JPH0966521A - ワイヤソー及びワーク切断方法 - Google Patents
ワイヤソー及びワーク切断方法Info
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- JPH0966521A JPH0966521A JP22396995A JP22396995A JPH0966521A JP H0966521 A JPH0966521 A JP H0966521A JP 22396995 A JP22396995 A JP 22396995A JP 22396995 A JP22396995 A JP 22396995A JP H0966521 A JPH0966521 A JP H0966521A
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- wire
- storage tank
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワイヤに余分なスラリが付着するのを防止する
こと。また、スラリ中の砥粒の乾燥を防止し、かつ端材
を容易に回収すること。 【解決手段】スラリ供給パイプ２６，２７から流下され
るスラリを回収して貯溜するスラリ貯溜槽４１を設け
た。これにより、溝ローラ１１〜１３の溝１４内に小さ
く破砕したワークのかけらが入り込むのを防止でき、延
いては溝１４からワイヤ１５が外れるのを防止できる。
また、スラリ貯溜槽４１の側面にスラリ排出口４２を形
成したことにより、スラリ貯溜槽４１内のスラリの液面
と、第１の溝ローラ１１と第２の溝ローラ１２との間に
張られたワイヤ１５との間の距離を一定に保持すること
ができる。
こと。また、スラリ中の砥粒の乾燥を防止し、かつ端材
を容易に回収すること。 【解決手段】スラリ供給パイプ２６，２７から流下され
るスラリを回収して貯溜するスラリ貯溜槽４１を設け
た。これにより、溝ローラ１１〜１３の溝１４内に小さ
く破砕したワークのかけらが入り込むのを防止でき、延
いては溝１４からワイヤ１５が外れるのを防止できる。
また、スラリ貯溜槽４１の側面にスラリ排出口４２を形
成したことにより、スラリ貯溜槽４１内のスラリの液面
と、第１の溝ローラ１１と第２の溝ローラ１２との間に
張られたワイヤ１５との間の距離を一定に保持すること
ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体材料、磁性
材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより切断する
ワイヤソー及びワーク切断方法に関するものである。
材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより切断する
ワイヤソー及びワーク切断方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種のワイヤソーにおいては、溝を有
する複数のローラ間にワイヤが所定ピッチで螺旋状に巻
き付けられ、同ワイヤが往復しながら走行し、そのワイ
ヤ上に砥粒を含むスラリが供給される。そして、この状
態でワイヤの上方からワークが押し付けられ、ワイヤ走
行と砥粒とによりワークが切断されるようになってい
る。
する複数のローラ間にワイヤが所定ピッチで螺旋状に巻
き付けられ、同ワイヤが往復しながら走行し、そのワイ
ヤ上に砥粒を含むスラリが供給される。そして、この状
態でワイヤの上方からワークが押し付けられ、ワイヤ走
行と砥粒とによりワークが切断されるようになってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のワイヤソーにおいては次のような問題があった。 （１）ワークの切断後あるいは切断中にワイヤの外周面
にスラリが付着している。このため、ローラにワイヤが
巻き取られる際に、ローラの溝にスラリ中の小さく破砕
したワークのかけらが入り込む。このため、ワイヤがロ
ーラの溝から外れてしまい、後の切削作業に支障を来す
という問題があった。
来のワイヤソーにおいては次のような問題があった。 （１）ワークの切断後あるいは切断中にワイヤの外周面
にスラリが付着している。このため、ローラにワイヤが
巻き取られる際に、ローラの溝にスラリ中の小さく破砕
したワークのかけらが入り込む。このため、ワイヤがロ
ーラの溝から外れてしまい、後の切削作業に支障を来す
という問題があった。
【０００４】（２）スラリは乾燥しやすいことから、ワ
ークの切削時に、スラリ中の砥粒が凝固してワークに亀
裂や割れの原因となったり、ワークからワイヤを引き抜
けない等の問題が発生する。そのため、近年では貯溜槽
にスラリを貯溜し、その貯溜槽内にワークを浸漬させな
がら切削を行っている。
ークの切削時に、スラリ中の砥粒が凝固してワークに亀
裂や割れの原因となったり、ワークからワイヤを引き抜
けない等の問題が発生する。そのため、近年では貯溜槽
にスラリを貯溜し、その貯溜槽内にワークを浸漬させな
がら切削を行っている。
【０００５】しかし、貯溜槽内のスラリが貯溜槽からオ
ーバーフローすると、貯溜槽から溢れでたスラリが、貯
溜槽の下方に位置するワイヤにかかって上記（１）のよ
うな問題が発生する。また、ワークの切削中に割れた端
材は貯溜槽内に落下するが、この端材を貯溜槽内から取
り出す作業が非常に困難である。
ーバーフローすると、貯溜槽から溢れでたスラリが、貯
溜槽の下方に位置するワイヤにかかって上記（１）のよ
うな問題が発生する。また、ワークの切削中に割れた端
材は貯溜槽内に落下するが、この端材を貯溜槽内から取
り出す作業が非常に困難である。
【０００６】本発明は上記問題点を解消するためになさ
れたものであって、第１の目的はワイヤに余分なスラリ
が付着するのを防止可能なワイヤソー及びワーク切断方
法を提供することにある。
れたものであって、第１の目的はワイヤに余分なスラリ
が付着するのを防止可能なワイヤソー及びワーク切断方
法を提供することにある。
【０００７】第２の目的は、スラリ中の砥粒の乾燥を防
止し、かつ端材を容易に回収可能なワイヤソー及びワー
ク切断方法を提供することにある。
止し、かつ端材を容易に回収可能なワイヤソー及びワー
ク切断方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明では、複数の溝ローラ間に螺
旋状に巻き付けられたワイヤを走行させ、そのワイヤに
対して砥粒を含むスラリを供給しながらワークを押し付
けて、そのワークを切断するワイヤソーにおいて、前記
ワークの下方に配置され、前記ワイヤに供給されるスラ
リ及びワークの切断時に割れた端材を回収するスラリ貯
溜槽と、前記スラリ貯溜槽内の液位をワイヤの切断部よ
り若干下方に設定するための液位設定手段と、前記ワー
クの切断時にはスラリ貯溜槽を、スラリを貯溜可能な状
態に保持し、また、前記端材の取り出し時にはスラリ貯
溜槽を、スラリを排出する状態に保持する切り換え手段
とを備えたことをその要旨とする。
に、請求項１に記載の発明では、複数の溝ローラ間に螺
旋状に巻き付けられたワイヤを走行させ、そのワイヤに
対して砥粒を含むスラリを供給しながらワークを押し付
けて、そのワークを切断するワイヤソーにおいて、前記
ワークの下方に配置され、前記ワイヤに供給されるスラ
リ及びワークの切断時に割れた端材を回収するスラリ貯
溜槽と、前記スラリ貯溜槽内の液位をワイヤの切断部よ
り若干下方に設定するための液位設定手段と、前記ワー
クの切断時にはスラリ貯溜槽を、スラリを貯溜可能な状
態に保持し、また、前記端材の取り出し時にはスラリ貯
溜槽を、スラリを排出する状態に保持する切り換え手段
とを備えたことをその要旨とする。
【０００９】請求項２に記載の発明では、前記請求項１
に記載の発明において、前記液位設定手段は、前記スラ
リ貯溜槽の側部に設けられたスラリ排出口であることを
その要旨とする。
に記載の発明において、前記液位設定手段は、前記スラ
リ貯溜槽の側部に設けられたスラリ排出口であることを
その要旨とする。
【００１０】請求項３に記載の発明では、前記請求項１
又は請求項２に記載の発明において、前記スラリ貯溜槽
に対して取出可能に収容され、ワーク切断時に割れた端
材を回収する端材受取槽を備えたことをその要旨とす
る。
又は請求項２に記載の発明において、前記スラリ貯溜槽
に対して取出可能に収容され、ワーク切断時に割れた端
材を回収する端材受取槽を備えたことをその要旨とす
る。
【００１１】請求項４に記載の発明では、前記請求項３
に記載の発明において、前記端材受取槽には複数の貫通
孔が形成されていることをその要旨とする。請求項５に
記載の発明では、複数の溝ローラ間に螺旋状に巻き付け
られたワイヤを走行させ、そのワイヤに対して砥粒を含
むスラリを供給しながらワークを押し付けて、そのワー
クを切断するワイヤソーによるワーク切断方法におい
て、前記ワークの下方に、所定液位を超えないようにス
ラリを貯溜する貯溜槽を配置し、その貯溜槽にワークを
浸漬させるとともに、貯溜槽内にワイヤが浸漬しない状
態で、ワークの切断を行うことをその要旨とする。
に記載の発明において、前記端材受取槽には複数の貫通
孔が形成されていることをその要旨とする。請求項５に
記載の発明では、複数の溝ローラ間に螺旋状に巻き付け
られたワイヤを走行させ、そのワイヤに対して砥粒を含
むスラリを供給しながらワークを押し付けて、そのワー
クを切断するワイヤソーによるワーク切断方法におい
て、前記ワークの下方に、所定液位を超えないようにス
ラリを貯溜する貯溜槽を配置し、その貯溜槽にワークを
浸漬させるとともに、貯溜槽内にワイヤが浸漬しない状
態で、ワークの切断を行うことをその要旨とする。
【００１２】従って、請求項１に記載の発明において
は、ワークの切断時にはワイヤにスラリが供給される。
ワイヤに供給されたスラリはスラリ貯溜槽に回収され
る。このとき、切り換え手段はスラリ貯溜槽をスラリを
貯溜する状態に保持する。また、このとき、液位設定手
段によりスラリ貯溜槽内の液位はワイヤの切断部よりも
若干下方に設定される。これにより、ワーク切断後のス
ラリ等の余分なスラリがワイヤにかかるのが防止される
とともに、ワイヤがスラリ貯溜槽内のスラリに接触する
のが防止される。また、ワーク切断中に割れた端材はス
ラリ貯溜槽内に回収される。スラリ貯溜槽に回収された
端材を取り出す際は、切り換え手段によりスラリ貯溜槽
内のスラリが排出される。これにより、スラリが邪魔に
ならずに端材の取り出しが容易に行われる。
は、ワークの切断時にはワイヤにスラリが供給される。
ワイヤに供給されたスラリはスラリ貯溜槽に回収され
る。このとき、切り換え手段はスラリ貯溜槽をスラリを
貯溜する状態に保持する。また、このとき、液位設定手
段によりスラリ貯溜槽内の液位はワイヤの切断部よりも
若干下方に設定される。これにより、ワーク切断後のス
ラリ等の余分なスラリがワイヤにかかるのが防止される
とともに、ワイヤがスラリ貯溜槽内のスラリに接触する
のが防止される。また、ワーク切断中に割れた端材はス
ラリ貯溜槽内に回収される。スラリ貯溜槽に回収された
端材を取り出す際は、切り換え手段によりスラリ貯溜槽
内のスラリが排出される。これにより、スラリが邪魔に
ならずに端材の取り出しが容易に行われる。
【００１３】請求項２に記載の発明においては、請求項
１に記載の発明の作用に加え、スラリ貯溜槽に回収され
るスラリの液位が上昇し、所定液位に達すると、スラリ
はスラリ排出口から外部に排出される。これにより、ス
ラリの液位が上昇し、スラリがワイヤに接触するのが防
止される。
１に記載の発明の作用に加え、スラリ貯溜槽に回収され
るスラリの液位が上昇し、所定液位に達すると、スラリ
はスラリ排出口から外部に排出される。これにより、ス
ラリの液位が上昇し、スラリがワイヤに接触するのが防
止される。
【００１４】請求項３に記載の発明においては、請求項
１又は請求項２に記載の発明の作用に加え、ワークの切
断中に割れた端材は端材受取手段に回収される。従っ
て、端材を回収する際は、スラリ貯溜槽から端材受取槽
を取り出すことで容易に行われる。
１又は請求項２に記載の発明の作用に加え、ワークの切
断中に割れた端材は端材受取手段に回収される。従っ
て、端材を回収する際は、スラリ貯溜槽から端材受取槽
を取り出すことで容易に行われる。
【００１５】請求項４に記載の発明においては、請求項
３に記載の発明の作用に加え、端材受取槽には複数の貫
通孔が形成されていることから、端材受取槽をスラリ貯
溜槽から引き上げた際には、その貫通孔からスラリが溢
れ落ちる。これにより、スラリが邪魔にならずに容易に
端材を取り出すことが可能となる。
３に記載の発明の作用に加え、端材受取槽には複数の貫
通孔が形成されていることから、端材受取槽をスラリ貯
溜槽から引き上げた際には、その貫通孔からスラリが溢
れ落ちる。これにより、スラリが邪魔にならずに容易に
端材を取り出すことが可能となる。
【００１６】請求項５に記載の発明によれば、ワークが
所定量切断されると、ワークは貯溜槽に浸漬される。こ
れにより、ワーク切断時にワークに付着したスラリの乾
燥が防止される。また、ワイヤは貯溜槽内のスラリに接
触しないことから、ワイヤに余分なスラリが付着するの
が防止される。
所定量切断されると、ワークは貯溜槽に浸漬される。こ
れにより、ワーク切断時にワークに付着したスラリの乾
燥が防止される。また、ワイヤは貯溜槽内のスラリに接
触しないことから、ワイヤに余分なスラリが付着するの
が防止される。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態を図面に基づいて説明する。図１及び図２に示す
ように、第１の溝ローラ１１、第２の溝ローラ１２、第
３の溝ローラ１３の３個の溝ローラは逆トライアングル
状に配置されている。各溝ローラ１１〜１３の外周面に
は多数の溝１４が所定ピッチで形成されている。鋼線よ
りなる切断用ワイヤ１５は前記各溝ローラ１１〜１３の
溝１４に連続して螺旋状に巻付けられ、溝ローラ１１〜
１３の回転により走行される。なお、溝ローラ１１〜１
３は図示しないモータにより回転される。
の形態を図面に基づいて説明する。図１及び図２に示す
ように、第１の溝ローラ１１、第２の溝ローラ１２、第
３の溝ローラ１３の３個の溝ローラは逆トライアングル
状に配置されている。各溝ローラ１１〜１３の外周面に
は多数の溝１４が所定ピッチで形成されている。鋼線よ
りなる切断用ワイヤ１５は前記各溝ローラ１１〜１３の
溝１４に連続して螺旋状に巻付けられ、溝ローラ１１〜
１３の回転により走行される。なお、溝ローラ１１〜１
３は図示しないモータにより回転される。
【００１８】一対のリール１６，１７は前記溝ローラ１
１〜１３の側方に配設されている。そして、一方のリー
ル１６から複数のガイドローラ１８を介して溝ローラ１
１〜１３上にワイヤ１５が供給されるとともに、溝ロー
ラ１１〜１３上から複数のガイドローラ１９を介して他
方のリール１７にワイヤ１５が巻き取られる。また、一
方のリール１６から他方のリール１７にワイヤ１５が全
て巻き取られたときには、ワイヤ１５の供給及び巻取り
方向が反転される。なお、走行途中ではワイヤ１５は一
定量進むと少し後退するという進退動作走行を行う。
１〜１３の側方に配設されている。そして、一方のリー
ル１６から複数のガイドローラ１８を介して溝ローラ１
１〜１３上にワイヤ１５が供給されるとともに、溝ロー
ラ１１〜１３上から複数のガイドローラ１９を介して他
方のリール１７にワイヤ１５が巻き取られる。また、一
方のリール１６から他方のリール１７にワイヤ１５が全
て巻き取られたときには、ワイヤ１５の供給及び巻取り
方向が反転される。なお、走行途中ではワイヤ１５は一
定量進むと少し後退するという進退動作走行を行う。
【００１９】一対のダンサレバー２０，２１は前記溝ロ
ーラ１１〜１３と各リール１６，１７との間において、
ワイヤ１５の走行経路内に回動可能に配設され、それら
の先端にはダンサローラ２２，２３及びウエイト２４，
２５が取り付けられている。そして、これらのウエイト
２４，２５により、溝ローラ１１〜１３間のワイヤ１５
に所定のテンションが付与されている。
ーラ１１〜１３と各リール１６，１７との間において、
ワイヤ１５の走行経路内に回動可能に配設され、それら
の先端にはダンサローラ２２，２３及びウエイト２４，
２５が取り付けられている。そして、これらのウエイト
２４，２５により、溝ローラ１１〜１３間のワイヤ１５
に所定のテンションが付与されている。
【００２０】一対のスラリ供給パイプ２６，２７は前記
第１の溝ローラ１１及び第２の溝ローラ１２の上方に配
設され、このスラリ供給パイプ２６，２７から第１の溝
ローラ１１と第２の溝ローラ１２との間のワイヤ１５に
対して、砥粒を含むスラリが流下供給される。ワーク３
１は溝ローラ１１の上方に上下動可能に配設され、この
ワーク３１が第１の溝ローラ１１と第２の溝ローラ１２
間のワイヤ１５に押し付けられることにより、スラリ中
の砥粒のラッピング作用にてウエハー状に切断される。
第１の溝ローラ１１及び第２の溝ローラ１２の上方に配
設され、このスラリ供給パイプ２６，２７から第１の溝
ローラ１１と第２の溝ローラ１２との間のワイヤ１５に
対して、砥粒を含むスラリが流下供給される。ワーク３
１は溝ローラ１１の上方に上下動可能に配設され、この
ワーク３１が第１の溝ローラ１１と第２の溝ローラ１２
間のワイヤ１５に押し付けられることにより、スラリ中
の砥粒のラッピング作用にてウエハー状に切断される。
【００２１】各溝ローラ１１〜１３により包囲されるス
ペース内には上部が開口する箱状のスラリ貯溜槽４１が
配置されている。このスラリ貯溜槽４１は前記スラリ供
給パイプ２６，２７から流下するスラリを一時的に貯溜
する槽である。スラリ貯溜槽４１の側面上部には液位設
定手段としてのスラリ排出口４２が開口形成されてい
る。このスラリ排出口４２には別槽のスラリ収容タンク
（図示せず）から延びるパイプが連結されている。な
お、前記スラリ排出口４２の形成位置は、前記第１の溝
ローラ１１と第２の溝ローラ１２との間を繋ぐワイヤ１
５の位置から約５ｃｍ下方に離間した位置に形成されて
いる。
ペース内には上部が開口する箱状のスラリ貯溜槽４１が
配置されている。このスラリ貯溜槽４１は前記スラリ供
給パイプ２６，２７から流下するスラリを一時的に貯溜
する槽である。スラリ貯溜槽４１の側面上部には液位設
定手段としてのスラリ排出口４２が開口形成されてい
る。このスラリ排出口４２には別槽のスラリ収容タンク
（図示せず）から延びるパイプが連結されている。な
お、前記スラリ排出口４２の形成位置は、前記第１の溝
ローラ１１と第２の溝ローラ１２との間を繋ぐワイヤ１
５の位置から約５ｃｍ下方に離間した位置に形成されて
いる。
【００２２】前記スラリ貯溜槽４１内には上部が開口す
る箱状の端材受取槽４３が取出可能に収容されている。
ワーク３１の切断時に割れた端材は、この端材受取槽４
３に回収される。端材受取槽４３の側面及び底面には複
数の貫通孔４４が多数形成されている。端材受取槽４３
の上部開口縁は前記スラリ貯溜槽４１の開口縁部を被う
ように設けられている。なお、本実施の形態では、端材
受取槽４３として金網を使用している。
る箱状の端材受取槽４３が取出可能に収容されている。
ワーク３１の切断時に割れた端材は、この端材受取槽４
３に回収される。端材受取槽４３の側面及び底面には複
数の貫通孔４４が多数形成されている。端材受取槽４３
の上部開口縁は前記スラリ貯溜槽４１の開口縁部を被う
ように設けられている。なお、本実施の形態では、端材
受取槽４３として金網を使用している。
【００２３】次に、ワーク３１の切断時における作用に
ついて説明する。まず、ワーク３１の切断を行う際は、
前述したように、スラリ供給パイプ２６，２７からスラ
リを流下させるとともにワイヤ１５を走行させる。この
状態で、ワーク３１を下降させワイヤ１５に押し付け
る。これにより、ワーク３１の切断が開始される。この
とき、スラリ供給パイプ２６，２７から流下するスラリ
はスラリ貯溜槽４１内に回収される。スラリ貯溜槽４１
に回収されたスラリの液位が上昇し、スラリ排出口４２
まで達した場合には、同スラリ排出口４２からスラリが
外部に排出される。これにより、スラリ供給パイプ２
６，２７から供給されたスラリ貯溜槽４１内のスラリの
液位はスラリ排出口４２よりも上昇することはない。
ついて説明する。まず、ワーク３１の切断を行う際は、
前述したように、スラリ供給パイプ２６，２７からスラ
リを流下させるとともにワイヤ１５を走行させる。この
状態で、ワーク３１を下降させワイヤ１５に押し付け
る。これにより、ワーク３１の切断が開始される。この
とき、スラリ供給パイプ２６，２７から流下するスラリ
はスラリ貯溜槽４１内に回収される。スラリ貯溜槽４１
に回収されたスラリの液位が上昇し、スラリ排出口４２
まで達した場合には、同スラリ排出口４２からスラリが
外部に排出される。これにより、スラリ供給パイプ２
６，２７から供給されたスラリ貯溜槽４１内のスラリの
液位はスラリ排出口４２よりも上昇することはない。
【００２４】ワーク３１の切断開始直後には、ワーク３
１はスラリ貯溜槽４１内に浸漬されない。そして、ワー
ク３１が所定位置まで切断されると、ワーク３１は下降
し、スラリ貯溜槽４１内のスラリに浸漬される。これに
より、ワーク３１の乾燥が防止される。ワーク切断中に
何らかの原因でワーク３１が割れた際には、その割れた
端材は端材受取槽４３に落下する。ワーク３１の切断終
了後、図３に示すように、スラリ貯溜槽４１を各溝ロー
ラ１１〜１３により包囲される空間部より取り出す。そ
して、スラリ貯溜槽４１から端材受取槽４３を取り出
す。このとき、端材受取槽４３内のスラリは、多数の貫
通孔４４から外部に漏れ出る。これにより、端材受取槽
４３内にはスラリは存在しなくなる。端材受取槽４３を
スラリ貯溜槽４１より取り出したら、端材を取り出し、
再度端材受取槽４３をスラリ貯溜槽４１内に収容する。
１はスラリ貯溜槽４１内に浸漬されない。そして、ワー
ク３１が所定位置まで切断されると、ワーク３１は下降
し、スラリ貯溜槽４１内のスラリに浸漬される。これに
より、ワーク３１の乾燥が防止される。ワーク切断中に
何らかの原因でワーク３１が割れた際には、その割れた
端材は端材受取槽４３に落下する。ワーク３１の切断終
了後、図３に示すように、スラリ貯溜槽４１を各溝ロー
ラ１１〜１３により包囲される空間部より取り出す。そ
して、スラリ貯溜槽４１から端材受取槽４３を取り出
す。このとき、端材受取槽４３内のスラリは、多数の貫
通孔４４から外部に漏れ出る。これにより、端材受取槽
４３内にはスラリは存在しなくなる。端材受取槽４３を
スラリ貯溜槽４１より取り出したら、端材を取り出し、
再度端材受取槽４３をスラリ貯溜槽４１内に収容する。
【００２５】本実施の形態では、上記のようにワイヤソ
ーを構成したことにより次のような効果を得ることがで
きる。 （１）スラリ供給パイプ２６，２７から流下されるスラ
リを回収して貯溜するスラリ貯溜槽４１と、同スラリ貯
溜槽に対して取出可能に収容され、ワーク切断時に割れ
た端材を回収する端材受取槽４３を備えたことにより、
余分なスラリがワイヤにかかるのを防止できる。これに
より、溝ローラ１１〜１３の溝１４内に小さく破砕した
ワークのかけらが入り込むのを防止でき、延いては溝１
４からワイヤ１５が外れるのを防止できる。その結果、
加工精度及び歩留りの向上を図ることができる。
ーを構成したことにより次のような効果を得ることがで
きる。 （１）スラリ供給パイプ２６，２７から流下されるスラ
リを回収して貯溜するスラリ貯溜槽４１と、同スラリ貯
溜槽に対して取出可能に収容され、ワーク切断時に割れ
た端材を回収する端材受取槽４３を備えたことにより、
余分なスラリがワイヤにかかるのを防止できる。これに
より、溝ローラ１１〜１３の溝１４内に小さく破砕した
ワークのかけらが入り込むのを防止でき、延いては溝１
４からワイヤ１５が外れるのを防止できる。その結果、
加工精度及び歩留りの向上を図ることができる。
【００２６】また、端材受取槽４３には複数の貫通孔４
４が形成されていることから、端材受取槽４３をスラリ
貯溜槽４１から引き上げた際には、その貫通孔４４から
スラリが溢れ落ちる。これにより、スラリが邪魔になら
ずに端材受取槽４３から容易に端材を取り出すことがで
きる。
４が形成されていることから、端材受取槽４３をスラリ
貯溜槽４１から引き上げた際には、その貫通孔４４から
スラリが溢れ落ちる。これにより、スラリが邪魔になら
ずに端材受取槽４３から容易に端材を取り出すことがで
きる。
【００２７】（２）スラリ貯溜槽４１の側面にスラリ排
出口４２を形成したことにより、スラリ貯溜槽４１内の
スラリの液面と、第１の溝ローラ１１と第２の溝ローラ
１２との間に張られたワイヤ１５との間の距離を一定に
保持することができる。これにより、スラリ貯溜槽４１
内のスラリにワイヤ１５が浸漬するのを防止することが
でき、延いては溝ローラ１１〜１３の溝１４内にスラリ
中の砥粒等が巻き込み量を減少できる。
出口４２を形成したことにより、スラリ貯溜槽４１内の
スラリの液面と、第１の溝ローラ１１と第２の溝ローラ
１２との間に張られたワイヤ１５との間の距離を一定に
保持することができる。これにより、スラリ貯溜槽４１
内のスラリにワイヤ１５が浸漬するのを防止することが
でき、延いては溝ローラ１１〜１３の溝１４内にスラリ
中の砥粒等が巻き込み量を減少できる。
【００２８】（３）ワーク３１をスラリ貯溜槽に浸漬さ
せた状態で切断するようにした。これにより、ワーク３
１の切断時にワーク３１に付着したスラリの乾燥を防止
でき、ワーク３１の割れ等を防止することができる。こ
れは、特に乾燥しやすい水性スラリに有効な切断方法で
ある。
せた状態で切断するようにした。これにより、ワーク３
１の切断時にワーク３１に付着したスラリの乾燥を防止
でき、ワーク３１の割れ等を防止することができる。こ
れは、特に乾燥しやすい水性スラリに有効な切断方法で
ある。
【００２９】（４）端材受取槽４３の上部開口縁はスラ
リ貯溜槽４１の開口縁部を被うように設けられているこ
とから、端材受取槽４３に受け取った端材を外部（スラ
リ貯溜槽４１）に流出するのを防止できる。
リ貯溜槽４１の開口縁部を被うように設けられているこ
とから、端材受取槽４３に受け取った端材を外部（スラ
リ貯溜槽４１）に流出するのを防止できる。
【００３０】なお、本発明は次のように構成することも
できる。 （１）２個の溝ローラを使用したワイヤソーに具体化す
ること。 （２）上記実施の形態では、スラリ貯溜槽４１内に端材
を回収する端材受取槽４３を取出可能に設けたが、これ
を図４に示すように具体化してもよい。すなわち、端材
受取槽４３を設けず、直接スラリ貯溜槽５１により端材
を回収するようにしてもよい。この場合には、スラリ貯
溜槽５１の底面に切り換え手段としてのドレン孔５２を
形成する。そして、このドレン孔５２に切り換え手段と
してのバルブ（例えば、ボールバルブ）５３を連結す
る。端材の取り出し時には、バルブ５３を開放してスラ
リ貯溜槽５１内のスラリを排出する。これにより、スラ
リが邪魔にならずにスラリ貯溜槽５１から容易に端材を
取り出すことができる。
できる。 （１）２個の溝ローラを使用したワイヤソーに具体化す
ること。 （２）上記実施の形態では、スラリ貯溜槽４１内に端材
を回収する端材受取槽４３を取出可能に設けたが、これ
を図４に示すように具体化してもよい。すなわち、端材
受取槽４３を設けず、直接スラリ貯溜槽５１により端材
を回収するようにしてもよい。この場合には、スラリ貯
溜槽５１の底面に切り換え手段としてのドレン孔５２を
形成する。そして、このドレン孔５２に切り換え手段と
してのバルブ（例えば、ボールバルブ）５３を連結す
る。端材の取り出し時には、バルブ５３を開放してスラ
リ貯溜槽５１内のスラリを排出する。これにより、スラ
リが邪魔にならずにスラリ貯溜槽５１から容易に端材を
取り出すことができる。
【００３１】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、ワイヤ
に供給されたスラリはスラリ貯溜槽に回収されることか
ら、余分なスラリがワイヤにかかるのが防止される。こ
れにより、溝ローラの溝内に小さな破砕したワークのか
けらが入り込むのを防止でき、溝からワイヤが外れるの
を防止できる。その結果、加工精度及び歩留りの向上を
図ることができる。また、容易に端材の取り出しを行う
ことができる。
に供給されたスラリはスラリ貯溜槽に回収されることか
ら、余分なスラリがワイヤにかかるのが防止される。こ
れにより、溝ローラの溝内に小さな破砕したワークのか
けらが入り込むのを防止でき、溝からワイヤが外れるの
を防止できる。その結果、加工精度及び歩留りの向上を
図ることができる。また、容易に端材の取り出しを行う
ことができる。
【００３２】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
に記載の発明の効果に加え、確実にスラリ貯溜槽内のス
ラリの液位をワイヤの切断部よりも下方に設定できるこ
とから、スラリ貯溜槽内のスラリにワイヤが接触するの
を防止できる。その結果、溝ローラの溝内にスラリ中の
小さく破砕したワークのかけら等が入り込むのを防止で
き、溝からワイヤが外れるのを防止できる。
に記載の発明の効果に加え、確実にスラリ貯溜槽内のス
ラリの液位をワイヤの切断部よりも下方に設定できるこ
とから、スラリ貯溜槽内のスラリにワイヤが接触するの
を防止できる。その結果、溝ローラの溝内にスラリ中の
小さく破砕したワークのかけら等が入り込むのを防止で
き、溝からワイヤが外れるのを防止できる。
【００３３】請求項３に記載の発明によれば、請求項１
又は請求項２に記載の発明の効果に加え、端材の回収が
容易に行うことができることから、作業性を向上でき
る。請求項４に記載の発明によれば、請求項３に記載の
発明の効果に加え、端材受取槽をスラリ貯溜槽から引き
上げた際には、貫通孔からスラリが溢れ落ちることか
ら、スラリが邪魔にならずに端材受取槽から端材を容易
に取り出すことができる。
又は請求項２に記載の発明の効果に加え、端材の回収が
容易に行うことができることから、作業性を向上でき
る。請求項４に記載の発明によれば、請求項３に記載の
発明の効果に加え、端材受取槽をスラリ貯溜槽から引き
上げた際には、貫通孔からスラリが溢れ落ちることか
ら、スラリが邪魔にならずに端材受取槽から端材を容易
に取り出すことができる。
【００３４】請求項５に記載の発明によれば、ワーク切
断時にワークに付着したスラリの乾燥を防止でき、延い
てはワークの亀裂及び割れ等を防止できる。また、ワイ
ヤは貯溜槽内のスラリに接触しないことから、ワイヤに
余分なスラリが付着するのを防止でき、溝からワイヤが
外れるのを防止できる。
断時にワークに付着したスラリの乾燥を防止でき、延い
てはワークの亀裂及び割れ等を防止できる。また、ワイ
ヤは貯溜槽内のスラリに接触しないことから、ワイヤに
余分なスラリが付着するのを防止でき、溝からワイヤが
外れるのを防止できる。
【図１】 本発明を具体化した実施の形態におけるワイ
ヤソーの模式的な斜視図。
ヤソーの模式的な斜視図。
【図２】 ワイヤソーの模式的な側面図。
【図３】 端材受取槽を取り出した状態のスラリ貯溜槽
の側面図。
の側面図。
【図４】 別の実施の形態におけるスラリ貯溜槽の側断
面図。
面図。
１１，１２，１３…溝ローラ、１５…ワイヤ、３１…ワ
ーク、４１…スラリ貯溜槽、４３…端材受取槽、４２…
液位設定手段としてのスラリ排出口、４４…貫通孔、５
１…スラリ貯溜槽、５２…切り換え手段としてのドレン
孔、５３…切り換え手段としてのバルブ。
ーク、４１…スラリ貯溜槽、４３…端材受取槽、４２…
液位設定手段としてのスラリ排出口、４４…貫通孔、５
１…スラリ貯溜槽、５２…切り換え手段としてのドレン
孔、５３…切り換え手段としてのバルブ。
Claims (5)
- 【請求項１】 複数の溝ローラ間に螺旋状に巻き付けら
れたワイヤを走行させ、そのワイヤに対して砥粒を含む
スラリを供給しながらワークを押し付けて、そのワーク
を切断するワイヤソーにおいて、 前記ワークの下方に配置され、前記ワイヤに供給される
スラリ及びワークの切断時に割れた端材を回収するスラ
リ貯溜槽と、 前記スラリ貯溜槽内の液位をワイヤの切断部より若干下
方に設定するための液位設定手段と、 前記ワークの切断時にはスラリ貯溜槽を、スラリを貯溜
可能な状態に保持し、また、前記端材の取り出し時には
スラリ貯溜槽を、スラリを排出する状態に保持する切り
換え手段とを備えたワイヤソー。 - 【請求項２】 前記液位設定手段は、前記スラリ貯溜槽
の側部に設けられたスラリ排出口である請求項１に記載
のワイヤソー。 - 【請求項３】 前記端材は、前記スラリ貯溜槽に対して
取出可能に収容された端材受取槽に回収される請求項１
又は請求項２に記載のワイヤソー。 - 【請求項４】 前記端材受取槽には複数の貫通孔が形成
されている請求項３に記載のワイヤソー。 - 【請求項５】 複数の溝ローラ間に螺旋状に巻き付けら
れたワイヤを走行させ、そのワイヤに対して砥粒を含む
スラリを供給しながらワークを押し付けて、そのワーク
を切断するワイヤソーによるワーク切断方法において、 前記ワークの下方に、所定液位を超えないようにスラリ
を貯溜する貯溜槽を配置し、その貯溜槽にワークを浸漬
させるとともに、貯溜槽内にワイヤが浸漬しない状態
で、ワークの切断を行うワイヤソーによるワーク切断方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22396995A JP3187296B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | ワイヤソー及びワーク切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22396995A JP3187296B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | ワイヤソー及びワーク切断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0966521A true JPH0966521A (ja) | 1997-03-11 |
| JP3187296B2 JP3187296B2 (ja) | 2001-07-11 |
Family
ID=16806525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22396995A Expired - Fee Related JP3187296B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | ワイヤソー及びワーク切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3187296B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016203303A (ja) * | 2015-04-22 | 2016-12-08 | 信越半導体株式会社 | ワイヤソー装置 |
| JP2016203321A (ja) * | 2015-04-24 | 2016-12-08 | 株式会社安永 | ワイヤソー及び該ワイヤソーを使用し、ワークから複数のスライス品を製造する製造方法。 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2343155B1 (en) | 2003-10-27 | 2014-08-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Multi-wire saw |
| SG186510A1 (en) * | 2011-06-23 | 2013-01-30 | Systems Automation S Pte Ltd Fa | Cutting machine and method of cutting |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3126605U (ja) | 2006-08-22 | 2006-11-02 | 株式会社福井クラフト | 弁当箱の仕切板 |
-
1995
- 1995-08-31 JP JP22396995A patent/JP3187296B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016203303A (ja) * | 2015-04-22 | 2016-12-08 | 信越半導体株式会社 | ワイヤソー装置 |
| JP2016203321A (ja) * | 2015-04-24 | 2016-12-08 | 株式会社安永 | ワイヤソー及び該ワイヤソーを使用し、ワークから複数のスライス品を製造する製造方法。 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3187296B2 (ja) | 2001-07-11 |
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