JPH0981906A - 磁気ヘッド用コア及びそれを用いてなるコアスライダ並びにそれらの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 トラックの位置合わせに優れ且つコストの安
価な積層構造の磁気ヘッド用コア及びその製造方法の提
供と、該磁気ヘッド用コアを用いた磁気ヘッド用コアス
ライダ及びその製造方法の提供。 【解決手段】 非磁性材料からなる第一及び第二のコア
半体２、４が、それらの間にコイル巻線用孔６を形成し
た形態において突き合わされて、接合せしめられてなる
非磁性コア基板８と、該非磁性コア基板８の一方の平面
に対して所定厚さで形成されて、前記コイル巻線用孔６
の周りで磁気回路を構成している金属磁性膜１０とを有
し、且つ前記第一及び第二のコア半体２、４の突合せ部
において、該金属磁性膜１０を、前記コイル巻線用孔６
から磁気ディスク対向側の面に至る所定幅の間隙にて分
離せしめて、磁気ギャップ１２を形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】本発明は、磁気ヘッド用コア及びそれを用
いてなるコアスライダ並びにそれらの製造方法に係り、
特に積層構造の安価な磁気ヘッド用コアとそれを製造す
る方法、更には、そのような磁気ヘッド用コアをスライ
ダ本体に組み込んでなる構造の磁気ヘッド用コアスライ
ダとそれを製造する方法に関するものである。

【０００２】

【背景技術】固定磁気ディスク装置（ＨＤＤ／ＲＤＤ）
に用いられる浮上型磁気ヘッド用コアスライダの中に、
所謂コンポジット型と称される形式のものがある。これ
は、空気ベアリング部を有するスライダ本体と、磁気デ
ィスクに所定の情報を書き込み或いはそれから読み出
す、記録／再生部を構成するための磁気ヘッド用コア
（コアチップ）とを別々に作製し、そして、それら別々
に作製したスライダ本体と磁気ヘッド用コアとを一体的
に組み付けて構成してなる構造のものであり、モノリシ
ック型のものに比べて、記録／再生を担うコアの厚み、
ひいてはインダクタンスを小さく為し得て、高周波特性
を改善することが出来るといった特徴を有している。

【０００３】そして、そのようなコンポジット型のコア
スライダは、例えば特開平６−２７４８４５号公報の図
７に示されるように、スライダ本体と磁気ヘッド用コア
（コアチップ）とが別々に作製され、そしてそれらが一
体的に組み付けられることにより、目的とするコアスラ
イダとされているのである。具体的には、スライダ本体
は、その磁気ディスク対向側の面たる上面に２本のレー
ル状の空気ベアリング部を有し、その一方の端部に、コ
イル巻線用溝とコア挿入用のスリットとが、互いに交叉
するように設けられている。また、コイル巻線用孔の存
在にて、矩形枠体形状のリング状を呈する磁気ヘッド用
コアには、その保護ガラスにて保護された磁気ギャップ
を挟む部分に対して、トラック加工が施され、所定高さ
のトラック部が形成されている。そして、かかる磁気ヘ
ッド用コアをスライダ本体のスリット内に挿入、配置せ
しめ、更に封着用ガラスを溶融、充填せしめて、磁気ヘ
ッド用コアをスライダ本体に対して固着し、一体化せし
めて、目的とするコアスライダを得るのである。なお、
このように一体化されたコアスライダに対しては、その
スライダ本体の空気ベアリング部の上面を研磨すること
によって、同時にコアチップのトラック部の研磨を行な
い、磁気ギャップのギャップデプス長が所定寸法となる
ように、研磨加工（デプス研磨）が行なわれることとな
る。

【０００４】また、近年、フロッピーディスク装置（Ｆ
ＤＤ）と同じ磁気記録装置の一つではあるが、フロッピ
ーディスク（ＦＤ）よりも遙かに大容量の記憶容量をも
つＺＩＰドライブ装置が注目を受けているが、このＺＩ
Ｐドライブ装置に用いられている磁気ヘッドにも、上記
のコンポジット型コアスライダと同様な構造の磁気ヘッ
ド用コアスライダ、所謂ＺＩＰスライダが用いられてい
る。尤も、このＺＩＰスライダは、空気ベアリング部を
有するスライダ本体に設けたコア挿入用スリットに磁気
ヘッド用コアを挿入、固定せしめてなる構造を採用して
はいるものの、該スライダ本体にＺｒＯ₂ 材料を用い、
そしてディスクに対してはコンタクト方式を採用してい
るところに特徴を有している。

【０００５】ところで、このような構造のコンポジット
型コアスライダやＺＩＰドライブ装置に用いられるの磁
気ヘッド用コアスライダ等を構成する磁気ヘッド用コア
（コアチップ）としては、従来から各種のものが用いら
れてきており、磁性膜をその両側から非磁性基板にて挟
持せしめてなる構造の積層型コアたる、所謂、積層ヘッ
ド（ＬＡＭヘッド）も、その一つである。

【０００６】具体的には、そのような積層型コアは、例
えば特開平３−２５７０８号公報等に明らかにされてい
るようにして、製造される。即ち、先ず、非磁性基板に
磁性膜を形成した後、その基板を多数積み重ねて接着せ
しめることにより、一体的な一つの積層ブロックを形成
せしめ、そしてその積層ブロックから、積層方向が長手
方向となるコア・バーの多数を切り出し、その得られた
コア・バーに対してコイル巻線用溝加工を施し、更にギ
ャップ対向面を鏡面加工した後、他のコア・バーを組み
合わせて接合し、ギャップバーを形成した後、かかるギ
ャップバーから各磁性膜層を積層方向の中央部に含むよ
うに切り出すことにより、目的とする磁気ヘッド用コア
（コアチップ）を得るものであって、コア構造として、
非磁性基板に挟まれた磁性膜のみで磁気回路を構成する
ものであるところから、その磁性膜の厚さがトラック幅
と一致する構造的な特徴を有している。

【０００７】特に、かかる積層型コアを用いた磁気ヘッ
ドにあっては、磁気回路を磁性膜のみで構成するもの
であるところから、インダクタンスが小さく、また高周
波透磁率が大きく、記録信号の高周波化に良好に対応す
ることが出来ることにより、高密度記録が可能となる、
磁気ヘッドの磁気回路が簡単な構造となり、またフェ
ライト材料を使用していないところから、摺動ノイズが
なく、ウイグルノイズも小さく、それ故にきれいな信号
が得られるために、Ｓ／Ｎ比が大きい、薄膜ヘッドや
ＭＲ（磁気抵抗素子）ヘッドに比較して、コストが低
い、トラック加工の工程が不要となり、狭トラック化
が可能であり、また狭ギャップ化も可能となる等の特徴
を有している。

【０００８】しかしながら、このような数多くの特徴を
有する磁気ヘッドを与える積層型コアの製造に際して
は、非磁性基板を多数積み重ねる必要がある等、その工
程が複雑であり、また材料の無駄が多くなることに加え
て、一体的な積層ブロックを構成する多数の基板の何れ
かのものが割れたりした場合にあっては、それを次工程
に移行せしめて、健全なコア・バーを切り出すことが出
来ないために、そのような積層ブロックは不良品とせざ
るを得ず、そのために歩留りの更に低いものとなり、こ
れがコストアップにつながっているのである。

【０００９】また、かかる積層型コアの生産工程におい
てポイントとなるところは、コイル巻線用溝加工の施さ
れてなる積層構造のコア・バーに対して、他の一つの同
様な積層構造のコア・バーを突き合わせて、接合せしめ
ることにより、ギャップバーを得るに際して、接合せし
められる二つのコア・バーの磁性膜を如何に位置合わせ
するかの点、換言すればトラック位置合わせにあり、そ
のトラック幅（磁性膜厚さ）が、例えば４μｍであると
きに、そのトラックの位置ずれが１μｍも存在すると、
信号の読み書きが良好に行なわれ得ないのである。従っ
て、積層型コアの生産工程では、かかるトラック位置合
わせを如何に精度よくするかが、鍵となっているのであ
る。

【００１０】このため、特開昭５８−２２４４２１号公
報においては、磁性膜を挟み込む一対の非磁性基板の突
き合わせ面方向の長さを変えておき、その長い方の非磁
性基板の磁性膜側の面を基準にして、突き合わせ時のト
ラック合わせを行なうようにした薄膜磁気ヘッドの製造
方法が明らかにされているが、そのような方法にあって
は、位置合わせのための基準面が長手の非磁性基板の両
端部となっているところから、非磁性基板の中央部にお
ける磁性膜（トラック）の位置合わせを行なうことが出
来ず、そのためにトラックの位置合わせの精度が悪くな
り、トラックずれの生じた磁気ヘッド用コア（コアチッ
プ）が生産される恐れがあるという問題を内在してい
る。

【００１１】

【解決課題】ここにおいて、本発明は、かかる事情を背
景にして為されたものであって、その解決課題とすると
ころは、積層型コアの特徴をそのまま発揮しつつ、トラ
ックの位置合わせに優れ、またコストの安価な積層構造
の磁気ヘッド用コア及びその製造方法を提供することに
あり、また、そのような磁気ヘッド用コアを用いた有効
なコンポジット型コアスライダやＺＩＰドライブ装置用
コアスライダ（ＺＩＰスライダ）等の磁気ヘッド用コア
スライダ及びその製造方法を提供することにある。

【００１２】

【解決手段】そして、本発明は、上記のような課題を解
決するために、非磁性材料からなる第一及び第二のコア
半体が、それらの間にコイル巻線用孔を形成した形態に
おいて突き合わされて、接合せしめられてなる非磁性コ
ア基板と、かかる非磁性コア基板の一方の平面に対して
所定厚さで形成されて、前記コイル巻線用孔の周りで磁
気回路を構成している金属磁性膜とを有し、且つ前記第
一及び第二のコア半体の突合せ部において、該金属磁性
膜を、前記コイル巻線用孔から磁気ディスク対向側の面
に至る所定間隙にて分離せしめて、磁気ギャップを形成
したことを特徴とする磁気ヘッド用コアを、その要旨と
するものである。

【００１３】このような本発明に従う磁気ヘッド用コア
にあっては、非磁性コア基板の一方の平面に金属磁性膜
が形成されて、該金属磁性膜にて磁気回路が構成されて
いるところから、従来の積層型コアと同様な特徴をその
まま発揮し得るものであり、しかも非磁性コア基板の片
面に金属磁性膜が設けられたものであるところから、か
かる金属磁性膜を基準面として、二つのコア半体を突き
合わせ、接合することが有利に行なわれ得て、以てトラ
ックの位置ずれのない磁気ヘッド用コアが、効果的に実
現され得るのである。

【００１４】なお、かかる磁気ヘッド用コアにおいて、
非磁性コア基板は、その磁気ディスク対向側の面の前記
金属磁性膜形成側とは反対側の角部を切り落してなる傾
斜面を有し、該磁気ディスク対向側の面に向って漸次厚
さが薄くなるように構成されていることが望ましく、こ
れによって、コンポジット型コアスライダやＺＩＰスラ
イダ等の磁気ヘッド用コアスライダの製造工程におい
て、デプス研磨によりギャップデプスの寸法を規定する
際に、傾斜面形成側よりモールドガラスを通してデプス
位置の確認が容易となり、以て正確なギャップデプス寸
法を実現することが容易となるのである。

【００１５】また、本発明は、上記した如き磁気ヘッド
用コアを有利に得るべく、（ａ）非磁性材料からなる板
状のコアブロックを準備し、その一方の平面に金属磁性
膜を所定厚さに形成する工程と、（ｂ）かかる金属磁性
膜が形成されたコアブロックから、一方の面に該金属磁
性膜を有する第一及び第二のコア・バーを切り出す工程
と、（ｃ）それら第一及び第二のコア・バーの少なくと
も一方に、該金属磁性膜の形成面に垂直な方向に延びる
少なくとも一つのコイル巻線用溝を形成する工程と、
（ｄ）該第一及び第二のコア・バーの金属磁性膜形成側
の面を基準面として、それらコア・バー間に前記コイル
巻線用溝にてコイル巻線用孔が形成されるように、且つ
それらコア・バー間の磁気ギャップ形成部位において、
対向する金属磁性膜の端部間の間隙にて磁気ギャップが
形成されるように、それら第一及び第二のコア・バーを
突き合わせ、接合せしめることにより、一方の側の面に
金属磁性膜が位置して、前記コイル巻線用孔の周りに磁
気回路が形成されてなるギャップバーを形成する工程
と、（ｅ）該ギャップバーより、目的とする磁気ヘッド
用コアの少なくとも一つを切り出す工程とを、含むこと
を特徴とする磁気ヘッド用コアの製造方法を、その要旨
とするものである。

【００１６】従って、このような磁気ヘッド用コアの製
造方法によれば、トラック（金属磁性膜）の位置合わせ
が正確に行なわれ得て、以てトラックの位置ずれのない
磁気ヘッド用コアを有利に得ることが出来るのである。
しかも、かかる製造方法にあっては、従来の如き複数の
基板の積層一体化工程を採用するものではないところか
ら、工程が少なく、簡単であって、容易に磁気ヘッド用
コアを得ることが出来るのであり、また材料の無駄も少
なく、更には基板の割れ等によってコア材料が使用出来
なくなる等の問題も少なく、以て歩留りを効果的に向上
せしめ得て、コストの低減に有利に寄与し得るのであ
る。

【００１７】なお、このような磁気ヘッド用コアの製造
方法において、有利には、前記金属磁性膜が形成された
コアブロックに対して、該金属磁性膜を覆うに充分な大
きさのダミー材を、該金属磁性膜を該コアブロックとの
間で挟む形態において、一時的に固着せしめた後、前記
第一及び第二のコア・バーの切出しやコイル巻線用溝の
形成等の加工を実施し、そして該第一及び第二のコア・
バーの突き合わせ・接合に先立って、それら第一及び第
二のコア・バーより前記ダミー材を取り外すことが、行
なわれる。このようなダミー材の一時的な接着にて、切
り出し加工や溝加工、更にはギャップ対向面の研削時に
おける加工負荷等により、磁性膜がコア・バー（基板）
より剥がれてしまうことが、効果的に防止され得ること
となるのである。

【００１８】さらに、本発明にあっては、前記した本発
明に従う磁気ヘッド用コアを有利に得るべく、（Ａ）非
磁性材料からなる第一及び第二のコア・バーを準備し、
それらコア・バーの接合側の面の少なくとも一方に、そ
れを横切る方向に延びる少なくとも一つのコイル巻線用
溝を形成する工程と、（Ｂ）かかるコイル巻線用溝の形
成工程を経た第一及び第二のコア・バーの該コイル巻線
用溝に直交する方向の面の一方に、それぞれ所定厚さの
金属磁性膜を形成する工程と、（Ｃ）該第一及び第二の
コア・バーの金属磁性膜形成側の面を基準面として、そ
れらコア・バー間に前記コイル巻線用溝にてコイル巻線
用孔が形成されるように、且つそれらコア・バー間の磁
気ギャップ形成部位において、対向する金属磁性膜の端
部間の間隙にて磁気ギャップが形成されるように、それ
ら第一及び第二のコア・バーを突き合わせ、接合せしめ
ることにより、一方の側の面に金属磁性膜が位置して、
前記コイル巻線用孔の周りに磁気回路が形成されてなる
ギャップバーを形成する工程と、（Ｄ）該ギャップバー
より、目的とする磁気ヘッド用コアの少なくとも一つを
切り出す工程とを、含むことを特徴とする磁気ヘッド用
コアの製造方法をも、その特徴とするものである。

【００１９】更にまた、本発明は、上記した磁気ヘッド
用コアを組み込んでなるコンポジット型コアスライダや
ＺＩＰスライダ等のコアスライダをも、その要旨とする
ものであって、そして、その特徴とするところは、スラ
イダ本体の磁気ディスク対向側の面に、互いに平行な所
定高さの空気ベアリング部を左右に設ける一方、それら
空気ベアリング部が延びる方向における前記スライダ本
体の一方の端部の端面に、所定幅のコイル巻線用溝を左
右方向に設け、更に該コイル巻線用溝を横切ってコア挿
入用スリットを設けて、該コア挿入用スリットに磁気ヘ
ッド用コアを挿入、配置せしめてなる構造の磁気ヘッド
用コアスライダにおいて、かかる磁気ヘッド用コアスラ
イダとして、本願の請求項１乃至２に記載の構成、換言
すれば上記した構成の磁気ヘッド用コアを用いたことに
あり、このようにスライダ本体に設けられたコア挿入用
スリット内に、上記の磁気ヘッド用コアが挿入せしめら
れて、ガラスによりモールド固定されることにより、磁
気ヘッド用コアの片面に金属磁性膜が形成されていて
も、そのような金属磁性膜が外部の物体と接触すること
が効果的に回避され、以て積層型コアとしての機能を有
利に発揮せしめ得るのである。

【００２０】そして、そのようなコンポジット型コアス
ライダやＺＩＰスライダ等の磁気ヘッド用コアスライダ
は、（イ）磁気ディスク対向側の面に、互いに平行な所
定高さの空気ベアリング部を左右に設ける一方、それら
空気ベアリング部が延びる方向における一方の端部の端
面に、所定幅のコイル巻線用溝を左右方向に設け、更に
該コイル巻線用溝を横切ってコア挿入用スリットを設け
てなるスライダ本体を準備する工程と、（ロ）本願の請
求項１乃至２記載の構成、換言すれば上述した構造の磁
気ヘッド用コアを準備する工程と、（ハ）該磁気ヘッド
用コアを、前記スライダ本体のコア挿入用スリットに挿
入、配置せしめる工程とを、含む手法を採用して、有利
に製造され得るのである。

【００２１】特に、このようなコアスライダの製造方法
においては、用いられる磁気ヘッド用コアが、前述の如
く、非磁性コア基板の磁気ディスク対向側の面の角部を
切り落して傾斜面を設けた構造である場合において、ギ
ャップデプス位置の確認が容易であるために、デプス研
磨によりギャップデプス寸法を正確に出すことが容易と
なる特徴がある。

【００２２】

【発明の実施の形態・実施例】以下、本発明に従う磁気
ヘッド用コア及びそれを用いてなるコアスライダ並びに
それらの製造方法について、図面に基づいて、更に具体
的に明らかにすることとする。

【００２３】先ず、図１は、本発明に従うコンポジット
型コアスライダ等に用いられる磁気ヘッド用コアの一例
を示しており、そこにおいて、２及び４は、それぞれ、
ＣａＴｉＯ₃ 若しくはそれを主成分とする非磁性セラミ
ックス材料等の非磁性材料からなる第一及び第二のコア
半体であり、それらコア半体２、４を、それらの間にコ
イル巻線用孔６が形成された形態において突き合わせ、
そして接着ガラス等を用いた、従来と同様な手法に従っ
て接合せしめることによって、矩形リング状を呈する非
磁性コア基板８が構成されている。

【００２４】また、それら第一及び第二のコア半体２、
４の同じ側の面には、同一厚さにて、金属磁性膜１０が
全面に亘って形成されており、それらコア半体２、４の
接合により、コア基板８の一方の平面（主面）に対し
て、その全面に亘って、金属磁性膜１０が所定厚さで存
在する形態とされ、以てコイル巻線用孔の周りで閉磁気
回路を構成している。なお、かかる金属磁性膜１０は、
センダスト、パーマロイ、アモルファス合金等の公知の
金属磁性材料をスパッタリング等の方法にて被着せしめ
て、形成されている。

【００２５】しかも、それら第一及び第二のコア半体
２、４の磁気ディスク対向側の突合せ部においては、そ
れぞれのコア半体に形成された金属磁性膜１０、１０
が、それらの突合せ面間に介在せしめられる所定厚さの
ガラス層等の非磁性層（図示せず）を介して、コイル巻
線用孔６から磁気ディスク対向側の面に至る所定幅の間
隙にて分離せしめられ、以て所定間隔の磁気ギャップ１
２が形成されているのである。

【００２６】さらに、かかる磁気ヘッド用コアにあって
は、コア基板８が、その磁気ディスク対向側の面の金属
磁性膜１０形成側とは反対側の角部に、傾斜面１４を有
している。即ち、金属磁性膜１０が形成されていない側
において、コア基板８の磁気ディスク対向側の角部が、
図示の如く、磁気ディスク対向側の面に対して所定の角
度：αを為して切り落とされ、傾斜面１４が形成されて
いるのであり、以てコア基板８は、磁気ディスク対向側
の面に向かって漸次厚さが薄くなるように構成されてい
るのである。

【００２７】従って、このような構造の磁気ヘッド用コ
アにあっては、コア基板８の片面に形成された金属磁性
膜１０のみで閉磁気回路が構成されることとなるのであ
り、以てインダクタンスが小さく為され得、また高周波
透磁率が大きくなって、記録信号の高周波化に良好に対
応することが出来るのであり、それ故に、高密度記録の
要求に有利に応え得る他、磁気回路が簡単な構造とな
り、且つフェライトコアの如くフェライト材料を用いて
いないところから、摺動ノイズやウイグルノイズの問題
も効果的に解消され得て、Ｓ／Ｎ比を大きく為し得る特
徴があり、更には金属磁性膜１０の厚さがトラック幅と
なるところから、トラック加工の工程が不要となること
に加えて、狭トラック化も有利に実現され得るのであ
る。

【００２８】しかも、コア基板８の片面に金属磁性膜１
０を形成せしめるだけのものであって、従来の如く、金
属磁性膜を非磁性基板にて両側から挟む構造を採用する
ものではないところから、金属磁性膜１０の面を基準面
とすることが出来、以て第一及び第二のコア半体２、４
の接合時における金属磁性膜１０、１０の突き合わせ面
のずれ、換言すればトラックの位置ずれを効果的に解消
して、トラックの位置合わせを簡単と為し得るのであ
り、更には基板を重ね合わせて接合するラミネート工程
を採用する必要がないところから、工程も著しく少なく
為し得、コアの作製を容易と為し、また材料使用量をも
有利に低減せしめ得て、以てコアの製造コストの効果的
な低減を図り得るのである。

【００２９】また、かかる磁気ヘッド用コアを構成する
コア基板８の角部に形成された傾斜面１４の存在によっ
て、磁気ギャップ１２のデプス位置（コイル巻線用孔の
上端位置）が確認し易くなるのであり、それによって、
スライダ本体に組み付けた後のデプス研磨作業が容易と
なるのである。

【００３０】ところで、かくの如き構成の磁気ヘッド用
コアは、例えば図２〜図４に示される如き手法に従っ
て、有利に製造することが可能である。

【００３１】すなわち、そのような方法においては、先
ず、ＣａＴｉＯ₃ 等の非磁性材料からなる板状のコアブ
ロック２０が準備される。このコアブロック２０は、後
述するコア・バーの複数を切り出し得るに充分な大きさ
とされ、また加工性や摩耗性を考慮して、形成される金
属磁性膜の熱膨張係数となるべく近似した材質のものが
選定される。そして、このコアブロック２０の片側表面
（ここでは、図において上面）が鏡面加工されて、金属
磁性膜の形成面とされる。

【００３２】そして、このコアブロック２０の鏡面加工
された面に、金属磁性膜が所定厚さで形成されるのであ
るが、ここでは、図２に示される如く、金属磁性膜２２
は複数層から構成されている。具体的には、例えば、Ｄ
Ｃスパッタリング装置によって、先ず、下地膜２２ａと
して、ＳｉＯ₂ を所定厚さ（例えば１００Å）にて形成
し、その上にＦｅ−Ｔａ−Ｎ合金膜２２ｂを所定厚さ
（例えば２μｍ）で形成し、またその上に中間膜２２ｃ
として、ＳｉＯ₂ を所定厚さ（例えば１０００Å）で形
成し、更にその上にＦｅ−Ｔａ−Ｎ合金膜２２ｄを所定
厚さ（例えば２μｍ）で形成し、最後に酸化保護膜２２
ｅとして、ＳｉＯ₂ を所定厚さ（例えば２０００Å）で
形成して、金属磁性膜２２を構成している。なお、この
とき、金属磁性膜２２は、その面内の磁気異方性が小さ
く、等方的であるようにされる。また、この金属磁性膜
２２は、一層でもよく、更には実質的な磁性膜であるＦ
ｅ−Ｔａ−Ｎ合金膜２２ｂ、２２ｄを一つに纏めること
も可能である。

【００３３】そして、このようにして得られた、金属磁
性膜２２を所定厚さで形成してなるコアブロック２０に
対しては、その金属磁性膜２２の面に、ダミー材２４と
して、例えばコアブロック２０と同じ材質の板やカーボ
ン板等を、瞬間接着剤等による接合の如き、後で有機溶
剤等にて剥離可能な手法にて接着せしめることが、有利
に行なわれる。このダミー材２４の存在によって、コア
・バーの切り出し加工やコイル巻線用溝の形成加工、更
にはギャップ対向面研削時の加工負荷等により、金属磁
性膜２２がコアブロック２０から剥がれてしまうこと
が、効果的に防止されることとなる。なお、このダミー
材２４は、後述するコア・バーの突き合わせ・接合に先
立って、それを接着している接着剤部分を適当な溶剤に
溶解せしめることにより、コアブロック２０から切り離
されることとなる。

【００３４】次いで、かかる金属磁性膜２２の形成され
たコアブロック２０に対しては、図３に示される如く、
例えば一点鎖線の位置において切出し加工が施されて、
コアブロック２０の切り出し片２０′の片側の面に金属
磁性膜２２を有するコア・バーの複数が切り出され、第
一及び第二のコア・バー２６、２８が取り出される。そ
して、それらコア・バーの少なくとも一方に（ここで
は、第二のコア・バー２８に対して）、金属磁性膜２２
の形成面に垂直な方向に延びる、少なくとも一つのコイ
ル巻線用溝３０の溝加工が施され、更に第一及び第二の
コア・バー２６、２８のギャップ対向面、換言すれば突
合せ接合側の対向面が、それぞれ研磨ラップ加工され、
鏡面とされる。この後、それらコア・バー２６、２８の
金属磁性膜２２上に、前述のダミー材２４が接着されて
いるときには、それらコア・バー２６、２８の突合せ接
合に先立って、それぞれのダミー材２４が、それを接着
する接着剤を溶剤にて溶解せしめる等の、適当な離脱手
法を採用して、切り離されることとなる。

【００３５】その後、かかる第一及び第二のコア・バー
２６、２８は、それらの少なくとも一方のギャップ対向
面（突合せ面）に対して、目的とする磁気ギャップ間隔
を与えるギャップスペーサ（層）が形成され、更にその
上に接着ガラスの層が形成される。具体的には、例え
ば、スパッタリング装置によって、ギャップスペーサと
してのＳｉＯ₂ 層が２００Åの厚さにおいて、また接着
ガラス層が４５０Åの厚さにおいて形成されることとな
るのである。

【００３６】そして、そのようなギャップスペーサー層
や接着ガラス層が形成されてなる第一のコア・バー２６
と第二のコア・バー２８とを、それらのギャップ対向面
を向かい合わせて突き合わせ、接合せしめるに際して
は、それらコア・バー２６、２８の金属磁性膜２２形成
側の面が基準面とされるのであり、これによって、二つ
のコア・バー２６、２８の金属磁性膜２２が位置ずれを
惹起することなく、正確に対向位置せしめられ得るので
ある。要するに、二つのコア・バー２６、２８の金属磁
性膜２２の表面を、同一平面上で、基準面として位置合
わせすることにより、ずれ量が０．５μｍ以下の精度で
トラックの位置合わせが可能となるのである。

【００３７】このように、二つのコア・バー２６、２８
を、それらの金属磁性膜２２形成側の面を基準面とし
て、それらのギャップ対向面が向かい合うように突き合
わせ、例えば２０ｋｇｆ／ｃｍ² の加圧下に挟圧せし
め、そして５７０℃で１時間、窒素雰囲気中にて加熱せ
しめることにより、それらコア・バーの接合操作が実施
され、以て図３に示される如く、それらコア・バー２
６、２８間に、コイル巻線用溝３０にてコイル巻線用孔
３２が形成され、また、それらコア・バー２６、２８間
の磁気ギャップ形成部位において、対向する金属磁性膜
２２、２２の端部間の間隙（ギャップスペーサによって
形成される）にて、磁気ギャップ３４が形成され、以て
一方の側の面（主面）に金属磁性膜２２が位置して、コ
イル巻線用孔３２の周りに磁気回路が形成されてなるギ
ャップバー３６が得られるのである。

【００３８】その後、ギャップバー３６に対しては、図
４に示される如く、個々の磁気ヘッド用コアの切出し加
工が実施される。即ち、一点鎖線で示される切断位置に
おいて切り出されることにより、目的とする磁気ヘッド
用コア３８の少なくとも一つが取り出され、更に従来と
同様な仕上げ加工と共に、磁気ディスク対向側のコアブ
ロック部分の角部に斜辺加工が施されることにより、所
定角度：α（ここでは４５°）の傾斜面４０が形成さ
れ、以て図１と同様なコンポジット型磁気ヘッド用コア
が実現されるのである。

【００３９】従って、そのような磁気ヘッド用コア３８
は、コアブロック２０にて与えられる第一及び第二のコ
ア半体２０′、２０′からなる非磁性コア基板４２の片
面に、金属磁性膜２２が所定厚さで形成された構造とな
るのであり、構造的にも極めて簡略なものである。

【００４０】また、本発明に従うコンポジット型コアス
ライダ等に用いられる磁気ヘッド用コアは、上記した製
造手法の他に、図５及び図６に示される如き工程に従っ
ても、有利に製造することが出来る。

【００４１】そこでは、先ず、非磁性材料からなる所定
大きさのコアブロック２０が準備され、このコアブロッ
ク２０が、その金属磁性膜形成面において、鏡面加工さ
れた後、所望のコア・バー（２６、２８）の切出し加工
が実施される。その後、その得られたコア・バーのうち
の二つを第一のコア・バー２６及び第二のコア・バー２
８とし、それらの少なくとも一方に、コイル巻線用溝３
０が形成された後、図５に示される如く、それら二つの
コア・バー２６、２８の同じ側の面に、所定厚さで、金
属磁性膜２２が形成されるのである。

【００４２】次いで、このような金属磁性膜２２が形成
されてなる第一及び第二のコア・バー２６、２８は、そ
の突合せ接合面（ギャップ形成面）がラップ加工され、
更にそこに、ギャップスペーサ層や接着ガラス層が形成
された後、前記製造手法と同様に、それぞれの金属磁性
膜２２、２２の表面を基準面として、平坦面４４にて、
それぞれのコア・バー２６、２８の金属磁性膜２２、２
２の位置合わせを行ない、以て位置ずれのない突合せ接
合操作が実施されるのである。

【００４３】従って、図６に示される如く、それぞれの
コア・バー２６、２８のコアブロック２０から切り出さ
れる非磁性体部分２０′、２０′の厚さが異なっていて
も、金属磁性膜２２が同じ厚さである限りにおいて、平
坦面４４にて、正確な位置合わせを行なうことが可能で
あり、そしてその状態において、上記と同様な接合操作
を実施することにより、金属磁性膜２２、２２の位置ず
れのない、換言すればトラックの位置ずれのないギャッ
プバー３６を得ることが出来るのである。

【００４４】そして、このように得られたギャップバー
３６から、前述の製造手法と同様にして、目的とする磁
気ヘッド用コア３８が切り出され、以て非磁性コア基板
４２の片面に、磁気回路を構成する金属磁性膜２２が形
成されてなる構造が得られるのである。

【００４５】本発明は、かくの如くして得られた磁気ヘ
ッド用コア３８を、固定磁気ディスク装置に用いられる
浮上型磁気ヘッド用コアスライダにおけるコンポジット
型と称されるもの、即ちコンポジット型コアスライダや
ＺＩＰスライダ等の磁気ヘッド用コアスライダにおける
コアとして用いるものであり、図７には、そのようなコ
アスライダの製造の一例が示されている。

【００４６】かかる図７においては、磁気ヘッド用コア
３８が上述の如くして作製される一方、スライダ本体５
０が、該磁気ヘッド用コア３８とは別個に作製される。
そして、スライダ本体５０は、一般に、ＣａＴｉＯ₃ 若
しくはそれを主成分とする非磁性セラミックス材料等か
ら構成され、その磁気ディスク対向側の面である上面
に、互いに平行な所定高さの二本のレール状の空気ベア
リング部５２、５２を所定幅で左右に有している。ま
た、このスライダ本体５０の空気ベアリング部５２が延
びる方向における一方の端部の端面には、所定幅のコイ
ル巻線用溝５４が左右方向に設けられており、更に該コ
イル巻線用溝５４が設けられた側の端部には、空気ベア
リング部５２上に位置するように、かかるコイル巻線用
溝５４を横切って（互に交叉して）、コア挿入用スリッ
ト５６が設けられている。

【００４７】次いで、このようにして準備された磁気ヘ
ッド用コア３８とスライダ本体５０とを用い、かかるス
ライダ本体５０のコア挿入用スリット５６内に、磁気ヘ
ッド用コア３８を挿入せしめて組み付け、そして従来と
同様にして、それらの組付体を加熱することにより、封
着用ガラス５８を軟化、溶融させて、スライダ本体５０
に磁気ヘッド用コア３８が固着せしめられる。その後、
このように固定せしめた磁気ヘッド用コア３８の磁気デ
ィスク対向側の面が、スライダ本体５０のそれぞれの空
気ベアリング部５２、５２の上面（磁気ディスク対向側
の面）と共に研磨され、以て目的とするデプス研磨加工
が行なわれて、コンポジット型磁気ヘッド用コアスライ
ダ６０が完成されるのである。

【００４８】このような磁気ヘッド用コアスライダ６０
にあっては、磁気ヘッド用コア３８が、その片面に金属
磁性膜２２を有していても、かかる磁気ヘッド用コア３
８はスライダ本体５０のコア挿入用スリット５６内に挿
入されて、封着用ガラス５８にて固着、保持されるもの
であるところから、コアスライダ６０の使用時におい
て、磁気ディスクに接触した際にも、効果的に保護され
得ることとなり、以て、その耐久性や信頼性には何等問
題なく、磁気ヘッド用コア３８の性能を最大限に発揮せ
しめ得るのである。

【００４９】しかも、ここで用いられる磁気ヘッド用コ
ア３８は、それを構成する非磁性コア基板４２の磁気デ
ィスク対向側の面が斜面加工されて、所定角度（α＝４
５°）の傾斜面４０とされているところから、上述した
デプス研磨工程において、封着ガラス（モールドガラ
ス）５８を通して、磁気ヘッド用コア３８のデプス位置
を確認し易く、そのためにデプス長が測定し易くなるの
であり、以てデプス研磨によりデプス寸法を正確に規定
し得る特徴がある。

【００５０】なお、上述の如き手法に従って得られるコ
ンポジット型磁気ヘッド用コアスライダの構造として
は、例示のものの他、公知の各種の構造が採用され得、
例えば図８に示される如く、コイル巻線用溝５４を、ス
ライダ本体５０の一方の端部の端面に傾斜して形成され
た傾斜溝にて構成し、かかるスライダ本体５０の側面の
一方にのみ開口せしめてなる構造を採用することも可能
である。

【００５１】また、本発明は、例示のコンポジット型磁
気ヘッド用コアスライダのみならず、ＺＩＰドライブ装
置用磁気ヘッド用コアスライダにも、好適に採用され得
るものである。

【００５２】以上、本発明に従う磁気ヘッド用コア及び
それを用いてなるコアスライダ並びにそれらの製造方法
について、その代表的な例に基づいて、詳細に説明して
きたが、本発明が、それら例示の具体例にのみ限定して
解釈されるものでは決してなく、本発明の趣旨を逸脱し
ない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々なる
変更、修正、改良等を加えた形態において実施され得る
ものであることが、理解されるべきである。

【００５３】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、金属磁性膜を非磁性基板で挟むことなく、一
枚の非磁性コア基板の片面に形成して、コンポジット型
コアスライダやＺＩＰスライダに用いられる磁気ヘッド
用コアを構成するものであるところから、金属磁性膜の
位置合わせ、換言すればトラックの位置合わせが極めて
簡単となり、その位置合わせ精度に著しく優れた磁気ヘ
ッド用コアが実現され得ることとなったのであり、ま
た、従来の積層型コアの如くラミネート工程を採用する
ものでもなく、製造工程が極めて簡略化され得て、材料
のロスも少なくなり、以て製作コストも効果的に低減さ
れ得ることとなったのである。

【００５４】また、そのような本発明に従う磁気ヘッド
用コアを用いてなるコアスライダにあっては、磁気ヘッ
ド用コアの片面に金属磁性膜が形成されていても、その
ような金属磁性膜が外部の物体と接触することが効果的
に回避され、以て積層型コアとしての特徴を有利に発揮
し、以て優れた機能を有するコンポジット型コアスライ
ダやＺＩＰスライダ等の磁気ヘッド用コアスライダを得
ることが出来るのである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従う磁気ヘッド用コアの代表的な一例
を示す斜視説明図である。

【図２】本発明に従う磁気ヘッド用コアの製造方法の一
例における、金属磁性膜形成工程までを示す説明図であ
る。

【図３】本発明に従う磁気ヘッド用コアの製造方法の一
例における、コア半体の切出し工程から二つのコア半体
の接合工程までを示す説明図である。

【図４】本発明に従う磁気ヘッド用コアの製造方法の一
例における、コア半体を接合してなるギャップバーから
のコア切出し工程以降の工程を示す説明図である。

【図５】本発明に従う磁気ヘッド用コアの製造方法の他
の一例における、金属磁性膜を設けてなる第一及び第二
のコア半体を形成する工程までを示す説明図である。

【図６】本発明に従う磁気ヘッド用コアの製造方法の他
の一例における、二つのコア半体の突合せ接合工程以降
を示す説明図である。

【図７】本発明に従うコンポジット型磁気ヘッド用コア
スライダの製造方法の一例を示す説明図である。

【図８】本発明に従うコンポジット型磁気ヘッド用コア
スライダの他の一例を示す斜視説明図である。

【符号の説明】

２、４ コア半体 ６、３２ コイル巻線用孔 ８、４２ 非磁性コア基板 １０、２２ 金属磁性膜 １２、３４ 磁気ギャップ １４、４０ 傾斜面 ２０ コアブロック ２４ ダミー材 ２６ 第一のコア・バー ２８ 第二のコア・バー ３０、５４ コイル巻線用溝 ３６ ギャップバー ３８ 磁気ヘッド用コア ４４ 平坦面 ５０ スライダ本体 ５２ 空気ベアリング部 ５６ コア挿入用スリット ５８ 封着用ガラス ６０ コンポジット型磁気ヘッド用コアスライ
ダ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性材料からなる第一及び第二のコア
   半体が、それらの間にコイル巻線用孔を形成した形態に
   おいて突き合わされて、接合せしめられてなる非磁性コ
   ア基板と、かかる非磁性コア基板の一方の平面に対して
   所定厚さで形成されて、前記コイル巻線用孔の周りで磁
   気回路を構成している金属磁性膜とを有し、且つ前記第
   一及び第二のコア半体の突合せ部において、該金属磁性
   膜を、前記コイル巻線用孔から磁気ディスク対向側の面
   に至る所定幅の間隙にて分離せしめて、磁気ギャップを
   形成したことを特徴とする磁気ヘッド用コア。
2. 【請求項２】 前記非磁性コア基板が、その磁気ディス
   ク対向側の面の前記金属磁性膜形成側とは反対側の角部
   を切り落してなる傾斜面を有し、該磁気ディスク対向側
   の面に向って漸次厚さが薄くなるように構成されている
   請求項１記載の磁気ヘッド用コア。
3. 【請求項３】 非磁性材料からなる板状のコアブロック
   を準備し、その一方の平面に金属磁性膜を所定厚さに形
   成する工程と、 かかる金属磁性膜が形成されたコアブロックから、一方
   の面に該金属磁性膜を有する第一及び第二のコア・バー
   を切り出す工程と、 それら第一及び第二のコア・バーの少なくとも一方に、
   該金属磁性膜の形成面に垂直な方向に延びる少なくとも
   一つのコイル巻線用溝を形成する工程と、 該第一及び第二のコア・バーの金属磁性膜形成側の面を
   基準面として、それらコア・バー間に前記コイル巻線用
   溝にてコイル巻線用孔が形成されるように、且つそれら
   コア・バー間の磁気ギャップ形成部位において、対向す
   る金属磁性膜の端部間の間隙にて磁気ギャップが形成さ
   れるように、それら第一及び第二のコア・バーを突き合
   わせ、接合せしめることにより、一方の側の面に金属磁
   性膜が位置して、前記コイル巻線用孔の周りに磁気回路
   が形成されてなるギャップバーを形成する工程と、 該ギャップバーより、目的とする磁気ヘッド用コアの少
   なくとも一つを切り出す工程とを、含むことを特徴とす
   る磁気ヘッド用コアの製造方法。
4. 【請求項４】 前記金属磁性膜が形成されたコアブロッ
   クに対して、該金属磁性膜を覆うに充分な大きさのダミ
   ー材を、該金属磁性膜を該コアブロックとの間で挟む形
   態において、一時的に固着せしめた後、前記第一及び第
   二のコア・バーの切出しやコイル巻線用溝の形成等の加
   工を実施し、そして該第一及び第二のコア・バーの突合
   せ・接合に先立って、それら第一及び第二のコア・バー
   より前記ダミー材を取り外すことを特徴とする請求項３
   記載の磁気ヘッド用コアの製造方法。
5. 【請求項５】 非磁性材料からなる第一及び第二のコア
   ・バーを準備し、それらコア・バーの接合側の面の少な
   くとも一方に、それを横切る方向に延びる少なくとも一
   つのコイル巻線用溝を形成する工程と、 かかるコイル巻線用溝の形成工程を経た第一及び第二の
   コア・バーの該コイル巻線用溝に直交する方向の面の一
   方に、それぞれ所定厚さの金属磁性膜を形成する工程
   と、 該第一及び第二のコア・バーの金属磁性膜形成側の面を
   基準面として、それらコア・バー間に前記コイル巻線用
   溝にてコイル巻線用孔が形成されるように、且つそれら
   コア・バー間の磁気ギャップ形成部位において、対向す
   る金属磁性膜の端部間の間隙にて磁気ギャップが形成さ
   れるように、それら第一及び第二のコア・バーを突き合
   わせ、接合せしめることにより、一方の側の面に金属磁
   性膜が位置して、前記コイル巻線用孔の周りに磁気回路
   が形成されてなるギャップバーを形成する工程と、 該ギャップバーより、目的とする磁気ヘッド用コアの少
   なくとも一つを切り出す工程とを、含むことを特徴とす
   る磁気ヘッド用コアの製造方法。
6. 【請求項６】 スライダ本体の磁気ディスク対向側の面
   に、互いに平行な所定高さの空気ベアリング部を左右に
   設ける一方、それら空気ベアリング部が延びる方向にお
   ける前記スライダ本体の一方の端部の端面に、所定幅の
   コイル巻線用溝を左右方向に設け、更に該コイル巻線用
   溝を横切ってコア挿入用スリットを設けて、該コア挿入
   用スリットに磁気ヘッド用コアを挿入、配置せしめてな
   る構造の磁気ヘッド用コアスライダにおいて、 前記磁気ヘッド用コアが、前記請求項１若しくは前記請
   求項２に記載の磁気ヘッド用コアであることを特徴とす
   る磁気ヘッド用コアスライダ。
7. 【請求項７】 磁気ディスク対向側の面に、互いに平行
   な所定高さの空気ベアリング部を左右に設ける一方、そ
   れら空気ベアリング部が延びる方向における一方の端部
   の端面に、所定幅のコイル巻線用溝を左右方向に設け、
   更に該コイル巻線用溝を横切ってコア挿入用スリットを
   設けてなるスライダ本体を準備する工程と、 前記請求項１若しくは前記請求項２に記載の磁気ヘッド
   用コアを準備する工程と、 該磁気ヘッド用コアを、前記スライダ本体のコア挿入用
   スリットに挿入、配置せしめる工程とを、含むことを特
   徴とする磁気ヘッド用コアスライダの製造方法。