JPH0950625A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH0950625A JPH0950625A JP19844395A JP19844395A JPH0950625A JP H0950625 A JPH0950625 A JP H0950625A JP 19844395 A JP19844395 A JP 19844395A JP 19844395 A JP19844395 A JP 19844395A JP H0950625 A JPH0950625 A JP H0950625A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気特性、耐久性、耐蝕性に優れた磁気記録
媒体を提供することである。 【解決手段】 支持体上に乾式メッキ手段で金属磁性薄
膜を設ける工程と、金属磁性薄膜が設けられた支持体を
親油性の液体に浸ける工程とを具備する磁気記録媒体の
製造方法。
媒体を提供することである。 【解決手段】 支持体上に乾式メッキ手段で金属磁性薄
膜を設ける工程と、金属磁性薄膜が設けられた支持体を
親油性の液体に浸ける工程とを具備する磁気記録媒体の
製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体の製
造方法に関するものである。
造方法に関するものである。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】磁気テープ等の磁気記
録媒体においては、高密度記録化の要請から、非磁性支
持体上に設けられる磁性層として、バインダ樹脂を用い
た塗布型のものではなく、バインダ樹脂を用いない金属
薄膜型のものが提案されている。すなわち、真空蒸着、
スパッタリングあるいはイオンプレーティングといった
乾式メッキ手段により磁性層を構成した磁気記録媒体が
提案されていることは周知の通りである。そして、この
種の磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、
高密度記録に適したものである。
録媒体においては、高密度記録化の要請から、非磁性支
持体上に設けられる磁性層として、バインダ樹脂を用い
た塗布型のものではなく、バインダ樹脂を用いない金属
薄膜型のものが提案されている。すなわち、真空蒸着、
スパッタリングあるいはイオンプレーティングといった
乾式メッキ手段により磁性層を構成した磁気記録媒体が
提案されていることは周知の通りである。そして、この
種の磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、
高密度記録に適したものである。
【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、２１は冷却キャンロール、
２２ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ム２３の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の
巻取側ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は
真空槽である。そして、真空槽２６内を所定の真空度の
ものに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の
磁性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して
磁性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによ
って磁気記録媒体が製造されている。
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、２１は冷却キャンロール、
２２ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ム２３の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の
巻取側ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は
真空槽である。そして、真空槽２６内を所定の真空度の
ものに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の
磁性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して
磁性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによ
って磁気記録媒体が製造されている。
【０００４】ところで、このような装置により金属薄膜
型の磁気記録媒体を製造するに際して、磁性粒子の蒸着
部分に酸素を供給し、磁気特性の向上を図ろうとするこ
とが試みられた。すなわち、ＰＥＴフィルム２３の走行
方向とは逆方向に酸素を供給することが提案（特公昭６
１−５６５６３号公報）された。そして、このものは、
それなりの特長を奏するものであった。
型の磁気記録媒体を製造するに際して、磁性粒子の蒸着
部分に酸素を供給し、磁気特性の向上を図ろうとするこ
とが試みられた。すなわち、ＰＥＴフィルム２３の走行
方向とは逆方向に酸素を供給することが提案（特公昭６
１−５６５６３号公報）された。そして、このものは、
それなりの特長を奏するものであった。
【０００５】しかしながら、前記提案のものでは満足で
きないことが次第に判って来た。すなわち、酸素ガスを
吹き付けているとは言え、真空中における成膜段階にお
いて酸素ガス吹付量を多くすることは出来ず、従ってま
ばらなものとなり、酸化膜が出来ている部分とそうでな
い部分とが斑のように出来てしまい、均一な皮膜が出来
ていないことから、磁気特性や耐久性が均一なものとな
らず、決して予想されたような優れたものでないことが
判って来たのである。又、酸素ガス吹付量を多くする
と、磁性層表面の酸素濃度が高く、ＰＥＴフィルムに近
い側では酸素濃度が低く、酸素含有量に濃度勾配が出
来、時間の経過につれて酸素の拡散が起き、飽和磁束密
度の低下が起きることも判って来た。
きないことが次第に判って来た。すなわち、酸素ガスを
吹き付けているとは言え、真空中における成膜段階にお
いて酸素ガス吹付量を多くすることは出来ず、従ってま
ばらなものとなり、酸化膜が出来ている部分とそうでな
い部分とが斑のように出来てしまい、均一な皮膜が出来
ていないことから、磁気特性や耐久性が均一なものとな
らず、決して予想されたような優れたものでないことが
判って来たのである。又、酸素ガス吹付量を多くする
と、磁性層表面の酸素濃度が高く、ＰＥＴフィルムに近
い側では酸素濃度が低く、酸素含有量に濃度勾配が出
来、時間の経過につれて酸素の拡散が起き、飽和磁束密
度の低下が起きることも判って来た。
【０００６】このような点についての研究を鋭意押し進
めて行った結果、親油性の液体中に浸け、溶けている酸
素を利用すると均一な酸化処理が可能となるのではない
かとの啓示を得るに至り、この技術思想を試みた処、こ
れは予想以上の成果を奏するものであった。本発明はか
かる知見に基づいて達成されたものであり、磁気特性、
耐久性、耐蝕性に優れた磁気記録媒体を提供することを
目的とする。
めて行った結果、親油性の液体中に浸け、溶けている酸
素を利用すると均一な酸化処理が可能となるのではない
かとの啓示を得るに至り、この技術思想を試みた処、こ
れは予想以上の成果を奏するものであった。本発明はか
かる知見に基づいて達成されたものであり、磁気特性、
耐久性、耐蝕性に優れた磁気記録媒体を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記本発明の目的は、支
持体上に乾式メッキ手段で金属磁性薄膜を設ける工程
と、金属磁性薄膜が設けられた支持体を親油性の液体に
浸ける工程とを具備することを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法によって達成される。本発明で用いられる液
体としては、例えばベンゼン、トルエン、メチルエチル
ケトン等のアルキル基（脂肪族炭化水素基）、フェニル
基（芳香族炭化水素基）などの炭化水素基を有する液体
が好ましい。
持体上に乾式メッキ手段で金属磁性薄膜を設ける工程
と、金属磁性薄膜が設けられた支持体を親油性の液体に
浸ける工程とを具備することを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法によって達成される。本発明で用いられる液
体としては、例えばベンゼン、トルエン、メチルエチル
ケトン等のアルキル基（脂肪族炭化水素基）、フェニル
基（芳香族炭化水素基）などの炭化水素基を有する液体
が好ましい。
【０００８】尚、液体に浸ける浸漬時間としては、液体
の種類（特に、溶存酸素の量）によって差は有るもの
の、約１０秒〜５０時間、好ましくは約３０分〜２０時
間、更に好ましくは約１〜５時間程度である。又、上記
の発明において、金属磁性薄膜が設けられた支持体を液
体に浸けている際に、液中に酸化性のガスを供給するこ
とが、又、超音波を作用させることが、又、液体を加
熱、例えば１５℃〜７０℃程度に加熱することが好まし
い。
の種類（特に、溶存酸素の量）によって差は有るもの
の、約１０秒〜５０時間、好ましくは約３０分〜２０時
間、更に好ましくは約１〜５時間程度である。又、上記
の発明において、金属磁性薄膜が設けられた支持体を液
体に浸けている際に、液中に酸化性のガスを供給するこ
とが、又、超音波を作用させることが、又、液体を加
熱、例えば１５℃〜７０℃程度に加熱することが好まし
い。
【０００９】そして、上記のようにして金属磁性薄膜が
設けられ、浸漬処理を経た後、保護膜、例えばカーボン
膜（特に、ダイヤモンドライクカーボン膜）を金属磁性
薄膜上に設けることが好ましい。この保護膜は、浸漬処
理がなされた金属磁性薄膜に対する密着強度が高く、す
なわち浸漬処理を経ないで保護膜を金属磁性薄膜上に設
けたものよりも密着強度が高く、耐久性に富むものであ
った。
設けられ、浸漬処理を経た後、保護膜、例えばカーボン
膜（特に、ダイヤモンドライクカーボン膜）を金属磁性
薄膜上に設けることが好ましい。この保護膜は、浸漬処
理がなされた金属磁性薄膜に対する密着強度が高く、す
なわち浸漬処理を経ないで保護膜を金属磁性薄膜上に設
けたものよりも密着強度が高く、耐久性に富むものであ
った。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は、本発明になる磁気記録媒
体の製造装置の概略図である。同図中、１は冷却キャン
ロール、２ａは支持体３の供給側ロール、２ｂは支持体
３の巻取側ロール、４は防着板、５はルツボ、６は磁性
金属、７は酸素ガス供給ノズル、８は真空槽である。
体の製造装置の概略図である。同図中、１は冷却キャン
ロール、２ａは支持体３の供給側ロール、２ｂは支持体
３の巻取側ロール、４は防着板、５はルツボ、６は磁性
金属、７は酸素ガス供給ノズル、８は真空槽である。
【００１１】尚、支持体３は、磁性を有するものでも非
磁性のものでも良いが、一般的には非磁性のものであ
る。例えば、ＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポ
リイミド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプ
ロピレン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹
脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスや
セラミック等の無機系材料、アルミニウム合金などの金
属材料が用いられる。そして、支持体３面上には、必要
に応じて磁性層（磁性薄膜）の密着性を向上させる為の
アンダーコート層が設けられている。すなわち、表面の
粗さを適度に粗すことにより、斜め蒸着法により構成さ
れる磁性薄膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体
表面の表面粗さを適度なものとして走行性を改善する
為、例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが０．０
０５〜０．１μｍの塗膜を設けることによってアンダー
コート層が構成されている。
磁性のものでも良いが、一般的には非磁性のものであ
る。例えば、ＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポ
リイミド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプ
ロピレン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹
脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスや
セラミック等の無機系材料、アルミニウム合金などの金
属材料が用いられる。そして、支持体３面上には、必要
に応じて磁性層（磁性薄膜）の密着性を向上させる為の
アンダーコート層が設けられている。すなわち、表面の
粗さを適度に粗すことにより、斜め蒸着法により構成さ
れる磁性薄膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体
表面の表面粗さを適度なものとして走行性を改善する
為、例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが０．０
０５〜０．１μｍの塗膜を設けることによってアンダー
コート層が構成されている。
【００１２】ルツボ５に充填される磁性金属としては、
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたも
の等が挙げられる。
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたも
の等が挙げられる。
【００１３】９は真空槽８に隣接して設けられた液槽で
あり、この液槽９中を支持体３が蛇行して走行できるよ
うに構成されている。上記のように構成させた装置にお
いて、真空槽８内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度、例え
ば２×１０-5Ｔｏｒｒの真空度に排気した後、抵抗加
熱、高周波加熱、電子ビーム加熱などによりルツボ５内
の磁性金属（Ｃｏ）６を蒸発させ、ＰＥＴフィルム等の
支持体３に対して４００〜２００００Å、例えば１８０
０Å厚さＣｏ磁性金属６を蒸着させることによって金属
薄膜型の磁気記録媒体が製造される。尚、このＣｏ磁性
金属粒子の斜め蒸着に際して、酸素ガス供給ノズル７か
ら微量の酸素が吹き込まれている。これによって、磁性
金属薄膜には磁気コラムが形成される。そして、このよ
うにして得られたＣｏ磁性金属薄膜の磁気特性を調べる
と、保磁力Ｈｃは１２００Ｏｅ、飽和磁束密度Ｂｓは７
０００Ｇであった。
あり、この液槽９中を支持体３が蛇行して走行できるよ
うに構成されている。上記のように構成させた装置にお
いて、真空槽８内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度、例え
ば２×１０-5Ｔｏｒｒの真空度に排気した後、抵抗加
熱、高周波加熱、電子ビーム加熱などによりルツボ５内
の磁性金属（Ｃｏ）６を蒸発させ、ＰＥＴフィルム等の
支持体３に対して４００〜２００００Å、例えば１８０
０Å厚さＣｏ磁性金属６を蒸着させることによって金属
薄膜型の磁気記録媒体が製造される。尚、このＣｏ磁性
金属粒子の斜め蒸着に際して、酸素ガス供給ノズル７か
ら微量の酸素が吹き込まれている。これによって、磁性
金属薄膜には磁気コラムが形成される。そして、このよ
うにして得られたＣｏ磁性金属薄膜の磁気特性を調べる
と、保磁力Ｈｃは１２００Ｏｅ、飽和磁束密度Ｂｓは７
０００Ｇであった。
【００１４】このようにして磁性薄膜が形成され、そし
て巻取側ロール２ｂに巻き取る過程において、支持体３
を空気（酸素）が吹き込まれ、かつ、トルエンを満たし
た液槽９中において蛇行させながら走行させ、１〜２０
時間（本実施例では３時間）にわたって液温が１５〜７
０℃（本実施例では３０℃）のトルエン中に浸漬させた
後、液槽９から引き上げ、乾燥工程を経た後に巻取側ロ
ール２ｂに巻き取る。
て巻取側ロール２ｂに巻き取る過程において、支持体３
を空気（酸素）が吹き込まれ、かつ、トルエンを満たし
た液槽９中において蛇行させながら走行させ、１〜２０
時間（本実施例では３時間）にわたって液温が１５〜７
０℃（本実施例では３０℃）のトルエン中に浸漬させた
後、液槽９から引き上げ、乾燥工程を経た後に巻取側ロ
ール２ｂに巻き取る。
【００１５】この後、巻き取られた巻取側ロール２ｂを
ＥＣＲマイクロ波ＣＶＤ装置に装填し、この装置を作動
させてメタンを原料源とした６０Å厚さのダイヤモンド
ライクカーボン膜を磁性薄膜上に形成する。この後、平
均粒径２０ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニル系樹
脂とウレタンプレポリマーとからなるバインダ樹脂を分
散させてなるバックコート用の塗料をダイレクトグラビ
ア法により磁性層とは反対側の支持体３に塗布し、乾燥
厚さが０．５μｍのバックコート層を設ける。
ＥＣＲマイクロ波ＣＶＤ装置に装填し、この装置を作動
させてメタンを原料源とした６０Å厚さのダイヤモンド
ライクカーボン膜を磁性薄膜上に形成する。この後、平
均粒径２０ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニル系樹
脂とウレタンプレポリマーとからなるバインダ樹脂を分
散させてなるバックコート用の塗料をダイレクトグラビ
ア法により磁性層とは反対側の支持体３に塗布し、乾燥
厚さが０．５μｍのバックコート層を設ける。
【００１６】そして、フッ素パーフルオロポリエーテル
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、７０℃で乾燥させる。
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、７０℃で乾燥させる。
【００１７】この後、所定の幅にスリットし、磁気テー
プ（実施例１）を得た。又、上記第１実施形態におい
て、液温を１５℃、液中滞留時間を１０時間とした以外
は第１実施形態に準じて行い、磁気テープ（実施例２）
を得た。又、上記第１実施形態において、液温を６０
℃、液中滞留時間を４０分とした以外は第１実施形態に
準じて行い、磁気テープ（実施例３）を得た。
プ（実施例１）を得た。又、上記第１実施形態におい
て、液温を１５℃、液中滞留時間を１０時間とした以外
は第１実施形態に準じて行い、磁気テープ（実施例２）
を得た。又、上記第１実施形態において、液温を６０
℃、液中滞留時間を４０分とした以外は第１実施形態に
準じて行い、磁気テープ（実施例３）を得た。
【００１８】又、上記第１実施形態において、トルエン
の代わりにベンゼンを用いた以外は第１実施形態に準じ
て行い、磁気テープ（実施例４）を得た。又、上記第１
実施形態において、液槽９中に空気（酸素）を吹き込む
為に設けたノズル１０から酸素を５００ｃｃ／ｍｉｎの
割合で吹き込み、液中滞留時間を９０分とした以外は第
１実施形態に準じて行い、磁気テープ（実施例５）を得
た。
の代わりにベンゼンを用いた以外は第１実施形態に準じ
て行い、磁気テープ（実施例４）を得た。又、上記第１
実施形態において、液槽９中に空気（酸素）を吹き込む
為に設けたノズル１０から酸素を５００ｃｃ／ｍｉｎの
割合で吹き込み、液中滞留時間を９０分とした以外は第
１実施形態に準じて行い、磁気テープ（実施例５）を得
た。
【００１９】又、上記第１実施形態において、液槽９中
に空気（酸素）を吹き込む為に設けたノズル１０から酸
素を１０００ｃｃ／ｍｉｎの割合で吹き込み、液中滞留
時間を６０分とした以外は第１実施形態に準じて行い、
磁気テープ（実施例６）を得た。又、上記第１実施形態
において、液槽９中のトルエンに２０ｋＨｚの超音波発
振器を用いて超音波を作用させ、液中滞留時間を２時間
とした以外は第１実施形態に準じて行い、磁気テープ
（実施例７）を得た。
に空気（酸素）を吹き込む為に設けたノズル１０から酸
素を１０００ｃｃ／ｍｉｎの割合で吹き込み、液中滞留
時間を６０分とした以外は第１実施形態に準じて行い、
磁気テープ（実施例６）を得た。又、上記第１実施形態
において、液槽９中のトルエンに２０ｋＨｚの超音波発
振器を用いて超音波を作用させ、液中滞留時間を２時間
とした以外は第１実施形態に準じて行い、磁気テープ
（実施例７）を得た。
【００２０】又、上記第１実施形態において、Ｃｏ磁性
金属薄膜の斜め蒸着に際し、酸素ガス供給ノズル７から
の酸素量を調整し、保磁力Ｈｃが１５００Ｏｅ、飽和磁
束密度Ｂｓが５０００Ｇのものを作成した。この後、ト
ルエン中に浸漬する工程を省いた以外は第１実施形態に
準じて行い、磁気テープ（比較例１）を得た。又、上記
第１実施形態において、トルエンの代わりにエタノール
（親水性の液体）を用いた以外は第１実施形態に準じて
行い、磁気テープ（比較例２）を得た。
金属薄膜の斜め蒸着に際し、酸素ガス供給ノズル７から
の酸素量を調整し、保磁力Ｈｃが１５００Ｏｅ、飽和磁
束密度Ｂｓが５０００Ｇのものを作成した。この後、ト
ルエン中に浸漬する工程を省いた以外は第１実施形態に
準じて行い、磁気テープ（比較例１）を得た。又、上記
第１実施形態において、トルエンの代わりにエタノール
（親水性の液体）を用いた以外は第１実施形態に準じて
行い、磁気テープ（比較例２）を得た。
【００２１】〔特性〕上記各例で得た磁気テープについ
て、保磁力、飽和磁束密度、耐久性、及び耐蝕性を調べ
たので、その結果を下記の表−１に示す。 表−１ 保磁力 飽和磁束密度 耐久性 耐蝕性 （Oe) (Ｇ) (dB) （％） 実施例１ １４９０ ５６００ −０．９ ２ 実施例２ １５００ ５５５０ −０．８ ２ 実施例３ １５３０ ５５２０ −０．５ ２ 実施例４ １４７０ ５６００ −０．７ ２ 実施例５ １５５０ ５５００ −０．５ １．５ 実施例６ １５８０ ５４７０ −０．４ １．５ 実施例７ １５４０ ５５００ −０．７ ２ 比較例１ １５００ ５０００ −１．５ ５ 比較例２ １６３０ ４３６０ −２．４ ９ ＊耐久性は３時間スチル再生した場合の再生出力の低下で表示 ＊耐蝕性は温度６０℃、湿度９０％ＲＨ下に３０日間放置後の飽和磁束密度の 低下で表示 これによれば、磁性薄膜が形成されたものを親油性の液
体（疎水性の液体）中に浸してなる場合には、磁気特性
の向上が図れており、しかも耐久性や耐蝕性にも優れた
特長が奏される。
て、保磁力、飽和磁束密度、耐久性、及び耐蝕性を調べ
たので、その結果を下記の表−１に示す。 表−１ 保磁力 飽和磁束密度 耐久性 耐蝕性 （Oe) (Ｇ) (dB) （％） 実施例１ １４９０ ５６００ −０．９ ２ 実施例２ １５００ ５５５０ −０．８ ２ 実施例３ １５３０ ５５２０ −０．５ ２ 実施例４ １４７０ ５６００ −０．７ ２ 実施例５ １５５０ ５５００ −０．５ １．５ 実施例６ １５８０ ５４７０ −０．４ １．５ 実施例７ １５４０ ５５００ −０．７ ２ 比較例１ １５００ ５０００ −１．５ ５ 比較例２ １６３０ ４３６０ −２．４ ９ ＊耐久性は３時間スチル再生した場合の再生出力の低下で表示 ＊耐蝕性は温度６０℃、湿度９０％ＲＨ下に３０日間放置後の飽和磁束密度の 低下で表示 これによれば、磁性薄膜が形成されたものを親油性の液
体（疎水性の液体）中に浸してなる場合には、磁気特性
の向上が図れており、しかも耐久性や耐蝕性にも優れた
特長が奏される。
【００２２】これに対して、成膜時に酸素を吹き付ける
のみの従来の手法では本発明の特長が到底に奏せられて
いない。又、実施例１及び比較例１のものについて、磁
気テープ作製直後と耐蝕性試験後とにおいてオージェ電
子分光分析により調べたので、その結果を図３，４，
５，６に示す。
のみの従来の手法では本発明の特長が到底に奏せられて
いない。又、実施例１及び比較例１のものについて、磁
気テープ作製直後と耐蝕性試験後とにおいてオージェ電
子分光分析により調べたので、その結果を図３，４，
５，６に示す。
【００２３】これによれば、本発明になるものでは、図
３（磁気テープ作製直後のオージェ電子分光分析スペク
トラム）と図４（耐蝕性試験後のオージェ電子分光分析
スペクトラム）との対比から判る通り、磁性膜中におけ
る酸素の分布に大幅な変動が認められないのに対して、
比較例１になるものでは、図５（磁気テープ作製直後の
オージェ電子分光分析スペクトラム）と図６（耐蝕性試
験後のオージェ電子分光分析スペクトラム）との対比か
ら判る通り、磁性膜中における酸素の分布に大幅な変動
が認められる。これからしても、本発明になるものは、
耐久性・耐蝕性に富み、磁気特性の劣化が小さいことが
窺える。
３（磁気テープ作製直後のオージェ電子分光分析スペク
トラム）と図４（耐蝕性試験後のオージェ電子分光分析
スペクトラム）との対比から判る通り、磁性膜中におけ
る酸素の分布に大幅な変動が認められないのに対して、
比較例１になるものでは、図５（磁気テープ作製直後の
オージェ電子分光分析スペクトラム）と図６（耐蝕性試
験後のオージェ電子分光分析スペクトラム）との対比か
ら判る通り、磁性膜中における酸素の分布に大幅な変動
が認められる。これからしても、本発明になるものは、
耐久性・耐蝕性に富み、磁気特性の劣化が小さいことが
窺える。
【００２４】
【効果】本発明によれば、磁気特性の向上効果や耐久性
並びに耐蝕性の改善効果が著しく、高性能な磁気記録媒
体が得られる。
並びに耐蝕性の改善効果が著しく、高性能な磁気記録媒
体が得られる。
【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の概略説
明図
明図
【図２】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図
【図３】オージェ電子分光分析スペクトラム
【図４】オージェ電子分光分析スペクトラム
【図５】オージェ電子分光分析スペクトラム
【図６】オージェ電子分光分析スペクトラム
１ 冷却キャンロール ２ａ 供給側ロール ２ｂ 巻取側ロール ３ 支持体 ５ ルツボ ６ 磁性金属 ７ 酸素ガス供給ノズル ８ 真空槽 ９ 液槽 １０ ノズル
Claims (5)
- 【請求項１】 支持体上に乾式メッキ手段で金属磁性薄
膜を設ける工程と、金属磁性薄膜が設けられた支持体を
親油性の液体に浸ける工程とを具備することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項２】 金属磁性薄膜が設けられた支持体を液体
に浸けている際に、液中に酸化性のガスを供給すること
を特徴とする請求項１の磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項３】 金属磁性薄膜が設けられた支持体を液体
に浸けている際に、超音波を作用させることを特徴とす
る請求項１又は請求項２の磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項４】 金属磁性薄膜が設けられた支持体を液体
に浸けている際に、該液体を加熱することを特徴とする
請求項１〜請求項３いずれかの磁気記録媒体の製造方
法。 - 【請求項５】 液体が炭化水素基を有する液体であるこ
とを特徴とする請求項１〜請求項４いずれかの磁気記録
媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19844395A JPH0950625A (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19844395A JPH0950625A (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0950625A true JPH0950625A (ja) | 1997-02-18 |
Family
ID=16391181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19844395A Pending JPH0950625A (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0950625A (ja) |
-
1995
- 1995-08-03 JP JP19844395A patent/JPH0950625A/ja active Pending
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