JPH0944831A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH0944831A JPH0944831A JP19000995A JP19000995A JPH0944831A JP H0944831 A JPH0944831 A JP H0944831A JP 19000995 A JP19000995 A JP 19000995A JP 19000995 A JP19000995 A JP 19000995A JP H0944831 A JPH0944831 A JP H0944831A
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- Japan
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- metal magnetic
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 保磁力が大きく、高密度記録に対応できる磁
気記録媒体を提供する。 【解決手段】 支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が
設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性膜
は斜めコラム構造を有してなり、この磁気コラムの中心
部は主としてＦｅ−Ｎで構成されると共に、コラムの周
辺部にＦｅ−Ｎ−Ｏが構成。又は、前記金属磁性膜のオ
ージェ電子分光分析（スパッタ方向が金属磁性膜に対し
て斜め方向）において、縦軸にＦｅ量、Ｏ量を、横軸に
スパッタ時間をとると、Ｆｅ量、Ｏ量が各々波打ったパ
ターンを持つ磁気記録媒体。
気記録媒体を提供する。 【解決手段】 支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が
設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性膜
は斜めコラム構造を有してなり、この磁気コラムの中心
部は主としてＦｅ−Ｎで構成されると共に、コラムの周
辺部にＦｅ−Ｎ−Ｏが構成。又は、前記金属磁性膜のオ
ージェ電子分光分析（スパッタ方向が金属磁性膜に対し
て斜め方向）において、縦軸にＦｅ量、Ｏ量を、横軸に
スパッタ時間をとると、Ｆｅ量、Ｏ量が各々波打ったパ
ターンを持つ磁気記録媒体。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｆｅ系金属磁性膜
を有する磁気記録媒体に関する。
を有する磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】磁性膜を蒸着やスパッ
タ等の乾式メッキ手段で構成した金属薄膜型の磁気記録
媒体が広く知られている。この磁性膜を構成する材料と
して種々のものが有る。このような磁性材料は、これま
で、主として、Ｃｏ−ＮｉやＣｏ−Ｃｒ系の磁性合金が
用いられている。
タ等の乾式メッキ手段で構成した金属薄膜型の磁気記録
媒体が広く知られている。この磁性膜を構成する材料と
して種々のものが有る。このような磁性材料は、これま
で、主として、Ｃｏ−ＮｉやＣｏ−Ｃｒ系の磁性合金が
用いられている。
【０００３】しかし、Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ等は価格が高
い。前記の問題点に鑑みて、Ｆｅが注目されている。こ
のＦｅは、価格が安く、かつ、公害問題を引き起こすこ
とも少ない。そして、Ｆｅ系金属磁性膜として、Ｆｅ−
Ｎ系金属磁性膜やＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が提案され
ている。しかし、これまで提案されて来たＦｅ系金属磁
性膜は高密度記録に不可欠な保磁力が充分ではなかっ
た。
い。前記の問題点に鑑みて、Ｆｅが注目されている。こ
のＦｅは、価格が安く、かつ、公害問題を引き起こすこ
とも少ない。そして、Ｆｅ系金属磁性膜として、Ｆｅ−
Ｎ系金属磁性膜やＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が提案され
ている。しかし、これまで提案されて来たＦｅ系金属磁
性膜は高密度記録に不可欠な保磁力が充分ではなかっ
た。
【０００４】この点についての研究を鋭意押し進めて行
った結果、Ｆｅ−Ｎ−Ｏの構造によって保磁力の大幅な
向上を得ることが出来た。すなわち、従来のＦｅ−Ｎ−
Ｏ系金属磁性膜は、同一深さにあっては、Ｆｅ量、Ｎ
量、Ｏ量が位置によって均等なものになっていると考え
られる。すなわち、従来のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜を
オージェ電子分光分析（スパッタ方向が金属磁性膜に対
して斜め方向）により調べ、縦軸にＦｅ，Ｎ，Ｏ量を、
横軸にスパッタ時間をとると、図５に示す如く、Ｆｅ，
Ｎ，Ｏ量は各々滑らかな単調増加パターンであったり、
単調減少パターンであったりする。尚、微細な波打ちは
認められるものの、ほぼ定常状態と見做すことが出来
る。
った結果、Ｆｅ−Ｎ−Ｏの構造によって保磁力の大幅な
向上を得ることが出来た。すなわち、従来のＦｅ−Ｎ−
Ｏ系金属磁性膜は、同一深さにあっては、Ｆｅ量、Ｎ
量、Ｏ量が位置によって均等なものになっていると考え
られる。すなわち、従来のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜を
オージェ電子分光分析（スパッタ方向が金属磁性膜に対
して斜め方向）により調べ、縦軸にＦｅ，Ｎ，Ｏ量を、
横軸にスパッタ時間をとると、図５に示す如く、Ｆｅ，
Ｎ，Ｏ量は各々滑らかな単調増加パターンであったり、
単調減少パターンであったりする。尚、微細な波打ちは
認められるものの、ほぼ定常状態と見做すことが出来
る。
【０００５】これに対して、図３に示す如く、Ｆｅ−Ｎ
−Ｏ系金属磁性膜をオージェ電子分光分析（スパッタ方
向が金属磁性膜に対して斜め方向）により調べ、縦軸に
Ｆｅ量、Ｎ量、Ｏ量を、横軸にスパッタ時間をとった場
合に、Ｆｅ量やＯ量が大きく波打ったパターンを持つ場
合には、このＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の保磁力は大幅
に向上したものであった。
−Ｏ系金属磁性膜をオージェ電子分光分析（スパッタ方
向が金属磁性膜に対して斜め方向）により調べ、縦軸に
Ｆｅ量、Ｎ量、Ｏ量を、横軸にスパッタ時間をとった場
合に、Ｆｅ量やＯ量が大きく波打ったパターンを持つ場
合には、このＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の保磁力は大幅
に向上したものであった。
【０００６】このような知見を基にして本発明が達成さ
れたものであり、保磁力が大きく、高密度記録に対応で
きる磁気記録媒体を提供することを目的とする。
れたものであり、保磁力が大きく、高密度記録に対応で
きる磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この本発明の目的は、支
持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁
気記録媒体であって、前記金属磁性膜は斜めコラム構造
を有してなり、この磁気コラムの中心部は主としてＦｅ
−Ｎで構成されると共に、コラムの周辺部にＦｅ−Ｎ−
Ｏが構成されてなることを特徴とする磁気記録媒体によ
って達成される。
持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁
気記録媒体であって、前記金属磁性膜は斜めコラム構造
を有してなり、この磁気コラムの中心部は主としてＦｅ
−Ｎで構成されると共に、コラムの周辺部にＦｅ−Ｎ−
Ｏが構成されてなることを特徴とする磁気記録媒体によ
って達成される。
【０００８】又、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性
膜のオージェ電子分光分析（スパッタ方向が金属磁性膜
に対して斜め方向）において、縦軸にＦｅ量、Ｏ量を、
横軸にスパッタ時間をとると、Ｆｅ量、Ｏ量が各々波打
ったパターンを持つことを特徴とする磁気記録媒体によ
って達成される。
が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性
膜のオージェ電子分光分析（スパッタ方向が金属磁性膜
に対して斜め方向）において、縦軸にＦｅ量、Ｏ量を、
横軸にスパッタ時間をとると、Ｆｅ量、Ｏ量が各々波打
ったパターンを持つことを特徴とする磁気記録媒体によ
って達成される。
【０００９】特に、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性
膜が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁
性膜は斜めコラム構造を有してなり、この磁気コラムの
中心部は主としてＦｅ−Ｎで構成されると共に、コラム
の周辺部にＦｅ−Ｎ−Ｏが構成されてなり、更に、前記
金属磁性膜のオージェ電子分光分析（スパッタ方向が金
属磁性膜に対して斜め方向）において、縦軸にＦｅ量、
Ｏ量を、横軸にスパッタ時間をとると、Ｆｅ量、Ｏ量が
各々波打ったパターンを持つことを特徴とする磁気記録
媒体によって達成される。
膜が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁
性膜は斜めコラム構造を有してなり、この磁気コラムの
中心部は主としてＦｅ−Ｎで構成されると共に、コラム
の周辺部にＦｅ−Ｎ−Ｏが構成されてなり、更に、前記
金属磁性膜のオージェ電子分光分析（スパッタ方向が金
属磁性膜に対して斜め方向）において、縦軸にＦｅ量、
Ｏ量を、横軸にスパッタ時間をとると、Ｆｅ量、Ｏ量が
各々波打ったパターンを持つことを特徴とする磁気記録
媒体によって達成される。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明は、支持体上にＦｅ−Ｎ−
Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁気記録媒体であっ
て、前記金属磁性膜は斜めコラム構造を有してなり、こ
の磁気コラムの中心部は主としてＦｅ−Ｎで構成される
と共に、コラムの周辺部にＦｅ−Ｎ−Ｏが構成されたも
のである。
Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁気記録媒体であっ
て、前記金属磁性膜は斜めコラム構造を有してなり、こ
の磁気コラムの中心部は主としてＦｅ−Ｎで構成される
と共に、コラムの周辺部にＦｅ−Ｎ−Ｏが構成されたも
のである。
【００１１】又、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性
膜のオージェ電子分光分析（スパッタ方向が金属磁性膜
に対して斜め方向）において、縦軸にＦｅ量、Ｏ量を、
横軸にスパッタ時間をとると、Ｆｅ量、Ｏ量が各々波打
ったパターンを持つものである。特に、支持体上にＦｅ
−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁気記録媒体で
あって、前記金属磁性膜は斜めコラム構造を有してな
り、この磁気コラムの中心部は主としてＦｅ−Ｎで構成
されると共に、コラムの周辺部にＦｅ−Ｎ−Ｏが構成さ
れてなり、更に、前記金属磁性膜のオージェ電子分光分
析（スパッタ方向が金属磁性膜に対して斜め方向）にお
いて、縦軸にＦｅ量、Ｏ量を、横軸にスパッタ時間をと
ると、Ｆｅ量、Ｏ量が各々波打ったパターンを持つもの
である。
が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性
膜のオージェ電子分光分析（スパッタ方向が金属磁性膜
に対して斜め方向）において、縦軸にＦｅ量、Ｏ量を、
横軸にスパッタ時間をとると、Ｆｅ量、Ｏ量が各々波打
ったパターンを持つものである。特に、支持体上にＦｅ
−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁気記録媒体で
あって、前記金属磁性膜は斜めコラム構造を有してな
り、この磁気コラムの中心部は主としてＦｅ−Ｎで構成
されると共に、コラムの周辺部にＦｅ−Ｎ−Ｏが構成さ
れてなり、更に、前記金属磁性膜のオージェ電子分光分
析（スパッタ方向が金属磁性膜に対して斜め方向）にお
いて、縦軸にＦｅ量、Ｏ量を、横軸にスパッタ時間をと
ると、Ｆｅ量、Ｏ量が各々波打ったパターンを持つもの
である。
【００１２】尚、本発明に言う波打ったパターンとは、
初期ピークを除いて、その中心仮想線から約５％以上の
振幅変動が認められるものを言う。従って、２〜３％程
度の小さい振動の場合には、波打ったパターンとは見做
さない。このような磁気記録媒体は、蒸着やスパッタ等
のＰＶＤ（フィジカルベーパーデポジション）法を用い
ることで作製できる。例えば、成膜速度が大きな蒸着法
を例にとって説明すると次のようになる。斜め蒸着装置
内を所定の真空度に排気すると共に、電子銃あるいはそ
の他の手段によりＦｅ系金属材料を蒸発させ、走行する
支持体上にＦｅ系金属粒子を付着・堆積させる。この付
着・堆積に際しては、Ｆｅ系金属蒸発粒子あるいは堆積
面に向けて窒素ガス（又は窒素イオン）や酸素ガス（又
は酸素イオン）等を照射し、非磁性の支持体上に設ける
磁性膜をＦｅ−Ｎ−Ｏ系膜とする。尚、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系
金属磁性膜におけるＦｅ：Ｎ：Ｏは５０〜８０ａｔ％：
１０〜４０ａｔ％：１０〜４０ａｔ％が好ましい。より
好ましくは、Ｆｅ：Ｎ：Ｏが５５〜７０ａｔ％：１５〜
３０ａｔ％：１５〜３０ａｔ％である。この成膜に際
し、窒素ガス（又は窒素イオン）と酸素ガス（又は酸素
イオン）との関係を調整することは大事である。例え
ば、後述する比較例でも示すように、同じ手法が採用さ
れても、導入する窒素量を変化させると、本発明が提案
した金属磁性膜の構造（斜めコラム構造の磁気コラムの
中心部は主としてＦｅ−Ｎで構成されると共に、コラム
の周辺部にＦｅ−Ｎ−Ｏが構成、あるいは金属磁性膜の
オージェ電子分光分析（スパッタ方向が金属磁性膜に対
して斜め方向）において、縦軸にＦｅ量、Ｏ量を、横軸
にスパッタ時間をとると、Ｆｅ量、Ｏ量が各々波打った
パターンを持つこと）にはならず、低保磁力のものしか
得られない場合が有る。
初期ピークを除いて、その中心仮想線から約５％以上の
振幅変動が認められるものを言う。従って、２〜３％程
度の小さい振動の場合には、波打ったパターンとは見做
さない。このような磁気記録媒体は、蒸着やスパッタ等
のＰＶＤ（フィジカルベーパーデポジション）法を用い
ることで作製できる。例えば、成膜速度が大きな蒸着法
を例にとって説明すると次のようになる。斜め蒸着装置
内を所定の真空度に排気すると共に、電子銃あるいはそ
の他の手段によりＦｅ系金属材料を蒸発させ、走行する
支持体上にＦｅ系金属粒子を付着・堆積させる。この付
着・堆積に際しては、Ｆｅ系金属蒸発粒子あるいは堆積
面に向けて窒素ガス（又は窒素イオン）や酸素ガス（又
は酸素イオン）等を照射し、非磁性の支持体上に設ける
磁性膜をＦｅ−Ｎ−Ｏ系膜とする。尚、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系
金属磁性膜におけるＦｅ：Ｎ：Ｏは５０〜８０ａｔ％：
１０〜４０ａｔ％：１０〜４０ａｔ％が好ましい。より
好ましくは、Ｆｅ：Ｎ：Ｏが５５〜７０ａｔ％：１５〜
３０ａｔ％：１５〜３０ａｔ％である。この成膜に際
し、窒素ガス（又は窒素イオン）と酸素ガス（又は酸素
イオン）との関係を調整することは大事である。例え
ば、後述する比較例でも示すように、同じ手法が採用さ
れても、導入する窒素量を変化させると、本発明が提案
した金属磁性膜の構造（斜めコラム構造の磁気コラムの
中心部は主としてＦｅ−Ｎで構成されると共に、コラム
の周辺部にＦｅ−Ｎ−Ｏが構成、あるいは金属磁性膜の
オージェ電子分光分析（スパッタ方向が金属磁性膜に対
して斜め方向）において、縦軸にＦｅ量、Ｏ量を、横軸
にスパッタ時間をとると、Ｆｅ量、Ｏ量が各々波打った
パターンを持つこと）にはならず、低保磁力のものしか
得られない場合が有る。
【００１３】尚、蒸発源に置くＦｅ材料としては色々な
ものが使用できるが、本発明において効果的なものはＦ
ｅ以外の金属元素の含有量は約５ｗｔ％以下であるか
ら、これらの金属元素による変動は僅かであり、Ｆｅ，
Ｎ，Ｏのみで規定した。上記のようにして１０００〜１
００００Å厚さのＦｅ系金属磁性膜が設けられると、必
要に応じて、ダイヤモンドライクカーボン、炭化ホウ
素、窒化珪素などからなる５０〜２００Å程度の厚さの
保護膜がＦｅ系金属磁性膜上に設けられる。又、パーフ
ルオロポリエーテル等のフッ素系の潤滑剤が２０〜７０
Å程度の厚さ設けられる。
ものが使用できるが、本発明において効果的なものはＦ
ｅ以外の金属元素の含有量は約５ｗｔ％以下であるか
ら、これらの金属元素による変動は僅かであり、Ｆｅ，
Ｎ，Ｏのみで規定した。上記のようにして１０００〜１
００００Å厚さのＦｅ系金属磁性膜が設けられると、必
要に応じて、ダイヤモンドライクカーボン、炭化ホウ
素、窒化珪素などからなる５０〜２００Å程度の厚さの
保護膜がＦｅ系金属磁性膜上に設けられる。又、パーフ
ルオロポリエーテル等のフッ素系の潤滑剤が２０〜７０
Å程度の厚さ設けられる。
【００１４】そして、上記のように構成させた磁気記録
媒体は、高い保磁力、かつ、高い飽和磁束密度を有する
ものであり、高密度記録に対応できる。しかも、耐蝕性
にも優れている。かつ、磁性材料のＦｅは安価で、公害
問題を起こし難い。特に、高純度Ｆｅを用いなくても良
いから、コストがより低廉である。
媒体は、高い保磁力、かつ、高い飽和磁束密度を有する
ものであり、高密度記録に対応できる。しかも、耐蝕性
にも優れている。かつ、磁性材料のＦｅは安価で、公害
問題を起こし難い。特に、高純度Ｆｅを用いなくても良
いから、コストがより低廉である。
【００１５】
【実施例１】図１は、本発明になる磁気記録媒体の製造
装置の概略図である。図１中、１は非磁性の支持体、例
えばＰＥＴフィルム、２ａはＰＥＴフィルム１の供給側
ロール、２ｂはＰＥＴフィルム１の巻取側ロール、３は
冷却キャンロール、４は遮蔽板、５はルツボ、６はＦｅ
系磁性金属、７は出力８ｋＷの電子銃、８は真空槽、９
は窒素ガス供給ノズル、１０は加速電圧６００Ｖ、出力
４００Ｗのカウフマン型のイオン銃である。これらの中
の殆どの構成は良く知られているから、詳細な説明は省
略する。
装置の概略図である。図１中、１は非磁性の支持体、例
えばＰＥＴフィルム、２ａはＰＥＴフィルム１の供給側
ロール、２ｂはＰＥＴフィルム１の巻取側ロール、３は
冷却キャンロール、４は遮蔽板、５はルツボ、６はＦｅ
系磁性金属、７は出力８ｋＷの電子銃、８は真空槽、９
は窒素ガス供給ノズル、１０は加速電圧６００Ｖ、出力
４００Ｗのカウフマン型のイオン銃である。これらの中
の殆どの構成は良く知られているから、詳細な説明は省
略する。
【００１６】本実施例の磁気記録媒体（磁気テープ）は
図１に示すような斜め蒸着装置を用いることによって得
られる。すなわち、６μｍ厚さのＰＥＴフィルム１を供
給側ロール２ａと巻取側ロール２ｂとの間に掛け渡し、
冷却キャンロール３に沿って０．５ｍ／分の速度で走行
させる。真空槽８内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ、例えば
８．８×１０-5Ｔｏｒｒ程度の真空度に排気した後、電
子銃７からの電子ビーム加熱によりルツボ５内の磁性金
属Ｆｅを溶融、蒸発させ、ＰＥＴフィルム１上に厚さが
１０００〜１００００Å、例えば２４００ÅのＦｅ系金
属磁性膜を設けた。
図１に示すような斜め蒸着装置を用いることによって得
られる。すなわち、６μｍ厚さのＰＥＴフィルム１を供
給側ロール２ａと巻取側ロール２ｂとの間に掛け渡し、
冷却キャンロール３に沿って０．５ｍ／分の速度で走行
させる。真空槽８内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ、例えば
８．８×１０-5Ｔｏｒｒ程度の真空度に排気した後、電
子銃７からの電子ビーム加熱によりルツボ５内の磁性金
属Ｆｅを溶融、蒸発させ、ＰＥＴフィルム１上に厚さが
１０００〜１００００Å、例えば２４００ÅのＦｅ系金
属磁性膜を設けた。
【００１７】Ｆｅ系金属磁性膜の成膜時に、窒素ガス供
給ノズル９から窒素ガスを１０ｓｃｃｍ供給すると共
に、イオン銃１０に窒素ガスと酸素ガスとの混合ガス
（Ｎ2 ：Ｏ2 ＝９０：１０）を２０ｓｃｃｍ供給し、Ｆ
ｅ系金属磁性膜に向けて窒素イオンと酸素イオンとを照
射した。このようにして得られたＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁
性膜の断面ＴＥＭ像を図２に示す。又、オージェ電子分
光分析（スパッタ方向が金属磁性膜に対して斜め方向）
による結果を図３に示す。尚、測定は、電子銃条件；加
速電圧１０ｋＶ、エミッション電流１０ｎＡ、倍率２０
００倍、エッチング条件；エッチングガスＡｒ、加速電
圧３ｋＶ、Ｉｏｎ電流３００ｎＡであり、３０分間エッ
チングして行った。
給ノズル９から窒素ガスを１０ｓｃｃｍ供給すると共
に、イオン銃１０に窒素ガスと酸素ガスとの混合ガス
（Ｎ2 ：Ｏ2 ＝９０：１０）を２０ｓｃｃｍ供給し、Ｆ
ｅ系金属磁性膜に向けて窒素イオンと酸素イオンとを照
射した。このようにして得られたＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁
性膜の断面ＴＥＭ像を図２に示す。又、オージェ電子分
光分析（スパッタ方向が金属磁性膜に対して斜め方向）
による結果を図３に示す。尚、測定は、電子銃条件；加
速電圧１０ｋＶ、エミッション電流１０ｎＡ、倍率２０
００倍、エッチング条件；エッチングガスＡｒ、加速電
圧３ｋＶ、Ｉｏｎ電流３００ｎＡであり、３０分間エッ
チングして行った。
【００１８】これによれば、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
は、斜めコラム構造を有し、この磁気コラムの中心部は
主としてＦｅ−Ｎで構成されると共に、コラムの周辺部
にＦｅ−Ｎ−Ｏが構成されたものであることが判る。そ
して、このＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜について、その保
磁力Ｈｃを調べると１４５０Ｏｅであり、極めて高保磁
力なものである。又、飽和磁束密度Ｂｓは７１００Ｇ、
Ｂｒ／Ｂｓが０．８１であり、高密度記録に対応でき
る。
は、斜めコラム構造を有し、この磁気コラムの中心部は
主としてＦｅ−Ｎで構成されると共に、コラムの周辺部
にＦｅ−Ｎ−Ｏが構成されたものであることが判る。そ
して、このＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜について、その保
磁力Ｈｃを調べると１４５０Ｏｅであり、極めて高保磁
力なものである。又、飽和磁束密度Ｂｓは７１００Ｇ、
Ｂｒ／Ｂｓが０．８１であり、高密度記録に対応でき
る。
【００１９】
【比較例１】実施例１において、窒素ガス供給ノズル９
からの窒素供給量を２００ｓｃｃｍとし、かつ、カウフ
マン型のイオン銃における加速電圧を３００Ｖ、出力を
２００Ｗとした他は、実施例１に準じて行った。このよ
うにして得られたＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の断面ＴＥ
Ｍ像を図４に示す。又、オージェ電子分光分析（スパッ
タ方向が金属磁性膜に対して斜め方向）による結果を図
５に示す。
からの窒素供給量を２００ｓｃｃｍとし、かつ、カウフ
マン型のイオン銃における加速電圧を３００Ｖ、出力を
２００Ｗとした他は、実施例１に準じて行った。このよ
うにして得られたＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の断面ＴＥ
Ｍ像を図４に示す。又、オージェ電子分光分析（スパッ
タ方向が金属磁性膜に対して斜め方向）による結果を図
５に示す。
【００２０】これによれば、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
は、本願発明のタイプではないことが判る。そして、こ
のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜について、その保磁力Ｈｃ
を調べると４６０Ｏｅであり、保磁力は小さい。又、飽
和磁束密度Ｂｓは５４００Ｇ、Ｂｒ／Ｂｓが０．３８で
あり、高密度記録には対応できないものである。
は、本願発明のタイプではないことが判る。そして、こ
のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜について、その保磁力Ｈｃ
を調べると４６０Ｏｅであり、保磁力は小さい。又、飽
和磁束密度Ｂｓは５４００Ｇ、Ｂｒ／Ｂｓが０．３８で
あり、高密度記録には対応できないものである。
【００２１】
【効果】安価な材料を用いて高密度記録に適した磁気記
録媒体が得られる。
録媒体が得られる。
【図１】本発明の磁気記録媒体の製造装置の概略図
【図２】本発明のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の断面ＴＥ
Ｍ像
Ｍ像
【図３】本発明のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の斜め方向
のオージェ電子分光分析のグラフ
のオージェ電子分光分析のグラフ
【図４】本発明外のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の断面Ｔ
ＥＭ像
ＥＭ像
【図５】本発明外のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の斜め方
向のオージェ電子分光分析のグラフ
向のオージェ電子分光分析のグラフ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年７月２６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石川 准子 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が
設けられてなる磁気記録媒体であって、 前記金属磁性膜は斜めコラム構造を有してなり、 この磁気コラムの中心部は主としてＦｅ−Ｎで構成され
ると共に、 コラムの周辺部にＦｅ−Ｎ−Ｏが構成されてなることを
特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が
設けられてなる磁気記録媒体であって、 前記金属磁性膜のオージェ電子分光分析（スパッタ方向
が金属磁性膜に対して斜め方向）において、縦軸にＦｅ
量、Ｏ量を、横軸にスパッタ時間をとると、Ｆｅ量、Ｏ
量が各々波打ったパターンを持つことを特徴とする磁気
記録媒体。 - 【請求項３】 支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が
設けられてなる磁気記録媒体であって、 前記金属磁性膜は斜めコラム構造を有してなり、 この磁気コラムの中心部は主としてＦｅ−Ｎで構成され
ると共に、コラムの周辺部にＦｅ−Ｎ−Ｏが構成されて
なり、 更に、前記金属磁性膜のオージェ電子分光分析（スパッ
タ方向が金属磁性膜に対して斜め方向）において、縦軸
にＦｅ量、Ｏ量を、横軸にスパッタ時間をとると、Ｆｅ
量、Ｏ量が各々波打ったパターンを持つことを特徴とす
る磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19000995A JPH0944831A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19000995A JPH0944831A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0944831A true JPH0944831A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16250864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19000995A Pending JPH0944831A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0944831A (ja) |
-
1995
- 1995-07-26 JP JP19000995A patent/JPH0944831A/ja active Pending
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