JPH0963842A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 安価で、公害問題を起こし難いＦｅ系材料を
用いて高記録密度化に対応できる磁気記録媒体を提供す
ることである。 【解決手段】 支持体上にＦｅ及びＮを有するＦｅ−Ｎ
系金属磁性膜が設けられてなる磁気記録媒体であって、
前記Ｆｅ−Ｎ系金属磁性膜におけるＮが２０〜４０ａｔ
％である磁気記録媒体。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｆｅ系金属磁性膜
を有する磁気記録媒体に関する。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】磁性膜を蒸着やスパッ
タ等の乾式メッキ手段で構成した金属薄膜型の磁気記録
媒体が広く知られている。この磁性膜を構成する材料と
して種々のものが有る。このような磁性材料は、これま
で、主として、Ｃｏ−ＮｉやＣｏ−Ｃｒ系の磁性合金が
用いられている。

【０００３】しかし、Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ等は価格が高
い。このの問題点に鑑みて、Ｆｅが注目されている。こ
のＦｅは、価格が安く、かつ、公害問題を引き起こすこ
とも少ない。しかし、高記録密度化に不可欠な保磁力が
低く、又、耐蝕性にも劣る問題がある。

【０００４】前記保磁力の点については、磁性膜をＦｅ
のみで構成するのではなく、Ｆｅ−Ｎ系膜やＦｅ−Ｎ−
Ｏ系膜に構成させることによって改善できることが判っ
て来た。一方、耐蝕性については、純度が高いＦｅを用
いて磁性膜を構成することが試みられた。例えば、純度
が９９．９５％以上のＦｅ材料を蒸着させることによっ
て磁性膜を構成することが試みられた。しかし、Ｆｅが
安価な材料と言っても、純度が高くなると、しかも超高
純度なものになると、高いものになる。

【０００５】この点について更なる検討を鋭意押し進め
て行った結果、Ｆｅ−Ｎ系膜やＦｅ−Ｎ−Ｏ系膜のよう
にＦｅ及びＮを有する金属磁性膜におけるＮの量を制御
することによって優れた結果を呈することが判って来
た。本発明は係る知見に基づいてなされたものであり、
安価で、公害問題を起こし難いＦｅ系材料を用いて高記
録密度化に対応できる磁気記録媒体を提供することを目
的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記本発明の目的は、支
持体上にＦｅ及びＮを有するＦｅ−Ｎ系金属磁性膜が設
けられてなる磁気記録媒体であって、前記Ｆｅ−Ｎ系金
属磁性膜におけるＮが２０〜４０ａｔ％であることを特
徴とする磁気記録媒体によって達成される。

【０００７】尚、上記金属磁性膜におけるＦｅは６０〜
８０ａｔ％であることが好ましい。又、支持体上にＦ
ｅ，Ｎ及びＯを有するＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設け
られてなる磁気記録媒体であって、前記Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系
金属磁性膜におけるＮが２０〜４０ａｔ％であることを
特徴とする磁気記録媒体によって達成される。

【０００８】尚、上記金属磁性膜におけるＦｅは５０〜
７０ａｔ％、Ｏが１０〜３０ａｔ％であることが好まし
い。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明は、支持体上にＦｅ及びＮ
を有するＦｅ−Ｎ系金属磁性膜が設けられてなる磁気記
録媒体であって、前記Ｆｅ−Ｎ系金属磁性膜におけるＮ
が２０〜４０ａｔ％である。尚、この金属磁性膜におけ
るＦｅは６０〜８０ａｔ％である。又、支持体上にＦ
ｅ，Ｎ及びＯを有するＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設け
られてなる磁気記録媒体であって、前記Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系
金属磁性膜におけるＮが２０〜４０ａｔ％である。尚、
この金属磁性膜におけるＦｅは５０〜７０ａｔ％、Ｏが
１０〜３０ａｔ％である。

【００１０】本発明の磁気記録媒体の支持体としてはあ
らゆるものを用いることが出来る。例えば、ポリエステ
ル系の樹脂、Ａｌ合金などの金属、ガラスやカーボン等
の無機材料を用いることが出来る。この支持体上に、蒸
着やスパッタ等のＰＶＤ（フィジカルベーパーデポジシ
ョン）法によりＦｅ系金属磁性膜が設けられる。この成
膜を、成膜速度が大きな蒸着法を例にとって説明すると
次のようになる。先ず、斜め蒸着装置内を所定の真空度
に排気すると共に、電子銃あるいはその他の手段により
Ｆｅ系金属材料を蒸発させ、走行する支持上にＦｅ系金
属粒子を付着・堆積させる。この付着・堆積に際して
は、Ｆｅ系金属蒸発粒子あるいは堆積面に向けて窒素ガ
ス（又は窒素イオン）や酸素ガス（又は酸素イオン）等
を照射し、非磁性の支持体上に設ける磁性膜をＦｅ−Ｎ
系膜あるいはＦｅ−Ｎ−Ｏ系膜（Ｎが２０〜４０ａｔ
％）とする。尚、Ｆｅ−Ｎ系金属磁性膜とした場合に
は、Ｆｅ：Ｎが８０〜６０ａｔ％：２０〜４０ａｔ％で
ある。Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜とした場合には、Ｆ
ｅ：Ｎ：Ｏが５０〜７０ａｔ％：２０〜４０ａｔ％：１
０〜３０ａｔ％である。より好ましくは、Ｆｅ：Ｎ：Ｏ
が５５〜７０ａｔ％：１５〜３０ａｔ％：１５〜３０ａ
ｔ％である。

【００１１】尚、Ｆｅ以外の金属元素の含有量は僅かで
あるから、これらの金属元素による変動は僅かであり、
Ｆｅ，Ｎ，Ｏのみで規定した。上記のようにして１００
０〜１００００Å厚さのＦｅ系金属磁性膜が設けられる
と、必要に応じて、ダイヤモンドライクカーボン、炭化
ホウ素、窒化珪素などからなる５０〜２００Å程度の厚
さの保護膜がＦｅ系金属磁性膜上に設けられる。又、パ
ーフルオロポリエーテル等のフッ素系の潤滑剤が１０〜
７０Å程度の厚さ設けられる。

【００１２】そして、上記のように構成させた磁気記録
媒体は、耐蝕性および耐久性が優れていた。すなわち、
Ｎ量と飽和磁束密度の減少率ΔＢｓとの関係を調べる
と、Ｎが２０ａｔ％未満の場合には、耐蝕性および耐久
性に問題が有った。すなわち、Ｎ量を２０ａｔ％より多
くしていると、耐蝕性が向上した。しかも、Ｎ量を２０
ａｔ％より多くしていると、磁性膜の硬度が向上し、こ
の点から耐久性（スチル耐久性）が向上した。

【００１３】しかし、Ｎが４０ａｔ％を越えて多くなる
と、飽和磁束密度Ｂｓが低下し、かつ、磁性膜が硬くな
り過ぎ、ヘッドタッチが低下し、磁気特性のみならず、
電磁変換特性も低下した。しかしながら、Ｎが４０ａｔ
％以下の場合には、磁気特性や電磁変換特性に問題はな
かった。しかも、磁性材料のＦｅは安価で、公害問題を
起こし難い。特に、高純度Ｆｅを用いなくても良いか
ら、コストがより低廉である。

【００１４】

【実施例】図１は、本発明になる磁気記録媒体の製造装
置の概略図である。図１中、１は非磁性の支持体、例え
ばＰＥＴフィルム、２ａはＰＥＴフィルム１の供給側ロ
ール、２ｂはＰＥＴフィルム１の巻取側ロール、３は冷
却キャンロール、４は遮蔽板、５はルツボ、６はＦｅ系
磁性金属、７は電子銃、８は真空槽、９は酸素ガス供給
ノズル、１０はイオン銃である。これら各々の構成は良
く知られているから、詳細な説明は省略する。

【００１５】本実施例の磁気記録媒体（磁気テープ）は
図１に示すような斜め蒸着装置を用いることによって得
られる。すなわち、ＰＥＴフィルム１を供給側ロール２
ａと巻取側ロール２ｂとの間に掛け渡し、冷却キャンロ
ール３に沿って走行させる。真空槽８内を１０^-4〜１０
^-6Ｔｏｒｒ程度の真空度に排気した後、電子銃７からの
電子ビーム加熱によりルツボ５内の磁性金属（組成を表
−１に示す）を溶融、蒸発させ、ＰＥＴフィルム１上に
厚さが２０００ÅのＦｅ系金属磁性膜を設けた。

【００１６】Ｆｅ系金属磁性膜の成膜時に、酸素ガス供
給ノズル９から酸素を供給すると共に、イオン銃１０に
よってＦｅ系金属磁性膜に向けて窒素イオンを照射した
ので、Ｆｅ系金属磁性膜はＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜と
なっている。尚、酸素ガス供給ノズル９から酸素を供給
する代わりに、イオン銃によってＦｅ系金属磁性膜に向
けて窒素イオンと酸素イオンとを照射しても、Ｆｅ−Ｎ
−Ｏ系金属磁性膜が得られる。

【００１７】この斜め蒸着手段により設けられたＦｅ−
Ｎ−Ｏ系金属磁性膜について、オージェ電子分光分析に
よりＦｅとＮとＯの割合を調べたので、その結果を表−
１に示す。 表−１ Ｆｅ（ａｔ％） Ｎ（ａｔ％） Ｏ（ａｔ％） 本発明１ ６０ ３０ １０ 本発明２ ６５ ２０ １５ 本発明３ ７０ ２０ １０ 本発明４ ５５ ４０ ５ 本発明５ ５０ ２０ ３０ 本発明６ ７０ ３０ ０ 発明外１ ８０ １５ ５ 発明外２ ４０ ５０ １０ 発明外３ ８５ １５ ０ 発明外４ ５０ ５０ ０ 上記のように構成された磁気テープの耐蝕性、スチル耐
久性、Ｃ／Ｎ、及び飽和磁束密度Ｂｓについて調べたの
で、その結果を表−２に示す。

【００１８】 表−２ 耐蝕性 スチル耐久性 Ｃ／Ｎ（ｄＢ） Ｂｓ （％） （ｄＢ） ５ＭＨｚ １０ＭＨｚ (G) 本発明１ １ −０．２ ＋０．５ ＋０．６ ６５００ 本発明２ ２ −０．５ ＋１．１ ＋１．３ ６７００ 本発明３ ３ −０．６ ＋１．２ ＋１．４ ７１００ 本発明４ ２ −０．１ ０ ０ ５８００ 本発明５ １ −０．１ ０ ０ ５６００ 本発明６ ６ −１．０ ＋１．５ ＋２．１ ７６００ 発明外１ １０ −１．６ ０ ０ ７６００ 発明外２ １ −０．５ −３．５ −５．４ ４８００ 発明外３ ９ −３．２ ＋０．５ ＋１．１ ７７００ 発明外４ ２ −０．２ −３．４ −５．１ ４５００ ＊耐蝕性：６０℃、９０％ＲＨの雰囲気下に１週間放置し、飽和磁束密度の 減少率ΔＢｓ ＊スチル耐久性：市販のＨｉ８ｍｍＶＴＲを改造したデッキを用いて信号を 入力し、１時間のスチル再生を行った後の出力低下を表示 ＊Ｃ／Ｎ：市販のＨｉ８ｍｍＶＴＲを改造し、Ｃ／Ｎ（キャリア／ノイズレ ベル）を測定可能にしたシステムを用いて測定。発明外１のＣ／ Ｎを基準として表示。

【００１９】

【発明の効果】安価な材料を用いて高密度記録に適した
磁気記録媒体が得られる。しかも、この磁気記録媒体は
耐蝕性および耐久性にも優れたものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気記録媒体の製造装置の概略図

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石川 准子 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 支持体上にＦｅ及びＮを有するＦｅ−Ｎ
   系金属磁性膜が設けられてなる磁気記録媒体であって、 前記Ｆｅ−Ｎ系金属磁性膜におけるＮが２０〜４０ａｔ
   ％であることを特徴とする磁気記録媒体。
2. 【請求項２】 金属磁性膜におけるＦｅは６０〜８０ａ
   ｔ％であることを特徴とする請求項１の磁気記録媒体。
3. 【請求項３】 支持体上にＦｅ，Ｎ及びＯを有するＦｅ
   −Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁気記録媒体で
   あって、 前記Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜におけるＮが２０〜４０
   ａｔ％であることを特徴とする磁気記録媒体。
4. 【請求項４】 金属磁性膜におけるＦｅは５０〜７０ａ
   ｔ％、Ｏが１０〜３０ａｔ％であることを特徴とする請
   求項３の磁気記録媒体。