JPH0964263A - リードフレームのめっき装置およびリードフレームのめっき方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 噴射ノズルからリードフレームにめっき液を
噴射した場合、リードフレームのダイパッドの背面にめ
っき液が回り込むことのないリードフレームのめっき装
置およびめっき方法を提供する。 【解決手段】 透孔４ａを有するマスク用治具４に設け
られた透孔３ａを有するマスクゴム３と、プレスブロッ
ク１に設けられたシリコンゴム１ａとの間でリードフレ
ーム２が挟持される。めっき液タンク１０内のめっき液
が、供給ライン２１によって噴射ノズル５まで導かれ、
マスク用治具４の透孔４ａおよびマスクゴム３の透孔３
ａからリードフレーム２に対して噴射される。この場
合、リードフレーム２はシリコンゴム１ａに設けられた
ダイパッド吸着孔１２により吸着されてシリコンゴム１
ａ側に密着する。このため、めっき液がリードフレーム
２の背面に回り込むことはない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレームに
対してめっき液を噴射してめっきを施すリードフレーム
のめっき装置およびリードフレームのめっき方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来からリードフレームのめっき装置と
して、図５に示すめっき装置が知られている。図５に示
すように、このめっき装置は透孔４ａを有するマスク用
治具４と、このマスク用治具４との間でリードフレーム
２を挟持するプレスブロック１とを備えており、マスク
用治具４の上面にはマスクゴム３が取付けられている。

【０００３】このうちプレスブロック１は耐熱塩ビ製と
なっており、プレスブロック１の下面にはシリコンゴム
１ａが取付けられている。またマスク用治具４に取付け
られたマスクゴム３にも、マスク用治具４の透孔４ａに
対応する透孔３ａが設けられている。これら透孔４ａ，
３ａの形状は、後述するリードフレーム２のめっき部３
０に対応して定められている。

【０００４】マスク用治具４は、めっき液を受ける外槽
１５の上端開口に設置され、この外槽１５内には、噴射
ノズル５が設けられた噴射タンク６が配設されている。

【０００５】また外槽１５の外方には、めっき液を貯え
るめっき液タンク１０が配設され、このめっき液タンク
１０と噴射タンク６とは、圧送ポンプ９が取付けられた
供給ライン２１によって連結されている。さらに外槽１
５の底部とめっき液タンク１０とは、戻りライン２２に
よって連結されている。

【０００６】このようなリードフレームのめっき装置に
おいて、まずリードフレーム２がマスク用治具４個のマ
スクゴム３とプレスブロック１側のシリコンゴム１ａと
の間で挟持される。次にめっき液タンク１０内のめっき
液が、圧送ポンプ９によって噴射タンク６内に供給ライ
ン２１を通って供給される。さらに噴射タンク６内のめ
っき液は、噴射ノズル５からマスク用治具４の透孔４ａ
およびマスクゴム３の透孔３ａを経てリードフレーム２
に対して噴射される。この場合、リードフレーム２を陰
極としてこのリードフレーム２に通電され、このように
してリードフレーム２に対してめっきが施される。

【０００７】リードフレーム２に噴射されためっき液
は、その後外槽１５内に溜まり、外槽１５の底部から戻
りライン２２を通ってめっき液タンク１０内に戻され
る。

【０００８】上述のようにしてリードフレーム２に対し
てめっきが施されると、リードフレーム２の下面に図６
に示すようなめっき部３０が形成される。なお、図６に
おいて、リードフレーム２はダイパッド２ａとリード部
２ｂとを有しており、めっき部３０はダイパッド２ａお
よびダイパッド２ａ周囲のリード部２ｂ上に形成されて
いる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、リードフレ
ーム２に対してめっき液を噴射する場合、リードフレー
ム２はマスク用治具４のマスクゴム３とプレスブロック
側のシリコンゴム１ａとの間で挟持されるが、上述のよ
うにマスク用治具４およびマスクゴム３にはめっき部３
０に対応して透孔４ａ，３ａが設けられている。従って
リードフレーム２をマスク用治具４側のマスクゴム３と
プレスブロック１側のシリコンゴム１ａとの間で挟持し
た場合、リードフレーム２のダイパッド２ａ部分はマス
クゴム３側からは押圧されない状態となる。このような
状態でリードフレーム２に対してめっき液を噴射する
と、リードフレーム２のうち、とりわけダイパッド２ａ
の背面（上面）側にめっき液が回り込み、回り込んだめ
っき液によってリードフレーム２のダイパッド２ａの上
面に追加めっき部３１が形成されてしまう（図７参
照）。

【００１０】このような状況を防ぐため、マスクゴム３
の厚さおよび硬度を変えたりしているが、リードフレー
ム２の背面側にめっき液が進入することを効果的に防止
することはできない。

【００１１】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、リードフレームの背面にめっき液が回り込
むことを効果的に防止することができるリードフレーム
のめっき装置およびリードフレームのめっき方法を提供
することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、ダイパッドを
有するリードフレームを載置するとともに、前記ダイパ
ッドに対応して設けられた透孔を有するマスク用治具
と、このマスク用治具との間でリードフレームを挟持す
るプレスブロックと、マスク用治具の透孔近傍に配置さ
れ透孔を通してめっき液をリードフレームに対して噴射
する噴射ノズルとを備え、前記プレスブロックのうち、
ダイパッドに当接する面にダイパッド吸着孔を設けたこ
とを特徴とするリードフレームのめっき装置、および透
孔を有するマスク用治具の上に、ダイパッドを有するリ
ードフレームをダイパッドを前記透孔に対応させて載置
する工程と、マスク用治具上のリードフレームをプレス
ブロックとの間で挟持する工程と、リードフレームのダ
イパッドをプレスブロックに設けられたダイパッド吸着
孔により吸引する工程と、マスク用治具の透孔近傍に配
置された噴射ノズルから、めっき液を透孔を通してリー
ドフレームに対して噴射する工程と、を備えたことを特
徴とするリードフレームのめっき方法である。

【００１３】本発明によれば、プレスブロックのダイパ
ッド吸着孔によってリードフレームのダイパッドを吸着
し、これによってダイパッドをプレスブロックに密着さ
せたので、リードフレームに対してめっき液を噴射した
場合、ダイパッドの背面にめっき液が回り込むことはな
い。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１および図２は本発明に
よるリードフレームのめっき装置の第１の実施の形態を
示す図である。

【００１５】図１に示す実施の形態において、図５に示
す従来技術と同一部分には同一符号を付して詳細な説明
は省略する。図１に示すように、めっき装置は透孔４ａ
を有するマスク用治具４と、このマスク用治具４との間
でリードフレーム２を挟持するプレスブロック１とを備
えており、マスク用治具４の上面にはマスクゴム３が取
付けられている。

【００１６】プレスブロック１は耐熱塩ビ製となってお
り、プレスブロック１の下面にはシリコンゴム１ａが取
付けられている。またマスク用治具４に取付けられたマ
スクゴム３にも、マスク用治具４の透孔４ａに対応して
透孔３ａが設けられている。これら透孔４ａ，３ａの形
状は、リードフレーム２のめっき部３０（図７参照）に
対応して定められている。

【００１７】マスク用治具４は、めっき液を受ける外槽
１５の上端開口に設置され、この外槽１５内には、噴射
ノズル５が設けられた噴射タンク６が配設されている。

【００１８】また外槽１５の外方には、めっき液を貯え
るめっき液タンク１０が配設され、このめっき液タンク
１０と噴射タンク６とは、圧送ポンプ９が取付けられた
供給ライン２１によって連結されている。さらに外槽１
５の底部とめっき液タンク１０とは、戻りライン２２に
よって連結されている。

【００１９】次に各部の材質について説明する。外槽１
５、噴射タンク６、めっきタンク１０、供給ライン２１
および戻りライン２２は耐熱塩ビまたは通常の塩ビから
なり、噴射ノズル５はＳＵＳ製で、めっき時の陽極を兼
ねている。

【００２０】ところで、図１および図２（ａ）（ｂ）に
示すように、プレスブロック１に設けられたシリコンゴ
ム１ａの表面には、リードフレーム２のうちダイパッド
２ａを吸着するためのダイパッド吸着孔１２が複数設け
られている。ここで図２（ａ）はプレスブロック１の側
面図、図２（ｂ）はプレスブロック１の底面図である。

【００２１】図２（ａ）（ｂ）に示すように、ダイパッ
ド吸着孔１２は、シリコンゴム１ａおよびプレスブロッ
ク１を貫通して延びる連通路１３を介して真空ポンプ１
１に連絡されている。なお、真空ポンプ１１の代わり
に、エジェクタまたはアスピレータ等を用いてもよい。

【００２２】マスク用治具４側のマスクゴム３に上にリ
ードフレーム２を載置した場合、リードフレーム２のダ
イパッド２ａはダイパッド吸着孔１２に対応する位置に
くるようになっている。そして真空ポンプ１１を作動す
ることによりダイパッド吸着孔１２によってダイパッド
２ａを吸着し、このダイパッド２ａをシリコンゴム１ａ
側に密着させるようになっている。

【００２３】次にこのような構成からなる本実施例の作
用について説明する。図１においてマスク用治具４のマ
スクゴム３上にリードフレーム２が載置され、このリー
ドフレーム２に対してプレスブロック１が降下し、マス
ク用治具４のマスクゴム３とプレスブロック１のシリコ
ンゴム１ａとの間でリードフレーム２が挟持される。こ
の場合、マスク用治具４の透孔４ａおよびマスクゴム３
の透孔３ａはリードフレーム２のめっき部３０（図６）
に対応し、またリードフレーム２のダイパッド２ａはダ
イパッド吸着孔１２を覆っている。

【００２４】その後、真空ポンプ１１が作動して、ダイ
パッド吸着孔１２によってダイパッド２ａが吸着され、
この結果としてダイパッド２ａがシリコンゴム１ａ側に
密着する。次に、めっき液タンク１０内に３０℃〜５０
℃の温度で貯えられためっき液が、圧送ポンプ９によっ
て供給ライン２１を経て噴射タンク６に供給される。め
っき液は、更に噴射タンク６から噴射ノズル５を経て、
マスク用治具４の透孔４ａおよびマスクゴム３の透孔３
ａからリードフレーム２に対して噴射される。この場
合、リードフレーム２に対してリードフレーム２を陰極
として通電が行われる。

【００２５】このようにリードフレーム２に対して通電
することにより、リードフレーム２に対してめっきが施
され、リードフレーム２の下面にめっき部３０が形成さ
れる（図６参照）。この場合、ダイパッド吸着孔１２に
よってリードフレーム２のダイパッド２ａを吸着しダイ
パッド２ａをシリコンゴム１ａに密着させることができ
るので、めっき液がダイパッド２ａの背面側に回り込む
ことはない。このため、ダイパッド２ａの背面側に追加
めっき部３１（図７参照）が形成されるおそれはない。

【００２６】リードフレーム２に噴射されためっき液
は、その後、外槽１５の底部まで自重で降下し、めっき
液は外槽１５の底部から戻りライン２２を経てめっき液
タンク１０内に戻る。次にプレスブロック１が上昇し
て、マスクゴム３上からリードフレーム２が取り出され
る。

【００２７】以上のように本実施例によれば、ダイパッ
ド吸着孔１２によってリードフレーム２のダイパッド２
ａを吸着し、ダイパッド２ａをシリコンゴム１ａ側に密
着させた状態でリードフレーム２に対してめっき液を噴
射するので、めっき液がダイパッド２ａの背面側に回り
込むことはなく、ダイパッド２ａの背面側に追加めっき
部３１が形成されることもない。

【００２８】なお、上記実施例において、マスク用治具
４にマスクゴム３を設けるとともに、プレスブロック１
にシリコンゴム１ａを設けた例を示したが、マスクゴム
３およびシリコンゴム１ａは必ずしも設ける必要はな
い。マスクゴム３およびシリコンゴム１ａを設けない場
合、ダイパッド吸着孔１２はプレスブロック１に直接設
けられることになる。

【００２９】次に図３により本発明の第２の実施の形態
について説明する。図３に示す第２の実施の形態は、シ
リコンゴム１ａに設けたダイパッド吸着孔１２の開口端
に比較的面積の大きな端部溝１８を設けたものであり、
他は図１および図２に示す第１の実施の形態と略同一で
ある。

【００３０】本実施例によれば、ダイパッド吸着孔１２
からダイパッド２ａを吸着した場合、ダイパッド２ａは
その周縁部においてシリコンゴム１ａにより密着する。
このためダイパッド２ａの背面へめっき液が回り込むこ
とはない。

【００３１】なお、図３において、プレスブロック１に
シリコンゴム１ａを設け、このシリコンゴム１ａにダイ
パッド吸着孔１２および端部溝１８を設けた例を示した
が、シリコンゴム１ａを設けることなくプレスブロック
１に直接ダイパッド吸着孔１２および端部溝１８を設け
てもよい。

【００３２】次に図４により本発明の第３の実施の形態
について説明する。図４に示す第３の実施の形態は、シ
リコンゴム１ａに吸着孔１２を１つのダイパットに対し
て複数個設けたものであり、他は図１および図２に示す
第１の実施の形態と略同一である。

【００３３】本実施例によれば、複数のダイパット吸着
孔１２からダイパット２ａを吸着した場合、ダイパット
２ａはより均等にシリコンゴム１ａに吸着されるため、
ダイパット２ａは変形することなくシリコンゴム１ａに
より密着する。このためダイパット２ａの背面へめっき
液が回り込むことはない。

【００３４】なお図４において、プレスブロック１にシ
リコンゴム１ａを設け、このシリコンゴム１ａにダイパ
ット吸着孔１２を設けた例を示したが、シリコンゴム１
ａを設けることなくプレスブロックに直接ダイパット吸
着孔１２を設けてもよい。

【００３５】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ダイパ
ッドをプレスブロック側に確実に密着させることができ
るので、リードフレームに対してめっき液を噴射した場
合ダイパッドの背面にめっき液が回り込むことはない。
このため、ダイパッドの所定位置にのみ精度良くめっき
を施すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるリードフレームのめっき装置の第
１の実施の形態を示す説明図。

【図２】本発明によるリードフレームのめっき装置のプ
レスブロックを示す図。

【図３】本発明によるリードフレームのめっき装置の第
２の実施の形態を示す説明図。

【図４】本発明によるリードフレームのめっき装置の第
３の実施の形態を示す説明図。

【図５】従来のリードフレームのめっき装置を示す図。

【図６】めっきが施されたリードフレームを示す図。

【図７】めっき液がリードフレームの背面まだ回り込ん
だ状態を示す図。

【符号の説明】

１ プレスブロック ２ リードフレーム ４ マスク用治具 ５ 噴射ノズル ６ 噴射タンク ９ 圧送ポンプ １０ めっき液タンク １１ 真空ポンプ １２ ダイパッド吸着孔 １３ 連通路 １５ 外槽 １６ 溝 １８ 端部溝 ２１ 供給ライン ２２ 戻りライン

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ダイパッドを有するリードフレームを載置
   するとともに、前記ダイパッドに対応して設けられた透
   孔を有するマスク用治具と、 このマスク用治具との間でリードフレームを挟持するプ
   レスブロックと、 マスク用治具の透孔近傍に配置され透孔を通してめっき
   液をリードフレームに対して噴射する噴射ノズルとを備
   え、 前記プレスブロックのうち、ダイパッドに当接する面に
   ダイパッド吸着孔を設けたことを特徴とするリードフレ
   ームのめっき装置。
2. 【請求項２】透孔を有するマスク用治具の上に、ダイパ
   ッドを有するリードフレームをダイパッドを前記透孔に
   対応させて載置する工程と、 マスク用治具上のリードフレームをプレスブロックとの
   間で挟持する工程と、 リードフレームのダイパッドをプレスブロックに設けら
   れたダイパッド吸着孔により吸引する工程と、 マスク用治具の透孔近傍に配置された噴射ノズルから、
   めっき液を透孔を通してリードフレームに対して噴射す
   る工程と、を備えたことを特徴とするリードフレームの
   めっき方法。