JPH0944911A - スタンパー製造用ガラス原盤 - Google Patents
スタンパー製造用ガラス原盤Info
- Publication number
- JPH0944911A JPH0944911A JP7189093A JP18909395A JPH0944911A JP H0944911 A JPH0944911 A JP H0944911A JP 7189093 A JP7189093 A JP 7189093A JP 18909395 A JP18909395 A JP 18909395A JP H0944911 A JPH0944911 A JP H0944911A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass master
- master disk
- glass
- turntable
- turn table
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ディスク形成用のスタンパーを安定して製
造し得るガラス原盤を提供する。 【構成】 スタンパー製造用ガラス原盤であって、表面
部は平滑な板状とされ、裏面部はターンテーブルとの固
定部とされていることを特徴とするスタンパー製造用ガ
ラス原盤。
造し得るガラス原盤を提供する。 【構成】 スタンパー製造用ガラス原盤であって、表面
部は平滑な板状とされ、裏面部はターンテーブルとの固
定部とされていることを特徴とするスタンパー製造用ガ
ラス原盤。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク等を透明樹
脂等で成形する際に金型キャビティーに保持して用いる
スタンパーを製造する際に用いるガラス原盤に関するも
のである。
脂等で成形する際に金型キャビティーに保持して用いる
スタンパーを製造する際に用いるガラス原盤に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】光ディスク用等のスタンパーを製造する
には表面を研磨したガラス原盤を均一の厚さに塗布し、
フォトレジスト層を形成する。次いで、このフォトレジ
スト層のピット及びグルーブ対応部にレーザー光を照射
する。フォトレジスト層におけるレーザー光が照射され
た部分は非照射部に比較してアルカリ現像液に溶解しや
すくなるため、フォトレジスト層をアルカリ現像液で現
像すると、レーザー光が照射された部分にピット及びグ
ルーブに相当する凹部が形成される。その後、フォトレ
ジスト層上に電導性を付与する金属膜を化学メッキ等に
より形成する。ここで、金属膜を形成する金属として
は、たとえば銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）などが挙げ
られる。次いで、電鋳を行って金属膜上に、たとえばニ
ッケル（Ｎｉ）電鋳体を形成し、このニッケル（Ｎｉ）
電鋳体を金属膜とともにフォトレジスト層およびガラス
原盤から剥離してスタンパー（金属原盤）とする。
には表面を研磨したガラス原盤を均一の厚さに塗布し、
フォトレジスト層を形成する。次いで、このフォトレジ
スト層のピット及びグルーブ対応部にレーザー光を照射
する。フォトレジスト層におけるレーザー光が照射され
た部分は非照射部に比較してアルカリ現像液に溶解しや
すくなるため、フォトレジスト層をアルカリ現像液で現
像すると、レーザー光が照射された部分にピット及びグ
ルーブに相当する凹部が形成される。その後、フォトレ
ジスト層上に電導性を付与する金属膜を化学メッキ等に
より形成する。ここで、金属膜を形成する金属として
は、たとえば銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）などが挙げ
られる。次いで、電鋳を行って金属膜上に、たとえばニ
ッケル（Ｎｉ）電鋳体を形成し、このニッケル（Ｎｉ）
電鋳体を金属膜とともにフォトレジスト層およびガラス
原盤から剥離してスタンパー（金属原盤）とする。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したスタンパー形
成工程で用いられていたガラス原盤は、フォトレジスト
等を塗布する工程でスピンコートが用いられるため、円
盤状で、中心部にスピンコート装置のターンテーブルの
センターピンを受け入れるための孔がガラス原盤の表裏
を貫通して設けられていた。このため、ガラス原盤にフ
ォトレジストを塗布する際にガラス原盤の孔とターンテ
ーブルのセンターピンとの間にフォトレジストが入り込
み、レーザーカッティングや現像等のためにガラス原盤
をターンテーブルから取り外す際に孔とセンターピンと
の間に入り込んでいたフォトレジストが剥離して原盤の
表面に付着し、エラーの原因となっていた。
成工程で用いられていたガラス原盤は、フォトレジスト
等を塗布する工程でスピンコートが用いられるため、円
盤状で、中心部にスピンコート装置のターンテーブルの
センターピンを受け入れるための孔がガラス原盤の表裏
を貫通して設けられていた。このため、ガラス原盤にフ
ォトレジストを塗布する際にガラス原盤の孔とターンテ
ーブルのセンターピンとの間にフォトレジストが入り込
み、レーザーカッティングや現像等のためにガラス原盤
をターンテーブルから取り外す際に孔とセンターピンと
の間に入り込んでいたフォトレジストが剥離して原盤の
表面に付着し、エラーの原因となっていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者等は上述のよう
なスタンパー製造時の問題を解決すべく種々検討の結
果、ガラス原盤を特殊の構造とすることにより、問題を
解決し得ることを見出し、本発明を完成した。すなわ
ち、本発明の要旨は、スタンパー製造用の円盤状のガラ
ス原盤であって、表面部は平滑な板状とされ、裏面部に
はターンテーブル固定用の非貫通孔もしくは突起が設け
られていることを特徴とするスタンパー製造用ガラス原
盤に存する。
なスタンパー製造時の問題を解決すべく種々検討の結
果、ガラス原盤を特殊の構造とすることにより、問題を
解決し得ることを見出し、本発明を完成した。すなわ
ち、本発明の要旨は、スタンパー製造用の円盤状のガラ
ス原盤であって、表面部は平滑な板状とされ、裏面部に
はターンテーブル固定用の非貫通孔もしくは突起が設け
られていることを特徴とするスタンパー製造用ガラス原
盤に存する。
【０００５】以下、図面を用いて本発明のガラス原盤に
つき更に説明する。図１〜図５は本発明のガラス原盤を
ターンテーブルに設置した状態を示す縦断面図である。
図中１はガラス原盤、２はガラス原盤の表面部、３はガ
ラス原盤の裏面部、４は固定部、５はターンテーブル、
６は支持部をそれぞれ示す。
つき更に説明する。図１〜図５は本発明のガラス原盤を
ターンテーブルに設置した状態を示す縦断面図である。
図中１はガラス原盤、２はガラス原盤の表面部、３はガ
ラス原盤の裏面部、４は固定部、５はターンテーブル、
６は支持部をそれぞれ示す。
【０００６】ガラス原盤は、通常平面形状円形のガラス
板から構成されており、従来は前述した通り原盤の中央
部に貫通孔が設けられていて、ターンテーブル５の支持
部６が突き貫けており、この隙間にフォトレジスト等が
入り込み前記したような問題が起きていた。本発明のガ
ラス原盤１は図に示すようにガラス原盤１の表面部２に
は貫通孔などは設けず、平滑な表面とする。
板から構成されており、従来は前述した通り原盤の中央
部に貫通孔が設けられていて、ターンテーブル５の支持
部６が突き貫けており、この隙間にフォトレジスト等が
入り込み前記したような問題が起きていた。本発明のガ
ラス原盤１は図に示すようにガラス原盤１の表面部２に
は貫通孔などは設けず、平滑な表面とする。
【０００７】ターンテーブル５との固定は、ガラス原盤
１の裏面に設けた凹状の穴（図１）や突起（図２）とタ
ーンテーブル５に設けた支持部６によって行なう。ガラ
ス原盤１とターンテーブル５との固定構造は図１〜図５
に示すように種々考えられ、場合に応じ適宜決定すれば
良い。いずれの構造の場合も、ガラス原盤１の表面部２
には孔等は設けず、平滑とされる。このような構造とす
ることによりガラス原盤１の表面部２にフォトレジスト
を塗布しても、原盤とターンテーブルのセンターピン
（支持部５）との隙間に入り込んでゴミの原因となるよ
うなことがない。
１の裏面に設けた凹状の穴（図１）や突起（図２）とタ
ーンテーブル５に設けた支持部６によって行なう。ガラ
ス原盤１とターンテーブル５との固定構造は図１〜図５
に示すように種々考えられ、場合に応じ適宜決定すれば
良い。いずれの構造の場合も、ガラス原盤１の表面部２
には孔等は設けず、平滑とされる。このような構造とす
ることによりガラス原盤１の表面部２にフォトレジスト
を塗布しても、原盤とターンテーブルのセンターピン
（支持部５）との隙間に入り込んでゴミの原因となるよ
うなことがない。
【０００８】ガラス原盤１の裏面３側にはターンテーブ
ル５と固定するための固定部４が設けられている。固定
部４は、前述もしたが、凹状の穴（図１）、突起（図
２）等が考えられ、ガラス原盤１のセンターが出るよう
に固定可能であれば良く、原盤の中心部に１つ設けても
良いし、数個の突起や凹部を原盤の裏面に分散させて設
けても良い。また、ガラス原盤１を削って一体的に形成
した凹部や突起であっても良いし、図４に示すようにガ
ラス原盤１に対し後で取り付けた突部や凹部であっても
良い。
ル５と固定するための固定部４が設けられている。固定
部４は、前述もしたが、凹状の穴（図１）、突起（図
２）等が考えられ、ガラス原盤１のセンターが出るよう
に固定可能であれば良く、原盤の中心部に１つ設けても
良いし、数個の突起や凹部を原盤の裏面に分散させて設
けても良い。また、ガラス原盤１を削って一体的に形成
した凹部や突起であっても良いし、図４に示すようにガ
ラス原盤１に対し後で取り付けた突部や凹部であっても
良い。
【０００９】図４に示すようにガラス原盤１の外周部が
嵌入するような凹部をターンテーブルに形成するような
構造でも良いが、ターンテーブルの凹みにフォトレジス
ト等が入り込まないような工夫、例えば図５に示すよう
にガラス原盤の裏面外縁部を段状に縮径する等の構造と
するのが良い。ターンテーブル５とガラス原盤１との固
定はガラス原盤１の固定部４である凹部や突起と合致す
る支持部６によって行なわれる。支持部６の詳しい機構
は図示していないが、固定部４に対し、縮径又は拡径す
ることにより固定支持するような任意の機構を用いれば
良い。
嵌入するような凹部をターンテーブルに形成するような
構造でも良いが、ターンテーブルの凹みにフォトレジス
ト等が入り込まないような工夫、例えば図５に示すよう
にガラス原盤の裏面外縁部を段状に縮径する等の構造と
するのが良い。ターンテーブル５とガラス原盤１との固
定はガラス原盤１の固定部４である凹部や突起と合致す
る支持部６によって行なわれる。支持部６の詳しい機構
は図示していないが、固定部４に対し、縮径又は拡径す
ることにより固定支持するような任意の機構を用いれば
良い。
【００１０】
【発明の効果】本発明のスタンパー製造用ガラス原盤は
表面に孔等を設けず平滑としたので、フォトレジストが
入り込む隙間がなく、スタンパーを製造する際に欠陥の
原因となるフォトレジストのカス等の発生が防止され
る。
表面に孔等を設けず平滑としたので、フォトレジストが
入り込む隙間がなく、スタンパーを製造する際に欠陥の
原因となるフォトレジストのカス等の発生が防止され
る。
【図１】本発明のガラス原盤の一例の縦断面図
【図２】本発明のガラス原盤の一例の縦断面図
【図３】本発明のガラス原盤の一例の縦断面図
【図４】本発明のガラス原盤の一例の縦断面図
【図５】本発明のガラス原盤の一例の縦断面図
１ ガラス原盤 ２ 表面部 ３ 裏面部 ４ 固定部 ５ ターンテーブル ６ 支持部
Claims (4)
- 【請求項１】 スタンパー製造用ガラス原盤であって、
表面部は平滑な板状とされ、裏面部は、ターンテーブル
との固定部とされていることを特徴とするスタンパー製
造用ガラス原盤。 - 【請求項２】 ターンテーブルとの固定部が、ガラス原
盤の裏面から設けられた非貫通孔である請求項１に記載
のガラス原盤。 - 【請求項３】 ターンテーブルとの固定部が、ガラス原
盤の裏面から突出して設けられた突起である請求項１に
記載のガラス原盤。 - 【請求項４】 ターンテーブルとの固定部が、ガラス原
盤の裏面外周縁部である請求項１に記載のガラス原盤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7189093A JPH0944911A (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | スタンパー製造用ガラス原盤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7189093A JPH0944911A (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | スタンパー製造用ガラス原盤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0944911A true JPH0944911A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16235226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7189093A Pending JPH0944911A (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | スタンパー製造用ガラス原盤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0944911A (ja) |
-
1995
- 1995-07-25 JP JP7189093A patent/JPH0944911A/ja active Pending
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Legal Events
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