸化物を一括添加また
は徐々に添加しながら20〜120℃で0.5〜10時
間反応させる。この際アルカリ金属水酸化物はその水溶
液を使用してもよく、その場合は該アルカリ金属水酸化
物の水溶液を連続的に添加すると共に反応混合物中から
減圧下、または常圧下、連続的に水及びエピハロヒドリ
ン類を留出せしめ更に分液し水は除去しエピハロヒドリ
ン類は反応混合物中に連続的に戻す方法でもよい。
使用量はフェノール類樹脂の水酸基1当量に対して通常
0.5〜20モル、好ましくは0.7〜10モルであ
る。アルカリ金属水酸化物の使用量はフェノール類樹脂
中の水酸基1当量に対し通常0.5〜1.5モル、好ま
しくは0.7〜1.2モルである。また、ジメチルスル
ホン、ジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミド、
1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン等の非プロト
ン性極性溶媒を添加することにより下記に定義する加水
分解性ハロゲン濃度の低いエポキシ樹脂が得られ、この
エポキシ樹脂は電子材料封止用の用途に適する。非プロ
トン性極性溶媒の使用量はエピハロヒドリン類の重量に
対し通常5〜200重量%、好ましくは10〜100重
量%である。また、上記の溶媒以外にもメタノール、エ
タノール等のアルコール類、1,4−ジオキサン等の環
状及び鎖状エーテル類を添加することによっても反応が
進み易くなり、加水分解性ハロゲン濃度も非プロトン性
極性溶媒を使用した場合よりは高いが、これら溶媒を使
用しないときよりは低くなる。またトルエン、キシレン
等も使用することができる。ここで加水分解性ハロゲン
濃度とは、例えば該エポキシ樹脂をジオキサンと1N−
KOH/エタノール溶液に入れ、数十分間還流した後、
硝酸銀溶液で滴定することにより測定することができ
る。
ドリン類の混合物にテトラメチルアンモニウムクロライ
ド、テトラメチルアンモニウムブロマイド、トリメチル
ベンジルアンモニウムクロライドなどの第四級アンモニ
ウム塩を触媒として使用し、50℃〜150℃で1〜1
0時間反応させ、得られるフェノール類樹脂のハロヒド
リンエーテルに水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなど
のアルカリ金属水酸化物の固体または水溶液を加え、2
0〜120℃で1〜10時間反応させてハロヒドリンエ
ーテルを閉環させて本発明のエポキシ樹脂を得ることも
できる。この場合の第四級アンモニウム塩の使用量はフ
ェノール類樹脂の水酸基1当量に対して0.001〜
0.2モル、好ましくは0.05〜0.1モルである。
アルカリ金属水酸化物の使用量は、フェノール類樹脂の
水酸基1当量に対し通常0.8〜1.5モル、好ましく
は0.9〜1.1モルである。
は水洗無しに加熱減圧下過剰のエピハロヒドリン類や、
その他使用した溶媒等を除去した後、トルエン、メチル
イソブチルケトン、メチルエチルケトン等の溶媒に溶解
し、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ
金属水酸化物の水溶液を加えて再び反応を行うことによ
り加水分解性ハロゲン濃度の低いエポキシ樹脂を得るこ
とが出来る。この場合アルカリ金属水酸化物の使用量は
クレゾールノボラック樹脂の水酸基1当量に対して0.
01〜0.2モル、好ましくは0.05〜0.1モルで
ある。反応温度は通常50〜120℃、反応時間は通常
0.5〜2時間である。反応終了後副生した塩をろ過、
水洗などにより除去し、さらに加熱減圧下トルエン、メ
チルイソブチルケトン、メチルエチルケトン等の溶媒を
留去することにより加水分解性ハロゲン濃度が低い本発
明のエポキシ樹脂を得ることができる。
て説明する。前記(3)、(5)、(7)記載のエポキ
シ樹脂組成物において本発明のフェノール類樹脂はエポ
キシ樹脂の硬化剤として作用し、この場合本発明のフェ
ノール類樹脂を単独でまたは他の硬化剤と併用すること
が出来る。併用する場合、本発明のフェノール類樹脂の
全硬化剤中に占める割合は10重量%以上が好ましく、
特に20重量%以上が好ましい。
他の硬化剤としては、例えばアミン系化合物、酸無水物
系化合物、アミド系化合物、フェノ−ル系化合物などが
挙げられる。用いうる硬化剤の具体例としては、ジアミ
ノジフェニルメタン、ジエチレントリアミン、トリエチ
レンテトラミン、ジアミノジフェニルスルホン、イソホ
ロンジアミン、ジシアンジアミド、リノレン酸の2量体
とエチレンジアミンとより合成されるポリアミド樹脂、
無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット
酸、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチ
ルテトラヒドロ無水フタル酸、無水メチルナジック酸、
ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フ
タル酸、ビスフェノール類、フェノール(フェノール、
アルキル置換フェノール、ナフトール、アルキル置換ナ
フトール、ジヒドロキシベンゼン、ジヒドロキシナフタ
レン等)類と各種アルデヒドとの重縮合物、フェノール
類と各種ジエン化合物との重合物、フェノール類と芳香
族ジメチロールとの重縮合物、ビフェノール類及びこれ
らの変性物、イミダゾ−ル、BF3 −アミン錯体、グア
ニジン誘導体などが挙げられる。
シ樹脂組成物において本発明のエポキシ樹脂は単独でま
たは他のエポキシ樹脂と併用して使用することが出来
る。併用する場合、本発明のエポキシ樹脂の全エポキシ
樹脂中に占める割合は30重量%以上が好ましく、特に
40重量%以上が好ましい。
エポキシ樹脂の具体例としてはビスフェノール類、フェ
ノール(フェノール、アルキル置換フェノール、ナフト
ール、アルキル置換ナフトール、ジヒドロキシベンゼ
ン、ジヒドロキシナフタレン等)類と各種アルデヒドと
の重縮合物、フェノール類と各種ジエン化合物との重合
物、フェノール類と芳香族ジメチロールとの重縮合物、
ビフェノール類、アルコール類等をグリシジル化したグ
リシジルエーテル系エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹
脂、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、グリシジルエス
テル系エポキシ樹脂等が挙げられるが、エポキシ樹脂で
あればこれらに限定されるものではない。これらは単独
で用いてもよく、2種以上を用いてもよい。
において、硬化剤として本発明のフェノール類樹脂を用
いる場合、エポキシ樹脂としては前記で他のエポキシ樹
脂として例示したエポキシ樹脂や本発明のエポキシ樹脂
を用いることが出来る。
成物において、エポキシ樹脂として本発明のエポキシ樹
脂を用いる場合、硬化剤としては前記で他の硬化剤とし
て例示した硬化剤や本発明のフェノール類樹脂を用いる
ことが出来る。
剤の使用量は、エポキシ樹脂のエポキシ基1当量に対し
て通常0.5〜1.5当量、好ましくは、0.6〜1.
2当量である。エポキシ基1当量に対して、0.5当量
に満たない場合、あるいは1.5当量を超える場合、い
ずれも硬化が不完全となり良好な硬化物性が得られない
恐れがある。
要により硬化促進剤を含有せしめても差し支えない。用
いうる硬化促進剤の具体例としては2−メチルイミダゾ
ール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチ
ルイミダゾール等のイミダゾ−ル類、2−(ジメチルア
ミノメチル)フェノール等の第3級アミン類、トリフェ
ニルホスフィン等のホスフィン類、オクチル酸スズなど
の金属化合物などが挙げられる。硬化促進剤はエポキシ
樹脂100重量部に対して0.01〜15重量部が必要
に応じ用いられる。さらに、本発明のエポキシ樹脂組成
物には、必要に応じてシリカ、アルミナ、タルク等の充
填材やシランカップリング剤、離型剤、顔料等の種々の
配合剤を添加することができる。
分を所定の割合で均一に混合することにより得られ、半
導体封止用として用いるのが好ましい。本発明のエポキ
シ樹脂組成物は従来知られている方法と同様の方法で容
易にその硬化物とすることができる。例えば本発明のエ
ポキシ樹脂と硬化剤、必要により硬化促進剤及び充填
材、その他配合剤とを必要に応じて押出機、ニ−ダ、ロ
−ル等を用いて均一になるまで充分に混合して本発明の
エポキシ樹脂組成物を得、そのエポキシ樹脂組成物を、
溶融注型法あるいはトランスファ−成型法やインジェク
ション成型法、圧縮成型法などによって成形し、必要で
あればさらに80〜200℃で加熱することにより本発
明の硬化物を得ることができる。
ン、キシレン、アセトン、メチルエチルケトン、メチル
イソブチルケトン等の溶剤に溶解させ、ガラス繊維、カ
−ボン繊維、ポリエステル繊維、ポリアミド繊維、アル
ミナ繊維、紙などの基材に含浸させ加熱乾燥して得たプ
リプレグを熱プレス成形して本発明の硬化物を得ること
もできる。
と溶剤の合計重量に対し溶剤の占める割合が、通常10
〜70重量%、好ましくは15〜65重量%となる量使
用する。
る。尚、本発明はこれら実施例に限定されるものではな
い。また実施例においてエポキシ当量、ICI粘度、軟
化点、加水分解性塩素濃度は以下の条件で測定した。 1)エポキシ当量 JIS K−7236に準じた方法で測定し、単位はg
/eqである。 2)ICI粘度 150℃におけるコーンプレート法における溶融粘度 測定機械:コーンプレート(ICI)高温粘度計(RESE
ARCH EQUIPMENT(LONDON)LTD.製) コーンNo.4:(測定範囲0〜40ポイズ) 試料量:0.10±0.005g 3)軟化点 JIS K−7234に準じた方法で測定 4)加水分解性塩素濃度 試料のジオキサン溶液に1N−KOHエタノール溶液を
添加し、30分間環流することにより遊離する塩素量を
硝酸銀滴定法により測定し、試料の重量で除した値
ル300重量部とp−トルエンスルホン酸3重量部を仕
込、1,2,3,6−テトラヒドロベンズアルデヒド2
8重量部を65℃で3時間かけて滴下した。その後、6
5℃で10時間反応を行い、炭酸ナトリウムで中和後、
メチルイソブチルケトン200重量部に溶解し、水洗を
繰り返して、塩類を除去した。次いで加熱減圧下に於て
未反応のフェノールとメチルイソブチルケトンを留去し
て樹脂を得た。得られた樹脂をフェノール200重量部
と三フッ化ほう素ジエチルエーテルコンプレックス1重
量部との混合物中に70℃で2時間かけて投入した。そ
の後、70℃で5時間反応し、メチルイソブチルケトン
200重量部に溶解して洗浄液が中性になるまで水洗を
繰り返した。次いで加熱減圧下でフェノールとメチルイ
ソブチルケトンを留去し、本発明のフェノール類樹脂
(P1)50重量部を得た。得られたフェノール類樹脂
(P1)の軟化点は105℃、ICI粘度は7ポイズで
あった。
ル300重量部と三フッ化ほう素ジエチルエーテルコン
プレックス3重量部を仕込み、1,2,3,6−テトラ
ヒドロベンズアルデヒド28重量部を65℃で3時間か
けて滴下した。その後、65℃で10時間反応を行い、
炭酸ナトリウムで中和後、メチルイソブチルケトン20
0重量部に溶解し、水洗を繰り返して、塩類を除去し
た。次いで加熱減圧下に於て未反応のフェノールとメチ
ルイソブチルケトンを留去して、本発明のフェノール類
樹脂(P2)60重量部を得た。得られたフェノール類
樹脂(P2)の軟化点は108℃、ICI粘度は9ポイ
ズであった。
部、エピクロルヒドリン(以下ECH)500重量部、
ジメチルスルホキシド30重量部を仕込、加熱、撹拌、
溶解後、温度を45℃に保持しながら、反応系内を45
Torrに保って、40%水酸化ナトリウム水溶液43
重量部を4時間かけて連続的に滴下した。この際共沸に
より留出してくるECHと水を冷却、分液した後、有機
層であるECHだけを反応系内に戻しながら反応を行っ
た。水酸化ナトリウム水溶液滴下完了後、45℃で2時
間、70℃で30分更に反応を行った。ついで水洗を繰
り返し、副成塩とジメチルスルホキシドを除去した後、
油層から加熱減圧下において過剰のエピクロルヒドリン
を留去し、残留物に150重量部のメチルイソブチルケ
トンを添加し溶解した。このメチルイソブチルケトンの
溶液を70℃に加熱し30%水酸化ナトリウム水溶液5
重量部を添加し、1時間反応させた後、反応液の水洗を
洗浄液が中性となるまで繰り返した。ついで油層から加
熱減圧下においてメチルイソブチルケトンを留去するこ
とにより本発明のエポキシ樹脂(E1)48重量部を得
た。得られたエポキシ樹脂(E1)のエポキシ当量は2
18g/eq、軟化点は65℃、150℃におけるIC
I粘度は1.0ポイズ、加水分解性塩素は380ppm
であった。
で得られたフェノール類樹脂(P2)70重量部に変え
た以外は実施例3と同様の操作を行った。その結果、本
発明のエポキシ樹脂(E2)80重量部を得た。得られ
たエポキシ樹脂(E2)のエポキシ当量は240g/e
q、軟化点は76℃、150℃におけるICI粘度は
2.4ポイズ、加水分解性塩素は390ppmであっ
た。
アルデヒドを5−ノルボルネン−2−カルボキシアルデ
ヒド28重量部に変えた以外は実施例1と同様の操作を
行い、本発明のフェノール類樹脂(P3)52重量部を
得た。フェノール類樹脂(P3)の軟化点は103℃、
ICI粘度は6ポイズであった。
で得られたフェノール類樹脂(P3)64重量部に変え
た以外は実施例3と同様の操作を行った。その結果、本
発明のエポキシ樹脂(E3)80重量部を得た。得られ
たエポキシ樹脂(E3)のエポキシ当量は239g/e
q、軟化点は66℃、150℃におけるICI粘度は
1.1ポイズ、加水分解性塩素は380ppmであっ
た。
を使用して、エポキシ基1当量に硬化剤(日本化薬
(株)製、PN−80)1水酸基当量、硬化促進剤(ト
リフェニルホスフィン)をエポキシ樹脂100重量部に
対して1重量部配合し、2軸ロールにより混練し、粉
砕、タブレット化後、150℃、180秒の条件でトラ
ンスファー成型機により樹脂成型体を得て、180℃で
8時間硬化させ本発明の硬化物を得た。得られた硬化物
の特性を以下の条件で測定した。その結果を表1に示
す。 ・ガラス転移温度(TMA):真空理工(株)製 TM
−7000 昇温度速度 2℃/min. ・吸水率:直径5cm×厚み4mmの円盤状の試験片を
100℃の水中で24時間煮沸した後の重量増加率
(%) ・銅箔剥離強度:JIS C−6481(引き剥し強
さ)に記載の方法に準拠して測定した。 ・アイゾット衝撃試験:JIS K7710に準拠して
測定した。
シ樹脂を含有するエポキシ樹脂組成物は、その硬化物に
おいて高耐熱性、低吸湿性、高耐衝撃性、高接着性など
の性能を有する。そのため、電気電子部品用絶縁材料
(高信頼性半導体封止材料など)及び積層板(プリント
配線板など)やCFRPを始めとする各種複合材料、接
着剤用にきわめて有用である。
Claims (7)
- 【請求項1】式(1) 【化1】 (式中、複数存在するRはそれぞれ独立して炭素数1〜
10の炭化水素基、アルコキシ基を示す。Xは−CH2
−、−CH2 −CH2 −、または−O−を示す。)で表
される化合物とフェノール類との縮重合物であるフェノ
ール類樹脂。 - 【請求項2】請求項1記載のフェノール類樹脂をグリシ
ジル化してなるエポキシ樹脂。 - 【請求項3】請求項1記載のフェノール類樹脂を硬化剤
成分として含有するエポキシ樹脂組成物。 - 【請求項4】請求項2記載のエポキシ樹脂を含有するエ
ポキシ樹脂組成物。 - 【請求項5】請求項1記載のフェノール類樹脂と請求項
2記載のエポキシ樹脂を含有するエポキシ樹脂組成物。 - 【請求項6】請求項3、4または5のいずれか1項に記
載のエポキシ樹脂組成物を硬化してなる硬化物。 - 【請求項7】半導体封止用に調製されてなる請求項3、
4または5のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成
物。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP17161996A JP3886060B2 (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | エポキシ樹脂、エポキシ樹脂組成物及びその硬化物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17161996A JP3886060B2 (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | エポキシ樹脂、エポキシ樹脂組成物及びその硬化物 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09328528A true JPH09328528A (ja) | 1997-12-22 |
| JP3886060B2 JP3886060B2 (ja) | 2007-02-28 |
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ID=15926538
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17161996A Expired - Fee Related JP3886060B2 (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | エポキシ樹脂、エポキシ樹脂組成物及びその硬化物 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3886060B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004323777A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-11-18 | Dainippon Ink & Chem Inc | 液状封止材用樹脂組成物及び半導体装置 |
| US20120108071A1 (en) * | 2010-11-01 | 2012-05-03 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Resist underlayer film composition and patterning process using the same |
-
1996
- 1996-06-12 JP JP17161996A patent/JP3886060B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2004323777A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-11-18 | Dainippon Ink & Chem Inc | 液状封止材用樹脂組成物及び半導体装置 |
| US20120108071A1 (en) * | 2010-11-01 | 2012-05-03 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Resist underlayer film composition and patterning process using the same |
| KR20120046093A (ko) * | 2010-11-01 | 2012-05-09 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 레지스트 하층막 재료 및 이를 이용한 패턴 형성 방법 |
| US8877422B2 (en) * | 2010-11-01 | 2014-11-04 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Resist underlayer film composition and patterning process using the same |
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|---|---|
| JP3886060B2 (ja) | 2007-02-28 |
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